CN117572726A - 一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质 - Google Patents

一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质 Download PDF

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Abstract

本发明涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质，一种计算光刻作业管理方法包括以下步骤：新建至少一项目模板，项目模板包括至少一个可执行的作业，作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，预设参数区域包括原始参数信息；提供一指令文件，指令文件包括至少一个作业的预设参数信息；用预设参数信息对应替换作业中的原始参数信息，得到第一可执行项目；执行第一可执行项目，并获取第一可执行项目中对应作业的状态信息；获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表。解决了在计算光刻作业的过程中无法批量修改光刻作业参数的技术问题。

Description

一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质
【技术领域】
本发明涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质。
【背景技术】
在大规模集成电路的掩模优化过程中，需要运行大量计算光刻作业，通过计算机来模拟、仿真光刻的光学和化学过程，对批量的设计版图进行持续优化。在运行大量计算光刻作业过程中，作业的并发执行可能会因为计算资源的不足导致大量作业运行失败，所以需要使用计算系统资源管理和作业调度系统。
Slurm(Simple Linux Utility for Resource Management)是开源的、具有容错性和高度可扩展的Linux集群超级计算系统资源管理和作业调度平台。可以利用Slurm对资源和作业进行管理，以避免相互干扰，提高运行效率。
但现有技术中Slurm平台仅是对计算资源和作业调度进行可视化管理，无法对计算光刻的作业信息进行批量修改或替换，也无法直观的获取和管理作业的运行情况。
【发明内容】
为解决现有技术中在计算光刻作业的过程中无法批量修改光刻作业参数的技术问题，本发明提供一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质。
本发明解决技术问题的方案是提供一种计算光刻作业管理方法，包括以下步骤：
新建至少一项目模板，所述项目模板包括至少一个可执行的作业，所述作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，所述预设参数区域包括原始参数信息；
提供一指令文件，指令文件包括至少一个作业的预设参数信息；
用所述指令文件中的预设参数信息对应替换作业中预设参数区域的原始参数信息，得到包含至少一个修改后的作业的第一可执行项目；
通过分布式运算执行第一可执行项目，并获取第一可执行项目中对应作业的状态信息；
获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表。
优选的，所述预设参数信息包括项目名、作业名、作业输入文件地址以及作业输出文件地址。
优选的，在所述新建至少一项目模板前，还包括以下步骤：
获取当前用户信息，并与预先存储的用户信息相匹配，基于匹配结果提供对应的权限范围。
优选的，所述获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表包括以下步骤：
预设一边缘位置精度阈值；
获取每个作业运算后的实际边缘位置精度，并分别与边缘位置精度阈值进行比较；
对实际边缘位置精度小于该边缘位置精度阈值的作业输出运算结果并完成运算，以及对实际边缘位置精度不小于该边缘位置精度阈值的作业进行优化。
优选的，所述对作业进行优化包括以下步骤：
获取同一项目模板中所有实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值的作业；
设定一替换参数；
将替换参数替换进每个作业的非预设参数区域，得到至第二可执行项目，并对第二可执行项目进行运算判断优化的持续迭代。
优选的，若优化后运行的作业的实际边缘位置精度小于该边缘位置精度阈值，则将优化后作业保存到数据库中。
本发明为解决上述技术问题还提供一种计算光刻作业管理系统，运用上述的一种计算光刻作业管理方法，包括：
文件管理模块：用于新建项目模板，所述项目模板包括至少一个可执行的作业，以及将预设参数信息替换项目模板中的作业的参数区域，得到第一可执行项目；
作业运行模块：包括多个作业集群以通过分布式运算执行第一可执行项目；
作业管理模块：对第一可执行项目文件和/或优化后的作业提交至作业运行模块进行作业，以及获取每个作业的运行状态并显示；
分析模块：用于获取运算结果并基于运算结果判断，以及生成作业报表。
优选的，所述作业管理模块包括：
提交模块：用于获取作业的运行信息并管理作业提交次序，以及根据作业提交次序将作业提交至作业运行模块进行作业；
监控模块：用于查询作业运行模块的作业执行情况并显示。
优选的，一种计算光刻作业管理系统还包括资源管理模块，所述资源管理模块用于监控并获取作业运行模块的计算资源使用情况。
本发明为解决上述技术问题还提供了一种存储介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，实现上述的一种计算光刻作业管理方法。
与现有技术相比，本发明提供的涉及一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质具有以下优点：
1、本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法，包括以下步骤，新建至少一项目模板，项目模板包括至少一个可执行的作业，作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，预设参数区域包括原始参数信息；在未替换预设参数信息之前，同一项目模板中的可执行作业相同，有利于在创建项目模板的过程中批量复制，从而提高工作效率，进而提供一指令文件，指令文件包括至少一个作业的预设参数信息；用指令文件中的预设参数信息对应替换作业中预设参数区域的原始参数信息，得到包含至少一个修改后的作业的第一可执行项目；通过这样的设置，实现了批量化替换作业文本，解决了现有技术中需要对可执行的作业单独修改的技术问题，进一步的，通过分布式运算执行第一可执行项目，并获取第一可执行项目中对应作业的状态信息；有利于使用人员进一步了解每个作业的运行状态，便于调配，相比于现有技术更加直观，从而提高了效率，进一步的，获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表，可以理解的，通过对作业进行不断的优化，避免出现光刻坏点，同时生成的作业报表可以使用户在作业运行完成后直观的了解运行过程。
2、本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中，在建立项目模板前，还包括以下步骤：获取当前用户信息，并与预先存储的用户信息相匹配，基于匹配结果提供对应的权限范围。可以理解的，针对不同的用户提供不同的修改权限，从而保证了数据的私密性。
3、本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中，获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表包括以下步骤：预设一边缘位置精度阈值，并获取每个作业运算后的时间边缘位置精度；判断实际边缘位置精度是否小于边缘位置精度阈值；若实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值，则输出运算结果，结束运算；否之则对作业进行优化。通过这样的设置，避免出现计算光刻作业结果不友好的情况；使最终输出的结果符合预设要求。
4.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中对作业进行优化包括以下步骤：获取同一项目模板中所有实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值的作业；设定一替换参数；将替换参数替换进每个作业的非预设参数区域，得到至第二可执行项目，并对第二可执行项目进行运算判断优化的持续迭代。通过这样的设置，对运算结果不友好的作业进行批量修改，有利于提高工作效率，并且不断的迭代优化，使作业最终的输出值符合预设要求。
5.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中若优化后运行的作业的实际边缘位置精度小于该边缘位置精度阈值，则将优化后作业保存到数据库中，可以理解的，通过迭代对作业的非预设参数区域进行修改，并将优化后的作业进行保存，有利于后续基于该作业新建项目模板。
6.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理系统，运用一种计算光刻作业管理方法，包括文件管理模块、作业运行模块、作业管理模块以及分析模块；通过设置文件管理模块，对作业进行批量化修改，解决了现有技术中对作业进行修改效率不高的技术问题；通过设置作业管理模块，有利于使用人员可以随时获取每个作业的具体运行状态，便于调配和管理，从而进一步提高整体项目运行的效率。通过设置分析模块，有利于使用人员在作业完成后对作业运行状态的了解。
7.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理系统还包括权限模块以及资源管理模块，可以理解的，通过设置权限模块，不同的使用人员具有不同的权限，起到对系统的保护作用。而通过资源管理模块，便于用户直观的了解当前作业运行模块的运行资源情况，便于调配，从而提高了生产效率。
8.本发明实施例中提供的一种存储介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，当处理器执行计算机程序时，实现上述的计算光刻作业管理的方法，具有与上述一种计算光刻作业管理方法相同的有益效果，在此不做赘述。
【附图说明】
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的计算光刻作业管理方法流程示意图。
图2是本发明实施例提供的基于运算结果对每个作业进行判断的流程示意图。
图3是本发明实施例提供的对作业进行优化的流程示意图。
图4是本发明实施例提供的计算光刻作业管理系统的示意图。
图5是本发明实施例提供的文件管理模块的示意图。
图6是本发明实施例提供的一种存储介质的示意图。
附图标识说明：
1、计算光刻作业管理系统；2、存储介质；
11、文件管理模块；12、作业运行模块；13、作业管理模块；14、分析模块；15、权限模块；16、资源管理模块；21、存储器；22、处理器；23、计算机程序；
111、编辑模块；112、替换模块；113、优化模块；114、储存模块；131、提交模块；132、监控模块；141、判断模块；142、报表生成模块。
【具体实施方式】
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参阅1，本发明第一实施例提供一种计算光刻作业管理方法，包括以下步骤：
S1：新建至少一项目模板，项目模板包括至少一个可执行的作业，作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，预设参数区域设有原始参数信息；
S2：提供一指令文件，指令文件包括至少一个作业的预设参数信息；
S 3：用指令文件中的预设参数信息对应替换作业中预设参数区域的原始参数信息，得到包含至少一个修改后的作业的第一可执行项目；
S 4：通过分布式运算执行第一可执行项目，并获取第一可执行项目中对应作业的状态信息；
S 5：获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表。
需要说明的是，步骤S1和步骤S2的执行顺序可以替换，即可以先执行步骤S1，再执行步骤S2；也可以先执行步骤S2，再执行步骤S1，本实施例不做具体限定。
需要说明的是，在步骤S1和S2中，界定新建的项目模板中的可执行作业为初始作业，同一个项目模板中的多个初始作业可以相同也可以不相同，在本实施例中，优选的一种方式为根据一个项目模板设置一个初始作业，再基于初始作业复制成多个初始作业，因此，同一项目模板中的多个作业相同。
需要说明的是，在每个作业上设定预设参数区域以及非预设参数区域，非预设参数区域包括输入、输出以及运行该作业必要的函数信息，预设参数区域设置有原始参数信息，用于替换指令文件中的预设参数信息，可以理解的，同一项目模板中的非预设参数区域相同，而通过对预设参数区域的修改，从而使同一项目模板中的作业不同。
进一步的，在步骤S2中，预设参数信息具体包括项目名、作业名、作业输入文件地址以及作业输出文件地址。
具体的，指令文件可以具体设置为e x c e l文件，其中，作业输入文件地址具体为运行该光刻作业需要输入的图形文件地址，作业输出文件地址即为将运行结果输出到具体文件夹或者存储介质中。
需要说明的，在步骤S3中，通过预设参数信息中的项目名以及作业名定位到具体的作业上，再将预设参数的其他信息如作业输入文件地址、作业输出文件地址与预设参数区域的原始参数信息进行替换，使初始作业通过替换修改得到可以执行的第一作业，多个第一作业组成第一可执行项目，若在步骤S1中建立了多个项目模板，在步骤S3中多个项目模板中的初始作业进行修改替换，对应得到多个第一可执行项目。可以理解的，通过这样的方式，不需要使用人员对每个具体的初始作业进行修改，在批量化建立多个初始作业后，基于指令文件中的预设参数信息进行统一替换即可，从而实现了对初始作业的批量化修改得到多个不同的第一作业。
需要说明的是，在步骤S4中，在本实施例中，采用Slurm平台进行作业的运行，具体采用分布式运算执行第一可执行项目，具体的，将第一执行项目中的多个第一作业分别分配到不同的节点进行处理，从而加快计算过程，提高计算效率。运行过程中，对每个作业的运行状态进行监控并显示。具体的，作业的状态信息包括“准备”、“等待”、“挂起”、“运行”、“完成”、“中止”、“终止”等状态，用以表示多个作业的不同的运行状态，本实施例不再赘述。
需要说明的是，在步骤S5中，对运行完的作业进行判断是否会出现光刻不友好的情况，即光刻坏点，若出现了光刻不友好的情况，则需要对作业进行优化并重新运算，直到不出现光刻坏点为止，若未出现光刻坏点，则结束运算，生成作业报表。具体的，作业报表记录了作业执行的情况以及所用的资源等，便于直观的了解作业的运行情况。
进一步的，在步骤S1开始前，还包括获取当前用户信息，并与预先存储的用户信息相匹配，基于匹配结果提供对应的权限范围。
具体的，用户信息包括指纹信息、人脸识别信息、ID信息、职位信息以及账号密码等，本实施例不做具体限定，基于不同的用户提供不同的权限，起到对作业信息保密的作用。
进一步的，请参阅图2和图3，步骤S5具体包括：
S51：预设一边缘位置精度阈值，并获取每个作业运算后的实际边缘位置精度；
S52：判断实际边缘位置精度是否小于边缘位置精度阈值；
S53：若实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值，则输出运算结果，结束运算；
S54：若实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值，则对作业进行优化。
需要说明的是，边缘位置精度(EPE值，EdgePlacementError)，代表了测量点的实际位置与理论位置之间的距离差，EPE值的大小反映了芯片制造过程中边缘位置的精确度和误差程度，当EPE值过大时，可能导致器件的尺寸偏差过大，进而影响芯片的电性能、功耗和稳定性。因此，芯片制造中需要通过对光刻机的校准和控制，以及设计版图的改进等手段来减小EPE值，从而提高芯片的品质和可靠性。因此，在对作业运行的过程中，为避免出现光刻计算结果不友好的情况，需要对每个作业运行完成后进行判断，作业里面设定有一个图形的多个测量点，在对作业进行运算的过程中，得到测量点的坐标以及对应的EPE的值，即为实际边缘位置精度，并设定边缘位置精度阈值进行判断，若实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值，则输出运算结果即步骤S53，否之则对作业进行优化S54。
需要说明的是，S53和S54为两种不同的执行方式，即在步骤S23后，根据判断的结果，选择S53与S54任一方式执行或基于不同的作业同时执行。
进一步的，步骤S54具体包括：
S541：获取同一项目模板中所有实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值的作业；
S542：设定一替换参数；
S543：将替换参数替换进每个作业的非预设参数区域，得到至第二可执行项目，并对第二可执行项目进行运算判断优化的持续迭代。
需要说明的是，在本实施例中，同一项目模板中的初始作业相同，在对多个初始作业的预设参数区域进行修改的对应得到多个第一作业，即使同一项目中的多个第一作业的非预设参数区域相同，但是由于的作业输入文件地址不同导致出现实际边缘位置精度不同。由于多个作业的输出文件地址不同，一个修改较为繁琐，因此，在步骤S541中获取多个需要优化的作业进行批量修改。
需要说明的是，在步骤S542中，设定一替换参数，用于替换后续的非预设参数区域里的参数，包括针对光学临界效应优化中边的断点(break point)的放置规则所需的参数，评估点(merit point)放置规则所需的参数、运行输入文件的函数等。
在步骤S543中，通过将替换参数替换在非预设参数区域后，得到第二作业，多个第二作业组成第二可执行项目，在对第二可执行项目返回到步骤S4中进行运算，并基于第二可执行项目的运算结果进一步进行判断是否小于边缘位置精度阈值，对实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值的第二作业时输出运算结果，并完成运算，对实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值的第二作业进行进一步优化、运算、判断的持续迭代，直到优化后的作业的实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值以完成运算。
进一步的，若优化的作业的实际边缘位置精度小于该边缘位置精度阈值，则将优化后作业保存到数据库中。
需要说明的是，优化的过程可以理解为多作业的非预设替换区域进行不断的修正，将优化后满足的预设要求的作业进行保存，有利于后续在建立项目模板时直接引用。
请参阅图4，本发明第二实施例提供一种计算光刻作业管理系统1，运用上述实施例一提供的一种计算光刻作业管理方法，包括：
文件管理模块11：用于新建项目模板，项目模板包括至少一个可执行的作业，作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，预设参数区域包括原始参数信息；以及将预设参数信息替换到项目模板中的作业的参数区域得到第一可执行项目；
作业运行模块12：包括多个作业集群以通过分布式运算执行第一可执行项目；
作业管理模块13：对第一可执行项目文件和/或优化后的作业提交至作业运行模块12进行作业，以及获取每个作业的运行状态并显示；
分析模块14：用于获取运算结果并基于运算结果判断，以及生成作业报表。
需要说明的是，在上述一种计算光刻作业管理方法的步骤S1、步骤S2、步骤S 3中通过文件管理模块11完成，用于建立项目模板、获取指令文件，并将指令文件中的预设参数信息对应替换作业中预设参数区域的原始参数信息，得到包含至少一个修改后的作业的第一可执行项目。可以理解的，通过文件管理模块11，可以批量的对多个作业进行修改和替换，从而提高了工作效率。
具体的，文件管理模块11包括编辑模块111、替换模块112、优化模块113、以及储存模块114，编辑模块111用于对项目模板中的单个可执行的作业即初始作业进行预览以及修改；替换模块112用于获取指令文件中的预设参数信息并基于预设参数信息对应替换作业中的原始参数信息，实现批量替换的功能；优化模块113：基于分析模块14的分享结果，对需要优化的作业的非预设参数区域进行优化，具体的，通过设置一替换参数，将替换参数替换进每个作业的非预设参数区域；储存模块114用于对优化后的作业进行储存。
需要说明的是，作业运行模块12具体为slurm平台，用于运行第一可执行项目的作业，并根据计算资源的使用情况对作业进行调配，本实施例不做赘述。
需要说明的是，作业管理模块13具体包括提交模块131以及监控模块132，提交模块131用于对多个作业进行数字化管理，保存作业的各项信息参数，并相应生成作业的提交指令以及配置各个作业的提交次序；可以理解的，通过提交模块131便于用户对不同的作业设置不同的优先级，并将通过提交模块131将作业提交至作业运行模块12进行运行。监控模块132用于获取每个作业的状态信息并显示，具体的，作业的状态信息包括“准备”、“提交中”、“等待”、“挂起”、“运行”、“完成”、“中止”、“终止”等。示例性的，在新建项目模板后，针对每一具体的初始作业的初始状态为“准备”，作业在提交模块131后变为“提交中”，通过提交模块131提交到作业运行模块12中后，作业状态变为“等待”，如果作业运行计算资源足够，作业状态将转为：“运行”，如果计算资源不足，作业状态将保持“等待”状态，在作业运行过程中，可以通过人为调控使作业变为“终止”状态。如果作业正常执行完成，作业状态将转换成“完成”状态，如果作业执行期间自身报错导致作业停止运行，那么作业的状态将转为“中止”状态。处于“等待”状态的作业，可以通过人为操作将作业处于待运行状态，即“挂起”状态。可以理解的，通过设置监控模块132，使用人员可以随时获取每个作业的具体运行状态，便于调配和管理，从而进一步提高整体项目运行的效率。
需要说明的是，分析模块14具体包括判断模块141以及报表生成模块142，判断模块141用于获取作业的运算结果，并预设一边缘位置精度阈值，将每个作业运算后的时间边缘位置精度与预设的边缘位置精度阈值进行比较，判断是否满足预设要求；报表生成模块142用于将作业运行过程中的状态信息、优化信息进行统计生成报表。
进一步的，一种计算光刻作业管理系统1还包括：
权限模块15：用于获取当前用户信息，并与预先存储的用户信息相匹配，基于匹配结果提供对应的权限范围。
资源管理模块16：用于监控并获取作业运行模块12的计算资源使用情况。
需要说明的是，通过设置权限模块15，不同的使用人员具有不同的权限，起到对系统的保护作用。而通过资源管理模块16，便于用户直观的了解当前作业运行模块12的运行资源情况，便于调配，从而提高了生产效率。
可以理解的，通过上述模块，适用于大规模集成电路的掩膜优化的过程，在对大量的技术光刻作业进行运算的过程中，实现了账号管理、对作业的批量修改和替换、对不符合预设要求的作业进行优化、对每个作业运行状态以及计算资源的实时监控，最终形成计算光刻作业的闭环控制，方便用户更直观、更有效的管理计算光刻作业和计算资源。
本发明第三实施例还提供一种存储介质2，包括存储器21、处理器22及存储在存储器21上并可在处理器22上运行的计算机程序23，当处理器22执行计算机程序23时，实现如实施例一的一种计算光刻作业管理方法。
一种存储介质2具有与上述一种计算光刻作业管理方法相同的有益效果，在此不做赘述。
在本发明所提供的实施例中，应理解，“与A对应的B”表示B与A相关联，根据A可以确定B。但还应理解，根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。
应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。
在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框，以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
与现有技术相比，本发明提供的涉及一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质具有以下优点：
1、本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法，包括以下步骤，新建至少一项目模板，项目模板包括至少一个可执行的作业，作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，预设参数区域包括原始参数信息；在未替换预设参数信息之前，同一项目模板中的可执行作业相同，有利于在创建项目模板的过程中批量复制，从而提高工作效率，进而提供一指令文件，指令文件包括至少一个作业的预设参数信息；用指令文件中的预设参数信息对应替换作业中预设参数区域的原始参数信息，得到包含至少一个修改后的作业的第一可执行项目；通过这样的设置，实现了批量化替换作业文本，解决了现有技术中需要对可执行的作业单独修改的技术问题，进一步的，通过分布式运算执行第一可执行项目，并获取第一可执行项目中对应作业的状态信息；有利于使用人员进一步了解每个作业的运行状态，便于调配，相比于现有技术更加直观，从而提高了效率，进一步的，获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表，可以理解的，通过对作业进行不断的优化，避免出现光刻坏点，同时生成的作业报表可以使用户在作业运行完成后直观的了解运行过程。
2、本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中，在建立项目模板前，还包括以下步骤：获取当前用户信息，并与预先存储的用户信息相匹配，基于匹配结果提供对应的权限范围。可以理解的，针对不同的用户提供不同的修改权限，从而保证了数据的私密性。
3、本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中，获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表包括以下步骤：预设一边缘位置精度阈值，并获取每个作业运算后的时间边缘位置精度；判断实际边缘位置精度是否小于边缘位置精度阈值；若实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值，则输出运算结果，结束运算；否之则对作业进行优化。通过这样的设置，避免出现计算光刻作业结果不友好的情况；使最终输出的结果符合预设要求。
4.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中对作业进行优化包括以下步骤：获取同一项目模板中所有实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值的作业；设定一替换参数；将替换参数替换进每个作业的非预设参数区域，得到至第二可执行项目，并对第二可执行项目进行运算判断优化的持续迭代。通过这样的设置，对运算结果不友好的作业进行批量修改，有利于提高工作效率，并且不断的迭代优化，使作业最终的输出值符合预设要求。
5.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理方法中若优化后运行的作业的实际边缘位置精度小于该边缘位置精度阈值，则将优化后作业保存到数据库中，可以理解的，通过迭代对作业的非预设参数区域进行修改，并将优化后的作业进行保存，有利于后续基于该作业新建项目模板。
6.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理系统，运用一种计算光刻作业管理方法，包括文件管理模块、作业运行模块、作业管理模块以及分析模块；通过设置文件管理模块，对作业进行批量化修改，解决了现有技术中对作业进行修改效率不高的技术问题；通过设置作业管理模块，有利于使用人员可以随时获取每个作业的具体运行状态，便于调配和管理，从而进一步提高整体项目运行的效率。通过设置分析模块，有利于使用人员在作业完成后对作业运行状态的了解。
7.本发明实施例中提供的一种计算光刻作业管理系统还包括权限模块以及资源管理模块，可以理解的，通过设置权限模块，不同的使用人员具有不同的权限，起到对系统的保护作用。而通过资源管理模块，便于用户直观的了解当前作业运行模块的运行资源情况，便于调配，从而提高了生产效率。
8.本发明实施例中提供的一种存储介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，当处理器执行计算机程序时，实现上述的计算光刻作业管理的方法，具有与上述一种计算光刻作业管理方法相同的有益效果，在此不做赘述。
以上对本发明实施例公开的一种计算光刻作业管理方法、系统以及存储介质进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种计算光刻作业管理方法，其特征在于，包括以下步骤：
新建至少一项目模板，所述项目模板包括至少一个可执行的作业，所述作业设定有预设参数区域以及非预设参数区域，所述预设参数区域包括原始参数信息；
提供一指令文件，指令文件包括至少一个作业的预设参数信息；
用所述指令文件中的预设参数信息对应替换作业中预设参数区域的原始参数信息，得到包含至少一个修改后的作业的第一可执行项目；
通过分布式运算执行第一可执行项目，并获取第一可执行项目中对应作业的状态信息；
获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表。
2.如权利要求1所述的一种计算光刻作业管理方法，其特征在于，
所述预设参数信息包括项目名、作业名、作业输入文件地址以及作业输出文件地址。
3.如权利要求1所述的一种计算光刻作业管理方法，在所述新建至少一项目模板前，还包括以下步骤：
获取当前用户信息，并与预先存储的用户信息相匹配，基于匹配结果提供对应的权限范围。
4.如权利要求1所述的一种计算光刻作业管理方法，其特征在于，所述获取运算结果，基于运算结果对第一可执行项目中的每个作业完成运算或优化后重新运算，并生成作业报表包括以下步骤：
预设一边缘位置精度阈值，并获取每个作业运算后的实际边缘位置精度；
判断实际边缘位置精度是否小于边缘位置精度阈值；
若实际边缘位置精度小于边缘位置精度阈值，则输出运算结果，结束运算；否之则对作业进行优化。
5.如权利要求4所述的一种计算光刻作业管理方法，其特征在于，所述对作业进行优化包括以下步骤：
获取同一项目模板中所有实际边缘位置精度不小于边缘位置精度阈值的作业；
设定一替换参数；
将替换参数替换进每个作业的非预设参数区域，得到至第二可执行项目，并对第二可执行项目进行运算判断优化的持续迭代。
6.如权利要求5所述的一种计算光刻作业管理方法，其特征在于，
若优化后运行的作业的实际边缘位置精度小于该边缘位置精度阈值，则将优化后作业保存到数据库中。
7.一种计算光刻作业管理系统，运用如权利要求1-6中任一项所述的一种计算光刻作业管理方法，其特征在于，包括
文件管理模块：用于新建项目模板，所述项目模板包括至少一个可执行的作业，以及将预设参数信息替换项目模板中的作业的参数区域，得到第一可执行项目；
作业运行模块：包括多个作业集群以通过分布式运算执行第一可执行项目；
作业管理模块：对第一可执行项目文件和/或优化后的作业提交至作业运行模块进行作业，以及获取每个作业的运行状态并显示；
分析模块：用于获取运算结果并基于运算结果判断，以及生成作业报表。
8.如权利要求7所述的一种计算光刻作业管理系统，其特征在于，所述作业管理模块包括：
提交模块：用于获取作业的运行信息并管理作业提交次序，以及根据作业提交次序将作业提交至作业运行模块进行作业；
监控模块：用于查询作业运行模块的作业执行情况并显示。
9.如权利要求8所述的一种计算光刻作业管理系统，其特征在于，还包括资源管理模块，所述资源管理模块用于监控并获取作业运行模块的计算资源使用情况。
10.一种存储介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时，实现如权利要求1-6中任一项所述的一种计算光刻作业管理方法。
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