CN117364230A - 工艺节点管控方法、装置、电子设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种工艺节点管控方法、装置、设备及介质。该方法包括：获取各个直拉单晶设备的运行信息以及工艺节点的预设信息；根据运行信息和预设信息，确定对应的直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及预计开始时间；根据各个直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及后续的工艺节点的预计开始时间，对各个直拉单晶设备的工艺节点进行管控，使得针对直拉单晶工艺，自动确定当前所处的工艺节点，并预测后续的工艺节点的开始时间，以便据此对直拉单晶的工艺节点进行管控，实现了符合直拉单晶工艺特点的数字化、网络化、智能化的管控，避免人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

Description

工艺节点管控方法、装置、电子设备及存储介质

技术领域

本发明涉及晶体制备技术领域，特别是涉及一种工艺节点管控方法、一种工艺节点管控装置、一种电子设备以及一种存储介质。

背景技术

单晶硅材料的制备工艺以直拉法(Czochralski process/CZ)为主，利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

首先将石英埚装入坩埚上，然后将多晶硅料装入石英埚。装料完成后合炉，然后开始抽真空，在达到真空要求后，充入氩气，在微负压的情况下，打开加热器开始加热。然后根据熔料的工艺要求逐步升高温度，达到熔料的温度，将固态多晶硅原料熔化成液态。当多晶硅原料融化完成后，还不能马上开始引晶，因为这时的温度要高于引晶温度，还必须经过降温，将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触，在引晶温度下，硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长，从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径，在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长，直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体，以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后，进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤，在该步骤中，通过对拉速和温度的自动控制，让晶体将按照设定的直径等径生长。等径是单晶生产过程中可以转化为产量的工步，是整个拉晶过程中的核心工步。晶体在完成等径生长后将进入收尾过程，收尾的过程也是为了消除位错。收尾完成后晶体生长基本完成，让晶体继续保留在硅单晶炉中一定的时间，从而完成晶体的退火。

在单晶生产制造业中，传统的工时统计模式为操作辅工逐个统计各个炉台的运行工步，估计进入等径的时间，并根据进入等径的时间和等径的长度，预测当天的产量或某一时刻的产量，汇报给上级领导。这种传统的生产模式存在人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种工艺节点管控方法，以解决工时统计模式存在的人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证的问题。

相应的，本发明实施例还提供了一种工艺节点管控装置、一种电子设备以及一种存储介质，用以保证上述方法的实现及应用。

为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种工艺节点管控方法，包括：

获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；

根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

可选地，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；

所述根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间包括：

根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点；

根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。

可选地，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。

可选地，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。

可选地，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；

根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：

针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；

根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

本发明实施例还公开了一种工艺节点管控装置，包括：

信息获取模块，用于获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；

节点确定模块，用于根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；

节点管控模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

可选地，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；

所述节点确定模块包括：

第一节点确定子模块，用于根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点；

第二节点确定子模块，用于根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。

可选地，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。

可选地，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。

可选地，所述节点管控模块包括：

设备显示子模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；

第一情况显示子模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；

第一节点管控子模块，用于根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述节点管控模块包括：

第二情况显示子模块，用于针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；

第二节点管控子模块，用于根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

本发明实施例还公开了一种电子设备，其特征在于，包括处理器、通信接口、存储器和通信总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过通信总线完成相互间的通信；

存储器，用于存放计算机程序；

处理器，用于执行存储器上所存放的程序时，实现如上所述的方法步骤。

本发明实施例还公开了一种可读存储介质，当所述存储介质中的指令由电子设备的处理器执行时，使得电子设备能够执行本发明实施例中一个或多个所述的工艺节点管控方法。

本发明实施例包括以下优点：

依据本发明实施例，通过获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控，使得针对直拉单晶工艺，自动确定当前所处的工艺节点，并预测后续的工艺节点的开始时间，以便据此对直拉单晶的工艺节点进行管控，实现了符合直拉单晶工艺特点的数字化、网络化、智能化的管控，避免人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

附图说明

图1是本发明的一种工艺节点管控方法实施例的步骤流程图；

图2是工艺节点的示意图；

图3是本发明的一种工艺节点管控方法实施例的步骤流程图；

图4是工艺节点管控系统的示意图；

图5是工艺节点和工艺子节点的示意图；

图6是工艺节点和工艺子节点的流程示意图

图7是完成情况和未完成情况的示意图；

图8是完成情况和未完成情况的详细情况的示意图；

图9是直拉单晶设备所有工艺节点的完成情况的示意图；

图10是本发明的一种工艺节点管控装置实施例的结构框图；

图11是根据一示例性实施例示出的一种用于工艺节点管控的计算设备的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

参照图1，示出了本发明的一种工艺节点管控方法实施例的步骤流程图，具体可以包括如下步骤：

步骤101，获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息。

在本发明实施例中，直拉单晶过程是利用直拉法将原料提炼成单晶的过程，例如，直拉单晶硅的过程。直拉单晶设备是用于生产单晶的设备。直拉单晶设备的运行信息包括与直拉单晶设备的运行相关的多种信息，例如，直拉单晶设备的状态、功率、剩料、晶棒的长度等，具体可以包括任意适用的信息，本发明实施例对此不做限制。例如，从直拉单机设备的中控系统获取多个维度的数据。

在本发明实施例中，根据直拉单晶工艺的特点，将生产过程分成多个工艺节点，例如，从直拉单晶设备的上一炉停炉到本炉抽空开始，作为一个工艺节点，记为合炉追踪节点。具体可以包括任意适用的工艺节点，本发明实施例对此不做限制。

在本发明实施例中，工艺节点的预设信息是预先设置的工艺节点的标准信息，例如，某个工艺节点的直拉单晶设备的标准功率、晶棒的标准长度、工艺节点的标准工时等，或者其他任意适用的信息，本发明实施例对此不做限制。

在本发明实施例中，有的运行信息只需要采集一次，有的运行信息需要随着时间推移，每隔一段时间采集一次。

在本发明的一种可选实施例中，工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点。其中，合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

如图2所示的工艺节点的示意图。

根据单晶生产工艺流程，合炉追踪节点从直拉单晶设备的上一炉停炉到本炉抽空开始，此部分没有产量，为设备停炉保养及下炉符合标准开始做准备，作为一个工艺节点，以方便管理。

首次等径节点为直拉单晶设备在本炉的第一次等径，埚内硅料为石英坩埚里的料和料筒加料，所有料全部熔化后，可用于拉晶，首次进入等径的工艺过程比较困难，因此，单独成为一个工艺节点。

加料等径节点为首次等径之后的循环段，从加料开始到下次等径开始的工艺过程，循环段每次加料量基本上无差异，此工艺过程一般较稳定，容易管理，因此，单独成为一个工艺节点。其中，叫料是指当直拉单晶设备中的原料不足时，具体为剩余的原料不够下一段拉晶使用，向生产线上提供原料的节点申请加料的任务。

不加料等径节点为循环段的不加料任务到下次等径开始，其中，不加料任务是指因等径断线且埚内剩料不满足加料的条件等原因产生的任务，主要为单晶生产过程中的异常情况，需要特殊关注，因此，将不加料任务对应的工艺过程单独成为一个工艺节点。

步骤102，根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间。

在本发明实施例中，对于一个直拉单晶设备而言，根据运行信息和预设信息，先确定当前所处的工艺节点。例如，当直拉单晶设备当前的一种或多种运行信息与合炉追踪节点的预设信息相匹配时，则确定当前所处的工艺节点为合炉追踪节点。

在本发明实施例中，在确定当前所处的工艺节点之后，还可以根据所述运行信息和预设信息，确定后续的工艺节点。例如，当前的工艺节点为首次等径节点，若运行信息和加料等径节点的预设信息匹配，则确定下一个工艺节点是加料等径节点，若等径断线且埚内剩料不满足加料，则确定下一个工艺节点是不加料等径节点。

在本发明实施例中，除了确定后续的工艺节点外，还可以确定后续的工艺节点的预计开始时间。根据运行信息和预设信息，计算下一个工艺节点的预计开始时间，针对不同的工艺节点，计算预计开始时间的方式可以是不同的，例如，根据功率、剩料、晶棒长度等参数、以及工艺节点的标准数据，计算出完成当前的工艺节点还需要的时间，从而得到下一个工艺节点的预计开始时间。预设信息包括每个工艺节点的标准工时，叠加下一个工艺节点的标准工时，可以推算出再下一个工艺节点的预计开始时间，以此类推，得到后续的工艺节点的预计开始时间。

