CN117007187A - 基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法 - Google Patents
基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117007187A CN117007187A CN202310908263.1A CN202310908263A CN117007187A CN 117007187 A CN117007187 A CN 117007187A CN 202310908263 A CN202310908263 A CN 202310908263A CN 117007187 A CN117007187 A CN 117007187A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- structured light
- raman
- imaging
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000003332 Raman imaging Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 238000013135 deep learning Methods 0.000 claims description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 5
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000010870 STED microscopy Methods 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010869 super-resolution microscopy Methods 0.000 description 2
- 241000863480 Vinca Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4406—Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2823—Imaging spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4412—Scattering spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N21/658—Raman scattering enhancement Raman, e.g. surface plasmons
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
一种基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法，装置包括结构光照明模块、显微成像系统模块、单次曝光光谱成像系统模块。本发明采用投影式结构光照明，并基于稀疏约束鬼成像光谱相机，可单次曝光获得光谱信息，能够在提高拉曼成像的空间分辨率的同时提高成像的时间分辨率，实现快速、超分辨显微拉曼成像。
Description
技术领域
本发明涉及稀疏约束的鬼成像，具体涉及一种基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法。
背景技术
拉曼光谱作为一种无损、无标记的化学信息获取方法，在生命科学、医药学、材料学等领域有广泛应用。传统的拉曼成像是通过扫描的方式(点扫描或线扫描)获取拉曼光谱，因此时间分辨率较低。近年来，利用拉曼光谱的稀疏性，Soldevila等人(参见文献：F.Soldevila,et al.Fast compressive Raman bio-imaging via matrixcompletion.Optica 6,341-346(2019))借助压缩感知的拉曼成像进一步提高了拉曼成像速度。更快的拉曼成像方式采用宽场成像，需要借助特殊的光学元件，例如厦门大学的王磊研究组(参见文献：L.Wang,et al.Dynamic Raman imaging system with high spatialand temporal resolution.Review of Scientific Instruments 88(9),095110(2017))利用可调滤波器来实现宽场拉曼成像。
除了成像速度(时间分辨率)，空间分辨率也备受关注，超分辨拉曼成像是通过将传统的光学超分辨显微技术，包括受激发射损耗显微镜(STED)、单分子定位显微镜(SMLM)、结构光照明显微镜(SIM)等，与超光谱拉曼成像相结合，从而提高拉曼成像的空间分辨率，例如中国科学院长春应用化学研究所的王宏达等人将结构光照明与拉曼技术相结合，提出了基于结构光照明的拉曼超分辨显微成像系统及成像方法(参见专利号：CN108107034A)。
