CN116858811B - 一种高动态范围精密散射特性测量设备 - Google Patents

一种高动态范围精密散射特性测量设备 Download PDF

Info

Publication number
CN116858811B
CN116858811B CN202311137898.2A CN202311137898A CN116858811B CN 116858811 B CN116858811 B CN 116858811B CN 202311137898 A CN202311137898 A CN 202311137898A CN 116858811 B CN116858811 B CN 116858811B
Authority
CN
China
Prior art keywords
plate
fixedly arranged
reflecting mirror
box chamber
module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202311137898.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN116858811A (zh
Inventor
黄智强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chengdu Supai Optical Technology Co ltd
Original Assignee
Chengdu Supai Optical Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chengdu Supai Optical Technology Co ltd filed Critical Chengdu Supai Optical Technology Co ltd
Priority to CN202311137898.2A priority Critical patent/CN116858811B/zh
Publication of CN116858811A publication Critical patent/CN116858811A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116858811B publication Critical patent/CN116858811B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/49Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种高动态范围精密散射特性测量设备,包括底箱室以及顶箱室,底箱室底端固定设置有架板,顶箱室内部嵌合滑动设置有照射集成箱,底箱室内部嵌合滑动设置有接收捕捉箱,底箱室内壁固定设置有消光垫板,底箱室底端内壁以及顶箱室顶端内壁之间均固定设置有消光隔板,盘块一端固定设置有电动滑轨装置,电动滑轨装置外侧嵌合滑动设置有滑套板,滑套板一端固定设置有折板,折板一端固定设置有套框,套框内部嵌合固定设置有负压气泵装置,负压气泵装置一端以及筒箱底端内部均固定设置有导管,套框一端内部固定设置有柔性孔板,通过上述组件可提供具有高动态范围、高精度、波长范围宽、可进行偏振调制等优点的散射特性测量装置。

Description

一种高动态范围精密散射特性测量设备
技术领域
本发明涉及散射特性测量技术领域,尤其涉及一种高动态范围精密散射特性测量设备。
背景技术
随着现代空间光学、光电子器件等学科的发展,光学系统对零部件表面的要求越来越高,尤其是零部件表面的散射特性,目标表面散射特性是可探测和可识别物理量的科学描述,可提供目标表面特征的测量,可为目标选择技术中目标回波的识别提供技术依据,以对宝石表面、汽车车漆、车膜表面等进行特性测量为例。
部分在对宝石表面、汽车车漆、车膜表面进行成品检测时,采用BRDF测量装置对成品件表面进行精密散射测量,其光源照射成品件表面不易对光线进行多组偏振调节,所得数据的采集效率较低,影响对成品件表面的散射特性数据的采集效率,且测量装置的动态测量范围、精度、波长范围以及偏振调制等方面不便调试,因此,针对上述问题提出一种高动态范围精密散射特性测量设备。
发明内容
本发明目的在于提供一种高动态范围精密散射特性测量设备,以解决上述提出的部分在对宝石表面、汽车车漆、车膜表面进行成品检测时,采用BRDF测量装置对成品件表面进行精密散射测量,其光源照射成品件表面不易对光线进行多组偏振调节,所得数据的采集效率较低,影响对成品件表面的散射特性数据的采集效率,且测量装置的动态测量范围、精度、波长范围以及偏振调制等方面不便调试的问题。
本发明通过下述技术方案实现:
一种高动态范围精密散射特性测量设备,包括底箱室以及顶箱室,底箱室顶端设置有顶箱室,顶箱室右侧顶部固定连通有筒箱,底箱室底端固定设置有架板,顶箱室内部嵌合滑动设置有照射集成箱,底箱室内部嵌合滑动设置有接收捕捉箱,底箱室内壁固定设置有消光垫板,底箱室底端内壁以及顶箱室顶端内壁之间均固定设置有消光隔板,顶箱室顶端内壁板之间固定设置有卡板,筒箱内部固定设置有盘块,盘块一端固定设置有电动滑轨装置,电动滑轨装置外侧嵌合滑动设置有滑套板,滑套板一端固定设置有折板,折板一端固定设置有套框,套框内部嵌合固定设置有负压气泵装置,负压气泵装置一端以及筒箱底端内部均固定设置有导管,套框一端内部固定设置有柔性孔板,柔性孔板外侧设置有待测工件,照射集成箱内部包括光源模块、信号调制模块、能量衰减模块、准直扩束模块、偏振模块、会聚镜组、针孔以及聚焦镜组,光源模块包括第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜,能量衰减模块包括第一衰减片、第二衰减片以及第三衰减片,偏振模块包括起偏器、二分之一波片以及四分之一波片,接收捕捉箱包括可变光阑、耦合镜组、视场光阑以及光电探测器,接收捕捉箱底端贴合接触有装配板,光电探测器一端通过数据线与数据处理器电性连接,数据处理器另一端通过数据线与信号解调模块电性连接,信号解调模块另一端通过数据线与信号调制模块一端电性连接。
优选的,底箱室顶端外侧固定设置的法兰盖顶部以及顶箱室底端外侧固定设置的法兰盖底部均固定设置有黑色橡胶垫,底箱室、顶箱室通过外部螺柱与法兰盖内螺纹孔以及黑色橡胶垫的内孔进行螺纹装配限位。
优选的,导管内部嵌合固定连通有弹簧波纹管,导管的末端固定连通有柱筒,导管末端设置的柱筒内部嵌合固定连通有滤尘网。
优选的,柔性孔板底部斜面以及待测工件底部斜面与水平面的夹角均为45度设置,电动滑轨装置与前后端向的垂向面呈45度设置,电动滑轨装置与套框顶端斜面垂直设置。
优选的,照射集成箱一端嵌合插接有第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜,第一反射镜、第二反射镜以及第四反射镜相互平行且与水平面呈45度设置,第三反射镜与第二反射镜呈对向设置且与水平面呈45度设置。
优选的,在套框的两侧分别设置有滑槽,滑槽内滑动设置有滑块,滑块上连接有承载板,承载板可承载待测工件,且承载板上垂直设置有限位板,在套框两侧还分别转动设置有旋转板,两个旋转板通过连接框进行连接,旋转板上设有弧形槽,滑块的局部滑动设置于弧形槽内,在旋转板上固定设置有第一齿轮,在顶箱室的内壁上设置有固定杆,固定杆上设有与第一齿轮相配合的第二齿轮,在套框的外壁上设有锁紧块,锁紧块内开设有与外界连通的凹槽,凹槽的两侧内壁分别设有弹性板,在第一齿轮上设有第一连接杆,第一连接杆上垂直设置有第二连接杆,弹性板用于挤压第二连接杆,使得对第二连接杆进行限位。
本发明与现有技术相比,具有如下的优点和有益效果:
1、本发明中,光源模块发出的光波经信号调制模块和信号解调模块进行信号处理,经过能量衰减模块保证系统具有高动态范围,再经准直扩束模块使光束变为准直光束,偏振模块对准直光束进行偏振态变换操作,以提供不同偏振模式照明,满足不同应用需求,会聚镜组将经偏振模块调制的光束会聚为细光束,再经针孔滤波,通过聚焦镜组将经过针孔滤波的光束变换为会聚光束,照射到待测工件表面,聚焦镜组焦面落在可变光阑孔径平面上,经待测工件散射到半球空间的光束通过可变光阑控制入射到耦合镜组表面光斑的大小,耦合镜组将待测工件散射到半球空间的部分光束能量收集于光电探测器,视场光阑调节光电探测器光敏面的视场大小,消光垫板以及消光隔板用于收集因待测工件表面产生的镜面反射光束,经过待测工件表面调制进入光电探测器的光能量包含了待测工件表面的散射特性信息;
2、本发明中,光源模块内设置的第一光源、第二光源、第三光源以及第四光源可使用激光光源、LED光源、卤素光源等,可根据实际测量需求选择,激光光源可在波长370nm~980nm、1.0μm~100.0μm光源中选择1种至4种波长光源,卤素光源可选择范围400nm~1700nm,信号调制模块可采用机械调制、电学调制和光学调制方式,与信号解调模块配合,以提高系统的测量灵敏度,能量衰减模可采用多级能量衰减片,每级能量衰减片使能量减小至少两个数量级,测量时根据光电探测器响应的能量大小从而选择合适的能量衰减量级,以提高系统的测量动态范围,偏振模块包括起偏器、二分之一波片、四分之一波片,以提供不同偏振模式照明光束,满足不同测量需求;
3、本发明中,顶箱室前端面设置有柱槽孔以及环形槽道,顶箱室前端设置的面板后端固定设置的槽柱以及环形硅胶条用于对顶箱室前端开口进行嵌合封装,便于更换待测工件,负压气泵装置启动,通过导管末端的带有滤尘网的柱筒对空气进行抽排,于柔性孔板底部表面产生负压吸力,电动滑轨装置带动滑套板斜向下移动,此时被吸附于柔性孔板底部设置的待测工件的底部斜面与光源模块发出的照射光的区域产生上移变化,在不改变照射角度的前提下,可对不同照射区域进行表面散射特性进行数据采集。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解,构成本申请的一部分,并不构成对本发明实施例的限定。在附图中:
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的照射集成箱分布结构示意图;
图3为本发明的图1的A处结构示意图;
图4为本发明的图1的B处结构示意图;
图5为本发明的顶箱室前端结构示意图;
图6为本发明的照射集成箱内部模块分布结构示意图;
图7为本发明的光源模块分布结构示意图;
图8为本发明的能量衰减模块分布结构示意图;
图9为本发明的偏振模块分布结构示意图;
图10为本发明的接收捕捉箱内部组件结构示意图;
图11为本发明第一齿轮与旋转板的连接结构示意图。
附图标记所代表的为:1、底箱室;2、顶箱室;3、筒箱;31、盘块;32、电动滑轨装置;33、滑套板;34、折板;35、套框;36、负压气泵装置;37、导管;38、柔性孔板;39、待测工件;4、架板;5、照射集成箱;51、光源模块;511、第一光源;512、第二光源;513、第三光源;514、第四光源;515、第一反射镜;516、第二反射镜;517、第三反射镜;518、第四反射镜;52、信号调制模块;53、能量衰减模块;531、第一衰减片;532、第二衰减片;533、第三衰减片;54、准直扩束模块;55、偏振模块;551、起偏器;552、二分之一波片;553、四分之一波片;56、会聚镜组;57、针孔;58、聚焦镜组;6、接收捕捉箱;61、可变光阑;62、耦合镜组;63、视场光阑;64、光电探测器;65、装配板;66、数据处理器;67、信号解调模块;7、消光垫板;8、消光隔板;9、卡板;10、滑槽;101、滑块;102、承载板;103、限位板;104、旋转板;105、连接框;106、弧形槽;107、第一齿轮;108、固定杆;109、第二齿轮;110、锁紧块;111、凹槽;112、第一连接杆;113、第二连接杆。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下面结合实施例和附图,对本发明作进一步的详细说明,本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明,并不作为对本发明的限定。需要说明的是,本发明已经处于实际研发使用阶段。
实施例1:
如图1至图10所示,本实施例包括底箱室1以及顶箱室2,底箱室1顶端设置有顶箱室2,顶箱室2右侧顶部固定连通有筒箱3,底箱室1底端固定设置有架板4,顶箱室2内部嵌合滑动设置有照射集成箱5,底箱室1内部嵌合滑动设置有接收捕捉箱6,底箱室1内壁固定设置有消光垫板7,底箱室1底端内壁以及顶箱室2顶端内壁之间均固定设置有消光隔板8,顶箱室2顶端内壁板之间固定设置有卡板9,筒箱3内部固定设置有盘块31,盘块31一端固定设置有电动滑轨装置32,电动滑轨装置32外侧嵌合滑动设置有滑套板33,滑套板33一端固定设置有折板34,折板34一端固定设置有套框35,套框35内部嵌合固定设置有负压气泵装置36,负压气泵装置36一端以及筒箱3底端内部均固定设置有导管37,套框35一端内部固定设置有柔性孔板38,柔性孔板38外侧设置有待测工件39,照射集成箱5内部包括光源模块51、信号调制模块52、能量衰减模块53、准直扩束模块54、偏振模块55、会聚镜组56、针孔57以及聚焦镜组58,光源模块51包括第一光源511、第二光源512、第三光源513、第四光源514、第一反射镜515、第二反射镜516、第三反射镜517以及第四反射镜518,能量衰减模块53包括第一衰减片531、第二衰减片532以及第三衰减片533,偏振模块55包括起偏器551、二分之一波片552以及四分之一波片553,接收捕捉箱6包括可变光阑61、耦合镜组62、视场光阑63以及光电探测器64,接收捕捉箱6底端贴合接触有装配板65,光电探测器64一端通过数据线与数据处理器66电性连接,数据处理器66另一端通过数据线与信号解调模块67电性连接,信号解调模块67另一端通过数据线与信号调制模块52一端电性连接,底箱室1顶端外侧固定设置的法兰盖顶部以及顶箱室2底端外侧固定设置的法兰盖底部均固定设置有黑色橡胶垫,底箱室1、顶箱室2通过外部螺柱与法兰盖内螺纹孔以及黑色橡胶垫的内孔进行螺纹装配限位;导管37内部嵌合固定连通有弹簧波纹管,导管37的末端固定连通有柱筒,导管37末端设置的柱筒内部嵌合固定连通有滤尘网;柔性孔板38底部斜面以及待测工件39底部斜面与水平面的夹角均为45度设置,电动滑轨装置32与前后端向的垂向面呈45度设置,电动滑轨装置32与套框35顶端斜面垂直设置;照射集成箱5一端嵌合插接有第一反射镜515、第二反射镜516、第三反射镜517以及第四反射镜518,第一反射镜515、第二反射镜516以及第四反射镜518相互平行且与水平面呈45度设置,第三反射镜517与第二反射镜516呈对向设置且与水平面呈45度设置;照射集成箱5顶部嵌合插接有二分之一波片552以及四分之一波片553,二分之一波片552与前后端向的垂向面平行设置,四分之一波片553与前后端向的垂向面呈45度设置;数据处理器66顶端以及信号解调模块67顶端均与垫片焊接固定设置,数据处理器66、信号解调模块顶端设置的垫片通过外部螺柱与底箱室1底端螺纹限位,装配板65顶端通过外部螺柱与底箱室1底端螺纹限位,光源模块51发出的光波经信号调制模块52和信号解调模块67进行信号处理,经过能量衰减模块53保证系统具有高动态范围,再经准直扩束模块54使光束变为准直光束,偏振模块55对准直光束进行偏振态变换操作,以提供不同偏振模式照明,满足不同应用需求,会聚镜组56将经偏振模块55调制的光束会聚为细光束,再经针孔57滤波,通过聚焦镜组58将经过针孔57滤波的光束变换为会聚光束,照射到待测工件39表面,聚焦镜组58焦面落在可变光阑61孔径平面上,经待测工件39散射到半球空间的光束通过可变光阑61控制入射到耦合镜组62表面光斑的大小,耦合镜组62将待测工件39散射到半球空间的部分光束能量收集于光电探测器64,视场光阑63调节光电探测器64光敏面的视场大小,消光垫板7以及消光隔板8用于收集因待测工件39表面产生的镜面反射光束,经过待测工件39表面调制进入光电探测器64的光能量包含了待测工件39表面的散射特性信息,经数据处理器66获得待测工件39散射特性的分布和大小,光源模块51内设置的第一光源511、第二光源512、第三光源513以及第四光源514可使用激光光源、LED光源、卤素光源等,可根据实际测量需求选择,激光光源可在波长370nm~980nm、1.0μm~100.0μm光源中选择1种至4种波长光源,卤素光源可选择范围400nm~1700nm,信号调制模块52可采用机械调制、电学调制和光学调制方式,与信号解调模块配合,以提高系统的测量灵敏度,能量衰减模块53可采用多级能量衰减片,每级能量衰减片使能量减小至少两个数量级,测量时根据光电探测器64响应的能量大小从而选择合适的能量衰减量级,以提高系统的测量动态范围,偏振模块55包括起偏器551、二分之一波片552、四分之一波片553,以提供不同偏振模式照明光束,满足不同测量需求。
实施例2:
本实施例包括底箱室1以及顶箱室2,底箱室1顶端设置有顶箱室2,顶箱室2右侧顶部固定连通有筒箱3,底箱室1底端固定设置有架板4,顶箱室2内部嵌合滑动设置有照射集成箱5,底箱室1内部嵌合滑动设置有接收捕捉箱6,底箱室1内壁固定设置有消光垫板7,底箱室1底端内壁以及顶箱室2顶端内壁之间均固定设置有消光隔板8,顶箱室2顶端内壁板之间固定设置有卡板9,筒箱3内部固定设置有盘块31,盘块31一端固定设置有电动滑轨装置32,电动滑轨装置32外侧嵌合滑动设置有滑套板33,滑套板33一端固定设置有折板34,折板34一端固定设置有套框35,套框35内部嵌合固定设置有负压气泵装置36,负压气泵装置36一端以及筒箱3底端内部均固定设置有导管37,套框35一端内部固定设置有柔性孔板38,柔性孔板38外侧设置有待测工件39,照射集成箱5内部包括光源模块51、信号调制模块52、能量衰减模块53、准直扩束模块54、偏振模块55、会聚镜组56、针孔57以及聚焦镜组58,光源模块51包括第一光源511、第二光源512、第三光源513、第四光源514、第一反射镜515、第二反射镜516、第三反射镜517以及第四反射镜518,能量衰减模块53包括第一衰减片531、第二衰减片532以及第三衰减片533,偏振模块55包括起偏器551、二分之一波片552以及四分之一波片553,接收捕捉箱6包括可变光阑61、耦合镜组62、视场光阑63以及光电探测器64,接收捕捉箱6底端贴合接触有装配板65,光电探测器64一端通过数据线与数据处理器66电性连接,数据处理器66另一端通过数据线与信号解调模块67电性连接,信号解调模块67另一端通过数据线与信号调制模块52一端电性连接,底箱室1顶端外侧固定设置的法兰盖顶部以及顶箱室2底端外侧固定设置的法兰盖底部均固定设置有黑色橡胶垫,底箱室1、顶箱室2通过外部螺柱与法兰盖内螺纹孔以及黑色橡胶垫的内孔进行螺纹装配限位;导管37内部嵌合固定连通有弹簧波纹管,导管37的末端固定连通有柱筒,导管37末端设置的柱筒内部嵌合固定连通有滤尘网;柔性孔板38底部斜面以及待测工件39底部斜面与水平面的夹角均为45度设置,电动滑轨装置32与前后端向的垂向面呈45度设置,电动滑轨装置32与套框35顶端斜面垂直设置;照射集成箱5一端嵌合插接有第一反射镜515、第二反射镜516、第三反射镜517以及第四反射镜518,第一反射镜515、第二反射镜516以及第四反射镜518相互平行且与水平面呈45度设置,第三反射镜517与第二反射镜516呈对向设置且与水平面呈45度设置;照射集成箱5顶部嵌合插接有二分之一波片552以及四分之一波片553,二分之一波片552与前后端向的垂向面平行设置,四分之一波片553与前后端向的垂向面呈45度设置;数据处理器66顶端以及信号解调模块67顶端均与垫片焊接固定设置,数据处理器66、信号解调模块顶端设置的垫片通过外部螺柱与底箱室1底端螺纹限位,装配板65顶端通过外部螺柱与底箱室1底端螺纹限位,顶箱室2前端面设置有柱槽孔以及环形槽道,顶箱室2前端设置的面板后端固定设置的槽柱以及环形硅胶条用于对顶箱室2前端开口进行嵌合封装,便于更换待测工件39,负压气泵装置36启动,通过导管37末端的带有滤尘网的柱筒对空气进行抽排,于柔性孔板38底部表面产生负压吸力,电动滑轨装置32带动滑套板33斜向下移动,此时被吸附于柔性孔板38底部设置的待测工件39的底部斜面与光源模块51发出的照射光的区域产生上移变化,在不改变照射角度的前提下,可对不同照射区域进行表面散射特性进行数据采集,选择合适的波长对待测工件39进行散射特性测量,当选择第一光源511时,关闭第二光源512、第三光源513、第四光源514,同时移开第二反射镜516、第三反射镜517、第四反射镜518,当选择第二光源512时,关闭第一光源511、第三光源513、第四光源514,移开第三反射镜517、第四反射镜518,当选择第三光源513时,移开第四反射镜518,当选择第四光源514时,不用移开任何反射镜,偏振模块55包括起偏器551、二分之一波片552、四分之一波片553,起偏器551使通过偏振片后的光束成为线偏振光,光的振动方向与起偏器551的偏振方向一致,波片是能使互相垂直的两光振动间产生附加的光程差(位相差)的光学器件,通常由具有精确厚度的石英、方解石或者云母等双折射晶片制成,其光轴与晶片表面平行,当线偏振光垂直入射到波片时,其光轴方向与波片光轴夹角为θ角,线偏振光穿过二分之一波片552后仍为线偏振光,只是一般情况下振动方向要转过一角度,利用此功能可以使输入光波在s光、p光之间相互切换,当以线偏振光入射到四分之一波片553时,且θ=45°,则穿过四分之一波片553后的光束变为圆偏振光,二分之一波片552和四分之一波片553按待测工件39的测试需求选择不同的偏振模式。
实施例3:
在实施例2的基础上,还有另一种实施方式:
如图1至图11所示,在套框35的两侧分别设置有滑槽10,滑槽10内滑动设置有滑块101,滑块101上连接有承载板102,承载板102可承载待测工件39,且承载板102上垂直设置有限位板103,在套框35两侧还分别转动设置有旋转板104,两个旋转板104通过连接框105进行连接,旋转板104上设有弧形槽106,滑块101的局部滑动设置于弧形槽106内,在旋转板104上固定设置有第一齿轮107,在顶箱室2的内壁上设置有固定杆108,固定杆108上设有与第一齿轮107相配合的第二齿轮109,在套框35的外壁上设有锁紧块110,锁紧块110内开设有与外界连通的凹槽111,凹槽111的两侧内壁分别设有弹性板,在第一齿轮107上设有第一连接杆112,第一连接杆112上垂直设置有第二连接杆113,弹性板用于挤压第二连接杆113,使得对第二连接杆113进行限位。
由于待测工件39是通过吸附进行限位的,且待测工件39具有一定的重量,电动滑轨装置32带动滑套板33进行移动时,待测工件39可能会产生晃动,以及重量原因进行下滑移动,与初始位置相比,会导致错位的情况,而在采集过程中,待测组件的错位,也就是向下移动的情况,会影响整体的采集效率。
本申请通过电动滑轨装置32带动滑套板33进行移动,套框35上的其中一个第一齿轮107与固定杆108上的第二齿轮109啮合从而转动,第一齿轮107的转动可带动旋转板104进行旋转,旋转板104的转动通过连接框105带动另一个旋转板104进行转动,这里只设置一个第二齿轮109目的在于:若套框35两侧同时都设置了第一齿轮107,且顶箱室2两侧壁都设置有第二齿轮109,则无法保证能够同时移动承载板102,优选设置一个第二齿轮109和一个第一齿轮107,但对于重量较重的板件,可以采用两个第一齿轮107和两个第二齿轮109进行配合;
旋转板104转动的过程中,同时带动弧形槽106也进行转动,弧形槽106内滑动设置有滑块101,弧形槽106转动过程中,使得滑块101在滑槽10内进行朝远离待测工件39的方向滑动,滑块101连接承载板102,因此承载板102朝待测工件39方向移动,则承载板102上的限位板103与待测工件39接触对其进行限位作用;
并且由于第一齿轮107和第二齿轮109并不是持续的接触,当第一齿轮107和第二齿轮109进行啮合转动时,随着电动滑轨装置32带动滑套板33持续的进行移动,则第一齿轮107和第二齿轮109脱离,但滑轨装置带动滑套板33又能进行啮合,因为它们设置在同一轨迹上,不会改变移动的轨迹,在脱离的同时,第一齿轮107上的第二连接杆113进入凹槽111内,且第二连接杆113被凹槽111内的弹性板挤压,对其第二连接杆113进行限位,也就是等同于对承载板102以及限位板103进行限位,此时的限位板103与待测工件39接触,则限位板103对待测工件39施加朝套框35方向的压力,通过负压气泵装置36的吸附力作用以及限位板103的限位作用,减少待测工件39的晃动以及向下滑动的情况。
以上的具体实施方式,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上仅为本发明的具体实施方式而已,并不用于限定本发明的保护范围,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种高动态范围精密散射特性测量设备,包括底箱室(1)以及顶箱室(2),其特征在于:底箱室(1)顶端设置有顶箱室(2),顶箱室(2)右侧顶部固定连通有筒箱(3),底箱室(1)底端固定设置有架板(4),顶箱室(2)内部嵌合滑动设置有照射集成箱(5),底箱室(1)内部嵌合滑动设置有接收捕捉箱(6),底箱室(1)内壁固定设置有消光垫板(7),底箱室(1)底端内壁以及顶箱室(2)顶端内壁之间均固定设置有消光隔板(8),顶箱室(2)顶端内壁板之间固定设置有卡板(9),筒箱(3)内部固定设置有盘块(31),盘块(31)一端固定设置有电动滑轨装置(32),电动滑轨装置(32)外侧嵌合滑动设置有滑套板(33),滑套板(33)一端固定设置有折板(34),折板(34)一端固定设置有套框(35),套框(35)内部嵌合固定设置有负压气泵装置(36),负压气泵装置(36)一端以及筒箱(3)底端内部均固定设置有导管(37),套框(35)一端内部固定设置有柔性孔板(38),柔性孔板(38)外侧设置有待测工件(39),导管(37)内部嵌合固定连通有弹簧波纹管,导管(37)的末端固定连通有柱筒,导管(37)末端设置的柱筒内部嵌合固定连通有滤尘网,在套框(35)的两侧分别设置有滑槽(10),滑槽(10)内滑动设置有滑块(101),滑块(101)上连接有承载板(102),承载板(102)可承载待测工件(39),且承载板(102)上垂直设置有限位板(103),在套框(35)两侧还分别转动设置有旋转板(104),两个旋转板(104)通过连接框(105)进行连接,旋转板(104)上设有弧形槽(106),滑块(101)的局部滑动设置于弧形槽(106)内,在旋转板(104)上固定设置有第一齿轮(107),在顶箱室(2)的内壁上设置有固定杆(108),固定杆(108)上设有与第一齿轮(107)相配合的第二齿轮(109),在套框(35)的外壁上设有锁紧块(110),锁紧块(110)内开设有与外界连通的凹槽(111),凹槽(111)的两侧内壁分别设有弹性板,在第一齿轮(107)上设有第一连接杆(112),第一连接杆(112)上垂直设置有第二连接杆(113),弹性板用于挤压第二连接杆(113),使得对第二连接杆(113)进行限位。
2.根据权利要求1所述的一种高动态范围精密散射特性测量设备,其特征在于:照射集成箱(5)内部包括光源模块(51)、信号调制模块(52)、能量衰减模块(53)、准直扩束模块(54)、偏振模块(55)、会聚镜组(56)、针孔(57)以及聚焦镜组(58),光源模块(51)包括第一光源(511)、第二光源(512)、第三光源(513)、第四光源(514)、第一反射镜(515)、第二反射镜(516)、第三反射镜(517)以及第四反射镜(518),能量衰减模块(53)包括第一衰减片(531)、第二衰减片(532)以及第三衰减片(533),偏振模块(55)包括起偏器(551)、二分之一波片(552)以及四分之一波片(553)。
3.根据权利要求1所述的一种高动态范围精密散射特性测量设备,其特征在于:接收捕捉箱(6)包括可变光阑(61)、耦合镜组(62)、视场光阑(63)以及光电探测器(64),接收捕捉箱(6)底端贴合接触有装配板(65),光电探测器(64)一端通过数据线与数据处理器(66)电性连接,数据处理器(66)另一端通过数据线与信号解调模块(67)电性连接,信号解调模块(67)另一端通过数据线与信号调制模块(52)一端电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种高动态范围精密散射特性测量设备,其特征在于:底箱室(1)顶端外侧固定设置的法兰盖顶部以及顶箱室(2)底端外侧固定设置的法兰盖底部均固定设置有黑色橡胶垫,底箱室(1)、顶箱室(2)通过外部螺柱与法兰盖内螺纹孔以及黑色橡胶垫的内孔进行螺纹装配限位。
5.根据权利要求1所述的一种高动态范围精密散射特性测量设备,其特征在于:柔性孔板(38)底部斜面以及待测工件(39)底部斜面与水平面的夹角均为45度设置,电动滑轨装置(32)与前后端向的垂向面呈45度设置,电动滑轨装置(32)与套框(35)顶端斜面垂直设置。
6.根据权利要求1所述的一种高动态范围精密散射特性测量设备,其特征在于:照射集成箱(5)一端嵌合插接有第一反射镜(515)、第二反射镜(516)、第三反射镜(517)以及第四反射镜(518),第一反射镜(515)、第二反射镜(516)以及第四反射镜(518)相互平行且与水平面呈45度设置,第三反射镜(517)与第二反射镜(516)呈对向设置且与水平面呈45度设置。
CN202311137898.2A 2023-09-05 2023-09-05 一种高动态范围精密散射特性测量设备 Active CN116858811B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311137898.2A CN116858811B (zh) 2023-09-05 2023-09-05 一种高动态范围精密散射特性测量设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311137898.2A CN116858811B (zh) 2023-09-05 2023-09-05 一种高动态范围精密散射特性测量设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116858811A CN116858811A (zh) 2023-10-10
CN116858811B true CN116858811B (zh) 2023-11-21

Family

ID=88236361

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311137898.2A Active CN116858811B (zh) 2023-09-05 2023-09-05 一种高动态范围精密散射特性测量设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116858811B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05249006A (ja) * 1992-03-09 1993-09-28 Nippon Steel Corp サンプル分析装置
CN207358858U (zh) * 2017-09-02 2018-05-15 陈学生 一种夹紧效果好的净水设备生产用打磨装置
CN108535218A (zh) * 2018-04-13 2018-09-14 黄智强 一种高动态范围精密散射特性测量系统
CN108645794A (zh) * 2018-05-11 2018-10-12 深圳市华星光电技术有限公司 一种反射率检测设备及其检测方法
CN108662993A (zh) * 2018-04-13 2018-10-16 黄智强 一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统
CN212977813U (zh) * 2020-09-15 2021-04-16 贵阳学院 一种矿物磨薄片用负压吸附装置
CN214893680U (zh) * 2021-07-14 2021-11-26 苏州速派光学科技有限公司 一种半积分球式散射仪
CN215748810U (zh) * 2021-09-17 2022-02-08 九江沃金机械服务有限公司 一种塑料类材料精密加工件用固定机构

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05249006A (ja) * 1992-03-09 1993-09-28 Nippon Steel Corp サンプル分析装置
CN207358858U (zh) * 2017-09-02 2018-05-15 陈学生 一种夹紧效果好的净水设备生产用打磨装置
CN108535218A (zh) * 2018-04-13 2018-09-14 黄智强 一种高动态范围精密散射特性测量系统
CN108662993A (zh) * 2018-04-13 2018-10-16 黄智强 一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统
CN108645794A (zh) * 2018-05-11 2018-10-12 深圳市华星光电技术有限公司 一种反射率检测设备及其检测方法
CN212977813U (zh) * 2020-09-15 2021-04-16 贵阳学院 一种矿物磨薄片用负压吸附装置
CN214893680U (zh) * 2021-07-14 2021-11-26 苏州速派光学科技有限公司 一种半积分球式散射仪
CN215748810U (zh) * 2021-09-17 2022-02-08 九江沃金机械服务有限公司 一种塑料类材料精密加工件用固定机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN116858811A (zh) 2023-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104279978B (zh) 三维图形检测装置及测量方法
CN108072970B (zh) 光镊光片显微成像装置和方法
CN107861230B (zh) 变焦光镊共聚焦显微成像装置及方法
JPH02259508A (ja) 一体型干渉測定装置
CN104316506A (zh) 拉曼探头和可自动对焦的拉曼信号探测系统以及方法
KR20210034001A (ko) 검출 장치 및 검출 방법
EP1437719A3 (en) Optical pickup device, recording and reproducing apparatus and method for detecting near-field gap
CN116858811B (zh) 一种高动态范围精密散射特性测量设备
JP2023155115A (ja) 固体原子スピンの幾何学的位相に基づく光学浮上角速度測定装置及び方法
CN213365171U (zh) 一种自动聚焦显微镜光学装置
CN219694503U (zh) 一种测量双光束光阱中光束径向失准距离的装置
US3631711A (en) Comparing position and configuration of an object with a standard
CN101515043B (zh) 基于偶氮苯聚合物的轴对称相位延迟片及制作装置
KR970706480A (ko) 공초점 광학장치
CN115031629A (zh) 一种检测立方体分光棱镜胶合前定位的装置和方法
CN102854134A (zh) 一种基于能量回收原理的增强光激发波信号的光学系统
KR102315016B1 (ko) 조각거울과 가림막을 이용한 반사형 fpm
CN110514411B (zh) 镜片折射率检测装置及方法
CN209399942U (zh) 基于椭圆反光环的光照可调式汽车全景视觉检测系统
TW201321713A (zh) 三維量測系統
CN113433074A (zh) 基于离散调制的圆二色显微成像系统
JP2011237317A (ja) 赤外線分析装置
CN2777490Y (zh) 短距精密动态测角仪
Nosoko et al. Improved interferometer for measuring unsteady film thickness
CN109459415B (zh) 一种空间周期连续可调的激光瞬态光栅系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant