CN116990237A - 一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置 - Google Patents

一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置 Download PDF

Info

Publication number
CN116990237A
CN116990237A CN202311246606.9A CN202311246606A CN116990237A CN 116990237 A CN116990237 A CN 116990237A CN 202311246606 A CN202311246606 A CN 202311246606A CN 116990237 A CN116990237 A CN 116990237A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
beam splitter
thin film
terahertz
large depth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202311246606.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN116990237B (zh
Inventor
刘建军
郭东亮
陈大兵
孙磊
杨立恒
肖鹏
黄强
何光华
李鸿泽
齐金龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd
Electric Power Research Institute of State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd
Original Assignee
State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd
Electric Power Research Institute of State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd, Electric Power Research Institute of State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd filed Critical State Grid Jiangsu Electric Power Co Ltd
Priority to CN202311246606.9A priority Critical patent/CN116990237B/zh
Publication of CN116990237A publication Critical patent/CN116990237A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116990237B publication Critical patent/CN116990237B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，所述发射端发射的光束经过第一透镜后变为平行光束，然后经过薄膜分束器分光后，透射光束进入第二透镜，被聚焦于待测样品表面，其中携带样品信息的反射信号原路返回经过第二透镜入射至薄膜分束器上，一部分光束在薄膜分束器下表面被反射，经过第三透镜聚焦于探测器的探测区域，另外一部分光束透过薄膜分束器下表面而被上表面反射，经过第三透镜聚焦于探测器的探测区域。本发明根据太赫兹波透过薄膜分束器及大焦距光学透镜的传播特性，实现窄带宽频域的增强式大景深稳定成像，大大提升了光路系统的稳定性，提高了太赫兹技术在无损检测领域的实用性。

Description

一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置
技术领域
本发明涉及一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，属于太赫兹无损检测技术领域。
背景技术
随着太赫兹辐射源、探测器以及系统技术的进步，基于太赫兹时域光谱技术的无损检测表现出广阔的应用前景。太赫兹波是对介于红外与毫米波之间的一段电磁辐射的统称，利用太赫兹波对大部分干燥、非金属、非极性材料（如泡沫、陶瓷、玻璃、树脂、涂料、橡胶和复合物等）较好的穿透能力，并结合各种成像技术，就可以对材料中的缺陷进行检测。基于太赫兹的无损检测技术广泛应用于电力、航天、汽车、医药等多个领域的材料与结构的检测，特别是高压电缆立体成像的无损探伤成为电力行业试验研究的新方向。
太赫兹波发射及接收单元作为太赫兹时域光谱检测设备的核心部件，其性能直接影响了检测成像质量。目前基于时域光谱技术的太赫兹系统广泛采用光电导太赫兹源与探测器，属于点源与单点探测器。实验室场景下，其对应的收发系统一般为8倍焦距f的透射光路或斜入射反射光路。而在无损检测的实际应用领域，通常为了保证光学系统景深及成像准确性，将其转化为了基于硅片分光的垂直入射光路。现有的太赫兹波发射及接收单元由于采用平行硅片的结构，会在探测区域形成具有固定时延的二次反射峰。二次反射峰会分走一部分太赫兹能量，降低时域信噪比，同时在太赫兹飞行时间成像中会对样品的反射峰产生干扰，增加信号处理的难度。
因此，本领域技术人员急需要解决太赫兹收发装置反射信号的干扰，时域信噪比降低的技术问题。
发明内容
目的：为了克服现有太赫兹收发光路存在的时域信噪比低、硅片二次反射峰干扰、光路调节难度大的问题，本发明提供一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置。
技术方案：为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，包括发射端、光路和接收端。
所述发射端用于发射存在发散角的光束。
所述光路包括第一透镜、薄膜分束器、第二透镜、第三透镜。
所述接收端包括探测器。
所述发射端发射的光束经过第一透镜后变为平行光束，然后经过薄膜分束器分光后，透射光束进入第二透镜，被聚焦于待测样品表面，其中携带样品信息的反射信号原路返回经过第二透镜入射至薄膜分束器上，一部分光束在薄膜分束器下表面被反射，经过第三透镜聚焦于探测器的探测区域，另外一部分光束透过薄膜分束器下表面而被上表面反射，经过第三透镜聚焦于探测器的探测区域；所述薄膜分束器的薄膜厚度根据薄膜分束器的薄膜厚度d与探测器上反射光增强的频率成分f之间的关系模型进行设定。
进一步的，所述发射端采用太赫兹源。
进一步的，所述接收端采用太赫兹探测器。
进一步的，所述薄膜分束器的薄膜厚度d与探测器上反射光增强的频率成分f之间的关系模型，计算公式如下：
；
式中，c为光速，α为光线在薄膜内的折射角，n为折射率。
进一步的，所述薄膜分束器厚度范围在5~20μm。
进一步的，所述薄膜分束器与水平面的夹角为45°。
进一步的，所述第二透镜采用焦距100~150mm的透镜。
进一步的，所述第二透镜采用焦距150mm的透镜。
进一步的，所述太赫兹源的太赫兹波段的波束能量分布符合高斯分布。
进一步的，所述薄膜分束器采用PET材质。
有益效果：本发明提供的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，利用厚度优化设计的薄膜分束器在干涉效应下增强频域上某一固定频段信号频域幅值的能力以及薄膜上下表面反射信号在时域上融合进而提升时域信噪比的特点。
进一步的，基于大焦距光学透镜可获取较大景深的特性。
本发明根据太赫兹波透过薄膜分束器及大焦距光学透镜的传播特性，实现窄带宽频域的增强式大景深稳定成像，大大提升了光路系统的稳定性，提高了太赫兹技术在无损检测领域的实用性。
附图说明
图1是本发明提出的太赫兹收发装置的光路结构示意图。
图2是光束在厚度为d的薄膜中的传播路径。
图3是增强频率随薄膜厚度及薄膜材料折射率分布关系。
图4是本发明产生干涉增强后的与未作干涉增强之前的分束效率随折射率分布曲线对比图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作更进一步的说明。
如图1所示，一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，包括发射端、光路和接收端。
所述发射端包括太赫兹源101；所述光路包括第一透镜102、薄膜分束器103、第二透镜104、第三透镜106；所述接收端包括太赫兹探测器107。
所述太赫兹源101发射的具有一定发散角的太赫兹波束经过第一透镜102后变为平行光束，然后经过薄膜分束器103分光后，透射光束进入第二透镜104，被聚焦于待测样品105表面，其中携带样品信息的反射信号原路返回经过第二透镜104入射至薄膜分束器103上，一部分光束在薄膜分束器103下表面被反射，经过第三透镜106聚焦于太赫兹探测器107的探测区域，另外一部分光束透过薄膜分束器103下表面而被上表面反射，经过第三透镜106聚焦于太赫兹探测器107的探测区域。
进一步的，一个实施例，薄膜厚度d与增强频率f之间的关系模型推导如下：
如图2所示，携带样品信息的反射信号原路返回经过第二透镜104的入射光线的入射角θ为45°，在薄膜内的折射角为α，薄膜厚度为d，折射率为n，反射光增强的频率成分为f，反射光对应的波长为λ。根据干涉原理，使得光束1与光束2发生干涉相长，则必须满足光束2在上表面反射的光程O→A→B与光束1在下表面反射的光程O→C的差为λ。
由菲涅尔折射定律可得，考虑到由光密介质至光疏介质发生半波损失，则O→A→B与O→C的光程差为/>，令/>。
如图3所示，则当光束1与光束2发生干涉相长时，薄膜分束器厚度d与增强频率f之间的关系模型，计算公式如下：
；
式中，c为光速，α为光线在薄膜内的折射角，d为薄膜厚度，n为折射率，f为增强的频率成分。
通过设定反射光频率成分的增强值，利用以上模型，选用相应厚度的薄膜分束器，当用该部分反射光频域信号进行成像时，也可增加图像信噪比。
进一步的，一个实施例，所述薄膜分束器103采用薄膜结构，厚度范围在5~20μm。
进一步的，一个实施例，所述薄膜分束器103与水平面的夹角为45°。
进一步的，一个实施例，所述第二透镜104采用焦距100~150mm的透镜，在实现大景深的同时，可以保证成像分辨率不低于3mm。
进一步的，一个实施例，所述第二透镜104采用焦距150mm的透镜。
进一步的，一个实施例，所述太赫兹源101的太赫兹波段的波束能量分布符合高斯分布，可提高太赫兹波在自由空间传输的效果。
进一步的，一个实施例，所述薄膜分束器103采用PET材质。
实施例1：
