CN116929630A - 一种宽量程多参数真空测量装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种宽量程多参数真空测量装置及方法，所述装置包括可调谐二极管激光器、电光调制器、Fabry‑Perot腔、PDH锁频单元、光频梳光源、拍频单元、气体吸收池以及压力反演计算单元，其中：光频梳光源包括第一光频梳光源和第二光频梳光源；可调谐二极管激光器的出射光进入Fabry‑Perot腔透射；PDH锁频单元对探测激光进行锁频；第一光频梳光源发射参考光梳；第二光频梳光源发射探测光梳，一部分探测光梳通过气体吸收池发生干涉，另一部分直接发生干涉；压力反演计算单元反演得到气体吸收池内的气体压力。本申请实现了非极性气体的全压力测量和极性气体的全/分压力测量。
Description
技术领域
本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种宽量程多参数真空测量装置及方法。
背景技术
航空航天、半导体工业、大气环境、生命科学等领域都对真空计量提出了新的需求，例如计量范围不断外延、精度要求持续提升、参数综合需求突显。真空计量的发展在着力解决原位以及特殊环境下真空测量准确性问题的同时，也对现有真空测量量限拓展、参数综合、精度提高提出了更高的要求。
目前，常见的真空测量仪器主要是质谱计和电容薄膜真空计。但质谱计存在诸如校准困难，会改变气体组分，分辨率低，而且对于粗低真空无法直接测量等缺点。电容薄膜真空计是测量单位面积上的压力，但在一些实际应用的真空系统中，存在定向流动和不等温的状态，热力学平衡已经遭到破坏，此时压力已不能表征此状态下的真空的性质。近年来，面对国际计量体系的历史性变革，诸多计量参数对应的基于经典物理学的实物标准向“自然标准”即量子标准发展，采用光学干涉、吸收光谱等基于物质本征物理性质复现真空量值的新方法、新概念具备突破传统技术性能极限的应用潜力，已成为国际上新的研究热点。
其中，光学干涉法通过PDH锁频技术和拍频技术精确测量Fabry-Perot腔内充气前后谐振激光频率变化获取气体折射率，进而反演出非极性气体全压力，激光吸收谱法通过测量目标气体对光辐射的吸收损耗确定气体密度，进一步反演出极性气体全/分压力。但基于光学方法的真空测量只限于真空全压力或真空分压力的单参数测量，无法使用1台仪器同时实现真空全压力和真空分压力的宽量程、多参数、高精度的快速测量。
发明内容
本申请提供了一种宽量程多参数真空测量装置及方法，能够同时实现非极性气体的全压力测量和极性气体的全/分压力测量。
为了实现上述目的，本申请提供了一种宽量程多参数真空测量装置，包括可调谐二极管激光器、电光调制器、Fabry-Perot腔、PDH锁频单元、光频梳光源、拍频单元、气体吸收池以及压力反演计算单元，其中：光频梳光源包括第一光频梳光源和第二光频梳光源，第一光频梳光源与第二光频梳光源之间设置有自参考单元；可调谐二极管激光器的出射光经过分束镜被分成探测激光和参考激光，探测激光经过电光调制器调制后，再次经过分束镜后进入Fabry-Perot腔，一部分透射后被第一光电探测器接收，另一部分反射后经过分束镜和反射镜后被第二光电探测器接收；PDH锁频单元根据电光调制器的调制信号和第二光电探测器接收的反射信号对探测激光进行锁频；第一光频梳光源发射参考光梳，与参考激光耦合后通过拍频单元进行拍频检测；第二光频梳光源发射探测光梳，探测光梳经过分束镜后，一部分作为光谱探测支路进入气体吸收池，与气体吸收池内样品气体作用后，与反射的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第三光电探测器接收，另一部分作为光强监测支路不经过气体吸收池直接与反射的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第四光电探测器接收；压力反演计算单元根据第三光电探测器接收的信号和第四光电探测器接收的信号，能够得到气体吸收池内的样品气体的光谱吸收曲线，从而反演得到气体吸收池内的气体压力。
进一步的，可调谐二极管激光器的波长调谐范围为765-805nm，线宽＜10KHz。
进一步的，Fabry-Perot腔为真空腔，用于通入待测的非极性气体；气体吸收池为多通池真空腔，用于通入待测的极性气体。
进一步的，光频梳光源为1555nm掺铒光纤光频梳与1064nm激光差频而成，梳齿线宽为10kHz，输出能量为30mW。
进一步的，还包括温度测控单元，温度测控单元分别与Fabry-Perot腔和气体吸收池连接，用于对Fabry-Perot腔和气体吸收池内部的温度进行控制和测量。
此外，本申请还提供了一种应用宽量程多参数真空测量装置的方法，包括如下步骤：步骤1：利用PDH锁频单元将探测激光频率锁定在Fabry-Perot腔内，并通过温度测控单元将Fabry-Perot腔内温度控制在腔体材料的零膨胀点；步骤2：对Fabry-Perot腔抽真空，测量腔内探测激光初态频率和参考激光与参考光梳的初态拍频；步骤3：在Fabry-Perot腔内充入待测气体，测量腔内探测激光末态频率和参考激光与参考光梳的末态拍频；步骤4：根据充气前后参考激光与参考光梳的拍频变化得到气体折射率，从而获得Fabry-Perot腔内的真空度；步骤5：对气体吸收池抽真空，获取吸收池内的背景光谱和光强监测支路的光源强度分布；步骤6：将样品气体充入气体吸收池内，获取吸收池内待测样品气体的样品光谱和光强监测支路的光源强度分布；步骤7：将样品光谱与背景光谱相比，得到样品气体的特征吸收峰数据，对吸收峰数据进行线型拟合后计算得到目标气体压力值。
进一步的，步骤3中，待测气体为非极性纯净气体。
进一步的，步骤6中，样品气体为极性纯净气体或者极性混合气体，当样品气体为极性纯净气体时，测量结果为该样品气体的全压力；当样品气体为极性混合气体时，测量结果为该混合样品气体中目标气体的分压力。
进一步的，步骤4中，基于气体折射率的非极性气体真空测量范围为10Pa-105Pa。
进一步的，步骤7中，采用Gauss、Voigt或者Lorentz线型函数对吸收峰数据进行线型拟合；基于激光吸收谱的极性纯净气体全压力或者极性混合气体分压力的测量范围为10-4Pa-105Pa。
本发明提供的一种宽量程多参数真空测量装置及方法，具有以下有益效果：
1、本申请采用同一光频梳光源作为频率参考，节约了成本，节省了空间，通过测量Fabry-Perot腔充气前后谐振激光频率的变化，能够获得气体折射率信息，通过测量穿过气体吸收池后光梳光强的衰减，能够获得非极性气体的吸收光谱信息，可以同时实现非极性气体的全压力测量和极性气体的全/分压力测量。
2、本申请采用光学方法，通过测量气体密度实现真空度的测量，消除宏观参数不稳定产生的影响，在减小测量不确定度的同时，可实现真空量值的扁平化传递，为真空量值提供了新的溯源途径。
3、本申请采用光强监测支路获取光强波动信息，利用光源强度分布曲线修正光强波动带来的光谱强度误差，实现了气体特征吸收峰的精确测量，利用光学频率梳宽光谱覆盖范围的优势，使得每种气体都可以使用多个吸收峰反演分压力，对反演得到的多个分压力值取平均，可有效抑制测量过程中的随机误差，还能够实现多种气体的并行测量。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1是根据本申请实施例提供的宽量程多参数真空测量装置的示意图；
图中：1-可调谐二极管激光器，2、4、11、12、16、19、22、24-分束镜，3-电光调制器，5-Fabry-Perot腔，6-第一光电探测器，8-第二光电探测器，25-第三光电探测器，20-第四光电探测器，7、15、17、18-反射镜，9-PDH锁频单元，10-第一光频梳光源，21-第二光频梳光源，13-拍频单元，14-自参考单元，23-气体吸收池，26-压力反演计算单元。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
如图1所示，本申请提供了一种宽量程多参数真空测量装置，包括可调谐二极管激光器1、电光调制器3、Fabry-Perot腔5、PDH锁频单元9、光频梳光源、拍频单元13、气体吸收池23以及压力反演计算单元26，其中：光频梳光源包括第一光频梳光源10和第二光频梳光源21，第一光频梳光源10与第二光频梳光源21之间设置有自参考单元14；可调谐二极管激光器1的出射光经过分束镜2被分成探测激光和参考激光，探测激光经过电光调制器3调制后，再次经过分束镜4后进入Fabry-Perot腔5，一部分透射后被第一光电探测器6接收，另一部分反射后经过分束镜4和反射镜7后被第二光电探测器8接收；PDH锁频单元9根据电光调制器3的调制信号和第二光电探测器8接收的反射信号对探测激光进行锁频；第一光频梳光源10发射参考光梳，与参考激光耦合后通过拍频单元13进行拍频检测；第二光频梳光源21发射探测光梳，探测光梳经过分束镜22后，一部分作为光谱探测支路进入气体吸收池23，与气体吸收池23内样品气体作用后，与反射的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第三光电探测器25接收，另一部分作为光强监测支路不经过气体吸收池23直接与反射的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第四光电探测器20接收；压力反演计算单元26根据第三光电探测器25接收的信号和第四光电探测器20接收的信号，能够得到气体吸收池23内的样品气体的光谱吸收曲线，从而反演得到气体吸收池23内的气体压力。
具体的，本申请实施例提供的宽量程多参数真空测量装置采用同一光梳作为光学真空测量的频率参考，通过PDH锁频技术和拍频技术精确测量Fabry-Perot腔5内充气前后谐振激光频率变化获取气体折射率，同时通过测量目标气体对光辐射的吸收损耗获取光谱吸收曲线，同时实现非极性气体全压力和极性气体全/分压力测量。其中，可调谐二极管激光器1用于发射波长可调谐的窄线宽激光，并经过分束镜2分为两束，一束作为探测激光通入Fabry-Perot腔5用于气体折射率的测量，另外一束作为参考激光与参考光梳拍频。光频梳光源包括第一光频梳光源10和第二光频梳光源21，第一光频梳光源10用于发射参考光梳，第二光频梳光源21用于发射探测光梳，参考光梳分别与参考激光和探测光梳拍频，探测光梳则会进入气体吸收池23用于气体吸收谱的测量。自参考单元14用来实现光梳锁定，即将光梳的重频和偏频锁定至频率标准，可以保证光梳梳齿的精确定位；设置参考光频梳光源一方面能够用来跟参考激光拍频，获取二者拍频信号，进行Fabry-Perot腔5内折射率的测量，另一方面用来跟光强监测支路发生干涉，监测光梳光源的光强波动，还可以用来跟光谱探测支路进行双光梳非线性异步光学采样记录干涉图，从而获取气体吸收池23内样品气体的背景光谱和气体吸收光谱信息。电光调制器3用于对探测激光进行调制以产生边带。Fabry-Perot腔5用于通入待检测的非极性气体。多个光电探测器用于接收经过Fabry-Perot腔5和气体吸收池23的探测光信号和参考光信号，并通过参考光梳同步测量光源的光谱强度，用作基准信号，对吸收光谱信号做基线校正。PDH锁频单元9主要用于通过反馈控制，将探测激光锁定在Fabry-Perot腔5的纵模上，具体过程包括：将电光调制器3的调制信号与Fabry-Perot腔5的反射信号混频后产生误差信号，误差信号调节好之后，将其送入正比积分微分(PID)反馈控制器中，通过调节PID反馈带宽和增益，使信号分别加到激光器的压电陶瓷和电流控制上，使激光器的输出频率得以补偿，最终实现频率的锁定。拍频单元13用于测量参考激光与参考光梳的拍频。气体吸收池23用于通入待检测的极性气体。压力反演计算单元26通过比较气体吸收池23通气前后的光谱数据，获得待测气体的光谱吸收曲线，进而反演得到气体压力。
进一步的，可调谐二极管激光器1的波长调谐范围为765-805nm，线宽＜10KHz。可调谐二极管激光器1的波长调谐范围和线宽可以根据实际情况进行选择。在本申请实施例中，可调谐二极管激光器1的波长调谐优选为780nm，性能相对比较优越，而线宽＜10KHz，窄线宽有利于提高测量精度。
进一步的，Fabry-Perot腔5为真空腔，用于通入待测的非极性气体；气体吸收池23为多通池真空腔，用于通入待测的极性气体。
具体的，Fabry-Perot腔5为真空腔，主要用于非极性气体压力的测量，测量过程如下：将Fabry-Perot腔5抽至真空，获得腔内激光初态频率和激光与参考光梳的初态拍频；在Fabry-Perot腔5内充入待测的非极性气体，获得腔内激光末态频率和激光与参考光梳的末态拍频；根据充气前后激光与参考光梳的拍频变化得到气体折射率，进而反演获得Fabry-Perot腔5内的真空度。气体吸收池23为多通池真空腔，主要用于极性气体压力的测量，测量主要分为背景光谱测量(无样品气体)和样品光谱测量两部分，待测的极性气体的特征吸收曲线通过样品光谱与背景光谱相比较获得，最后通过压力反演计算单元26得到气体的压力。
进一步的，光频梳光源为1555nm掺铒光纤光频梳与1064nm激光差频而成，梳齿线宽为10kHz，输出能量为30mW。光频梳光源根据实际情况可以选择近红外光梳光源和中红外光梳光源。在本申请实施例中，光频梳光源优选为1555nm掺铒光纤光频梳与1064nm激光差频而成，其性能比较优越，梳齿线宽优选为10kHz，窄线宽有利于提高测量精度，输出能量为30mW，满足测量要求，并且这两个激光器差频后可以获得3.3微米的中红外光梳，实现拍频。
进一步的，还包括温度测控单元，温度测控单元分别与Fabry-Perot腔5和气体吸收池23连接，用于对Fabry-Perot腔5和气体吸收池23内部的温度进行控制和测量。温度测控单元能够对Fabry-Perot腔5和气体吸收池23进行双层控温，控温后，温度的波动小于1mk。
此外，本申请实施例还提供了一种应用宽量程多参数真空测量装置的方法，包括如下步骤：
步骤1：利用PDH锁频单元9将探测激光频率锁定在Fabry-Perot腔5内，并通过温度测控单元将Fabry-Perot腔5内温度控制在腔体材料的零膨胀点；
步骤2：对Fabry-Perot腔5抽真空，测量腔内探测激光初态频率和参考激光与参考光梳的初态拍频；
步骤3：在Fabry-Perot腔5内充入待测气体，测量腔内探测激光末态频率和参考激光与参考光梳的末态拍频；其中，待测气体为非极性纯净气体；
步骤4：根据充气前后参考激光与参考光梳的拍频变化得到气体折射率，从而获得Fabry-Perot腔5内的真空度；基于气体折射率的非极性气体真空测量范围为10Pa-105Pa；
步骤5：对气体吸收池23抽真空，获取吸收池内的背景光谱和光强监测支路的光源强度分布；
步骤6：将样品气体充入气体吸收池23内，获取吸收池内待测样品气体的样品光谱和光强监测支路的光源强度分布；其中，样品气体为极性纯净气体或者极性混合气体，当样品气体为极性纯净气体时，测量结果为该样品气体的全压力；当样品气体为极性混合气体时，测量结果为该混合样品气体中目标气体的分压力；
步骤7：将样品光谱与背景光谱相比，得到样品气体的特征吸收峰数据，采用Gauss、Voigt或者Lorentz线型函数对吸收峰数据进行线型拟合，拟合后计算得到目标气体压力值；基于激光吸收谱的极性纯净气体全压力或者极性混合气体分压力的测量范围为10-4pa-105Pa。
具体的，结合装置本身与应用方法，本申请实施例测量过程如下：Fabty-Perot腔先由温度测控单元进行双层控温，控温后温度波动小于1mk，可调谐二极管激光器1的出射光被分束镜2分为两束光，一束作为探测激光，另一束作为参考激光，探测激光进入电光调制器3进行相位调制后产生边带，之后再经过分束镜4后，进入Fabry-Perot腔5内，5％的激光透射后被第一光电探测器6接收，95％的激光反射后，经过分束镜4和反射镜7反射后，被第二光电探测器8接收；PDH锁频单元9根据电光调制器3的调制信号和第二光电探测器8接收的反射信号对探测激光进行锁频，第一光频梳光源10发射的参考光梳经过分束镜11分为两束，一束与参考激光经过分束镜12耦合后，通过拍频单元13进行拍频检测。对Fabry-Perot腔5抽真空后测量探测激光的初态频率和参考激光与参考光梳的初态拍频，对Fabry-Perot腔5充入非极性纯净气体至预定压力后，测量探测激光的末态频率和参考激光与参考光梳的末态拍频，根据充气前后激光与参考光梳的拍频变化得到气体折射率，进而反演获得Fabry-Perot腔5内气体的真空度。第二光频梳光源21发射的探测光梳经过分束镜22后，一部分作为光谱探测支路进入气体吸收池23与样品气体(极性纯净气体或者极性混合气体)充分作用后，通过分束镜24，与经过反射镜15、分束镜16以及反射镜17反射的参考光梳耦合发生干涉，产生拍频信号后被第三光电探测器25接收；另一部分作为光强监测支路不经过气体吸收池23，直接通过反射镜18和分束镜19，与经过反射镜15以及分束镜16的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第四光电探测器20接收。第四光电探测器20的输出是未经过样品气体吸收衰减的参考光强信号，该光谱信号被用作基准信号，对吸收光谱信号做基线校正，第三光电探测器25的输出是经过样品气体吸收的采样光强信号。压力反演计算单元26即根据第三光电探测器接收的信号和第四光电探测器接收的光强对外差干涉信号进行修正，比较气体吸收池充气前后的光谱数据，获得气体吸收池内的样品气体的光谱吸收曲线，采用Gauss、Voigt或者Lorentz线型函数对吸收峰数据进行线型拟合，从而反演计算得到气体吸收池内的气体压力。
更具体的，本申请实施例提供的宽量程多参数真空测量装置及方法，采用光学方法实现气体密度的精密测量，进而反演出真空量值，在减小测量不确定度的同时，可实现真空量值的扁平化传递，为真空量值提供了新的溯源途径，同时采用同一光频梳光源作为折射率法和激光吸收谱法真空测量的频率参考，能够同时实现宽量程非极性气体的全压力测量和极性气体的全/分压力测量，进而实现宽量程、多参数、高精度、低成本的真空测量。
以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种宽量程多参数真空测量装置，其特征在于，包括可调谐二极管激光器、电光调制器、Fabry-Perot腔、PDH锁频单元、光频梳光源、拍频单元、气体吸收池以及压力反演计算单元，其中：
所述光频梳光源包括第一光频梳光源和第二光频梳光源，所述第一光频梳光源与所述第二光频梳光源之间设置有自参考单元；
所述可调谐二极管激光器的出射光经过分束镜被分成探测激光和参考激光，所述探测激光经过所述电光调制器调制后，再次经过分束镜后进入Fabry-Perot腔，一部分透射后被第一光电探测器接收，另一部分反射后经过分束镜和反射镜后被第二光电探测器接收；
所述PDH锁频单元根据所述电光调制器的调制信号和所述第二光电探测器接收的反射信号对探测激光进行锁频；
所述第一光频梳光源发射参考光梳，与参考激光耦合后通过所述拍频单元进行拍频检测；
所述第二光频梳光源发射探测光梳，探测光梳经过分束镜后，一部分作为光谱探测支路进入所述气体吸收池，与所述气体吸收池内样品气体作用后，与反射的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第三光电探测器接收，另一部分作为光强监测支路不经过所述气体吸收池直接与反射的参考光梳耦合发生干涉，产生的拍频信号被第四光电探测器接收；
所述压力反演计算单元根据所述第三光电探测器接收的信号和所述第四光电探测器接收的信号，能够得到所述气体吸收池内的样品气体的光谱吸收曲线，从而反演得到所述气体吸收池内的气体压力。
2.根据权利要求1所述的宽量程多参数真空测量装置，其特征在于，所述可调谐二极管激光器的波长调谐范围为765-805nm，线宽<10KHz。
3.根据权利要求1所述的宽量程多参数真空测量装置，其特征在于，所述Fabry-Perot腔为真空腔，用于通入待测的非极性气体；所述气体吸收池为多通池真空腔，用于通入待测的极性气体。
4.根据权利要求1所述的宽量程多参数真空测量装置，其特征在于，所述光频梳光源为1555nm掺铒光纤光频梳与1064nm激光差频而成，梳齿线宽为10kHz，输出能量为30mW。
5.根据权利要求3所述的宽量程多参数真空测量装置，其特征在于，还包括温度测控单元，所述温度测控单元分别与所述Fabry-Perot腔和所述气体吸收池连接，用于对所述Fabry-Perot腔和所述气体吸收池内部的温度进行控制和测量。
6.一种应用权利要求1-5任一项所述的宽量程多参数真空测量装置的方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：利用PDH锁频单元将探测激光频率锁定在Fabry-Perot腔内，并通过温度测控单元将Fabry-Perot腔内温度控制在腔体材料的零膨胀点；
步骤2：对Fabry-Perot腔抽真空，测量腔内探测激光初态频率和参考激光与参考光梳的初态拍频；
步骤3：在Fabry-Perot腔内充入待测气体，测量腔内探测激光末态频率和参考激光与参考光梳的末态拍频；
步骤4：根据充气前后参考激光与参考光梳的拍频变化得到气体折射率，从而获得Fabry-Perot腔内的真空度；
步骤5：对气体吸收池抽真空，获取吸收池内的背景光谱和光强监测支路的光源强度分布；
步骤6：将样品气体充入气体吸收池内，获取吸收池内待测样品气体的样品光谱和光强监测支路的光源强度分布；
步骤7：将样品光谱与背景光谱相比，得到样品气体的特征吸收峰数据，对吸收峰数据进行线型拟合后计算得到目标气体压力值。
7.根据权利要求6所述的应用宽量程多参数真空测量装置的方法，其特征在于，步骤3中，待测气体为非极性纯净气体。
8.根据权利要求6所述的应用宽量程多参数真空测量装置的方法，其特征在于，步骤6中，样品气体为极性纯净气体或者极性混合气体，当样品气体为极性纯净气体时，测量结果为该样品气体的全压力；当样品气体为极性混合气体时，测量结果为该混合样品气体中目标气体的分压力。
9.根据权利要求7所述的应用宽量程多参数真空测量装置的方法，其特征在于，步骤4中，基于气体折射率的非极性气体真空测量范围为10Pa-105Pa。
10.根据权利要求8所述的应用宽量程多参数真空测量装置的方法，其特征在于，步骤7中，采用Gauss、Voigt或者Lorentz线型函数对吸收峰数据进行线型拟合；基于激光吸收谱的极性纯净气体全压力或者极性混合气体分压力的测量范围为10-4Pa-105Pa。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310927049.0A CN116929630A (zh) | 2023-07-26 | 2023-07-26 | 一种宽量程多参数真空测量装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310927049.0A CN116929630A (zh) | 2023-07-26 | 2023-07-26 | 一种宽量程多参数真空测量装置及方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116929630A true CN116929630A (zh) | 2023-10-24 |
Family
ID=88378774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310927049.0A Pending CN116929630A (zh) | 2023-07-26 | 2023-07-26 | 一种宽量程多参数真空测量装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116929630A (zh) |
-
2023
- 2023-07-26 CN CN202310927049.0A patent/CN116929630A/zh active Pending
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