近年来，中科院上海光机所的韩申生研究组提出的基于随机光栅的压缩感知宽波段高光谱成像系统(专利号：ZL201410348475.X)能够单次曝光获取目标空间光谱三维图像。上海高等研究院的王中阳研究组将该技术与STORM技术相结合，提出了基于稀疏约束的快速随机光学重构成像系统及方法(专利号：CN105044897A)。
发明内容
本发明的目的在于提出一种基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法，利用基于稀疏约束鬼成像光谱相机的可单次曝光获取光谱信息的优势，并结合结构光照明显微成像能提高成像空间分辨率及其宽场成像特性，以实现快速、宽场超分辨拉曼显微成像。
本发明的技术解决方案如下：
一种基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置，包括结构光照明模块、显微成像系统模块、单次曝光光谱成像系统模块，所述的结构光照明模块包括光源、结构光调制模块、准直镜；所述的显微成像系统模块包括二向色镜、显微物镜、平移台、多通道窄带滤波片；所述的单次曝光光谱成像系统模块包括光场相位随机调制模块、套筒透镜、面阵探测器；所述的光源输出的光束入射到所述的结构光调制模块后，经过所述的准直镜、二向色镜、显微物镜后投影至该显微物镜的焦平面并产生结构光，该结构光照明位于所述的平移台上的样品，激发产生荧光、弹性散射和非弹性散射，被所述的显微物镜反向收集，由所述的二向色镜反射，然后经所述的多通道窄带滤波片滤除后，所述的荧光和拉曼散射再经所述的光场相位随机调制模块调制、经所述的套筒透镜后，由所述的面阵探测器记录散斑图样。
所述的光源可以是不同波长的激光器，或多波长LED光源。
所述的结构光调制模块用于产生结构光，产生结构光的方式可以是干涉法或投影式。
所述的结构光调制模块可以是数字微镜器件，在数字微镜器件上加载二值光栅图样，通过投影或成像的方式在物镜的焦平面产生结构光。
所述的结构光调制模块也可以是空间光调制器结合滤波的方式，利用衍射±1级两束相干光干涉，在物镜焦平面产生结构光。
所述的结构光调制模块可以是物理光栅。
所述的样品为需要鉴别的物质。
所述的光场相位随机调制模块为随机相位板或空间光调制器。
利用上述基于结构光照明的显微拉曼鬼成像装置进行成像的方法，该方法包括如下三个阶段：
1)第一阶段，标定阶段，具体步骤如下：
①首先进行空间维度的标定：将标定点源(例如荧光小球)放在所述的平移台上，该平移台控制标定点源的空间位置，选用波长为λ的光源作为照明光，该照明光经所述的二向色镜、显微物镜后激发标定点源产生荧光，该荧光再次经显微物镜、二向色镜、光场相位随机调制模块和套筒透镜后形成的散斑被所述的面阵探测器接收，然后控制平移台等间距移动(即标定点源等间距移动)，记录所移动的位置，所述的面阵探测器探测的散斑为I(x,y,λ)，其中，x，y是所述的标定点源移动的空间位置坐标，x＝1,…M，y＝1,…N，M、N分别为标定散斑矩阵的行数和列数；λ为标定点源对应的波长；
②进行光谱维度的标定，标定波长覆盖拉曼成像的谱宽，选用另外一个波长的照明光激发标定点源，依次记录该波长下标定点源在所有空间位置点处对应的散斑，以此类推，以同样的方式，进行其他波长的标定，得到所有空间位置、所有波长的标定散斑，即获取系统的响应；
2)第二阶段，成像阶段，具体步骤如下：
①结构光产生：设计合适空间周期的光栅图样加载在所述的结构光调制模块(2)上，投影至所述的显微物镜(5)的焦平面产生正弦条纹的结构光，然后以此为基础产生其他8幅同频率差、同相位差的结构光图样；
②在所述的平移台(6)上设置样品，所述的正弦条纹的结构光激发样品产生的荧光被所述的显微物镜(5)反向收集、由二向色镜(4)反射，经所述的多通道窄带滤光片(7)后，被所述的空间随机相位器(8)调制，再采用合适的套筒透镜(9)进行缩放，所述的面阵探测器(10)记录散斑，通过9次结构光照明得到的探测散斑按顺序排列，得到成像探测散斑It；
3)第三阶段：重建阶段，具体步骤如下：
①按照标定点空间位置和光谱顺序，将第一阶段中的每一幅标定散斑矩阵拉成一列，组成测量矩阵A的一列，将第二阶段所述的结构光照明下的成像探测散斑It拉成一列形成测量信号y，通过压缩感知、深度学习等图像重建算法重建得到样品的光谱图像x：
其中，||·||1和||·||2分别为l1范数和l2范数，τ为权重系数；
②从所述的光谱图像x中的相同空间位置处沿波长方向提取数据，即可得到样品的拉曼峰。
本发明的技术效果：
1、本发明基于稀疏约束鬼成像光谱相机，可单次曝光获得光谱信息，相比传统拉曼成像(扫描式)，本发明实现拉曼信号收集的效率更高；相比宽场拉曼成像，本发明不需要不停地变换滤光片的透过波段，因此本发明拉曼成像的时间分辨率有较大提升，成像速度更快；
2、本发明采用投影式结构光照明，相比干涉式结构光照明，系统更简单、紧凑，同时避免了相干光干涉时，偏振方向的不同对结构光条纹对比度的影响以及激光散斑的不利影响；
3、本发明采用结构光照明，相比传统的稀疏约束鬼成像，能够进一步提高成像的空间分辨率；
附图说明
图1是拉曼成像数据及拉曼光谱示意图
图2是本发明基于结构光照明的显微拉曼鬼成像装置实施例的结构示意图
图中：
1-照明光源2-数字微镜器件3-准直镜4-二向色镜5-显微物镜6-平移台7-多通道窄带滤光片8-光场相位随机调制模块9-套筒透镜10-面阵探测器
具体实施方式
下面结合附图和实施例来说明本发明，但不应依次限制本发明的保护范围。
实施例
本发明基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置实施例的结构如2所示，由图可见，本发明基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置实施例，包括结构光照明模块、显微成像系统模块、单次曝光光谱成像系统模块，所述的结构光照明模块包括光源1、结构光调制模块2、准直镜3；所述的显微成像系统模块包括二向色镜4、显微物镜5、平移台6、多通道窄带滤波片7；所述的单次曝光光谱成像系统模块包括光场相位随机调制模块8、套筒透镜9、面阵探测器10；所述的光源1输出的光束入射到所述的结构光调制模块2后，经过所述的准直镜3、二向色镜4、显微物镜5后投影至该显微物镜的焦平面并产生结构光，该结构光照明位于所述的平移台6上的样品，激发产生荧光、弹性散射和非弹性散射，被所述的显微物镜5反向收集，由所述的二向色镜4反射，然后经所述的多通道窄带滤波片7滤除后，所述的荧光和拉曼散射再经所述的光场相位随机调制模块8调制、经所述的套筒透镜9后，由所述的面阵探测器10记录散斑图样。本实施例中：
所述的光源1为照明光源；所述的结构光调制模块2为数字微镜器件2，在数字微镜器件2上加载二值光栅图样，通过投影或成像的方式在物镜的焦平面产生结构光；所述的窄带滤波片7为多通道窄带滤波片7。
所述的光源模块可以是不同波长的激光器，也可以是多波长LED光源。
所述的样品为需要鉴别的物质。
所述的光场相位随机调制模块为随机相位板或者空间光调制器加载随机相位。
利用上述基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置进行稀疏约束显微拉曼鬼成像的方法，包括如下三个阶段：
1)第一阶段，标定阶段，具体步骤如下：
①首先进行空间维度的标定，将标定点源(例如荧光小球)放在所述平移台6上，所述的平移台6可以控制荧光小球的空间位置，用与荧光小球激发波长对应的波长的光源作为照明光，照明光1经多二向色镜4、显微物镜5后激发荧光小球产生荧光，荧光再次经显微物镜5、二向色镜4、光场相位随机调制模块8和套筒透镜9后，形成的散斑被面阵探测器10接收，然后控制平移台等间距移动(荧光小球随之而动)，记录所移动位置处，用面阵探测器记录散斑I(x,y,λ)，其中x,y是荧光小球移动的空间位置坐标，x＝1,…M,y＝1,…N，(M、N为标定散斑矩阵行数和列数)；λ为荧光小球对应的激发波长。
②进行光谱维度标定，标定波长覆盖拉曼成像的谱宽，选用另一激发波长的荧光小球作为标定点源，并用与该荧光小球激发波长对应的光源1照明，依次记录该波长下荧光小球在所有空间位置点对应的散斑，以此类推，以同样的方式，进行其他波长荧光小球的标定，得到所有空间位置、所有波长的标定散斑。即可获取系统的响应。
2)第二阶段，成像阶段，具体步骤如下：
①结构光产生：本发明采用投影式产生结构光，利用数字微镜器件2加载光栅图样，鉴于数字微镜器件2是二值化器件，想要得到正弦或余弦形式的结构光，还需要通过滤波方式滤出所需的频率。任何周期性条纹(二值)都可通过傅里叶级数展开成一系列不同频率的正弦和余弦函数的组合：
其中，Ω是空间频率，n取奇数；
借助光学系统本身的低通特性即可实现滤波，只允许基频通过系统，从而将二值条纹转化为正弦图样：
首先根据成像系统的分辨率(显微物镜5的数值孔径)可知成像系统的截止频率，然后在数字微镜器件2上加载空间频率为系统的截止频率的二值图样，此二值图样通过光学系统低通滤波后，只有基频正弦图样通过光学系统，其高次谐波被滤除，即可实现二值图样到同频率的正弦条纹的转变。以同样的方式产生其他8幅同频率差、同相位差的正弦结构光图样。
②上述正弦条纹的结构光激发样品，产生的荧光被显微物镜5反向收集、由二向色镜4反射、经滤光片7后的光被空间随机相位器8调制、采用合适的套筒透镜9进行缩放，最后面阵探测10记录散斑，9次结构光照明得到的探测散斑按顺序排列，得到It。
3)第三阶段：重建阶段，具体步骤如下：
①按照标定点空间位置和光谱顺序，将第一阶段中的每一幅标定散斑矩阵拉成一列，组成测量矩阵A的一列，将第二阶段所述的结构光照明下的成像探测散斑It拉成一列形成测量信号y,通过压缩感知算法重建得到样品的图像x：
其中，||·||1和||·||2分别为l1范数和l2范数，τ为权重系数；
②从所述的光谱图像x中的相同空间位置处沿波长方向提取数据，即可得到样品的拉曼峰,如图1所示。
实验表明，本发明采用投影式结构光照明，并基于稀疏约束鬼成像光谱相机，可单次曝光获得光谱信息，能够在提高拉曼成像的空间分辨率的同时提高成像的时间分辨率，实现快速、超分辨显微拉曼成像。
Claims (6)
1.一种基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置，包括结构光照明模块、显微成像系统模块、单次曝光光谱成像系统模块，所述的结构光照明模块包括光源(1)、结构光调制模块(2)、准直镜(3)；所述的显微成像系统模块包括二向色镜(4)、显微物镜(5)、平移台(6)、多通道窄带滤波片(7)；所述的单次曝光光谱成像系统模块包括光场相位随机调制模块(8)、套筒透镜(9)、面阵探测器(10)；所述的光源(1)输出的光束入射到所述的结构光调制模块(2)后，经过所述的准直镜(3)、二向色镜(4)、显微物镜(5)后投影至该显微物镜的焦平面并产生结构光，该结构光照明位于所述的平移台(6)上的样品，激发产生荧光、弹性散射和非弹性散射，被所述的显微物镜(5)反向收集，由所述的二向色镜(4)反射，然后经所述的多通道窄带滤波片(7)滤除后，所述的荧光和拉曼散射再经所述的光场相位随机调制模块(8)调制、经所述的套筒透镜(9)后，由所述的面阵探测器(10)记录散斑图样。
2.根据权利要求1所述的所述的基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置，其特征在于，所述的光源(1)是不同波长的激光器，或多波长LED光源。
3.根据权利要求1所述的所述的基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置，其特征在于，所述的结构光调制模块(2)用于产生结构光，产生结构光的方式可以是干涉法或投影式，所述的结构光调制模块(2)是数字微镜器件、空间光调制器结合空间滤波器或物理光栅。
4.根据权利要求1所述的所述的基于结构光照明的显微拉曼鬼成像装置，其特征在于，所述的样品为需要鉴别的物质。
5.根据权利要求1所述的所述的基于结构光照明的显微拉曼鬼成像装置，其特征在于，所述的光场相位随机调制模块(8)为随机相位板或空间光调制器。
6.利用权利要求1-5任一项所述的基于结构光照明的显微拉曼鬼成像装置进行成像的方法，其特征在于，该方法包括如下三个阶段：
1)第一阶段，标定阶段，具体步骤如下：
①首先进行空间维度的标定：将标定点源放在所述的平移台(6)上，该平移台(6)控制标定点源的空间位置，选用波长为λ的光源(1)作为照明光，该照明光经所述的二向色镜(4)、显微物镜(5)后激发标定点源产生荧光，该荧光再次经显微物镜(5)、二向色镜(4)、光场相位随机调制模块(8)和套筒透镜(9)后形成的散斑被所述的面阵探测器(10)接收，然后控制平移台(6)等间距移动(即标定点源等间距移动)，记录所移动的位置，所述的面阵探测器(10)探测的散斑为I(x,y,λ)，其中，x，y是所述的标定点源移动的空间位置坐标，x＝1,…M，y＝1,…N，M、N分别为标定散斑矩阵的行数和列数；λ为标定点源对应的波长；
②进行光谱维度的标定，标定波长覆盖拉曼成像的谱宽，选用另外一个波长的照明光激发标定点源，依次记录该波长下标定点源在所有空间位置点处对应的散斑，以此类推，以同样的方式，进行其他波长的标定，得到所有空间位置、所有波长的标定散斑，即获取系统的响应；
2)第二阶段，成像阶段，具体步骤如下：
①结构光产生：设计合适空间周期的光栅图样加载在所述的结构光调制模块(2)上，投影至所述的显微物镜(5)的焦平面产生正弦条纹的结构光，然后以此为基础产生其他8幅同频率差、同相位差的结构光图样；
②在所述的平移台(6)上设置样品，所述的正弦条纹的结构光激发样品产生的荧光被所述的显微物镜(5)反向收集、由二向色镜(4)反射，经所述的多通道窄带滤光片(7)后，被所述的空间随机相位器(8)调制，再采用合适的套筒透镜(9)进行缩放，所述的面阵探测器(10)记录散斑，通过9次结构光照明得到的探测散斑按顺序排列，得到成像探测散斑It；
3)第三阶段：重建阶段，具体步骤如下：
①按照标定点空间位置和光谱顺序，将第一阶段中的每一幅标定散斑矩阵拉成一列，组成测量矩阵A的一列，将第二阶段所述的结构光照明下所述的成像探测散斑It拉成一列形成测量信号y，通过压缩感知、深度学习等图像重建算法重建得到样品的光谱图像x：
其中，||·||1和||·||2分别为l1范数和l2范数，τ为权重系数；
②从所述的光谱图像x中的相同空间位置处沿波长方向提取数据，即可得到样品的拉曼峰。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310908263.1A CN117007187A (zh) | 2023-07-24 | 2023-07-24 | 基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310908263.1A CN117007187A (zh) | 2023-07-24 | 2023-07-24 | 基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117007187A true CN117007187A (zh) | 2023-11-07 |
Family