所述薄膜分束器，其上表面反射信号相对于下表面反射信号的时延，计算公式如下：
；
式中n为折射率，d为薄膜分束器的薄膜厚度。
优选的，取n=1.5，d=20μm，则时延=0.2ps，该值相较于正常太赫兹的脉冲宽度小一个数量级，因此，时域上薄膜上下表面的反射信号会融合在一起，从而避免出现二次反射峰对样品反射信号造成干扰。
实施例2：
所述薄膜分束器，由于干涉效应，薄膜厚度对应的频率成分在频域上也会被增强，当用该部分频域信号进行成像时，也可以增加图像信噪比。
所述薄膜分束器，产生干涉增强之后的分束效率同样得到增强。根据菲涅尔公式，当电磁波由薄膜分束器下表面（介质1）入射至薄膜分束器上表面（介质2），其对应的反射系数为：
；
透射系数为：
；
其中，P分量是指平行于入射面的线性偏振光，S分量是指垂直于入射面的线性偏振光。为p分量光反射系数、/>为s分量光反射系数、/>为p分量光透射系数、/>为s分量光透射系数、/>为介质1折射率、/>为介质2折射率、/>为光线在介质1中的入射角、/>为光线在介质2中的折射角。
如图4所示，在垂直入射光路中，定义当透镜与样品都对太赫兹信号没有损耗时，到达探测器的太赫兹功率与太赫兹源发射的太赫兹功率比值为分束器分束效率，则未作干涉增强之前的分束效率为，采用本发明产生干涉增强之后的分束效率为/>，可以看出有干涉增强时的分束效率要明显高于没有干涉增强时的分束效率。
实施例3:
本发明所述太赫兹收发光路采用高斯光学中的瑞利长度来表示景深，样品表面的束腰直径来表示成像分辨率，靠近样品表面的透镜焦距是影响这两者的一个重要因素，在光学产品设计与仿真软件Zemax中建立基于薄膜分束的垂直入射光学系统，改变靠近样品表面的第二透镜的焦距，得到对应的景深与成像分辨率数据，如表1所示，可以看出第二透镜焦距越大，其景深越大，但是相应的成像分辨率会降低，一般选择焦距100~150mm的透镜，在实现大景深的同时，可以保证成像分辨率不低于3mm。
表1 透镜焦距与景深、成像分辨率关系
实施例4：
一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发一体装置的使用方法，包括如下步骤：
步骤S1：以PET作为薄膜材料，厚度20μm制作薄膜分束器103。
步骤S2：靠近样品的第二透镜104焦距选择150mm。
步骤S3：组装太赫兹源、透镜、薄膜分束器、太赫兹探测器。
步骤S4：太赫兹源发射的具有一定发散角的太赫兹波束经过第一透镜102后变为平行光束，然后经过薄膜分束器分光后，透射光束进入第二透镜104，被聚焦于待测样品表面，其中携带样品信息的反射信号原路返回经过第二透镜104入射至薄膜分束器上，一部分光束在薄膜分束器下表面被反射，经过第三透镜106聚焦于太赫兹探测器的探测区域，另外一部分光束透过薄膜分束器下表面而被上表面反射，经过第三透镜106聚焦于太赫兹探测器的探测区域。
步骤S5：设置增强频率成分在2.4THz附近，并通过关系模型确定薄膜分束器103的厚度为20μm，对太赫兹探测器接收的太赫兹信号进行分析，对应的分束效率为43%，相比于常规无干涉增强方案的频域幅值提升了22%，同时其景深为26.8mm，相比于常规方案的2.8mm有很大提升，成像分辨率达3.2mm。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：包括发射端、光路和接收端；
所述发射端用于发射存在发散角的光束；
所述光路包括第一透镜、薄膜分束器、第二透镜、第三透镜；
所述接收端包括探测器；
所述发射端发射的光束经过第一透镜后变为平行光束，然后经过薄膜分束器分光后，透射光束进入第二透镜，被聚焦于待测样品表面，其中携带样品信息的反射信号原路返回经过第二透镜入射至薄膜分束器上，一部分光束在薄膜分束器下表面被反射，经过第三透镜聚焦于探测器的探测区域，另外一部分光束透过薄膜分束器下表面而被上表面反射，经过第三透镜聚焦于探测器的探测区域；所述薄膜分束器的薄膜厚度根据薄膜分束器的薄膜厚度d与探测器上反射光增强的频率成分f之间的关系模型进行设定。
2.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述发射端采用太赫兹源。
3.根据权利要求2所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述接收端采用太赫兹探测器。
4.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述薄膜分束器的薄膜厚度d与探测器上反射光增强的频率成分f之间的关系模型，计算公式如下：
；
式中，c为光速，α为光线在薄膜内的折射角，n为折射率。
5.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述薄膜分束器厚度范围在5~20μm。
6.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述薄膜分束器与水平面的夹角为45°。
7.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述第二透镜采用焦距100~150mm的透镜。
8.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述第二透镜采用焦距150mm的透镜。
9.根据权利要求2所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述太赫兹源的太赫兹波段的波束能量分布符合高斯分布。
10.根据权利要求1所述的一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置，其特征在于：所述薄膜分束器采用PET材质。
CN202311246606.9A 2023-09-26 2023-09-26 一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置 Active CN116990237B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311246606.9A CN116990237B (zh) 2023-09-26 2023-09-26 一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311246606.9A CN116990237B (zh) 2023-09-26 2023-09-26 一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116990237A true CN116990237A (zh) 2023-11-03
CN116990237B CN116990237B (zh) 2023-12-12

Family

ID=88525156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311246606.9A Active CN116990237B (zh) 2023-09-26 2023-09-26 一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116990237B (zh)

Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080137068A1 (en) * 2006-12-05 2008-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Detection method using electromagnetic wave and detection apparatus
CN101509828A (zh) * 2009-03-06 2009-08-19 北京理工大学 差动共焦-低相干干涉组合折射率及厚度测量方法与装置
CN101529328A (zh) * 2006-10-13 2009-09-09 红移系统有限公司 利用相位调制的热控空间光调制器
CN101750751A (zh) * 2010-01-22 2010-06-23 中国计量学院 太赫兹波偏振分束器
US20100195090A1 (en) * 2009-02-03 2010-08-05 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Device for measuring thickness of paint film in non-contacting manner
CN102175711A (zh) * 2011-01-11 2011-09-07 华中科技大学 一种热膨胀系数的测量方法及装置
JP2014119407A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Advantest Corp 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
CN104034688A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 精工爱普生株式会社 样本检查装置
CN105156092A (zh) * 2015-05-22 2015-12-16 季文海 测量油气成分的随钻光谱仪的测量方法与装置
CN105866035A (zh) * 2016-03-30 2016-08-17 温州医科大学 一种基于空间频域调制大面积解析微观结构的快速无损组织活检方法与技术
CN107367482A (zh) * 2017-08-08 2017-11-21 国网江苏省电力公司盐城供电公司 一种用于检测电力设备复合材料无损的装置及方法
JP2017211293A (ja) * 2016-05-26 2017-11-30 日本電気株式会社 画像取得装置及び膜厚測定方法
CN108267417A (zh) * 2018-03-12 2018-07-10 华中科技大学 一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统
US20180246089A1 (en) * 2015-09-14 2018-08-30 Essenlix Corporation Device and system for analyzing a sample, particularly blood, as well as methods of using the same
CN109102455A (zh) * 2018-08-27 2018-12-28 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 缺陷检测方法、检测图像生成方法、系统及存储设备
CN110057786A (zh) * 2019-04-24 2019-07-26 华中科技大学 一种基于太赫兹波的成像系统及扫描方法
JP2019174323A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 シヤチハタ株式会社 識別タグ、その干渉波形検出方法及びその真贋判定方法
CN111282607A (zh) * 2015-01-14 2020-06-16 彼克斯赛尔医疗科技有限公司 用于样品流体分析的一次性盒
US20200371022A1 (en) * 2019-05-20 2020-11-26 Imam Abdulrahman Bin Faisal University Amplitude difference referencing technique with terahertz metasurfaces for sub-micron biomolecules detection
CN212647221U (zh) * 2020-08-27 2021-03-02 南京南辉智能光学感控研究院有限公司 一种焦距可调的太赫兹透镜
CN112684461A (zh) * 2020-12-21 2021-04-20 武汉光目科技有限公司 一种抗振型面阵扫频测量装置和方法
CN113687520A (zh) * 2021-08-13 2021-11-23 青岛青源峰达太赫兹科技有限公司 一种大景深太赫兹成像光学系统

Patent Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101529328A (zh) * 2006-10-13 2009-09-09 红移系统有限公司 利用相位调制的热控空间光调制器
US20080137068A1 (en) * 2006-12-05 2008-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Detection method using electromagnetic wave and detection apparatus
US20100195090A1 (en) * 2009-02-03 2010-08-05 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Device for measuring thickness of paint film in non-contacting manner
CN101509828A (zh) * 2009-03-06 2009-08-19 北京理工大学 差动共焦-低相干干涉组合折射率及厚度测量方法与装置
CN101750751A (zh) * 2010-01-22 2010-06-23 中国计量学院 太赫兹波偏振分束器
CN102175711A (zh) * 2011-01-11 2011-09-07 华中科技大学 一种热膨胀系数的测量方法及装置
JP2014119407A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Advantest Corp 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
CN104034688A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 精工爱普生株式会社 样本检查装置
CN111282607A (zh) * 2015-01-14 2020-06-16 彼克斯赛尔医疗科技有限公司 用于样品流体分析的一次性盒
CN105156092A (zh) * 2015-05-22 2015-12-16 季文海 测量油气成分的随钻光谱仪的测量方法与装置
US20180246089A1 (en) * 2015-09-14 2018-08-30 Essenlix Corporation Device and system for analyzing a sample, particularly blood, as well as methods of using the same
CN105866035A (zh) * 2016-03-30 2016-08-17 温州医科大学 一种基于空间频域调制大面积解析微观结构的快速无损组织活检方法与技术
JP2017211293A (ja) * 2016-05-26 2017-11-30 日本電気株式会社 画像取得装置及び膜厚測定方法
CN107367482A (zh) * 2017-08-08 2017-11-21 国网江苏省电力公司盐城供电公司 一种用于检测电力设备复合材料无损的装置及方法
CN108267417A (zh) * 2018-03-12 2018-07-10 华中科技大学 一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统
JP2019174323A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 シヤチハタ株式会社 識別タグ、その干渉波形検出方法及びその真贋判定方法
CN109102455A (zh) * 2018-08-27 2018-12-28 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 缺陷检测方法、检测图像生成方法、系统及存储设备
CN110057786A (zh) * 2019-04-24 2019-07-26 华中科技大学 一种基于太赫兹波的成像系统及扫描方法
US20200371022A1 (en) * 2019-05-20 2020-11-26 Imam Abdulrahman Bin Faisal University Amplitude difference referencing technique with terahertz metasurfaces for sub-micron biomolecules detection
CN212647221U (zh) * 2020-08-27 2021-03-02 南京南辉智能光学感控研究院有限公司 一种焦距可调的太赫兹透镜
CN112684461A (zh) * 2020-12-21 2021-04-20 武汉光目科技有限公司 一种抗振型面阵扫频测量装置和方法
CN113687520A (zh) * 2021-08-13 2021-11-23 青岛青源峰达太赫兹科技有限公司 一种大景深太赫兹成像光学系统

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ZHANG, YM等: "Investigation on THz EM Wave Scattering From Oil-Covered Sea Surface: Exploration for an Approach to Probe the Thickness of Oil Film", 《IEEE TRANSACTIONS ON GEOSCIENCE AND REMOTE SENSING》, vol. 59, no. 3, pages 1827 - 1835, XP011838523, DOI: 10.1109/TGRS.2020.3005019 *
刘松林 等: "基于超薄金属薄膜的超宽频太赫兹分束器", 《光学学报》, vol. 37, no. 11, pages 401 - 405 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN116990237B (zh) 2023-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9322992B2 (en) Devices and methods for multimode light detection
CN102169050B (zh) 一种反射率综合测量方法
CN105675903A (zh) 一种基于涡旋光束的旋转体角速度测量系统
WO2017181310A1 (zh) 基于空心金属波导光纤增强太赫兹波信号的装置及方法
CN109946710A (zh) 一种双波长多偏振激光成像装置
CN1769926A (zh) 比吸收率测量系统和方法
CN103278893B (zh) 一种太赫兹波发射/接收集成模块
CN209928021U (zh) 双波长多偏振激光成像装置
CN110865043A (zh) 基于水平扫描方式的太赫兹衰减全反射成像装置及方法
CN105514799A (zh) 一种小型无本底饱和吸收光谱装置及其系统和控制方法
CN116990237B (zh) 一种适用于窄带宽的增强式大景深太赫兹收发装置
CN209542447U (zh) 一种基于透射方法的散射式近场显微光学系统
CN208026895U (zh) 太赫兹折射消球差透镜
KR102043880B1 (ko) 고분해능 검사 장치용 광헤드 및 링빔을 이용한 고분해능 검사 장치
Lu et al. Experimental 210GHz terahertz nondestructive testing for aerospace composite materials
CN110530514A (zh) 一种降低平衡零拍探测系统光学损耗的装置及方法
CN216247695U (zh) 一种垂直入射的太赫兹探测系统
Trappe et al. Gaussian beam mode analysis of standing waves between two coupled corrugated horns
Lei et al. A synthetic diagnostic for the evaluation of new microwave imaging reflectometry diagnostics for DIII-D and KSTAR
CN113687520A (zh) 一种大景深太赫兹成像光学系统
CN109580548A (zh) 基于透射方法的散射式近场显微光学系统
CN205785524U (zh) 一种基于旋转滤光片单色器的高光谱成像仪
CN110389397A (zh) 一种太赫兹折射消球差透镜
CN210037564U (zh) 用于傅里叶变换光谱仪的衰减全反射装置
CN111637833A (zh) 基于里德堡原子电磁感应透明效应的角度测量系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant