CN116979384A - 一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统，涉及半导体制造设备的配电柜及维护技术领域，包括电气柜本体，电气柜本体还包括电气柜密封壳体组件、储热式热交换装置和隔离式维护组件，所述电气柜密封壳体组件包括电气柜壳体和密封柜门。本发明能采用储热式热交换装置来进行散热，避免了风扇式的散热结构导致的将电气柜壳体内部的灰尘或电器件运行过程中产生的微型粒子对无尘车间带来的不利影响；设置隔离式维护组件来辅助进行维护，保障维护过程中整个电器柜依然与无尘车间相对密封；控制系统可以实现自动化的将隔离式维护组件与电气柜壳体对接，整个维护过程安全可控，且尽可能地降低了对无尘车间的正常生产干扰。

Description

一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统
技术领域
本发明涉及半导体制造设备的配电柜及维护技术领域，尤其是涉及一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统。
背景技术
半导体制造无尘车间环境要求高，现在的半导体已经达到纳米级，如果有细小的灰尘污染，就会严重影响产品质量，甚至大大增加废品率，所以集尘电路半导体车间必须布置成无尘车间，半导体车间洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风均需受控，照度、洁净室截面风速按设计或规范受控。
目前半导体设备的电气柜在设计时一般都会做密封设计，这种密封设计会符合半导体制造无尘车间的环境要求，尽可能的不对半导体制造过程产生负面影响，然而半导体设备的电气柜在运行过程中不可避免地要进行日常维护检修，这个维护检修有停产检修也有不停产的检修，在不停产的检修过程中，不可避免的要打开电气柜的外壳对内部电器件进行维护甚至更换，这种操作必然会对无尘车间造成环境影响。
公开号为CN112510541A的发明专利公开了一种半导体设备的配电柜，包括柜体、隔热件、第一冷却组件和第二冷却组件，其中，隔热件设置在柜体内，用于将柜体的内部空腔分割为第一空间和第二空间，且对第一空间与第二空间之间的热传导进行阻隔；第一冷却组件和第二冷却组件分别用于对第一空间和第二空间进行冷却。本发明提供的半导体设备的配电柜，其能够避免配电柜中辅助器件的散热受到变压器的温度的影响，从而改善辅助器件的工作环境，提高辅助器件的使用寿命，并提高配电柜的使用安全性。
上述应用于半导体设备的电气柜，一定解决了密封散热的技术问题，但是其应用到半导体无尘车间时，会存在散热影响车间环境的问题，同时不能解决如何在无尘车间中便捷地对电气柜进行维护。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统。采用如下的技术方案：
一种便于维护的半导体设备用电气柜，包括电气柜本体，电气柜本体还包括电气柜密封壳体组件、储热式热交换装置和隔离式维护组件，所述电气柜密封壳体组件包括电气柜壳体和密封柜门，所述电气柜壳体顶部和底部分别设有上换热板和下换热板，所述储热式热交换装置包括上储热组件、下储热组件和密封热交换管组件，所述上储热组件设置在电气柜壳体的顶部，用于与上换热板进行热交换，所述下储热组件设置在电气柜壳体的底部，用于与下换热板进行热交换，所述密封热交换管组件分别对接上储热组件和下储热组件的换热接口，并将收集的热量导出无尘车间外，所述隔离式维护组件包括维护仓体和集尘装置，所述维护仓体一侧为敞口，用于密封对接电气柜壳体的密封柜门一侧，另一侧设置可开合的维护仓门，所述集尘装置设置在维护仓体的内部，用于收集维护过程中产生的灰尘。
通过采用上述技术方案，由于半导体设备用电气柜的应用场景为无尘车间，为了进行散热且不对无尘车间内的环境进行扰动，采用储热式热交换装置来进行散热，热交换的部位分别为电气柜壳体顶部和底部，通过上换热板和下换热板分别来对电气柜壳体内部电器件运行过程中产生的热量进行导热，并分别通过上储热组件和下储热组件进行储热，实现热传导的缓存效果，最终通过密封热交换管组件将热量导出到无尘车间外，避免了风扇式的散热结构导致的将电气柜壳体内部的灰尘或电器件运行过程中产生的微型粒子对无尘车间带来的不利影响。
在电气柜进行维护时，如果是不停产维护，那么不可避免地会打开密封柜门，这时如果不进行防护，就会有微型粒子、灰尘或维护过程中的不明微粒会对无尘车间的环境造成不可控的风险，因此设置隔离式维护组件来辅助进行维护，保障维护过程中整个电器柜依然与无尘车间相对密封。
可选的，所述上储热组件包括上储热壳体和上储热体，所述上储热壳体的上下两面分别设有开口，所述上储热体设置在上储热壳体内，上储热壳体的下面开口对接上换热板，上面开口对接密封热交换管组件；
所述下储热组件包括下储热壳体和下储热体，所述下储热壳体上下两面分别设有开口，所述下储热体设置在下储热壳体内，下储热壳体的上面开口对接下换热板，下面开口对接密封热交换管组件。
通过采用上述技术方案，上储热组件和下储热组件的结构均为一个密封的壳体内部加一个储热体来实现，储热体的作用是将电气柜壳体内的热量进行收集，实现热传导的缓存效果，并最终通过密封热交换管组件将热量缓慢地导出无尘车间，避免散热带来的无尘车间局部的温度扰动，从而降低半导体生产过程中的温度因素导致的不合格品风险。
可选的，电气柜壳体、密封柜门、上储热壳体和下储热壳体均采用隔热铝合金材质模具成型。
通过采用上述技术方案，可以减少电气柜与无尘车间的热交换风险。
可选的，上储热体和下储热体均是长方体的固-固相变储热材料。
通过采用上述技术方案，固-固相变储热材料的储热效率高，能稳定地实现导热缓存效果。
可选的，密封热交换管组件包括上导热铜管、上对接换热件、下导热铜管、下对接换热件和主导热铜管，所述上导热铜管的一端通过上对接换热件对接上储热壳体的上面开口，所述下导热铜管的一端通过下对接换热件对接下储热壳体的下面开口，上导热铜管和下导热铜管另一端均汇集在主导热铜管的一端，主导热铜管的另一端设置在无尘车间的外部。
通过采用上述技术方案，密封热交换管组件的结构是基于两个导热分支和一个主导热管实现，上导热铜管和下对接换热件分别对接到上储热壳体和下储热壳体，高效地将电气柜壳体上下两面导出的热量汇集，并通过主导热铜管导出到无尘车间的外部。
可选的，上导热铜管、下导热铜管和主导热铜管外层均设置隔热套，主导热铜管位于无尘车间外部的端面设置散热器。
通过采用上述技术方案，隔热套的设置能避免上导热铜管、下导热铜管和主导热铜管直接与无尘车间环境进行热交换，散热器的工作可以加快换热的效率。
可选的，隔离式维护组件包括插入式密封装置、维护仓体和集尘装置，所述插入式密封装置包括凹槽框板、密封圈和对接插板，所述凹槽框板的一侧安装在电气柜壳体的密封柜门一侧，另一侧设置对接插槽，所述密封圈装配在对接插槽处，所述对接插板的一侧安装在维护仓体的敞口一侧，在维护仓体使用时，对接插板密封式插入凹槽框板的对接插槽处，所述集尘装置包括集尘器和集尘袋，所述集尘器设置在维护仓体内壁上，所述集尘袋可拆卸式设置在集尘器的灰尘出口处。
通过采用上述技术方案，插入式密封装置的设置，在隔离式维护组件与电气柜壳体对接时，可以在维护仓体内部形成一个密封的维护空间，工作人员只需将维护仓门打开，进入后再将维护仓门密封关闭，即可打开密封柜门对电气柜内部的电器件进行维护。
可选的，隔离式维护组件还包括伺服电动平板车，所述伺服电动平板车设置在维护仓体的底部，为维护仓体提供移动动力。
通过采用上述技术方案，由于隔离式维护组件整体体积重量较大，如果采用人工进行对接，其工作量较大，采用伺服电动平板车作为隔离式维护组件的移动动力源，工作时还可以搭配定位信标来实现自动行走，并实现自动化的隔离式维护组件与电气柜壳体的对接。
可选的，隔离式维护组件还包括自动供氧装置，所述自动供氧装置包括氧气瓶、供氧电磁阀、氧浓度传感器和基于单片机的供氧控制器，所述氧气瓶设置在维护仓体内壁上，供氧电磁阀安装在氧气瓶的出气口，氧浓度传感器用于监测维护仓体内的氧气浓度，并与供氧控制器通信连接，所述供氧控制器控制供氧电磁阀向维护仓体内供氧，使维护仓体内的氧气浓度维持在20%-23%。
通过采用上述技术方案，工作人员在使用隔离式维护组件进行维护时，可能持续时间较长，而维护仓体内部为相对密封的空间，如果不进行氧气补充，一段时间后，工作人员会因为氧浓度偏低导致缺氧，供氧控制器控制供氧电磁阀向维护仓体内供氧，使维护仓体内的氧气浓度维持在20%-23%，从而使工作人员处理适合人待的氧环境下，利于维护工作，当然还可以设置微空调装置来使维护环境更优。
一种半导体设备用电气柜维护控制系统，用于控制一种便于维护的半导体设备用电气柜进行维护，包括蓝牙位置信标、控制计算机、摄像模块、温度监控模块和显示屏，所述蓝牙位置信标设置在凹槽框板处，用于标记凹槽框板四个角的位置，所述控制计算机与蓝牙位置信标无线通信连接，根据蓝牙位置信标的定位数据控制伺服电动平板车的执行动作，使隔离式维护组件与电气柜壳体完成自动对接，所述摄像模块用于监控维护仓体内的实时画面，并传输给控制计算机，所述温度监控模块分别监测电气柜壳体内部温度、上储热壳体和下储热壳体的内部温度，并传输给控制计算机，所述显示屏与控制计算机通信连接，用于显示控制参数和监控画面。
通过采用上述技术方案，维护控制主要是两方面，一方面是隔离式维护组件与电气柜壳体完成自动对接，通过蓝牙位置信标的标记，再配合伺服电动平板车的自动定位导航，即可实现自动化的将隔离式维护组件与电气柜壳体对接，当然对接过程工作人员也需在场，避免对接意外；
另外一方面是隔离式维护组件内部数据的监控和电气柜壳体的温度监控，摄像模块用于监控维护仓体内的实时画面，温度监控模块分别监测电气柜壳体内部温度、上储热壳体和下储热壳体的内部温度，最终显示屏可以显示监控画面，还可以显示各项监控参数，便于远端的工作人员了解现场维护情况，整个维护过程安全可控，且尽可能地降低了对无尘车间的正常生产干扰。
综上所述，本发明包括以下至少一种有益技术效果：
本发明能提供一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统，采用储热式热交换装置来进行散热，避免了风扇式的散热结构导致的将电气柜壳体内部的灰尘或电器件运行过程中产生的微型粒子对无尘车间带来的不利影响；设置隔离式维护组件来辅助进行维护，保障维护过程中整个电器柜依然与无尘车间相对密封；控制系统可以实现自动化的将隔离式维护组件与电气柜壳体对接，整个维护过程安全可控，且尽可能地降低了对无尘车间的正常生产干扰。
附图说明
图1是本发明一种便于维护的半导体设备用电气柜正常工作状态正面结构示意图；
图2是本发明一种便于维护的半导体设备用电气维护状态侧面结构示意图；
图3是本发明一种半导体设备用电气柜维护控制系统的电器件连接原理示意图。
附图标记说明：1、电气柜壳体；2、密封柜门；11、上换热板；12、下换热板；21、上储热组件；211、上储热壳体；212、上储热体；22、下储热组件；221、下储热壳体；222、下储热体；23、密封热交换管组件；231、上导热铜管；232、上对接换热件；233、下导热铜管；234、下对接换热件；235、主导热铜管；236、散热器；31、维护仓体；311、维护仓门；32、集尘装置；321、集尘器；322、集尘袋；33、凹槽框板；35、对接插板；36、伺服电动平板车；37、氧气瓶；38、供氧电磁阀；39、氧浓度传感器；40、供氧控制器；51、蓝牙位置信标；52、控制计算机；53、摄像模块；54、温度监控模块；55、显示屏；100、电气柜本体。
实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
本发明实施例公开一种便于维护的半导体设备用电气柜及其控制系统。
参照图1－图3，实施例1，一种便于维护的半导体设备用电气柜，包括电气柜本体100，电气柜本体100还包括电气柜密封壳体组件、储热式热交换装置和隔离式维护组件，电气柜密封壳体组件包括电气柜壳体1和密封柜门2，电气柜壳体1顶部和底部分别设有上换热板11和下换热板12，储热式热交换装置包括上储热组件21、下储热组件22和密封热交换管组件23，上储热组件21设置在电气柜壳体1的顶部，用于与上换热板11进行热交换，下储热组件22设置在电气柜壳体1的底部，用于与下换热板12进行热交换，密封热交换管组件23分别对接上储热组件21和下储热组件22的换热接口，并将收集的热量导出无尘车间外，隔离式维护组件包括维护仓体31和集尘装置32，维护仓体31一侧为敞口，用于密封对接电气柜壳体1的密封柜门2一侧，另一侧设置可开合的维护仓门311，集尘装置32设置在维护仓体31的内部，用于收集维护过程中产生的灰尘。
由于半导体设备用电气柜的应用场景为无尘车间，为了进行散热且不对无尘车间内的环境进行扰动，采用储热式热交换装置来进行散热，热交换的部位分别为电气柜壳体1顶部和底部，通过上换热板11和下换热板12分别来对电气柜壳体1内部电器件运行过程中产生的热量进行导热，并分别通过上储热组件21和下储热组件22进行储热，实现热传导的缓存效果，最终通过密封热交换管组件23将热量导出到无尘车间外，避免了风扇式的散热结构导致的将电气柜壳体1内部的灰尘或电器件运行过程中产生的微型粒子对无尘车间带来的不利影响。
在电气柜进行维护时，如果是不停产维护，那么不可避免地会打开密封柜门2，这时如果不进行防护，就会有微型粒子、灰尘或维护过程中的不明微粒会对无尘车间的环境造成不可控的风险，因此设置隔离式维护组件来辅助进行维护，保障维护过程中整个电器柜依然与无尘车间相对密封。
实施例2，上储热组件21包括上储热壳体211和上储热体212，上储热壳体211的上下两面分别设有开口，上储热体212设置在上储热壳体211内，上储热壳体211的下面开口对接上换热板11，上面开口对接密封热交换管组件23；
下储热组件22包括下储热壳体221和下储热体222，下储热壳体221上下两面分别设有开口，下储热体222设置在下储热壳体221内，下储热壳体221的上面开口对接下换热板12，下面开口对接密封热交换管组件23。
上储热组件21和下储热组件22的结构均为一个密封的壳体内部加一个储热体来实现，储热体的作用是将电气柜壳体1内的热量进行收集，实现热传导的缓存效果，并最终通过密封热交换管组件23将热量缓慢地导出无尘车间，避免散热带来的无尘车间局部的温度扰动，从而降低半导体生产过程中的温度因素导致的不合格品风险。
电气柜壳体1、密封柜门2、上储热壳体211和下储热壳体221均采用隔热铝合金材质模具成型。
可以减少电气柜与无尘车间的热交换风险。
上储热体212和下储热体222均是长方体的固-固相变储热材料。
固-固相变储热材料的储热效率高，能稳定地实现导热缓存效果。
实施例3，密封热交换管组件23包括上导热铜管231、上对接换热件232、下导热铜管233、下对接换热件234和主导热铜管235，上导热铜管231的一端通过上对接换热件232对接上储热壳体211的上面开口，下导热铜管233的一端通过下对接换热件234对接下储热壳体221的下面开口，上导热铜管231和下导热铜管233另一端均汇集在主导热铜管235的一端，主导热铜管235的另一端设置在无尘车间的外部。
密封热交换管组件23的结构是基于两个导热分支和一个主导热管实现，上导热铜管231和下对接换热件234分别对接到上储热壳体211和下储热壳体221，高效地将电气柜壳体1上下两面导出的热量汇集，并通过主导热铜管235导出到无尘车间的外部。
实施例4，上导热铜管231、下导热铜管233和主导热铜管235外层均设置隔热套，主导热铜管235位于无尘车间外部的端面设置散热器236。
隔热套的设置能避免上导热铜管231、下导热铜管233和主导热铜管235直接与无尘车间环境进行热交换，散热器236的工作可以加快换热的效率。
实施例5，隔离式维护组件包括插入式密封装置、维护仓体31和集尘装置32，插入式密封装置包括凹槽框板33、密封圈和对接插板35，凹槽框板33的一侧安装在电气柜壳体1的密封柜门2一侧，另一侧设置对接插槽，密封圈装配在对接插槽处，对接插板35的一侧安装在维护仓体31的敞口一侧，在维护仓体31使用时，对接插板35密封式插入凹槽框板33的对接插槽处，集尘装置32包括集尘器321和集尘袋322，集尘器321设置在维护仓体31内壁上，集尘袋322可拆卸式设置在集尘器321的灰尘出口处。
插入式密封装置的设置，在隔离式维护组件与电气柜壳体1对接时，可以在维护仓体31内部形成一个密封的维护空间，工作人员只需将维护仓门311打开，进入后再将维护仓门311密封关闭，即可打开密封柜门2对电气柜内部的电器件进行维护。
实施例6，隔离式维护组件还包括伺服电动平板车36，伺服电动平板车36设置在维护仓体31的底部，为维护仓体31提供移动动力。
由于隔离式维护组件整体体积重量较大，如果采用人工进行对接，其工作量较大，采用伺服电动平板车36作为隔离式维护组件的移动动力源，工作时还可以搭配定位信标来实现自动行走，并实现自动化的隔离式维护组件与电气柜壳体1的对接。
实施例7，隔离式维护组件还包括自动供氧装置，自动供氧装置包括氧气瓶37、供氧电磁阀38、氧浓度传感器39和基于单片机的供氧控制器40，氧气瓶37设置在维护仓体31内壁上，供氧电磁阀38安装在氧气瓶37的出气口，氧浓度传感器39用于监测维护仓体31内的氧气浓度，并与供氧控制器40通信连接，供氧控制器40控制供氧电磁阀38向维护仓体31内供氧，使维护仓体31内的氧气浓度维持在20%-23%。
工作人员在使用隔离式维护组件进行维护时，可能持续时间较长，而维护仓体31内部为相对密封的空间，如果不进行氧气补充，一段时间后，工作人员会因为氧浓度偏低导致缺氧，供氧控制器40控制供氧电磁阀38向维护仓体31内供氧，使维护仓体31内的氧气浓度维持在20%-23%，从而使工作人员处理适合人待的氧环境下，利于维护工作，当然还可以设置微空调装置来使维护环境更优。
实施例8，一种半导体设备用电气柜维护控制系统，用于控制一种便于维护的半导体设备用电气柜进行维护，包括蓝牙位置信标51、控制计算机52、摄像模块53、温度监控模块54和显示屏55，蓝牙位置信标51设置在凹槽框板33处，用于标记凹槽框板33四个角的位置，控制计算机52与蓝牙位置信标51无线通信连接，根据蓝牙位置信标51的定位数据控制伺服电动平板车36的执行动作，使隔离式维护组件与电气柜壳体1完成自动对接，摄像模块53用于监控维护仓体31内的实时画面，并传输给控制计算机52，温度监控模块54分别监测电气柜壳体1内部温度、上储热壳体211和下储热壳体221的内部温度，并传输给控制计算机52，显示屏55与控制计算机52通信连接，用于显示控制参数和监控画面。
维护控制主要是两方面，一方面是隔离式维护组件与电气柜壳体1完成自动对接，通过蓝牙位置信标51的标记，再配合伺服电动平板车36的自动定位导航，即可实现自动化的将隔离式维护组件与电气柜壳体1对接，当然对接过程工作人员也需在场，避免对接意外；
另外一方面是隔离式维护组件内部数据的监控和电气柜壳体1的温度监控，摄像模块53用于监控维护仓体31内的实时画面，温度监控模块54分别监测电气柜壳体1内部温度、上储热壳体211和下储热壳体221的内部温度，最终显示屏55可以显示监控画面，还可以显示各项监控参数，便于远端的工作人员了解现场维护情况，整个维护过程安全可控，且尽可能地降低了对无尘车间的正常生产干扰。
以上均为本发明的较佳实施例，并非以此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种便于维护的半导体设备用电气柜，包括电气柜本体（100），其特征在于：电气柜本体（100）还包括电气柜密封壳体组件、储热式热交换装置和隔离式维护组件，所述电气柜密封壳体组件包括电气柜壳体（1）和密封柜门（2），所述电气柜壳体（1）顶部和底部分别设有上换热板（11）和下换热板（12），所述储热式热交换装置包括上储热组件（21）、下储热组件（22）和密封热交换管组件（23），所述上储热组件（21）设置在电气柜壳体（1）的顶部，用于与上换热板（11）进行热交换，所述下储热组件（22）设置在电气柜壳体（1）的底部，用于与下换热板（12）进行热交换，所述密封热交换管组件（23）分别对接上储热组件（21）和下储热组件（22）的换热接口，并将收集的热量导出无尘车间外，所述隔离式维护组件包括维护仓体（31）和集尘装置（32），所述维护仓体（31）一侧为敞口，用于密封对接电气柜壳体（1）的密封柜门（2）一侧，另一侧设置可开合的维护仓门（311），所述集尘装置（32）设置在维护仓体（31）的内部，用于收集维护过程中产生的灰尘。
2.根据权利要求1所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：所述上储热组件（21）包括上储热壳体（211）和上储热体（212），所述上储热壳体（211）的上下两面分别设有开口，所述上储热体（212）设置在上储热壳体（211）内，上储热壳体（211）的下面开口对接上换热板（11），上面开口对接密封热交换管组件（23）；
所述下储热组件（22）包括下储热壳体（221）和下储热体（222），所述下储热壳体（221）上下两面分别设有开口，所述下储热体（222）设置在下储热壳体（221）内，下储热壳体（221）的上面开口对接下换热板（12），下面开口对接密封热交换管组件（23）。
