CN116797567A - 基于视觉检测的工件缺陷检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于包括：N个检测模组N为大于等于2的自然数，不同检测模组的检测条件不同；缺陷检测融合模块，所有检测模组均与缺陷检测融合模块通信连接，所有检测模组输出的检测图像均传送给缺陷检测融合模块，缺陷检测融合模块根据至少两组检测条件不同的检测图像，对待测工件的缺陷进行判定。与现有技术相比，本发明的优点在于：使用多个检测模组的不同检测条件的检测模组对待测工件进行视觉检测，缺陷检测融合模块融合至少两组检测条件不同的检测图像，对待测工件的缺陷进行判定，判断结果更加准确，能很好改善过筛或是漏判的情形。

Description

基于视觉检测的工件缺陷检测方法

技术领域

本发明涉及视觉检测技术领域，尤其是涉及一种基于视觉检测的工件缺陷检测方法。

背景技术

玻璃盖板是现代电子设备不可缺少的元件之一，随着电子产业的爆发,玻璃盖板生产的各个流程都逐渐趋于自动化。其中，在玻璃盖板完成生产后，对玻璃盖板进行质量检测是不可缺少的一项流程。

针对玻璃盖板检测，传统的检测方式是采用线扫和面阵相机这一类2D传感器进行。这类检测方法成本较为低廉，便于实施，效率很高。但存在比较明显的问题，由于现有视觉检测方案较为单一，每个图像检测工位采用单一的相机进行图像视觉拍摄检测，导致每个工位只能独立进行各自光学效果下的结果输出。这就会造成瑕疵在物理层面不能进行唯一性解析，不能分清玻璃盖板上的由图像检测输出“缺陷”结果到底是属于“脏污”还是实际存在的物理缺陷，进而导致检测结果为过筛或是漏判。

针对上述问题，现有技术中有一种检测方式是单个工位上的分时拍照。即对一个工位上的相机配合很多光源，利用透射、明场、暗场等高频切换拍摄行程混合图像，最后拆出各个效果图进行综合评估，这种检测方式在德国检测设备品牌申克博士上首先采用。这种方式相对于传统检测方式，其具备了多个2D图像联合评估的功能，同时缩短了机台尺寸，以单个工位产生了多个工位的拍摄效果，较为创新。但是也存在着一些缺点：(1)机台的改进还是在2D层面的综合应用上进行的，没有采用其他传感器，比如获取工件的3D形貌。(2)各图像检测工位并没有相互通讯，没有多工位联合进行综合判断。

在公告号为CN111337512B(专利为ZL202010438593.5)的中国发明中，提到了一种多工位缺陷提取方法，该方法的核心是学习到一个缺陷的集合，但是无法很好的评判定义缺陷，因此在工业上并不适用。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种能够联合多个检测结果进行融合的多维度对工件表面缺陷进行识别的基于视觉检测的工件缺陷检测方法。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于包括：

N个用于对待测工件进行视觉检测的检测模组N为大于等于2的自然数，不同检测模组对待测工件的检测条件不同，这里的检测条件包括：检测模组对待测工件呈现出的光学效果，或者对待测工件的拍摄视觉角度；或者在待测工件表面施加预设介质或物理量；不同检测模组能够对待测工件进行视觉检测，并获得多组检测条件不同的检测图像；

缺陷检测融合模块，所有检测模组均与缺陷检测融合模块通信连接，所有检测模组输出的检测图像均传送给缺陷检测融合模块，缺陷检测融合模块根据至少两组检测条件不同的检测图像，对待测工件的缺陷进行判定：

先对其中一组检测图像中待测工件的表面特征进行缺陷识别，如果判定该组检测图像中待测工件的表面存在可疑缺陷特征，则对待测工件表面可疑缺陷特征所在位置进行标记，记为临时可疑缺陷位置；然后再对另外至少一组检测图像中待测工件的表面特征也进行缺陷识别，如果另外至少一组检测图像中待测工件表面在所述临时可疑缺陷位置处也存在可疑缺陷特征，则判定待测工件在临时缺陷位置处存在缺陷；

或者/和，先对其中一组检测图像中待测工件的表面特征进行缺陷识别，如果判定该组检测图像中待测工件的表面存在可疑缺陷特征，则对待测工件表面可疑缺陷特征所在位置进行标记，记为临时可疑缺陷位置；然后再对另外至少一组检测图像中待测工件的表面特征也进行缺陷识别，如果另外至少一组检测图像中待测工件表面在所述临时可疑缺陷位置处不存在可疑缺陷特征，则判定待测工件在临时缺陷位置处不存在缺陷。

作为改进，每个检测模组均包括配合使用的光源和图像采集模块，检测模组对待测工件呈现出的光学效果通过所述光源相对待测工件的位置或光源的形状或形式或光强或色温或频率或方向或维度进行呈现，检测模组对待测工件的拍摄视觉角度通过图像采集模块相对待测工件的拍摄角度或拍摄距离进行呈现。

作为优选，所述图像采集模块为2D面阵相机或2D线扫相机或3D相机，对应采集2D图像或3D图像，数量为一台或多台；所述光源设置在待测工件上方或下方或侧方。

再改进，本发明还包括待测工件输送结构或检测模组移动装置，其中待测工件输送结构，用于使待测工件经过前述N个检测模组；所述N个检测模组依次设置在待测工件输送结构前后不同位置处，待测工件在所述待测工件输送结构传送下，依次通过不同的检测模组；检测模组移动装置用于将N个检测模组依次移动至待测工件所在位置，对待测工件进行视觉检测，此时待测工件不动，多个检测模组通过检测模组移动装置，依次移动至待测工件所在位置，对待测工件进行视觉检测。

再改进，所述不同检测模组之间或者所有检测模组的后方设有接触式检测模组，接触式检测模组用于对待测工件表面进行擦拭或或在待测工件表面施加预设介质或物理量。这里的预设介质，可以为预设的固液气等介质，物理量可以为施加力学、热学、电磁学、声学等物理量。

所述待测工件为玻璃盖片或陶瓷片或金属片。

作为优选，所述缺陷检测融合模块设置在一台连接有显示组件的工控机内。

作为优选，所述缺陷检测融合模块对待测工件的表面缺陷的检测类型包括如下一种或任意组合：工件表面异物、工件表面划伤、工件边缘崩缺。

所述检测模组包括五个，分别为第一检测模组、第二检测模组、第三检测模组、第四检测模组和第五检测模组；

第一检测模组包括2D面阵相机和与2D面阵相机配合的能对待测工件正面进行低角度环光暗场照明的光源，第一检测模组输出第一组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测；

第二检测模组包括2D线扫相机和与2D线扫相机配合的能对待测工件进行透射光照明的光源；第二检测模组输出第二组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第二组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测；

第三检测模组包括2D面阵相机和与2D面阵相机配合的能对待测工件的正面进行高角度环光明场照明的光源；第三检测模组输出第三组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第三组检测图像对待测工件表面是否存在团状目标物进行检测；

第四检测模组包括2D线扫相机和与2D线扫相机配合的能对待测工件进行透射光照明以及同轴光明场照明的光源；第四检测模组输出第四组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第四组检测图像对待测工件表面是否存在灰暗目标物进行检测；

第五检测模组包括3D相机和与3D相机配合的能对进行激光扫射的光源；第五检测模组输出第五组检测图像，第五组检测图像为3D点云场图像，缺陷检测融合模块能利用第五组检测图像对待测工件表面是否存在低于或高于工件平面的目标物。

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有划伤的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第一检测模组和第五检测模组，然后利用第一检测模组获取第一组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第一检测模组将第一组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测，如果待测工件表面具有高亮目标物，则将高亮目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据高亮目标物的坐标，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在低于工件平面的目标物，如存在且目标物高度检测值超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有划伤的结论；

所述缺陷检测融合模块利用第二组检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有异物的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第二检测模组和第五检测模组，然后利用第二检测模组获取第二组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第二检测模组将第二组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第二组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测，如果待测工件表面有遮挡目标物，则将遮挡目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据遮挡目标物的坐标，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在高于工件平面的目标物，如存在且目标物高度检测值超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有异物的结论。

与现有技术相比，本发明的优点在于：使用多个不同检测条件的检测模组对待测工件进行视觉检测，缺陷检测融合模块融合至少两组检测条件不同的检测图像，对待测工件的缺陷进行判定，判断结果更加准确，能很好改善过筛或是漏判的情形。

附图说明

图1为本发明实施例中基于视觉检测的工件缺陷检测系统的原理图。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。

本发明的实施例提供了一种基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其包括：

N个用于对待测工件1进行视觉检测的检测模组，N为大于等于2的自然数，不同检测模组对待测工件的检测条件不同，这里的检测条件包括：检测模组对待测工件呈现出的光学效果，或者对待测工件的拍摄视觉角度；或者在待测工件表面施加预设介质或物理量；不同检测模组能够对位于对待测工件进行视觉检测，并获得多组检测条件不同的检测图像；

缺陷检测融合模块，所有检测模组均与缺陷检测融合模块通信连接，所有检测模组输出的检测图像均传送给缺陷检测融合模块，缺陷检测融合模块根据至少两组检测条件不同的检测图像，对待测工件的缺陷进行判定：

先对其中一组检测图像中待测工件的表面特征进行缺陷识别，如果判定该组检测图像中待测工件的表面存在可疑缺陷特征，则对待测工件表面可疑缺陷特征所在位置进行标记，记为临时可疑缺陷位置；然后再对另外至少一组检测图像中待测工件的表面特征也进行缺陷识别，如果另外至少一组检测图像中待测工件表面在所述临时可疑缺陷位置处也存在可疑缺陷特征，则判定待测工件在临时缺陷位置处存在缺陷；

或者/和，先对其中一组检测图像中待测工件的表面特征进行缺陷识别，如果判定该组检测图像中待测工件的表面存在可疑缺陷特征，则对待测工件表面可疑缺陷特征所在位置进行标记，记为临时可疑缺陷位置；然后再对另外至少一组检测图像中待测工件的表面特征也进行缺陷识别，如果另外至少一组检测图像中待测工件表面在所述临时可疑缺陷位置处不存在可疑缺陷特征，则判定待测工件在临时缺陷位置处不存在缺陷。

本实施例中，待测工件1可以为玻璃盖片或陶瓷片或金属片。缺陷检测融合模块设置在一台连接有显示组件的工控机内。每个不同检测模组均包括配合使用的光源和图像采集模块，检测模组对待测工件呈现出的光学效果通过所述光源相对待测工件的位置或光源的形状或形式或光强或色温或频率或方向或维度进行呈现，检测模组对待测工件的拍摄视觉角度通过图像采集模块相对待测工件的拍摄角度或者拍摄距离进行呈现。图像采集模块可以为2D面阵相机或2D线扫相机或3D相机，对应采集2D图像或3D图像，数量为一台或多台；所述光源可以设置在待测工件上方或下方或侧方。

另外，本发明实施例提供的工件缺陷检测系统还包括待测工件输送结构2，用于使待测工件经过前述多个检测模组；所述N个检测模组依次设置在待测工件输送结构前后不同位置处，待测工件在所述待测工件输送结构传送下，依次通过不同的检测模组。

也可以是待测目标物不动，通过设置检测模组移动装置用于将N个检测模组依次移动至待测工件所在位置，对待测工件进行视觉检测。本实施例中，缺陷检测融合模块对待测工件的表面缺陷的检测类型包括如下一种或任意组合：工件表面异物、工件表面划伤、工件边缘崩缺。

在一个优选实施例中，检测模组包括五个，分别为第一检测模组、第二检测模组、第三检测模组、第四检测模组和第五检测模组，参见图1所示；

第一检测模组包括2D面阵相机和与2D面阵相机配合的能对待测工件正面进行低角度环光暗场照明的光源，第一检测模组输出第一组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测；

第二检测模组包括2D线扫相机和与2D线扫相机配合的能对待测工件进行透射光照明的光源；第二检测模组输出第二组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第二组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测；

第三检测模组包括2D面阵相机和与2D面阵相机配合的能对待测工件的正面进行高角度环光明场照明的光源；第三检测模组输出第三组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第三组检测图像对待测工件表面是否存在团状目标物进行检测；

第四检测模组包括2D线扫相机和与2D线扫相机配合的能对待测工件进行透射光照明以及同轴光明场照明的光源；第四检测模组输出第四组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第四组检测图像对待测工件表面是否存在灰暗目标物进行检测；

第五检测模组包括3D相机和与3D相机配合的能对待测工件进行激光扫射的光源；第五检测模组输出第五组检测图像，第五组检测图像为3D点云场图像，缺陷检测融合模块能利用第五组检测图像对待测工件表面是否存在低于或高于工件平面的目标物。

利用上述实施例中工件缺陷检测系统，可以对工件表面异物和工件表面划伤进行检测，具体检测方式可以为：

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有划伤的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第一检测模组和第五检测模组，然后利用第一检测模组获取第一组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第一检测模组将第一组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测，如果待测工件表面具有高亮目标物，则将高亮目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据高亮目标物的坐标，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在低于工件平面的目标物，如存在且目标物高度检测值超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有划伤的结论。

利用上述实施例中工件缺陷检测系统，可以对工件表面是否有毛丝进行检测，具体检测方式可以为：

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像和第二组检测图像对工件表面是否有划伤的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第一检测模组和第二检测模组，然后利用第一检测模组获取第一组检测图像，利用第二检测模组获取第二组检测图像，第一检测模组将第一组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第二检测模组将第二组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测，如果待测工件表面具有高亮目标物，则将高亮目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据高亮目标物的坐标，在第二组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在透射遮挡光效，如存在黑色遮挡物，且超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有毛丝；反之，如果不存在黑色遮挡物，为全透射光效，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面没有毛丝。

所述缺陷检测融合模块利用第二组检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有异物的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第二检测模组和第五检测模组，然后利用第二检测模组获取第二组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第二检测模组将第二组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第二组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测，如果待测工件表面有遮挡目标物，则将遮挡目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据遮挡目标物的坐标，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在高于工件平面的目标物，如存在且目标物高度检测值超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有异物的结论。

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像、第三检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有异物的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第一检测模组、第三检测模组和第五检测模组，然后利用第一检测模组获取第一组检测图像，利用第三检测模组获取第三组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第一检测模组将第一组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第三检测模组将第三组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测，如果待测工件表面有遮挡目标物，则将遮挡目标物的坐标、形貌进行标记；

所述缺陷检测融合模块利用第三组检测图像对待测工件表面是否存在团状目标物进行检测，如果待测工件表面有是否存在团状目标物，则将团状目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据遮挡目标物的坐标以及团状目标物，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在高于工件平面的目标物，如不存在高于工件平面的目标物，或者目标物高度检测值没有超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面没有异物的结论。

另外，还可以在五个图像检测工位的的后方设有接触式检测工位，接触式检测工位处设有用于对待测工件表面进行擦拭或挤压的作用处理模组。接触式检测工位也可以设置在任意两个图像检测工位的中间。

Claims (10)

1.一种基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于包括：

N个用于对待测工件进行视觉检测的检测模组，N为大于等于2的自然数，不同检测模组对待测工件的检测条件不同，这里的检测条件包括：检测模组对待测工件呈现出的光学效果，或者对待测工件的拍摄视觉角度；或者在待测工件表面施加预设介质或物理量；不同检测模组能够对待测工件进行视觉检测，并获得多组检测条件不同的检测图像；

缺陷检测融合模块，所有检测模组均与缺陷检测融合模块通信连接，所有检测模组输出的检测图像均传送给缺陷检测融合模块，缺陷检测融合模块根据至少两组检测条件不同的检测图像，对待测工件的缺陷进行判定：

先对其中一组检测图像中待测工件的表面特征进行缺陷识别，如果判定该组检测图像中待测工件的表面存在可疑缺陷特征，则对待测工件表面可疑缺陷特征所在位置进行标记，记为临时可疑缺陷位置；然后再对另外至少一组检测图像中待测工件的表面特征也进行缺陷识别，如果另外至少一组检测图像中待测工件表面在所述临时可疑缺陷位置处也存在可疑缺陷特征，则判定待测工件在临时缺陷位置处存在缺陷；

或者/和，先对其中一组检测图像中待测工件的表面特征进行缺陷识别，如果判定该组检测图像中待测工件的表面存在可疑缺陷特征，则对待测工件表面可疑缺陷特征所在位置进行标记，记为临时可疑缺陷位置；然后再对另外至少一组检测图像中待测工件的表面特征也进行缺陷识别，如果另外至少一组检测图像中待测工件表面在所述临时可疑缺陷位置处不存在可疑缺陷特征，则判定待测工件在临时缺陷位置处不存在缺陷。

2.根据权利要求1所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：每个检测模组均包括配合使用的光源和图像采集模块，检测模组对待测工件呈现出的光学效果通过所述光源相对待测工件的位置或光源的形状或形式或光强或色温或频率或方向或维度进行呈现，检测模组对待测工件的拍摄视觉角度通过图像采集模块相对待测工件的拍摄角度或拍摄距离进行呈现。

3.根据权利要求2所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：所述图像采集模块为2D面阵相机或2D线扫相机或3D传感器，对应采集2D图像或3D图像，数量为一台或多台；所述光源设置在待测工件的上方或下方或侧方。

4.根据权利要求1所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：还包括待测工件输送结构或检测模组移动装置，其中待测工件输送结构用于使待测工件经过前述N个检测模组；所述N个检测模块依次设置在待测工件输送结构前后不同位置处，待测工件在所述待测工件输送结构传送下，依次通过不同的检测模组；检测模组移动装置用于将N个检测模组依次移动至待测工件所在位置，对待测工件进行视觉检测。

5.根据权利要求4所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：所述不同检测模组之间或者所有检测模组的后方设有接触式或非接触式检测模组，接触式检测模组用于对待测工件表面进行擦拭或挤压或在待测工件表面施加预设介质或物理量。

6.根据权利要求1所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：所述待测工件为玻璃盖片或陶瓷片或金属片。

7.根据权利要求1所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：所述缺陷检测融合模块设置在一台连接有显示组件的工控机内。

8.根据权利要求1至7中任意一项权利要求所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：所述缺陷检测融合模块对待测工件的表面缺陷的检测类型包括如下一种或任意组合：工件表面异物、工件表面划伤、工件边缘崩缺。

9.根据权利要求8所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：所述检测模组包括五个，分别为第一检测模组、第二检测模组、第三检测模组、第四检测模组和第五检测模组；

第一检测模组包括2D面阵相机和与2D面阵相机配合的能对待测工件正面进行低角度环光暗场照明的光源，第一检测模组输出第一组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测；

第二检测模组包括2D线扫相机和与2D线扫相机配合的能对待测工件进行透射光照明的光源；第二检测模组输出第二组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第二组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测；

第三检测模组包括2D面阵相机和与2D面阵相机配合的能对待测工件的正面进行高角度环光明场照明的光源；第三检测模组输出第三组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第三组检测图像对待测工件表面是否存在团状目标物进行检测；

第四检测模组包括2D线扫相机和与2D线扫相机配合的能对待测工件进行透射光照明以及同轴光明场照明的光源；第四检测模组输出第四组检测图像，缺陷检测融合模块能利用第四组检测图像对待测工件表面是否存在灰暗目标物进行检测；

第五检测模组包括3D相机和与3D相机配合的能对待测工件进行激光扫射的光源；第五检测模组输出第五组检测图像，第五组检测图像为3D点云场图像，缺陷检测融合模块能利用第五组检测图像对待测工件表面是否存在低于或高于工件平面的目标物。

10.根据权利要求9所述的基于视觉检测的工件缺陷检测系统，其特征在于：

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有划伤的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第一检测模组和第五检测模组，然后利用第一检测模组获取第一组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第一检测模组将第一组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第一组检测图像对待测工件表面是否存在高亮目标物进行检测，如果待测工件表面具有高亮目标物，则将高亮目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据高亮目标物的坐标，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在低于工件平面的目标物，如存在且目标物高度检测值超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有划伤的结论；

所述缺陷检测融合模块利用第二组检测图像和第五组检测图像对工件表面是否有异物的联合检测方式为：

分别使被测工件通过第二检测模组和第五检测模组，然后利用第二检测模组获取第二组检测图像，利用第五检测模组获取第五组检测图像，第二检测模组将第二组检测图像发给所述缺陷检测融合模块，第五检测模组将第五组检测图像发给所述缺陷检测融合模块；

所述缺陷检测融合模块利用第二组检测图像对待测工件表面是否存在遮挡目标物进行检测，如果待测工件表面有遮挡目标物，则将遮挡目标物的坐标、形貌进行标记；

然后，所述缺陷检测融合模块根据遮挡目标物的坐标，在第五组检测图像中查找待测工件表面对应位置是否存在高于工件平面的目标物，如存在且目标物高度检测值超过设定阈值，则缺陷检测融合模块输出待测工件表面有异物的结论。