步骤103，根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

在本发明实施例中，由于得到了各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对于所有直拉单晶设备的工作情况，实现了实时、准确的展示，以此为依据，可以对各个直拉单晶设备的工艺节点进行管控。对工艺节点的管控可以包括工作进度的管理和控制，工作量的管理和控制等多个方面，以便工作进度能够按期完成，工作量安排更加合理。

在本发明实施例中，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控的实现方式可以包括多种。例如，通过报表系统，对工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备的各种工作情况进行展示，以便管理者做出及时有效的管理和控制。又例如，对每个直拉单晶设备分别对各种工作情况进行展示，以便及时发现单个直拉单晶设备出现的问题，以便管理者及时干预，纠正问题。

依据本发明实施例，通过获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控，使得针对直拉单晶工艺，自动确定当前所处的工艺节点，并预测后续的工艺节点的开始时间，以便据此对直拉单晶的工艺节点进行管控，实现了符合直拉单晶工艺特点的数字化、网络化、智能化的管控，避免人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

参照图3，示出了本发明的一种工艺节点管控方法实施例的步骤流程图，具体可以包括如下步骤：

步骤201，获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息。

步骤202，根据所述运行信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点。

在本发明实施例中，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时。

合炉追踪节点包括从停炉开始到抽空开始细分的多个工艺子节点，例如：因为拆炉开始为上一炉结束和下一炉开始的关键工步，要进行拆炉及热场清理，为手动工步，耗时较长，因此设立一个工艺子节点。

首次等径节点包括本炉抽空开始到本炉第一次等径的多个工艺子节点，例如，升温、熔料、加料、打埚转等多个工艺子节点。

加料等径节点包括从中控系统自动叫料任务开始到进入等径的多个工艺子节点，可对中途的送料、取棒、加料开始、加料结束等工艺子节点进行追踪，并对未开始的工艺子节点，根据各个工艺子节点的标准工时，预测后续工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。已完成的节点可及时确定工时浪费的情况，对未来的节点，可以预测预计开始时间，并进行节点追踪。

不加料等径节点为拉晶过程中产生的异常，包括多个工艺子节点。例如，如，放肩放断线切手动，再次进行调温、引晶、放肩等工艺子节点，便于生产及时了解未进入等径的原因，并进行分析，分析人为原因还是系统参数设置原因。

在本发明实施例中，对于一个直拉单晶设备而言，根据运行信息和预设信息，先确定当前所处的工艺节点和工艺子节点。例如，当直拉单晶设备当前的一种或多种运行信息与合炉追踪节点下的某个工艺子节点的预设信息相匹配时，则确定当前所处的工艺节点为合炉追踪节点，工艺子节点为该工艺子节点。

在本发明的一种可选实施例中，运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。

其中，实时数据包括从直拉单晶设备采集的功率、剩料等，或者其他任意适用的数据，本发明实施例对此不做限制。硬件信息包括热场尺寸、满埚料、坩埚装料等，或者其他任意适用的信息，本发明实施例对此不做限制。

在一个工艺子节点中需要工作人员完成一个或多个操作任务。当工作人员完成一个工艺子节点的每个操作任务后，才可以进入下一个工艺子节点。操作任务的实时状态用于描述当前操作任务的状态。操作任务的操作信息包括工作人员在完成操作任务时提交的信息，或者其他任意适用的信息，本发明实施例对此不做限制。

工艺节点的标准数据包括针对工艺节点设定的标准要求的数据，或者其他任意适用的数据，本发明实施例对此不做限制。工艺节点的标准工时为针对工艺节点设定的标准要求的工时。

例如，如图4所示的工艺节点管控系统的示意图。数据源包括实时数据库(ScadaDB)、任务数据库(TaskDB)、任务中心(TaskCenter)，实时数据库主要用于存储各个直拉单晶设备采集的实时数据，并对实时数据根据需求进行不同的解析，任务数据库用来存储直拉单晶设备的硬件信息和中控产生的不同操作任务的操作信息，任务中心主要用于存储操作任务的实时状态，以用来解析实时产生的任务。数据准备工作，从不同数据源获取不同的数据。从前置数据集(FrontData)获取直拉单晶设备的上一个状态，上一个工艺节点和工艺子节点。从原始数据集(IngotData)获取功率、剩料、长度等参数，即实时数据，用来预估未开始的工艺节点。从分析数据集(AnalysisData)获得解析数据，即标准数据，亦用来预估未开始的工艺节点。从参数数据集(PramaData)获取各个工艺节点的标准工时。从炉台基础信息集(PullerInfoData)获取炉台硬件信息，如热场尺寸、满埚料、坩埚装料等信息，即硬件信息，用来预估停炉时间。从应答数据集(ResposeData)获取操作任务被现场应答的信息，如合炉任务，当现场完成合炉动作时，点击按钮，确认合炉已完成，可进行下一个操作任务，即操作信息。从触发数据集(TriggerData)获取各个操作任务的实时状态，筛选出符合条件的任务，如停炉备料任务，当停炉备料任务开始触发时，生成合炉追踪节点中的工艺子节点—停炉开始。

在本发明的一种可选实施例中，如图5所示的工艺节点和工艺子节点的示意图。所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。

结合直拉单晶工艺的特点和工艺节点管控的需求，本发明提出将直拉单晶工艺过程分为上述的工艺节点和工艺子节点。

步骤203，根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。

在本发明实施例中，在确定当前所处的工艺节点和工艺子节点之后，还可以根据所述运行信息和预设信息，确定后续的工艺节点和工艺子节点。例如，当前的工艺子节点为首次等径节点的熔料开始，则下一个工艺子节点是送料完成。

在本发明实施例中，除了确定后续的工艺节点和工艺子节点外，还可以确定后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。根据运行信息和预设信息，计算下一个工艺子节点的预计开始时间，针对不同的工艺子节点，计算预计开始时间的方式可以是不同的，例如，根据功率、剩料、晶棒长度等参数、以及工艺子节点的标准数据，计算出完成当前的工艺子节点还需要的时间，从而得到下一个工艺子节点的预计开始时间。预设信息包括每个工艺子节点的标准工时，叠加下一个工艺子节点的标准工时，可以推算出下下个工艺子节点的预计开始时间，以此类推，得到后续的工艺子节点的预计开始时间。

例如，如图4所示，数据计算部分分为3个模块，状态线路模块(stateroute)、操作中心模块(operationcenter)、常用算法模块(savemethod)。其中，状态线路模块用于生成当前的工艺节点及其当前的工艺子节点，如首次等径及其工艺子节点抽空开始、送料开始、熔料完成等。操作中心模块用于预测后续的工艺节点和工艺子节点，如首次等径，当前到达工艺子节点为熔料完成，则操作中心根据标准工时预测出后续的工艺子节点如加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始等，及其预计开始时间。常用算法模块用于读取配置文件、读取SQL、写日志、写缓存等。数据存储部分，负责将计算出来的各个模块的结果数据存入ScadaDB及日志中，便于后期查询、追根溯源。前端访问部分，负责在报表系统中开发工时管控和节点预测报表，方便用户查询，管理。

例如，如图6所示的工艺节点和工艺子节点的流程示意图。图中State表示直拉单晶设备上各个状态，如调温、引晶、放肩、等径等，即实时数据。ZK013为熔送料任务；ZK035、ZK038、ZK040为断线加料、收尾加料、提前加料任务；ZK003为合炉拆清装任务；ZK005为吸送料任务；即实时状态。Stepno表示自定义工步状态，来自于解析数据，也是实时数据。

中控任务指从中控发出去的操作任务，操作任务即把整个单晶制造的工艺流程梳理成若干个操作任务，如停炉备料、吸送料任务等。

合炉追踪节点中，当一个直拉单晶设备的ZK003＝参数1，直拉单晶设备进入停炉开始的工艺子节点；当ZK003＝参数2，直拉单晶设备进入拆炉开始的工艺子节点；若ZK003＝参数3，直拉单晶设备进入装炉完成的工艺子节点；当ZK005＝参数4，直拉单晶设备进入合炉卫生清理的工艺子节点，ZK005＝参数5，直拉单晶设备进入送料完成的工艺子节点，当State＝参数6，直拉单晶设备进入抽空开始的工艺子节点，本工艺节点结束。

首次等径节点中，当State＝参数7，直拉单晶设备进入抽空开始的工艺子节点；当State＝参数8，直拉单晶设备进入熔料开始的工艺子节点；当一个直拉单晶设备的ZK013＝参数9，直拉单晶设备进入送料完成的工艺子节点；当Stepno＝参数10，直拉单晶设备进入加料开始的工艺子节点；若Stepno＝参数11，直拉单晶设备进入加料结束的工艺子节点；当埚转>参数12，直拉单晶设备进入打埚转的工艺子节点；当State＝参数13，直拉单晶设备进入引晶开始的工艺子节点；当state＝参数14，直拉单晶设备进入放肩开始的工艺子节点；当state≠参数14，直拉单晶设备进入切手动的工艺子节点；当state≠参数15，直拉单晶设备进入放断的工艺子节点；当state＝参数14，直拉单晶设备进入等径开始的工艺子节点；本工艺节点结束。

加料等径节点中，当ZK035/ZK038/ZK040＝加料，直拉单晶设备进入任务号35/38/40的工艺子节点；当晶重<参数16，直拉单晶设备进入取棒开始的工艺子节点；当一个直拉单晶设备的ZK035/ZK038/ZK040＝参数1，直拉单晶设备进入送料完成的工艺子节点；当Stepno＝参数18，直拉单晶设备进入加料开始的工艺子节点；若Stepno＝参数19，直拉单晶设备进入加料结束的工艺子节点；当埚转>参数20，直拉单晶设备进入打埚转的工艺子节点；当State＝参数21，直拉单晶设备进入引晶开始的工艺子节点；当state＝参数22，直拉单晶设备进入放肩开始的工艺子节点；当state≠参数22，直拉单晶设备进入切手动的工艺子节点；当state≠参数23，直拉单晶设备进入放断的工艺子节点；当state＝参数23，直拉单晶设备进入等径开始的工艺子节点；本工艺节点结束。

不加料等径节点中，当ZK035/ZK038/ZK040＝不加料，State＝20，直拉单晶设备进入提出开始/回熔开始的工艺子节点；当State＝参数24，直拉单晶设备进入引晶开始的工艺子节点；当state＝参数25，直拉单晶设备进入放肩开始的工艺子节点；当state≠参数25，直拉单晶设备进入切手动的工艺子节点；当state≠参数26，直拉单晶设备进入放断的工艺子节点；当state＝参数26，直拉单晶设备进入等径开始的工艺子节点；本工艺节点结束。

步骤204，根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

在本发明实施例中，除了对工艺节点进行管控外，还可以对工艺子节点进行管控，具体实现方式可以参见对工艺节点进行管控的方式，此处不另赘述。

在本发明的一种可选实施例中，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控的一种具体实现方式中，包括：根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

根据不同工作人员的完成情况和未完成情况，可以对工作进度进行管理和控制，以便保障按期完成目标的进度，并且还可以对不同工作人员的工作量进行管理和控制，以便合理安排工作人员的工作量。

如图7所示的完成情况和未完成情况的示意图，输入制定目标时间和查询时间范围，以得到目标时间段。可查询出在此目标时间段内，工艺节点进入等径的直拉单晶设备的数量，工艺节点进入合炉的直拉单晶设备的数量。点击图7中的等径目标，出现各个工作人员对于等径目标的完成情况和未完成情况，点击图7中的合炉目标，出现各个工作人员对于合炉目标的完成情况和未完成情况。据此可推断今日的等径/合炉目标是否可以达成，并可根据等径情况预估今日的产量，以便对工作人员的工作进度进行管控，对工作量进行合理安排等。点击目标、完成、未完成对应的数字，可出现当前工艺节点，以及历史工艺节点影响的异常工时等更加详细的情况，如图8所示完成情况和未完成情况的详细情况的示意图。

在本发明的一种可选实施例中，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控的一种具体实现方式中，包括：针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

如图9所示的直拉单晶设备所有工艺节点的完成情况的示意图。点击跳转明细，可查看每个直拉单晶设备所有工艺节点的完成情况，以便及时发现问题。

依据本发明实施例，通过获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及各个工艺节点的预设工时；其中，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点包括从停炉开始到抽空开始的多个工艺子节点，所述首次等径节点包括从抽空开始到第一次等径开始的多个工艺子节点，所述加料等径节点包括从叫料开始到等径开始的多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括从不加料任务开始到等径开始的多个工艺子节点，根据所述运行信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点，根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间，根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，以及后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控，使得针对直拉单晶工艺，自动确定当前所处的工艺节点，并预测后续的工艺节点的开始时间，以便据此对直拉单晶的工艺节点进行管控，实现了符合直拉单晶工艺特点的数字化、网络化、智能化的管控，避免人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

参照图10，示出了本发明的一种工艺节点管控装置实施例的结构框图，具体可以包括如下模块：

信息获取模块301，用于获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；

节点确定模块302，用于根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；

节点管控模块303，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

可选地，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；

所述节点确定模块包括：

第一节点确定子模块，用于根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点；

第二节点确定子模块，用于根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。

可选地，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。

可选地，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。

可选地，所述节点管控模块包括：

设备显示子模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；

第一情况显示子模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；

第一节点管控子模块，用于根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述节点管控模块包括：

第二情况显示子模块，用于针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；

第二节点管控子模块，用于根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

依据本发明实施例，通过获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及各个工艺节点的预设工时；其中，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点包括从停炉开始到抽空开始的多个工艺子节点，所述首次等径节点包括从抽空开始到第一次等径开始的多个工艺子节点，所述加料等径节点包括从叫料开始到等径开始的多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括从不加料任务开始到等径开始的多个工艺子节点，根据所述运行信息和预设工时，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，以及后续的工艺节点的预计开始时间，根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，以及后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控，使得针对直拉单晶工艺，自动确定当前所处的工艺节点，并预测后续的工艺节点的开始时间，以便据此对直拉单晶的工艺节点进行管控，实现了符合直拉单晶工艺特点的数字化、网络化、智能化的管控，避免人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

图11是根据一示例性实施例示出的一种用于转肩启动的电子设备400的结构框图。例如，电子设备400可以是移动电话，计算机，数字广播终端，消息收发设备，游戏控制台，平板设备，医疗设备，健身设备，个人数字助理等。

参照图11，电子设备400可以包括以下一个或多个组件：处理组件402，存储器404，电源组件406，多媒体组件408，音频组件410，输入/输出(I/O)的接口412，传感器组件414，以及通信组件416。

处理组件402通常控制电子设备400的整体操作，诸如与显示，电话呼叫，数据通信，相机操作和记录操作相关联的操作。处理组件402可以包括一个或多个处理器420来执行指令，以完成上述的工艺节点管控方法的全部或部分步骤。此外，处理组件402可以包括一个或多个模块，便于处理组件402和其他组件之间的交互。例如，处理部件402可以包括多媒体模块，以方便多媒体组件408和处理组件402之间的交互。

存储器404被配置为存储各种类型的数据以支持在设备400的操作。这些数据的示例包括用于在电子设备400上操作的任何应用程序或方法的指令，联系人数据，电话簿数据，消息，图片，视频等。存储器404可以由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器(SRAM)，电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)，可擦除可编程只读存储器(EPROM)，可编程只读存储器(PROM)，只读存储器(ROM)，磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。

电力组件404为电子设备400的各种组件提供电力。电力组件404可以包括电源管理系统，一个或多个电源，及其他与为电子设备400生成、管理和分配电力相关联的组件。

多媒体组件408包括在所述电子设备400和用户之间的提供一个输出接口的屏幕。在一些实施例中，屏幕可以包括液晶显示器(LCD)和触摸面板(TP)。如果屏幕包括触摸面板，屏幕可以被实现为触摸屏，以接收来自用户的输入信号。触摸面板包括一个或多个触摸传感器以感测触摸、滑动和触摸面板上的手势。所述触摸传感器可以不仅感测触摸或滑动动作的边界，而且还检测与所述触摸或滑动操作相关的持续时间和压力。在一些实施例中，多媒体组件408包括一个前置摄像头和/或后置摄像头。当电子设备400处于操作模式，如拍摄模式或视频模式时，前置摄像头和/或后置摄像头可以接收外部的多媒体数据。每个前置摄像头和后置摄像头可以是一个固定的光学透镜系统或具有焦距和光学变焦能力。

音频组件410被配置为输出和/或输入音频信号。例如，音频组件410包括一个麦克风(MIC)，当电子设备400处于操作模式，如呼叫模式、记录模式和语音识别模式时，麦克风被配置为接收外部音频信号。所接收的音频信号可以被进一步存储在存储器404或经由通信组件416发送。在一些实施例中，音频组件410还包括一个扬声器，用于输出音频信号。

I/O接口412为处理组件402和外围接口模块之间提供接口，上述外围接口模块可以是键盘，点击轮，按钮等。这些按钮可包括但不限于：主页按钮、音量按钮、启动按钮和锁定按钮。

传感器组件414包括一个或多个传感器，用于为电子设备400提供各个方面的状态评估。例如，传感器组件414可以检测到设备400的打开/关闭状态，组件的相对定位，例如所述组件为电子设备400的显示器和小键盘，传感器组件414还可以检测电子设备400或电子设备400一个组件的位置改变，用户与电子设备400接触的存在或不存在，电子设备400方位或加速/减速和电子设备400的温度变化。传感器组件414可以包括接近传感器，被配置用来在没有任何的物理接触时检测附近物体的存在。传感器组件414还可以包括光传感器，如CMOS或CCD图像传感器，用于在成像应用中使用。在一些实施例中，该传感器组件414还可以包括加速度传感器，陀螺仪传感器，磁传感器，压力传感器或温度传感器。

通信组件416被配置为便于电子设备400和其他设备之间有线或无线方式的通信。电子设备400可以接入基于通信标准的无线网络，如WiFi，2G或3G，或它们的组合。在一个示例性实施例中，通信部件414经由广播信道接收来自外部广播管理系统的广播信号或广播相关信息。在一个示例性实施例中，所述通信部件414还包括近场通信(NFC)模块，以促进短程通信。例如，在NFC模块可基于射频识别(RFID)技术，红外数据协会(IrDA)技术，超宽带(UWB)技术，蓝牙(BT)技术和其他技术来实现。

在示例性实施例中，电子设备400可以被一个或多个应用专用集成电路(ASIC)、数字信号处理器(DSP)、数字信号处理设备(DSPD)、可编程逻辑器件(PLD)、现场可编程门阵列(FPGA)、控制器、微控制器、微处理器或其他电子元件实现，用于执行上述工艺节点管控方法。

在示例性实施例中，还提供了一种包括指令的非临时性计算机可读存储介质，例如包括指令的存储器404，上述指令可由电子设备400的处理器420执行以完成上述工艺节点管控方法。例如，所述非临时性计算机可读存储介质可以是ROM、随机存取存储器(RAM)、CD-ROM、磁带、软盘和光数据存储设备等。

一种非临时性计算机可读存储介质，当所述存储介质中的指令由终端的处理器执行时，使得终端能够执行一种工艺节点管控方法，所述方法包括：

获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；

根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

可选地，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；

所述根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间包括：

根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点；

根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。

可选地，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。

可选地，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。

可选地，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；

根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

可选地，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：

针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；

根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以预测方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种工艺节点管控方法和装置、一种电子设备以及一种可读储存介质，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种工艺节点管控方法，其特征在于，包括：

获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；

根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；

所述根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间包括：

根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点；

根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；

根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；

根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：

针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；

根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

8.一种工艺节点管控装置，其特征在于，包括：

信息获取模块，用于获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；

节点确定模块，用于根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；

节点管控模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。

9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器、通信接口、存储器和通信总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过通信总线完成相互间的通信；

存储器，用于存放计算机程序；

处理器，用于执行存储器上所存放的程序时，实现权利要求1-7任一所述的方法步骤。

10.一种可读存储介质，其特征在于，当所述存储介质中的指令由电子设备的处理器执行时，使得电子设备能够执行如方法权利要求1-7中一个或多个所述的工艺节点管控方法。