ID=88573813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310908263.1A Pending CN117007187A (zh) | 2023-07-24 | 2023-07-24 | 基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117007187A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117723490A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-19 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 | 一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路 |
-
2023
- 2023-07-24 CN CN202310908263.1A patent/CN117007187A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117723490A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-19 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 | 一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路 |
| CN117723490B (zh) * | 2024-02-05 | 2024-04-16 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 | 一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7339170B2 (en) | Optical encoding and reconstruction | |
| JP5852305B2 (ja) | 分解能の向上した顕微鏡法および顕微鏡 | |
| US8019136B2 (en) | Optical sectioning microscopy | |
| CN110132910B (zh) | 基于光场多维信息融合显微超分辨成像装置和成像方法 | |
| JP5120873B2 (ja) | 分光計測装置及び分光計測方法 | |
| CN108121059B (zh) | 一种基于结构光照明的sted并行显微成像系统 | |
| CN110954523B (zh) | 一种双光子扫描结构光显微成像方法及装置 | |
| JP2016530567A (ja) | 可変照明フーリエタイコグラフィー撮像装置、システム、及び方法 | |
| US11231323B2 (en) | Time-resolved hyper-spectral single-pixel imaging | |
| JPH11249023A (ja) | 共焦点分光システムおよび分光方法 | |
| US20070268583A1 (en) | Method and microscope for high spatial resolution examination of samples | |
| CN108181235B (zh) | 一种基于均匀结构光照明的sted并行显微成像系统 | |
| US20120267515A1 (en) | Talbot-Illuminated Imaging Devices, Systems, and Methods for Focal Plane Tuning | |
| CN112798564B (zh) | 随机光学重建与结构光照明复合超分辨成像系统 | |
| CN110793633B (zh) | 基于集束光纤的单像元多光谱计算成像系统及成像方法 | |
| US10156522B2 (en) | Parallel acquisition of spectral signals from a 2-D laser beam array | |
| CN117007187A (zh) | 基于结构光照明的宽谱段显微拉曼鬼成像装置和成像方法 | |
| CN114967092A (zh) | 基于压缩感知的超高速结构光照明超分辨显微成像装置 | |
| RU2579640C1 (ru) | Конфокальный спектроанализатор изображений | |
| NL2023860B1 (en) | Pattern activated structured illumination localization microscopy | |
| KR101888924B1 (ko) | 디지털 마이크로미러 소자와 시간 복합 구조화 조명을 이용한 구조화 조명 현미경 시스템 및 그 동작 방법 | |
| EP3190394A2 (en) | System and method for spectral imaging | |
| CN114324245B (zh) | 基于部分相干结构光照明的定量相位显微装置和方法 | |
| CN214374304U (zh) | 一种复合超分辨成像装置 | |
| CN212031304U (zh) | 基于光场耦合器件的新型拉曼光谱仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |