CN117387665A - 位置传感器、线性致动器和确定位置的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种位置传感器(10)、线性致动器(1)和确定两个构件相对于彼此的位置的方法(V)。设置有测量单元(20)和第一、第二和第三电极装置(30、40、50)。第三电极装置(50)使第一和第二电极装置(30，40)相互电容性耦合并能相对于彼此运动。按照本发明，测量单元(20)通过第一线路布置(60)与第一电极装置(30)导电连接，通过第二线路布置(70)与第二电极装置(40)导电连接。测量单元(20)被设置用于通过第一线路布置(60)发送至少一个激励信号(21)并通过第二线路布置(70)接收至少一个读出信号(22)。测量单元(22)还被设置用于根据读出信号(22)确定第三电极装置(50)相对于第一和第二电极装置(30，40)的位置。
Description
技术领域
本发明涉及一种位置传感器、一种线性致动器和一种确定两个构件相对于彼此的位置的方法。
背景技术
位置传感器是已知的，用于确定两个构件相对于彼此的位置。特别是，这些位置传感器可用于检测和量化位置变化，即平移位移，或角度变化。在这方面，位置传感器经常被用来确定线性致动器的位置。
发明内容
本发明的任务是改进两个构件相对于彼此的位置的确定，特别是减少为此所需的空间并简化为此使用的位置传感器的构造。
这项任务由按照独立权利要求的位置传感器、线性致动器和确定两个构件相对于彼此的位置的方法来解决。
优选实施方式是从属权利要求和以下描述的主题。
按照本发明的第一方面的、特别是用于线性致动器的位置传感器，具有测量单元、至少一个第一电极装置、至少一个第二电极装置和至少一个第三电极装置。第三电极装置使第一和第二电极装置相互电容性耦合并能相对于彼此运动。按照本发明，测量单元通过第一线路布置与第一电极装置导电连接，通过第二线路布置与第二电极装置导电连接。测量单元被设置用于通过第一线路布置发送至少一个激励信号，特别是激励信号的、优选为相同的激励信号的序列，并通过第二线路布置接收至少一个读出信号，特别是读出信号的序列。测量单元还被设置用于根据读出信号(或读出信号的序列)确定第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置。
本发明意义上的导电连接优选是一种非间接的或直接的连接，通过这种连接可以传输电流或电压信号，而不会受到该连接的实质性影响。导电性连接尤其排除了通过电容元件断开电导线的电容性耦合。
本发明的一个方面是基于以下手段，即用一个或多个激励信号直接激励本身已知的位置传感器的电极配置，该位置传感器包括第一电极装置、第二电极装置和使它们电容性耦合的第三电极装置。为此，得当地设置第一线路布置，其使测量单元与第一电极装置导电连接。相应的查询信号可以通过第二线路布置来接收，该第二线路布置使测量单元与第二电极装置导电连接。第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置可以从查询信号中得出。可以省去传统位置传感器中设置的专用激励导线。这不仅使按照本发明的位置传感器的制造成本降低，而且还降低了空间需求。
这些电极装置得当地以下述方式构造，即一方面是第一电极装置、另一方面是第二电极装置与第三电极装置分别形成一个或多个电容器。在这种情况下，这些电极装置优选地以下述方式构造，即由于第三电极装置相对于第一和第二电极装置的运动而形成的电容发生变化。该电容可以从查询信号中得到。
第一和第二电极装置优选分别形成测量路径。换言之，优选设置测量路径对，在该测量路径对中，第一测量路径具有第一电极装置，第二测量路径具有第二电极装置。第三电极装置被得当与该测量路径对相关联。第三电极装置相对于第一和第二电极装置的运动优选地与一个构件相对于另一个构件的运动相耦合或可以耦合，以便第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置与这两个构件的相对位置相对应。
本发明的优选实施方案及其进一步方案描述如下。除非明确排除，否则这些实施方案可分别任意相互结合，并与下文所述的本发明的各个方面结合。
在优选的实施方式中，第三电极装置具有多个第三电极单元。第三电极单元优选地被设置成通过第一和第二电极装置的第一或第二电极单元形成电容。每个电极单元可以对应于一个导电表面。例如，电容是由对应于第一或第二电极单元的第一或第二表面与对应于第三电极单元的第三表面的重叠而产生的。
优选地，所有第三电极单元都是相互导电连接的。因此，没有必要用线路将第一和第二电极装置彼此进行电容性耦合。在这方面，位置传感器的复杂性可以显著降低。
在另一个优选的实施方式中，第一线路布置具有通往第一电极装置的每个第一电极单元的单独的导线。替代地或另外地，第二线路布置具有通往第二电极装置的每个第二电极单元的单独的导线。由此，各个第一电极单元能够有针对性地用激励信号激励，或者可以读出由第二电极单元生成的、即在第二电极单元中诱导出的查询信号。在这方面，可以实现能够单独控制或读出的多个通道。
特别是，第一电极装置可具有第一数量的第一电极单元，并且第二电极装置可具有第二数量的第二电极单元。得当地，第一数量与第二数量相对应。如果设置多个测量路径对，第一线路布置优选地具有数量与第一数量相对应的导线，这些导线分别通往不同的第一电极装置的多个第一电极单元。由此能减少所需的导线的数量，从而也能降低空间需求。特别地，这样能使制造更具有成本效益。
在这种情况下，电极单元的数量例如由第一电极装置的数量、即测量路径对的数量决定，电极单元通过第一线路布置的每个都相同的导线连接到测量单元。
在另一个优选的实施方式中，测量单元被设置用于发送激励信号的序列，即时间分布式激励信号，和/或设置用于发送频率分布式激励信号。优选地，测量单元被设置用于相应地接收多个查询信号。得当地，测量单元还被设置用于从这样的序列或这样的频谱中确定第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置。序列式或频率分布式地发送激励信号和相应接收查询信号允许有效地使用线路布置。在这方面，基于序列或频率的操作也能减少所需的导线。
激励信号的序列式发送在此优选地是同一激励信号的按时间的连续发送。发送频率分布式激励信号在此优选地是发送具有多个频率、即(离散的)频谱的激励信号。通过激励信号的频率分布，可以在第二电极单元处在每次不同的频谱频率下分别同时生成或截取查询信号。
为了能够确定第二电极装置相对于第三电极的位置，测量单元例如被设置为用相同的激励信号通过第一线路布置多次或以频率分布的方式激励所有第一电极单元。在这种情况下，激励或频率的数量优选地与第一数量、即第一电极单元的数量相对应。此外，测量单元被得当地设置为，针对每个激励或频率，通过第二线路布置从第二电极单元的每次不同的一个有针对性地接收查询信号。换言之，例如，第一电极装置的广泛激励被用来有针对性地探测第三电极装置和各个第二电极单元之间的电容性耦合。
在这方面，测量单元优选被设置为由每个接收到的查询信号确定电容。在这种情况下得当地，将以这种方式确定的每个电容与其中一个第二电极单元相关联或可以与其相关联。以这种方式量化的电容、特别是它们之间的比率，能够推断出第二电极装置相对于第三电极的位置。
为了能够确定第一电极装置相对于第三电极装置的位置，测量单元例如被设置为用第一激励信号多次或以频率分布的方式激励第一电极单元，并且同时不激励其余第一电极单元或通过第一线路布置用不同于第一激励信号的第二激励信号激励这些其余第一电极单元。第二激励信号可以是与第一激励信号极性相反的激励信号。
在这种情况下，激励的数量优选地与第二数量、即第二电极单元的数量相对应。此外，测量单元被得当地设置为，针对每个激励或频率，通过第二线路布置从第二电极单元的每次不同的一个接收查询信号。换言之，第三电极装置和各个第一电极单元之间的电容性耦合例如是通过第一电极装置的有针对性的激励进行探测的，其中，该耦合得当地通过考虑在第二电极单元处的多个查询信号而得出。
在这方面，测量单元优选被设置用于由每个接收到的查询信号确定电容并且累加所确定的电容。得当地，以这种方式累加的电容与用预定的激励信号激励的第一电极单元相关联或第一相关联。
优选地，测量单元被设置用于相继地针对每个第一电极单元，用第一激励信号进行多次激励或频率分布式激励，并且用第二激励信号同时激励其余的第一电极单元。
在另一个优选的实施方式中，测量单元、第一电极装置和第二电极装置构造在电路板上、特别是印在电路板上。这能使生产更具有成本效益。
优选地，第三电极装置布置在能在电路板上活动的、尤其是可旋转或可平移移动地支承的主体上。为了降低复杂性，主体优选地至少分段地由可形成第三电极单元的导电塑料制成。
另一方面，在第一和第二电极装置与第三电极装置之间得当地布置有电介质。
在另一个优选实施方式中，设置多个第一电极装置、多个第二电极装置和多个第三电极装置。换言之，可以设置多个测量路径对，例如从第三电极装置相对于第一和第二电极装置的经确定的位置进一步提高可确定的相对构件位置的精度和/或扩大测量范围。特别地，在两个第一、第二和第三电极装置的情况下，即在两个测量路径对的情况下，可以通过这种方式实现游标原理(Nonius-Prinzip)。
优选地，在这种情况下，每个第一电极装置都具有三个第一电极单元，每个第二电极装置都具有三个第二电极单元。已经表明，由此形成的三个通道可以在相对合理的(接线)成本下，对于通过测量单元确定第一或第二电极装置相对于第三电极装置的位置实现很好的精度。
在另一个优选实施方式中，第一电极装置和第二电极装置分别具有多个第一电极单元或多个第二电极单元，其中，第一电极单元和/或第二电极单元包括多个相互电连接的电极元件。例如，第一和/或第二电极单元可以包括多个相互电连接的导电表面。这些电极元件得当地以按规律的间隔布置，特别是与其他电极单元的电极元件以固定的顺序布置。由此可以提高测量精度和/或扩大测量范围。
按照本发明第二方面的线性致动器具有线性单元和按照本发明第一方面的位置传感器。在这种情况下，线性单元被设置用于从旋转运动中产生平移运动，旋转运动例如为马达轴的旋转。例如，线性单元可具有由马达驱动的丝杠轴和在丝杠轴上运行的丝杠螺母。得当地，由线性单元的操控产生的线性单元构件(如丝杠螺母)的平移运动，与第三电极装置相对于第一和第二电极装置的运动相耦合。为此可设置传动机构，如一个或多个齿轮。因此，借助于位置传感器，线性致动器的位置，例如丝杠螺母在丝杠轴上的位置，能够以节省空间的方式精确而可靠地确定。
在按照本发明第三方面的方法中，为了确定两个构件相对于彼此的位置，特别是借助于按照本发明第一方面的位置传感器来确定，第一电极装置通过第一线路布置用至少一个激励信号、特别是用由多个(相同的)激励信号构成的激励序列来激励。作为这种激励的结果，优选地在第二电极装置中生成至少一个查询信号，第二电极装置通过第三电极装置与第一电极装置电容性耦合，并可相对于第一和第二电极装置运动。优选地，通过第二线路布置接收查询信号，并根据查询信号来确定第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置。以这种方式确定的第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置可以与两个构件的相对位置相关联，这两个构件的相对运动与第三电极装置相对于第一和第二电极装置的运动得当地耦合。
附图说明
以下根据附图进一步阐述本发明。只要合乎目的，本文中相同作用的元素标以相同的附图标记。本发明不受限于附图所示的实施例，在功能特征方面也不受此限制。前文的描述以及下文的附图描述包含许多特征，其中部分特征以多种组合的形式概括地反映在从属权利要求中。然而，技术人员也会单独考虑这些特征以及上文和下文的附图描述中公开的所有其他特征，并将它们组合起来形成有用的进一步组合。特别是，上述所有特征都可以各自单独组合并且与按照本发明第一方面的位置传感器、按照本发明第二方面的线性致动器以及按照本发明第三方面的方法进行任何适当的组合。
在附图中至少部分示意性地示出：
图1示出带有线性单元和位置传感器的线性致动器的示例；
图2示出位置传感器的实体设计的示例；
图3示出位置传感器的电气设计的示例；
图4示出确定两个构件相对于彼此的位置的方法的示例。
具体实施方式
图1示出带有线性单元2和位置传感器10的线性致动器1的示例。线性单元2和位置传感器10通过传动机构3与马达4联接。由此，由马达4产生的旋转被线性单元2转换为平移，并且被位置传感器10转换为第三电极装置相对于第一和第二电极装置的运动(参见图2)。例如，由马达4传递到丝杠轴5的旋转产生了在丝杠轴5上运行的丝杠螺母6的平移。在这种情况下，丝杠螺母6相对于丝杠轴5的位置对应于第三电极装置相对于第一和第二电极装置的位置。在这方面，线性致动器1的位置、特别是线性单元2或丝杠螺母6的位置，可以借助于位置传感器10确定。
图2示出位置传感器10的实体设计的示例，该位置传感器带有测量单元20、两个第一电极装置30、两个第二电极装置40和两个第三电极装置50。测量单元20通过第一线路布置60与第一电极装置30导电连接，并且通过第二线路布置70与第二电极装置40导电连接。
测量单元20、第一电极装置30和第二电极装置40以及线路布置60、70构造在电路板80上，特别是至少部分地印刷在电路板80上。
反之，各第三电极装置50均布置在优选为圆盘形的主体90上。第三电极装置50也可以至少部分地由主体90形成。为此，本体90优选至少部分地由传导性塑料组成。
在图2中，为了第一电极装置30和第二电极装置40更好的可视性，本体90被示出在电路板80的下方。然而，在待命状态下，本体90均得当地可旋转地支承在电路板80上，例如借助于销或其他轴来支承，该销或其他轴例如插入电路板80的相应通孔81中。然而，其他支承方式也是可以设想的。在主体90和电路板80之间布置有、或者在这种情况下得当地布置有电介质(未示出)。
在这方面，主体90被方便地布置成使第三电极装置50分别与第一电极装置30和第二电极装置40相对置。因此，第三电极装置50可相对于第一电极装置30和第二电极装置40旋转，以便位置传感器10可以测量主体90的角度位置。
作为电路板80上的主体90的可旋转支承的替代方案，也可以设想平移支承，如滑动支承。在这种情况下，主体90得当地构造为直线状的。因此，位置传感器10可以测量平移的位移。
第一电极装置30、第二电极装置40和第三电极装置50得当地分别具有多个第一电极单元31、多个第二电极单元41和多个第三电极单元51，为清楚起见，其中只有一些单元用附图标记标识。第一电极单元31和第二电极单元41中的每个电极单元可以包括多个电极部段，它们以导电的方式得当地相互连接。
第三电极单元51优选是相互导电连接的。由此，每个第三电极装置50都使第一电极装置30与第二电极装置40电容性地耦合。以这种方式耦合的第一电极装置30和第二电极装置40分别形成一个测量路径对100，通过测量路径对可以确定耦合的第三电极装置50相对于第一电极装置30和第二电极装置40的位置，从而确定主体90相对于电路板80的位置。
第一电极单元31和第二电极单元41优选是分开构造的，即相互之间没有导电连接。第一电极单元31和第二电极单元41可以与各自的第三电极装置50形成电容。当第三电极装置50相对于第一电极装置30和第二电极装置40运动时，例如由于第一电极单元31或第二电极单元41和/或第三电极单元51的形状和/或布置而运动，这些电容会得当地改变。
因此，测量单元20可以通过至少一个激励信号、特别是多个(相同的)激励信号的预定序列和/或频率分布式激励信号来激励每个测量路径对100，并根据一个或多个相应的读出信号来确定形成的电容。得当地，以这种方式确定的电容对应于第三电极装置50相对于第一电极装置30和第二电极装置40的位置。
例如，测量单元20可以被设置用于通过第一线路布置60向第一电极装置30施加至少一个激励信号。通过第三电极装置50的电容性耦合从第二电极装置40生成相应的读出信号。测量单元20被得当地设置用于通过第二线路布置70接收该读出信号。
通过将主体90联接到可移动构件、例如马达轴，其如有必要可通过传动机构而移动，可借助于位置传感器10确定该构件相对于另一个静止构件的位置。
图3示出位置传感器10的电气设计的示例，该位置传感器具有两组第一电极装置30和第二电极装置40，它们形成两个测量路径对100，并分别通过第三电极装置50进行电容性耦合。测量单元20通过第一线路布置60与第一电极装置30的第一电极单元31导电连接，通过第二线路装置70与第二电极装置40的第二电极单元41导电连接。
第二线路布置70具有用于每个第二电极单元41的单独的导线71。反之，第一线路布置60具有一定数量的导线61，这些导线与第一电极装置30之一的第一数量的第一电极单元31相对应。在这种情况下，这些导线61中的每一条将测量单元20连接到两个第一电极单元31，即连接到两个第一电极装置30中的每一个的一个电极单元31。
这允许测量单元20有针对性地将激励信号21施加于第一电极单元31和/或有针对性地接收在这方面由第二电极单元41生成的读出信号22，例如在电极单元41中诱导的读出信号。
为了实现不同的激励和读出组合，第三电极装置50均得当地具有彼此电导连接的多个第三电极单元51。在这方面，第三电极装置50分别限定用于测量路径对100的星形连接52。
图4示出确定两个构件相对于彼此的位置的方法V的示例。在这种情况下，预定序列的激励信号21、例如多次的(相同的)激励信号21，通过第一线路布置60发送到至少一个第一电极装置30的第一电极单元，并通过第二线路布置70接收在第二电极装置40截取的相应读出信号。
在第一序列步骤S1中，至少一个第一电极装置30的所有第一电极单元在激励步骤A1中被重复地施加以激励信号21。在这种情况下，在每次重复中，通过第二电极单元中不同的一个在读出步骤A2中接收读出信号。这样的激励步骤A1和读出步骤A2被示意性地显示为线路图。在这种情况下，激励步骤A1和读出步骤A2的数量得当地对应于第二电极单元的(总)数量。
换言之，可以在每个第二电极单元中有针对性地诱导一次读出信号，并通过测量单元的模拟-数字转换器23等获取。在这种情况下，这些读出信号中的每一个都对应于相应的第二电极单元的电容。
例如，如果设置两组第一电极装置30和第二电极装置40，每个电极装置带有三个第一电极单元或三个第二电极单元，则第一序列步骤S1包括向所有第一电极单元分别发送六次A1激励信号，并且通过第二电极单元中的每次不同的一个接收六次A2读出信号。
在第一序列步骤S2中，至少一个第一电极装置30的第一电极单元在激励步骤A1中被重复地施加以第一激励信号21。在同一激励步骤A1中，其余的第一电极单元同时被施加以第二激励信号21'，该第二激励信号与第一激励信号21不同，例如极性相反。替代地，这些其余的第一电极单元可以不被施加以激励信号。在这种情况下，在每次这种重复中，通过不同的第二电极单元在读出步骤A2中接收读出信号。这样的激励步骤A1和读出步骤A2被示意性地显示为线路图。在这种情况下，激励步骤A1和读出步骤A2的数量得当地对应于第二电极单元的(总)数量。
换言之，可以在每个第二电极单元中有针对性地诱导一次读出信号，并通过模拟-数字转换器23获取。在这种情况下，这些读出信号中的每一个都对应于电容，这些电容累加起来可以与被施加以预定的激励信号21的第一电极单元相关联。
第二序列步骤S2得当地针对至少一个第一电极装置30的每个第一电极单元进行重复。
例如，如果设置两组第一电极装置30和第二电极装置40，每个电极装置带有三个第一电极单元或三个第二电极单元，则第二序列步骤S2包括发送十八次A1第一激励信号21，即分别向(总共六个)第一电极单元中不同的一个发送三次，可选地包括发送十八次A1第二激励信号21’，即分别向其余的第一电极单元发送三次，并且还包括通过第二电极单元中的每次不同的一个接收十八次A2读出信号。
在第三序列步骤S3中，从接收到的读出信号或对应于第一和第二电极单元的电容，确定至少一个第三电极装置50相对于通过其电容性耦合的第一电极装置30和第二电极装置40的位置。
替代地也可以设想，在序列步骤S1中用频率分布式激励信号、而不是用激励信号21的序列来激励第一电极装置，并在各第二电极单元处同时读出读出信号。相应地，在第二序列步骤S2中，可以用频率分布式激励信号重复地激励第一电极单元、即针对每个第一电极单元激励一次，并且每次同时在各第二电极单元处读出读出信号。
附图标记列表
1 线性致动器
2 线性单元
3 传动机构
4 马达
5 丝杠轴
6 丝杠螺母
10 位置传感器
20 测量单元
21 激励信号
21’极性相反的激励信号
22读出信号
23模拟-数字转换器
30 第一电极装置
31 第一电极单元
40 第二电极装置
41 第二电极单元
50 第二电极装置
51 第二电极单元
52 星形连接
60 第一线路布置
61 导线
70 第二线路布置
71 导线
80 电路板
81 通孔
90 主体
100 测量路径对
V 方法
S1至S3序列步骤
A1 激励步骤
A2 读出步骤
Claims (15)
1.一种位置传感器(10)，特别是用于线性致动器(1)的位置传感器(10)，具有测量单元(20)、第一电极装置(30)、第二电极装置(40)和第三电极装置(50)，所述第三电极装置(50)使所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)相互电容性耦合并能相对于彼此运动，
其特征在于，
所述测量单元(20)通过第一线路布置(60)与所述第一电极装置(30)导电连接，并且通过第二线路布置(70)与所述第二电极装置(40)导电连接，并且被设置用于，
-通过所述第一线路布置(60)发送至少一个读出信号(21)，
-通过所述第二线路布置(70)接收至少一个读出信号(22)，以及
-根据查询信号(22)确定所述第三电极装置(50)相对于所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)的位置。
2.根据权利要求1所述的位置传感器(10)、
其特征在于，
-所述第一电极装置(30)具有多个第一电极单元(31)，并且所述第一线路布置(60)具有通往每个第一电极单元(31)的单独的导线(61)，以及
-所述第二电极装置(40)具有多个第二电极单元(41)，并且所述第二线路布置(70)具有通往每个第二电极单元(41)的单独的导线(71)。
3.根据权利要求1或2所述的位置传送器(10)，
其特征在于，
-所述第一电极装置(30)具有第一数量的第一电极单元(31)，所述第二电极装置(40)具有第二数量的第二电极单元(41)，
-所述第二线路布置(70)具有用于每个第二电极单元(41)的单独的导线(71)，以及
-所述第一线路布置(60)具有用于各第一电极装置(30)的分别多个第一电极单元(31)的导线(61)，所述导线(61)的数量与所述第一数量相对应的。
4.根据权利要求3所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述第一电极单元(31)的数量由所述第一电极装置(30)的数量决定，所述第一电极单元(31)通过所述第一线路布置(60)的每个都相同的导线(61)连接到所述测量单元(20)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)被设置用于发送所述激励信号(21)的序列和/或频率分布式激励信号(21)，并相应地接收多个读出信号(22)，以便从这种序列或这种频率谱中确定所述第三电极装置(50)相对于所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)的位置。
6.根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)被设置用于，
-用相同的激励信号(21)通过所述第一线路布置(60)对所述第一电极装置(30)的所有第一电极单元(31)进行多次激励或频率分布式激励，以及
-对于每个激励或频率，通过所述第二线路布置(70)有针对性地接收来自所述第二电极装置(40)的每次不同的一个第二电极单元(41)的读出信号(22)。
7.根据权利要求6所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)被设置用于由每个接收到的读出信号(22)确定电容，其中，这样确定的每个电容与所述第二电极单元(41)的其中之一相关联。
8.根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)被设置用于，
-用第一激励信号(21)通过所述第一线路布置(60)对所述第一电极装置(30)的同一第一电极单元(31)进行多次激励或频率分布式激励，
-用不同于所述第一激励信号(21)的第二激励信号(21')通过所述第一线路布置(60)同时激励所述第一电极装置(30)的其余的第一电极单元(31)，以及
-对于每个激励或频率，通过所述第二线路布置(70)接收来自所述第二电极装置(40)的每次不同的一个第二电极单元(41)的读出信号(22)。
9.根据权利要求8所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)被设置用于由每个接收到的读出信号(22)确定电容并且用于累加所确定的电容，其中，这样累加的电容与用所述激励信号(21)激励的所述第一电极单元(31)相关联。
10.根据权利要求8或9所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)被设置用于相继地针对每个第一电极单元(31)，用所述第一激励信号(21)进行多次激励或频率分布式激励，并且用所述第二激励信号(21')同时激励所述其余的第一电极单元(31)。
11.根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述测量单元(20)、所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)被印在电路板(80)上，并且所述第三电极装置(50)被布置在可旋转地支承在所述电路板(80)上的主体(90)上，其中，一方面在所述第一电极装置(30)与所述第二电极装置(40)之间并且另一方面与所述第三电极装置(50)之间布置电介质。
12.根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
设置多个第一电极装置(30)、多个第二电极装置(40)和多个第三电极装置(50)，其中，每个第一电极装置(30)分别具有三个第一电极单元(31)，并且每个第二电极装置(40)分别具有三个第二电极单元(41)。
13.根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)，
其特征在于，
所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)分别具有多个第一电极单元(31)或多个第二电极单元(41)，其中，第一电极单元(31)和/或第二电极单元(41)包括多个相互电连接的电极元件。
14.一种线性致动器(1)，具有线性单元(2)和根据前述权利要求中任一项所述的位置传感器(10)。
15.一种用于确定两个构件相对于彼此的位置的方法(V)，其中，借助于测量单元(20)，
-用至少一个激励信号(21)通过第一线路布置(60)激励(A1)第一电极装置(30)，从而在第二电极装置(40)中生成至少一个读出信号(22)，所述第二电极装置(40)通过第三电极装置(50)与所述第一电极装置(30)电容性耦合并能相对于所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)运动，
-通过第二线路布置(70)接收(A2)所述读出信号(22)，以及
-根据所述读出信号(22)确定所述第三电极装置(50)相对于所述第一电极装置(30)和所述第二电极装置(40)的位置。
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