3.根据权利要求2所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：电气柜壳体（1）、密封柜门（2）、上储热壳体（211）和下储热壳体（221）均采用隔热铝合金材质模具成型。
4.根据权利要求2所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，上储热体（212）和下储热体（222）均是长方体的固-固相变储热材料。
5.根据权利要求2所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：密封热交换管组件（23）包括上导热铜管（231）、上对接换热件（232）、下导热铜管（233）、下对接换热件（234）和主导热铜管（235），所述上导热铜管（231）的一端通过上对接换热件（232）对接上储热壳体（211）的上面开口，所述下导热铜管（233）的一端通过下对接换热件（234）对接下储热壳体（221）的下面开口，上导热铜管（231）和下导热铜管（233）另一端均汇集在主导热铜管（235）的一端，主导热铜管（235）的另一端设置在无尘车间的外部。
6.根据权利要求5所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：上导热铜管（231）、下导热铜管（233）和主导热铜管（235）外层均设置隔热套，主导热铜管（235）位于无尘车间外部的端面设置散热器（236）。
7.根据权利要求6所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：隔离式维护组件包括插入式密封装置、维护仓体（31）和集尘装置（32），所述插入式密封装置包括凹槽框板（33）、密封圈和对接插板（35），所述凹槽框板（33）的一侧安装在电气柜壳体（1）的密封柜门（2）一侧，另一侧设置对接插槽，所述密封圈装配在对接插槽处，所述对接插板（35）的一侧安装在维护仓体（31）的敞口一侧，在维护仓体（31）使用时，对接插板（35）密封式插入凹槽框板（33）的对接插槽处，所述集尘装置（32）包括集尘器（321）和集尘袋（322），所述集尘器（321）设置在维护仓体（31）内壁上，所述集尘袋（322）可拆卸式设置在集尘器（321）的灰尘出口处。
8.根据权利要求7所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：隔离式维护组件还包括伺服电动平板车（36），所述伺服电动平板车（36）设置在维护仓体（31）的底部，为维护仓体（31）提供移动动力。
9.根据权利要求7所述的一种便于维护的半导体设备用电气柜，其特征在于：隔离式维护组件还包括自动供氧装置，所述自动供氧装置包括氧气瓶（37）、供氧电磁阀（38）、氧浓度传感器（39）和基于单片机的供氧控制器（40），所述氧气瓶（37）设置在维护仓体（31）内壁上，供氧电磁阀（38）安装在氧气瓶（37）的出气口，氧浓度传感器（39）用于监测维护仓体（31）内的氧气浓度，并与供氧控制器（40）通信连接，所述供氧控制器（40）控制供氧电磁阀（38）向维护仓体（31）内供氧，使维护仓体（31）内的氧气浓度维持在20%-23%。
10.一种半导体设备用电气柜维护控制系统，其特征在于：用于控制权利要求9所述的半导体设备用电气柜进行维护，包括蓝牙位置信标（51）、控制计算机（52）、摄像模块（53）、温度监控模块（54）和显示屏（55），所述蓝牙位置信标（51）设置在凹槽框板（33）处，用于标记凹槽框板（33）四个角的位置，所述控制计算机（52）与蓝牙位置信标（51）无线通信连接，根据蓝牙位置信标（51）的定位数据控制伺服电动平板车（36）的执行动作，使隔离式维护组件与电气柜壳体（1）完成自动对接，所述摄像模块（53）用于监控维护仓体（31）内的实时画面，并传输给控制计算机（52），所述温度监控模块（54）分别监测电气柜壳体（1）内部温度、上储热壳体（211）和下储热壳体（221）的内部温度，并传输给控制计算机（52），所述显示屏（55）与控制计算机（52）通信连接，用于显示控制参数和监控画面。
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