CN116627620B - 适于嵌入式smif装载机构的多任务实时并发处理方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法。其多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。本发明能有效实现在装载传输时的多任务实时并发处理。

Description

适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法
技术领域
本发明涉及一种多任务实时并发处理方法，尤其是一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法。
背景技术
基于目前半导体产业发展，以及第三代第四代化合物半导体晶圆物料向多尺寸透明度方向扩展，因而半导体机台载入传输装置存在多种多样的形式，主要存在晶圆卡匣CST、下开式传送盒SMIF、前开始传送盒FOUP等传送形式，机台载入传输装置的机械机构以及电气控制系统也存在较大差异。
公开号为CN110648952A的专利申请，其公开了基于12寸晶圆FOUP载入口的半导体设备支持8寸晶圆的SMIF装载传输，但8寸晶圆基于嵌入式SMIF装载机构传输时，需要有效多任务实时并发处理，以满足对8寸晶圆的SMIF装载传输需求。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其能有效实现8寸晶圆SIMF装载传输，以及在装载传输时的多任务实时并发处理。
按照本发明提供的技术方案，一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，包括用于调控SMIF装载机构对8寸晶圆装载传输的SMIF装载控制单元，其中，在调控SMIF装载机构对8寸晶圆的装载传输时，所述SMIF装载控制单元以实时并发处理方式响应多个任务项；
SMIF装载控制单元响应的多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，其中，所述第一类任务项至少包含任务等待过程，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片；
基于实时并发处理方式响应多个任务项时，所述实时并发处理方法包括：
响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，主动POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；
响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。
在第一类任务项内设置片轮小时间片；
在响应第一类任务项时，基于设置的片轮小时间片进行计时；
在计时过程中，查询未存在待响应的外部任务，则在计时达到所设置的片轮小时间片后，POP主动强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项并进入主程序WORK_GOON；
在主程序WORK_GOON内，查询主程任务序列，以在处理所查询的主程序任务后，读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所对应的第一类任务项。
所述第一类任务项，包括调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项、调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项以及用于响应暂停按键的暂停键处理任务项，其中，
所述晶圆装载气缸运动控制任务项，包括SMIF罩壳扣住任务子项、水平旋转气缸的开盒解锁任务子项、垂直升降气缸的上升任务子项以及水平气缸前进的任务子项；
所述晶圆退装气缸运动控制任务项，包括水平气缸后退的任务子项、垂直升降气缸的下降任务子项、水平旋转气缸的关盒锁住任务子项以及SMIF罩壳解扣任务子项；
所述暂停键处理任务项，包括Pause暂停键检测管理任务子项。
所述第二类任务项，包括通讯相关任务项、人机交互任务项以及传感监测任务项，其中，
所述通讯相关任务项，包括串口中断收有子项、下行命令分析子项、上行数据分析子项以及控制命令的插发管理子项；
所述人机交互任务项，包括Manual/OP按键检测管理子项、灯显状态指示子项以及人机界面提示子项；
所述传感监测任务项，包括Presence/Placement物料出现/装载/离位相应的检测报告子项、吸盘真空相关信号仿真模拟的子项以及安全传感检测异常处理子项。
对响应的第一类任务项以及查询存在待响应的外部任务项，则有：
所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项；
查询存在待响应的外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项时，则所述与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项为暂停键处理任务项。
在响应第一类任务项的过程中，读取索引标记MovingCMD_SN，并基于所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的断点处。
所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时，所述实时并发处理方法包括：
步骤1、基于当前的第一类任务项，确定与当前第一类任务项对应的气缸，并确定所述气缸运动的前置条件，当所确定的前置条件不满足预设的前置条件时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤2；
步骤2、读取索引标记MovingCMD_SN，当所读取的索引标记MovingCMD_SN为00H时，跳转至步骤3，否则，跳转至步骤10；
步骤3、触发灯控以及暂停使能延时；
步骤4、气缸运动输出，并闪灯；
步骤5、判定片轮小时间片延时到达时，则配置索引标记MovingCMD_SN为AxH，x取值为1~8并主动POP强制弹栈，否则，跳转至步骤6；
步骤6、统计总延时时长，当总延时时长未超时，则跳转至步骤7，否则，跳转至步骤16；
步骤7、当查询存在命令/数据传递类型的第二类任务项时，则配置索引标记MovingCMD_SN为0xH，x取值为1~8，并跳转至步骤8，否则，跳转至步骤9；
步骤8、POP被动强制退栈；
步骤9、对当前气缸的动作中条件检查和/或对存在的外部中断检查，若当前气缸的动作中条件不满足和/或存在外部中断时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤11；
步骤10、确定索引标记MovingCMD_SN的高半字节再入特征，当高半字节再入特征为0时，则跳转至步骤10，当高半字节再入特征为F时，则跳转至步骤11，当高半字节再入特征为A时，则将索引标记MovingCMD_SN置为00H并跳转至步骤11；
步骤11、检查是否为Pause暂停键触发，当为Pause暂停键触发时，则跳转至步骤12，否则，跳转至步骤14；
步骤12、当为Pause暂停键的奇数次暂停触发时，则响应暂停键处理任务项，并在响应暂停键处理任务项后，跳转至步骤13；
步骤13、判断索引标记MovingCMD_SN是否为F0H，当索引标记MovingCMD_SN不为F0H时，则跳转至步骤3，否则，跳转至步骤13；
步骤13、当Pause暂停键触发奇数次期间存在命令/数据时，则将索引标记MovingCMD_SN置为FxH，x为1~8，并跳转至步骤8；
步骤14、通过当前气缸对应的气缸到位传感器监测当前气缸是否运动到位，当确定当前气缸未运动到位时，则跳转至步骤4，否则，跳转至步骤15；
步骤15、生成错误代码ERR_CODE=00，并跳转至步骤17；
步骤16、生成错误代码ERR_CODE=01，并跳转至步骤17；
步骤17、清灯、停计时，并配置索引标记MovingCMD_SN为00H；
步骤18、完成对当前的第一类任务项的响应。
响应暂停键处理任务项时，包括：
步骤12-1、停止气缸驱动的声光提示；
步骤12-2、判断是否有命令/数据的消息传递，当存在消息传递时，跳转至步骤12-14，否则，跳转至步骤12-3；
步骤12-3、判断是否为Pause暂停键与OP键的两个按键同时按动触发，若是，则跳转至步骤12-4，否则，跳转至步骤12-5；
步骤12-4、闪灯3秒后再对是否为Pause暂停键与OP键的两个按键同时按动触发判断，若是，POP被动强制弹栈并索引标记配置为MovingCMD_SN为00H，以激活主程序WORK_GOON的维护模式，否则，跳转至步骤12-5；
步骤12-5、对Pause暂停键进行奇数次按动抬起抗抖延时，当抬起抗抖延时完成时，则跳转至步骤12-6，否则，跳转至12-9；
步骤12-6、对延时期内三次采样Pause暂停键，以判断是否抖动，若有抖动时，并跳转至步骤12-7，否则，跳转至步骤12-8；
步骤12-7、重始不应期延时监测3次采样，并跳转至步骤12-2；
步骤12-8、PAUSE暂停键稳定抬起、可以再次响应时，跳转至步骤12-2；
步骤12-9、判断是否为偶数次按下Pause暂停键，若是，跳转至步骤12-10，否则，跳转至步骤12-2；
步骤12-10、对Pause暂停键进行偶数次按动抬起抗抖延时完成判断，当延时完成时，跳转至步骤12-11；
步骤12-11、对延时期内三次采样Pause暂停键，以判断是否抖动，若有抖动时，并跳转至步骤12-12，否则，跳转至步骤12-13；
步骤12-12、重始不应期延时监测3次采样，并跳转至步骤12-10；
步骤12-13、PAUSE暂停键稳定抬起、可以再次响应时，跳转至步骤12-14；
步骤12-14、将索引标记配置为MovingCMD_SN为F0H，并退出对暂停键处理任务项的响应。
还包括与SMIF装载控制单元适配连接的FEC上位机、装载检测接口板以及晶圆映射单元，其中，
SMIF装载控制单元通过串口与FEC上位机以及晶圆映射单元连接，晶圆映射单元与LP装载口连接。
还包括用于检测载物平台在UNDOCK位置状态的SMIF关闭安全检测传感器，所述SMIF关闭安全检测传感器与SMIF装载控制单元连接。
本发明的优点：将需实时并发处理的任务分为第一类任务项以及第二类任务项，响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，主动POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；
响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项，从而能有效实现8寸晶圆SIMF装载传输，以及在装载传输时的多任务实时并发处理。
附图说明
图1为本发明嵌入式SMIF装载机构的一种实施例系统框图。
图2为本发明主程序WORK_GOON的一种实施例工作流程图。
图3为本发明第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时的一种多任务实时并发处理时一种流程图。
图4为本发明第一类任务为暂停键处理任务项时的一种多任务实时并发处理时一种流程图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理，本发明的一种实施例中，具体是针对公开号为CN110648952A的专利申请所公开的SMIF装载机构，由上述说明可知，其公开了基于12寸晶圆FOUP载入口的半导体设备支持8寸晶圆的SMIF装载传输。
由公开号为CN110648952A公开的技术内容可知，嵌入式SMIF机构一般包括SMIF升降框、遮蔽风琴叶、旋转锁扣气缸、升降气缸、传感器、按键以及灯显电路与执行部件等能实现SMIF装载的形式，SMIF装载的形式可根据需要选择，以能实现SMIF装载的需求为准。
具体实施时，虽然装载机构主要替换为SMIF装载的形式，但SMIF装载的过程需要兼容FOUP装载，或需要在FOUP装载的机理下实现SMIF装载。因此，为了能基于12寸晶圆FOUP装载的形式实现8寸晶圆SMIF装载，图1中示出了本发明嵌入式装载机构的一种实施例系统框图，图1中，包括FEC上位机、SMIF装载控制单元、装载检测接口板、晶圆映射单元以及LP装载口，其中，FEC上位机、装载检测接口板以及LP装载口为现有用于实现12寸晶圆FOUP装载传输的设备或器件，SMIF装载控制单元、晶圆映射单元主要满足8寸晶圆SMIF装载传输所增加使用的设备或器件。
由上述说明可知，FEC上位机、装载检测接口板以及LP装载口可采用现有常用的形式，具体配合实现对12寸晶圆FOUP装载传输的形式与现有相一致，装载检测接口板用于侦测晶圆料盒的Presence出现进场、Placement放好就位的电路板，在对8寸晶圆SMIF装载传输时，仍然用于侦测晶圆料盒的Presence出现进场、Placement放好就位，也即保持原有的检测功能。
由于12寸晶圆与8寸晶圆存在的差异，且两者晶圆装载形式不同，因此，图1中的晶圆映射单元主要用于对8寸晶圆的Mapping映射检测，即需要将原先实现对12寸晶圆Mapping映射检测的映射单元更换为对应的晶圆映射单元，所更换或替换的晶圆映射单元具体以能满足对8寸晶圆的Mapping映射检测为准。
一般地，晶圆映射单元内至少包括晶圆映射微处理器，SMIF装载控制单元至少包括SMIF装载微处理器，SMIF装载微处理器通过U0口与FEC上位机通讯连接，SMIF装载微处理器的U1口与晶圆映射微处理器的U0口通讯连接，晶圆映射单元内的晶圆映射微处理器与LP装载口对应连接。
利用FEC上位机以及LP装载口实现12寸晶圆FOUP装载传输时，则FEC上位机与LP装载口间直接上下行通讯。对8寸晶圆SMIF装载传输时，则数据流的下行路径为FEC上位机-SMIF装载微处理器-晶圆映射微处理器-LP装载口，数据流的上行路径与下行路径相反。
对8寸晶圆的SMIF装载传输，SMIF装载微处理器要控制完成的工作包括：SMIF POD底座和SMIF罩壳间的开启和锁扣，以及SMIF罩壳的升降，其中，SMIF POD底座和SMIF罩壳间的开启和锁扣，一般有旋转气缸驱动；SMIF罩壳的升降，主要利用升降垂直直线气缸驱动。因此，SMIF装载控制单元需要控制旋转气缸以及升降垂直直线气缸相应的工作状态。
此外，对带SMIF罩壳锁住（LOCK）和载物平台前移（DOCK）功能的SMIF装载类型，则SMIF装载控制单元要控制完成的工作还包括：SMIF罩壳锁住/解锁（LOCK/UNLOCK）和载物平台前移/后移（DOCK/UNDOCK）。
由上述说明可知，对公开号为CN110648952A所公开的SMIF装载传输设备，同时基于FEC上位机、SMIF装载控制单元、装载检测接口板、晶圆映射单元以及LP装载口配合，可实现8寸晶圆SMIF装载传输的过程控制。
在所述8寸晶圆SMIF装载传输过程中，会存在多个不同的任务项，多个任务项一般需要进行实时并发处理，以满足对8寸晶圆SMIF装载传输的过程控制实时性的要求。根据8寸晶圆SMIF装载传输的过程，任务项可包括四个大类，具体为：通讯相关类的任务项、运动控制类的任务项、人机界面类的任务项以及传感监测类的任务项。
对上述四个大类的多个任务项的实时并发处理，具体是指在SMIF装载控制单元的SMIF装载微处理器内实现多个任务项的实时并发处理过程。
由此，可得到适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，本发明的一种实施例中，包括用于调控SMIF装载机构对8寸晶圆装载传输的SMIF装载控制单元，其中，在调控SMIF装载机构对8寸晶圆的装载传输时，所述SMIF装载控制单元以实时并发处理方式响应多个任务项；
SMIF装载控制单元响应的多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，其中，所述第一类任务项至少包含任务等待过程，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片；
基于实时并发处理方式响应多个任务项时，所述实时并发处理方法包括：
响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；
响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。
本发明的一种实施例中，根据8寸晶圆SMIF装载传输的过程，可将多个由SMIF装载控制单元响应的任务项划分为第一类任务项以及第二类任务项，一般地，第一类任务项至少包括任务等待过程，同时，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片。响应第一类任务项所占用的时间片具体是指是响应第一类任务项所需的执行时间，也即为所述第一类任务项任务完成耗时。响应第二类任务项的时间片情况，与响应第一类任务项所占用的时间片含义相一致，具体可参考响应第一类任务项所占用时间片的说明。
本技术领域人员可知，正常终止退栈，必须按序退栈，通常是后进先出，以正确地恢复先前压栈保护的变量和调用地址，使程序正常继续执行。如子程序调用CALL，必然用RET返回发起调用处；中断调用，必然通过RETI回被中断处。
本发明的一种实施例中，设计了一种特殊弹栈操作：POP强制弹栈，即是人为暂时中止、去并发处理其它任务（而后会再入），故非通常状态下的回调用处。对弹栈操作，是通过弹出到一个无关目标废弃（以恢复栈空间、符合语法逻辑），如可基于POP ACC来实现。弹栈时，只需关注调用嵌套级数，一级调用则两次POP ACC，二级嵌套则四次POP ACC。特殊弹栈操作的发起，分主动和被动两种类型，小时间片轮Ax对应主动强制弹栈；0x动中或Fx暂停时，有命令/数据消息传递，或按键发起的维护模式（00），对应被动强制弹栈。
具体实施时，索引标记MovingCMD_SN为一全局变量，索引标记MovingCMD_SN一般为一个字节；此外，在多任务实时并发处理时，消息传递（有命令/数据）也是全局变量。
对索引标记MovingCMD_SN，所述索引标记MovingCMD_SN的编码规则可包括：1）、分高低两半字节；2）、高半字节表再入特征=Mode（模式），其中，Mode=0可表征动中再入，Mode=A可表征片轮再入，Mode=F可表征暂停再入；3）、低半字节表再入号=Num（序号），用于返回被并发过程时的返回向量寻址。
图2中示出了低半字节表再入号的一种实施例，其中，Num=1时，返回SMIF罩壳扣住过程函数ReEntry_Cylinder_C_Lock入口；Num=2时，返回水平旋转气缸之开盒解锁过程函数ReEntry_Cylinder_H_unLock入口；Num=3时，返回垂直升降气缸之上升过程函数ReEntry_Cylinder_V_Up入口；Num=4时，返回水平气缸前进过程函数ReEntry_Cylinder_D_Forward入口。
Num=5时，返回水平气缸后退过程函数ReEntry_Cylinder_D_Backward入口；Num=6时，返回垂直升降气缸之下降过程函数ReEntry_Cylinder_V_Down入口；Num=7时，水平旋转气缸之关盒锁住过程函数ReEntry_Cylinder_H_Lock入口；Num=8时，返回SMIF罩壳解扣过程函数ReEntry_Cylinder_C_unLock入口。
当然，具体实施时，索引标记MovingCMD_SN还可以采用其他编码规则，具体编码规则可根据需要选择，以能满足多任务实时并发处理的需求为准。
由上述说明，基于8寸晶圆SMIF装载传输的过程、第一类任务项以及第二类任务项的划分情况，本发明的一种实施例中，所述第一类任务项，包括调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项、调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项以及用于响应暂停按键的暂停键处理任务项，其中，
所述晶圆装载气缸运动控制任务项，包括SMIF罩壳扣住任务子项、水平旋转气缸的开盒解锁任务子项、垂直升降气缸的上升任务子项以及水平气缸前进的任务子项；
所述晶圆退装气缸运动控制任务项，包括水平气缸后退的任务子项、垂直升降气缸的下降任务子项、水平旋转气缸的关盒锁住任务子项以及SMIF罩壳解扣任务子项；
所述暂停键处理任务项，包括Pause暂停键检测管理任务子项。
本发明的一种实施例中，第一类任务项可包括晶圆装载气缸运动控制任务项、晶圆退装气缸运动控制任务项以及暂停键处理任务项三个主要项，但晶圆装载气缸运动控制任务项、晶圆退装气缸运动控制任务项内均包括若干子项，一般地，子项即为配置于SMIF装载控制单元的过程函数，如SMIF罩壳扣住任务子项即为SMIF罩壳扣住过程函数Cylinder_C_Lock，其他子项的情况可参考此处的说明，不再一一列举。
响应SMIF罩壳扣住任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照SMIF罩壳扣住过程函数Cylinder_C_Lock执行相应的预设控制过程，此时，可实现SMIF罩壳锁住（LOCK）。
响应水平旋转气缸的开盒解锁任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照水平旋转气缸之开盒解锁过程函数Cylinder_H_unLock执行相应的预设控制过程，此时，可实现SMIF POD 底座的开启。
响应垂直升降气缸的上升任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照垂直升降气缸之上升过程函数Cylinder_V_Up执行相应的预设控制过程，此时，可实现SMIF罩壳的上升。
响应水平气缸前进的任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照水平气缸前进过程函数Cylinder_D_Forward执行相应的预设控制过程，此时，可实现载物平台前移（DOCK）。
响应水平气缸后退的任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照水平气缸后退过程函数Cylinder_D_Backward执行相应的预设控制过程，此时，可实现载物平台后移（UNDOCK）。
响应垂直升降气缸的下降任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照垂直升降气缸之下降过程函数Cylinder_V_Down执行相应的预设控制过程，此时，可实现SMIF罩壳的下降。
响应水平旋转气缸的关盒锁住任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照水平旋转气缸之关盒锁住过程函数Cylinder_H_Lock执行相应的预设控制过程，此时，可实现SMIFPOD 底座的锁扣。
响应SMIF罩壳解扣任务子项时，具体为SMIF装载控制单元依照SMIF罩壳解扣过程函数Cylinder_C_unLock执行相应的预设控制过程，此时，可实现SMIF罩壳的解锁（UNLOCK）。
具体实施时，SMIF装载控制单元执行晶圆装载气缸运动控制任务项以及晶圆退装气缸运动控制任务项的具体过程可与现有相一致，以能满足对8寸晶圆的SMIF装载与退装的需求为准。
本发明的一种实施例中，对响应的第一类任务项以及查询存在待响应的外部任务项，则有：
所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项；
查询存在待响应的外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项时，则所述与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项为暂停键处理任务项。
具体实施时，当响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时，响应的外部任务项还可以为同为第一类任务项的暂停键处理任务项。此外，当响应的第一类任务项为暂停键处理任务项时，则响应的外部任务项为第一类任务项时，则第一类任务项不能为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项，也即此时只可响应第二类任务项，而无法响应第一类任务项。
本发明的一种实施例中，在第一类任务项内设置片轮小时间片；
在响应第一类任务项时，基于设置的片轮小时间片进行计时；
在计时过程中，查询未存在待响应的外部任务，则在计时达到所设置的片轮小时间片后，POP主动强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项并进入主程序WORK_GOON；
在主程序WORK_GOON内，查询主程任务序列，以在处理所查询的主程序任务后，读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP主动强制弹栈时所对应的第一类任务项。
具体实施时，片轮小时间片是一个人为设定的、较小时间单位，如可为100毫秒，是一种人为任务轮询，避免死等单一任务，以方便实现主动并发处理。片轮小时间片的具体时间设定，可根据实际场景选择，以能满足主动并发处理为准。
由上述说明可知，第一类任务项内具有任务等待过程，则存在与任务等待过程相对应的任务过程时间片，其中，所述任务过程时间片是指第一类任务项的过程做完固有需要的耗时时间，也即预设的超时总延时，如上述提到某个气缸动作（在某种气压工作条件下）的过程做完固有需要的耗时时间。
本发明的一种实施例中，在响应第一类任务项的过程中，读取索引标记MovingCMD_SN，并基于所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的断点处。
具体实施时，此处响应的第一类任务项，可为晶圆装载气缸运动控制任务项、晶圆退装气缸运动控制任务项以及暂停键处理任务项中的一个。也即在响应第一类任务的过程中，均存在读取索引标记MovingCMD_SN的操作，并根据所读取索引标记MovingCMD_SN进行返回，下面对根据所读取索引标记MovingCMD_SN返回的情况进行具体说明。
由上述说明可知，在工作时，存在四种强制退栈，分别为：Ax片轮直转、0x动中直入命令数据解析、Fx暂停直转和00二级退栈直转维护模式，x的取值为1~8，也即对应上述晶圆装载气缸运动控制任务项以及晶圆退装气缸运动控制任务项的8个任务子项。
执行完相应第二类任务项后，均回主程序WORK_GOON开始处。主程序WORK_GOON首要第一任务，就是查询索引标记MovingCMD_SN，非00H则需要返回第一任务项，也即上述中的断点处。过程如下：
1、取再入号：取索引标记MovingCMD_SN低半字节再入号=Num；此时，再入号即为索引标记MovingCMD_SN低半字节。
2、查表散转：即索引获取弹栈时对应动作函数所在调用入口地址，散转到、再次回调进入。具体地，所述表，即8个气缸动作函数（也即上述提到晶圆装载气缸运动控制任务项、晶圆退装气缸运动控制任务项相对应的子项）、主程序WORK_GOON里做调用操作CALL命令行所在地址，按再入号排列成的一个双字节地址表。
3、回调再入，进入先前弹栈所在过程函数。在子项过程函数（也即晶圆装载气缸运动控制任务项或晶圆退装气缸运动控制任务项相对应的子项）内，有索引标记MovingCMD_SN检查，根据高半字节再入特征=Mode，会有不同分流：0-动中（直接继续循环），F-暂停（会再嵌套进调PAUSE_PROCESS子函数，也即响应第一类任务项的暂停键处理任务项），A-片轮（会清索引标记MovingCMD_SN后继续循环）；相应后续动作，详见图3相应的流程图。
本发明的一种实施例中，所述第二类任务项，包括通讯相关任务项、人机交互任务项以及传感监测任务项，其中，
所述通讯相关任务项，包括串口中断收有子项、下行命令分析子项、上行数据分析子项以及控制命令的插发管理子项；
所述人机交互任务项，包括Manual/OP按键检测管理子项、灯显状态指示子项以及人机界面提示子项；
所述传感监测任务项，包括Presence/Placement物料出现/装载/离位相应的检测报告子项、吸盘真空相关信号仿真模拟的子项以及安全传感检测异常处理子项。
由上述说明可知，为了实现8寸晶圆SMIF装载过程控制，对FEC上位机和LP装载口的所有通讯码流，本发明的SMIF装载控制单元都要接收、解析、处理，其中，所述处理具体包括：相关命令做SMIF寄生操作，不相关原样透传，需要时则插发管理。
处理操作为基于相关命令做SMIF寄生操作，具体是指基于FEC上位机实现12寸晶圆FOUP装载的命令，实现本发明中8寸晶圆SMIF装载的过程。不相关原样透传，具体是指将接收的码流直接传输，实现FEC上位机与LP装载口的通讯。
插发不同于转发，转发只改变发送节奏、内容不变；插发管理属于无中生有要吃应答不留痕、屏蔽FEC上位机，也即插发要对应答进行进一步的处理，以兼容FEC上位机与LP装载口之间的交互。
上行数据一般是指LP装载口应答FEC上位机的码流。通常需要原样上传，由于有插发需要，LP装载口的多余应答上传数据则过滤掩蔽。对控制命令，一般包括：配置LP装载口为OPEN类型、设定LP装载口门速度，配置LP装载口的命令类型、或是否MAPPING映射检测等等，控制命令的具体情况可根据需要选择，以能满足对8寸晶圆SMIF装载的控制为准。
Manual/OP为一个按键，可为人工操作键，PAUSE键则是暂停键。Manual/OP按键与PAUSE暂停键这两个按键，可单独或组合按动，以实现相应功能的控制或触发。
吸盘是12寸FOUP装载口门上的两个有真空吸力的橡胶盘，FOUP装载改SMIF装载后，此吸盘悬空、无被吸对象，若不加以仿真或设置，则会报错，故也是本发明嵌入式SMIF装载机构需要响应的任务之一。
安全传感器包括晶圆突出检查传感器，用于检查由于运动、拖拉等意外，可能导致的晶圆稍抛出正常位置、不在料盒居中位置时，以可即时报警，防止碰撞导致晶圆的碎片。此外，安全传感器还可对DOCK位置检查确认，通过对DOCK位置监测以当前位置是否走位（由于可能漏气等），当然，还可以包括其他安全方面的等常规检查。
本发明的一种实施例中，所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时，所述实时并发处理方法包括：
步骤1、基于当前的第一类任务项，确定与当前第一类任务项对应的气缸，并确定所述气缸运动的前置条件，当所确定的前置条件不满足预设的前置条件时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤2；
步骤2、读取索引标记MovingCMD_SN，当所读取的索引标记MovingCMD_SN为00H时，跳转至步骤3，否则，跳转至步骤10；
步骤3、触发灯控以及暂停使能延时；
步骤4、气缸运动输出，并闪灯；
步骤5、判定片轮小时间片延时到达时，则配置索引标记MovingCMD_SN为AxH，x取值为1~8并主动POP强制弹栈，否则，跳转至步骤6；
步骤6、统计总延时时长，当总延时时长未超时，则跳转至步骤7，否则，跳转至步骤16；
步骤7、当查询存在命令/数据传递类型的第二类任务项时，则配置索引标记MovingCMD_SN为0xH，x取值为1~8，并跳转至步骤8，否则，跳转至步骤9；
步骤8、POP被动强制退栈；
步骤9、对当前气缸的动作中条件检查和/或对存在的外部中断检查，若当前气缸的动作中条件不满足和/或存在外部中断时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤11；
步骤10、确定索引标记MovingCMD_SN的高半字节再入特征，当高半字节再入特征为0时，则跳转至步骤10，当高半字节再入特征为F时，则跳转至步骤11，当高半字节再入特征为A时，则将索引标记MovingCMD_SN置为00H并跳转至步骤11；
步骤11、检查是否为Pause暂停键触发，当为Pause暂停键触发时，则跳转至步骤12，否则，跳转至步骤14；
步骤12、当为Pause暂停键的奇数次暂停触发时，则响应暂停键处理任务项，并在响应暂停键处理任务项后，跳转至步骤13；
步骤13、判断索引标记MovingCMD_SN是否为F0H，当索引标记MovingCMD_SN不为F0H时，则跳转至步骤3，否则，跳转至步骤13；
步骤13、当Pause暂停键触发奇数次期间存在命令/数据时，则将索引标记MovingCMD_SN置为FxH，x为1~8，并跳转至步骤8；
步骤14、通过当前气缸对应的气缸到位传感器监测当前气缸是否运动到位，当确定当前气缸未运动到位时，则跳转至步骤4，否则，跳转至步骤15；
步骤15、生成错误代码ERR_CODE=00，并跳转至步骤17；
步骤16、生成错误代码ERR_CODE=01，并跳转至步骤17；
步骤17、清灯、停计时，并配置索引标记MovingCMD_SN为00H；
步骤18、完成对当前的第一类任务项的响应。
图3中示出了以当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项相对应的一个子项为例时，进行实时并发处理的一种流程图。
具体实施时，步骤1中的前置条件，具体是指做某个气缸（如上述提到的旋转气缸、升降垂直直线气缸等）运动的必要条件检查；所述必要条件检查，具体如上升运动前：检查是否Placement放稳不斜、是否UNDOCK后位、是否解锁。如下降前，检查是否已UNDOCK后位且位置准确未过头、是否有晶圆突出、是否料盒放好等等。具体前置条件的检查方式、检查过程等可均与现有相一致，具体以能确保当前气缸安全运动为准。
由上所述说明可知，步骤2中，所读取的索引标记MovingCMD_SN为00H，具体是指索引标记MovingCMD_SN的高半字节、低半字节均为0，且为16进制的编码，此时，基于索引标记MovingCMD_SN判定为动始首次（动作开始、首次进入），即不属于动中再入的判定。
步骤3中做动始首次的预备（某气缸动作做且只做一次），灯控是指闪灯操作、用于人机界面提示。暂停使能，是指开放、开始响应暂停键（非运动时，无暂停概念）。
嵌入式SMIF机构中，设计有RDY绿/PRO黄/ERR红/PAUSE红大/OP绿大五个界面指示灯，常亮/慢闪/快闪分别有不同含义指示。因此，步骤4中的闪灯是指根据相应的工作状态，相应的界面指示灯处于指示状态。
本发明的一种实施例中，定时中断，不归入第一类任务项与第二类任务项，也即不属于第一类任务项与第二类任务项。定时中断可以理解为第一类任务的参与项。运动的总超时、按键的防抖、任务调度的片轮、闪灯的控制、双键长按检测等，均与时间定时资源相关。通过定时中断可对步骤5中的片轮小时间片进行计时。
步骤6中的总延时时长，即为上述提到与任务等待过程相对应的任务过程时间片。
步骤7中，查询存在命令/数据消息传递的第二类任务项，也即第二类任务项中通讯相关的任务项，具体可为：串口U0有命令或串口U1有数据，触发消息传递（收计数全局变量）。
步骤8中，POP被动强制弹栈与前述的POP主动强制弹栈本质相同，均为跳出当前函数过程，去执行并发任务。只不过，POP主动强制弹栈是自设定的片轮时间片到了，主动跳出、到主程序（主动查询可能要并发做的其它小任务，实际可能无需要并发的小任务，此时又会立即再回来，所谓片轮）；POP被动强制弹栈是已知（消息传递或按键检测）有命令/数据、或激活维护模式，需要被动、实时跳出，到主程序并发处理。
步骤9中的动作中条件检查，主要指Placement料盒放稳检查，由于动作振动等可能致异常不稳，通过动作中条件检查可最大程度防止意外碎片。
由图3以及上述说明可知，流程图中“是否暂停键”（否）跳转（图中向右方向跳转），到“气缸到位传感器到位否”（否）往上跳转，继续“气缸动作输出”及往下跳转；此即循环等待过程，也即上述提到第一类任务项中的任务等待过程。
图3中的其它中断，主要指边沿中断INT2_UnDock_Ed，用于载物平台的UNDOCK位触发检查；还有边沿中断INT3_Placement3，用于料盒放稳检查。可以归为第一类任务的参与项。暂停键触发、检测通过暂停键捕捉中断T2EX_PAUSE高速实现，通过结合T0_Dleay定时中断的资源抗抖，归为第一类任务的参与项。
其余其它中断，可以对应为第二类任务参与项。如INT0中断、INT1中断做门动作检查，吸盘真空模拟相关用。T1_Beep用于人机界面蜂鸣器声音提示。
图3中，“是否暂停键”即指“奇数次暂停键PAUSE按下、激活暂停子程序”，因为进入气缸运动函数后，暂停键PAUSE使能后，奇数次PAUSE键意指要暂停，接下来偶数次PAUSE键则指取消暂停，运动继续。再按又停、再再按继续，如此循环。所述控制都是实时高速毫秒级响应的，一次按键、响应且只响应一次。逻辑实现即见暂停键处理任务项的响应过程。且暂停键处理任务项的响应过程必然是嵌套在某个气缸运动响应控制过程中的，所以有二级调用退栈概念。
图3中PAUSE_PROCESS子程序调用，也即响应暂停键处理任务项，响应暂停键处理任务项的过程可参考图4以及下述说明。
本发明的一种实施例中，响应暂停键处理任务项时，包括：
步骤12-1、停止气缸驱动的声光提示；
步骤12-2、判断是否有命令/数据的消息传递，当存在消息传递时，跳转至步骤12-14，否则，跳转至步骤12-3；
步骤12-3、判断是否为Pause暂停键与OP键的两个按键同时按动触发，若是，则跳转至步骤12-4，否则，跳转至步骤12-5；
步骤12-4、闪灯3秒后再对是否为Pause暂停键与OP键的两个按键同时按动触发判断，若是，POP被动强制弹栈并索引标记配置为MovingCMD_SN为00H，以激活主程序WORK_GOON的维护模式，否则，跳转至步骤12-5；
步骤12-5、对Pause暂停键进行奇数次按动抬起抗抖延时，当抬起抗抖延时完成时，则跳转至步骤12-6，否则，跳转至12-9；
步骤12-6、对延时期内三次采样Pause暂停键，以判断是否抖动，若有抖动时，并跳转至步骤12-7，否则，跳转至步骤12-8；
步骤12-7、重始不应期延时监测3次采样，并跳转至步骤12-2；
步骤12-8、PAUSE暂停键稳定抬起、可以再次响应时，跳转至步骤12-2；
步骤12-9、判断是否为偶数次按下Pause暂停键，若是，跳转至步骤12-10，否则，跳转至步骤12-2；
步骤12-10、对Pause暂停键进行偶数次按动抬起抗抖延时完成判断，当延时完成时，跳转至步骤12-11；
步骤12-11、对延时期内三次采样Pause暂停键，以判断是否抖动，若有抖动时，并跳转至步骤12-12，否则，跳转至步骤12-13；
步骤12-12、重始不应期延时监测3次采样，并跳转至步骤12-10；
步骤12-13、PAUSE暂停键稳定抬起、可以再次响应时，跳转至步骤12-14；
步骤12-14、将索引标记配置为MovingCMD_SN为F0H，并退出对暂停键处理任务项的响应。
图4中示出了以第一类任务为暂停键处理任务项时，一种多任务实时并发处理的流程图。图3和图4中，U0U1串口中断收有，也即上述提到的串口中断收有子项，具体是指在串口处于接收状态才触发消息传递，需要并发处理调度。串口U0U1的发送中断，即下透传、插发和上行透传，都是程序主动、自动实现（发送首字在主程序起始后，在串口中断中会自动续发、直至发完），且为串口全双工实现、且U0U1也可以同时工作。不干涉任务并发调度，属于正常的双工任务。
U0或U1串口中断收到新数据，则发起RI接收中断，数据会被缓存在串口循环缓冲区，并做相关计数加、即消息传递变量加——即通知到、指向判断的框。
图4中，延时期100ms是约数，实际32.768*3=98.304毫秒。所谓不应期即一次按键触发后，等待按键释放稳定的时间过程（即抗抖：前次PAUSE键下沿变上沿后、至少32.768ms*3后才再响应，抗期间PAUSE键压下抬起抖动），等同于3次T0溢出时间98.304毫秒，也即可实现图4中的抗抖处理。此外，图4中的抖动、抗抖的均为按键响应时的术语，具体情况均与现有相一致。
T0_Dleay中断的16位定时最大32.768毫秒溢出一次，每次溢出，检测按键口线状态：PAUSE键采样到0（按键低电平有效）、变量PAUSE_0CNT加1。32.768ms*3次采样连续1无0不加，则认为PAUSE键稳定抬起、可以再次响应。
具体实施时，暂停过程流程图中“偶数次按下PAUSE键？”判断框往右，否（暂停维持），回到上面“是否有命令/数据”框，此即暂停键的循环等待过程，也即暂停键处理任务项内的任务等待过程。
图2中，主程序的小任务主要指第二类任务中人机交互任务项以及传感监测任务项等。再响应第一类任务项时，通过索引再入、查表散转实现函数入口地址跳转再入。索引再入在主程序WORK_GOON的主任务循环的开始处，也即图2中的主程序任务项列表入口的位置。
图2中的主程序维护模式是指进入调试或维护的模式。当Num非8时，回主程序WORK_GOON任务项列表入口，构成循环。图2中的其它中断，归为其余其它中断，对应为第二类任务参与项。可参考上述图3中其它中断的说明。
图2~图4中，索引标记MovingCMD_SN为00H，也即索引标记MovingCMD_SN处于初始状态。将00H配置为索引标记MovingCMD_SN初始默认初值，有特殊含义和作用，具体为：
1、地址表查表偏移量，必须以0开始算（程序语法）；
2、用于开始执行非回调再入的、正常主程序WORK_GOON大循环里的后续其它任务项。如地址表第一项如下，执行检查SMIF_POD装载，具体在程序中语句可为：
TB_CMD_ReEntry：
DW SMIF_POD_Arrive_WAIT；00。
特别说明：如前描述，本发明存在四种强制退栈，分别为：Ax片轮直转、0x动中直入命令数据解析、Fx暂停直转和00二级退栈直转维护模式。其中，最后一种，是PAUSE和OP两键同按发起的维护模式，弹栈出来前，清场并置索引标记MovingCMD_SN为00H后，然后做被动强制弹栈：二级调用退栈（4次POP ACC）。直转主程序维护模式模块程序后，MovingCMD_SN维持00H，继续主程序待机循环，不再索引再入之前动作函数。
本发明的一种实施中，还包括用于检测载物平台在UNDOCK位置状态的SMIF关闭安全检测传感器，所述SMIF关闭安全检测传感器与SMIF装载控制单元连接。
由上述说明可知，对SMIF装载机构，相应的动作包括载物平台前移/后移（DOCK/UNDOCK），具体实施时，只有载物平台在UNDOCK位置，才能控制SMIF罩壳降落，以避免SMIF机构的升降框压环8寸晶圆。为了实现位置监测，本发明的一种实施例中，SMIF关闭安全检测传感器可采用型号为PM-R45的位置检查传感器，SMIF关闭安全检测传感器在原装LP装载口的HOME位置传感器和DOCK位置传感器中间，靠近前者。
对SMIF关闭安全检测传感器触发信号有效，即表示载物平台当前在UNDOCK位，此时，SMIF装载控制单元允许SMIF罩壳的下降，同时可避免升降框对晶圆的压损。

Claims (10)

1.一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，包括用于调控SMIF装载机构对8寸晶圆装载传输的SMIF装载控制单元，其中，在调控SMIF装载机构对8寸晶圆的装载传输时，所述SMIF装载控制单元以实时并发处理方式响应多个任务项；
SMIF装载控制单元响应的多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，其中，所述第一类任务项至少包含任务等待过程，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片；
基于实时并发处理方式响应多个任务项时，所述实时并发处理方法包括：
响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；
响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。
2.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：在第一类任务项内设置片轮小时间片；
在响应第一类任务项时，基于设置的片轮小时间片进行计时；
在计时过程中，查询未存在待响应的外部任务，则在计时达到所设置的片轮小时间片后，POP主动强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项并进入主程序WORK_GOON；
在主程序WORK_GOON内，查询主程任务序列，以在处理所查询的主程序任务后，读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所对应的第一类任务项。
3.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：所述第一类任务项，包括调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项、调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项以及用于响应暂停按键的暂停键处理任务项，其中，
所述晶圆装载气缸运动控制任务项，包括SMIF罩壳扣住任务子项、水平旋转气缸的开盒解锁任务子项、垂直升降气缸的上升任务子项以及水平气缸前进的任务子项；
所述晶圆退装气缸运动控制任务项，包括水平气缸后退的任务子项、垂直升降气缸的下降任务子项、水平旋转气缸的关盒锁住任务子项以及SMIF罩壳解扣任务子项；
所述暂停键处理任务项，包括Pause暂停键检测管理任务子项。
4.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：所述第二类任务项，包括通讯相关任务项、人机交互任务项以及传感监测任务项，其中，
所述通讯相关任务项，包括串口中断收有子项、下行命令分析子项、上行数据分析子项以及控制命令的插发管理子项；
所述人机交互任务项，包括Manual/OP按键检测管理子项、灯显状态指示子项以及人机界面提示子项；
所述传感监测任务项，包括出现进场Presence/放好就位Placement物料出现/装载/离位相应的检测报告子项、吸盘真空相关信号仿真模拟的子项以及安全传感检测异常处理子项。
5.根据权利要求3所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，对响应的第一类任务项以及查询存在待响应的外部任务项，则有：
所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项；
查询存在待响应的外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项时，则所述与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项为暂停键处理任务项。
6.根据权利要求5所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，在响应第一类任务项的过程中，读取索引标记MovingCMD_SN，并基于所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的断点处。
7.根据权利要求6所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时，所述实时并发处理方法包括：
步骤1、基于当前的第一类任务项，确定与当前第一类任务项对应的气缸，并确定所述气缸运动的前置条件，当所确定的前置条件不满足预设的前置条件时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤2；
步骤2、读取索引标记MovingCMD_SN，当所读取的索引标记MovingCMD_SN为00H时，跳转至步骤3，否则，跳转至步骤10；
步骤3、触发灯控以及暂停使能延时；
步骤4、气缸运动输出，并闪灯；
步骤5、判定片轮小时间片延时到达时，则配置索引标记MovingCMD_SN为AxH，x取值为1～8并主动POP强制弹栈，否则，跳转至步骤6；
步骤6、统计总延时时长，当总延时时长未超时，则跳转至步骤7，否则，跳转至步骤16；
步骤7、当查询存在命令/数据传递类型的第二类任务项时，则配置索引标记MovingCMD_SN为0xH，x取值为1～8，并跳转至步骤8，否则，跳转至步骤9；
步骤8、POP被动强制退栈；
步骤9、对当前气缸的动作中条件检查和/或对存在的外部中断检查，若当前气缸的动作中条件不满足和/或存在外部中断时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤11；
步骤10、确定索引标记MovingCMD_SN的高半字节再入特征，当高半字节再入特征为0时，则跳转至步骤10，当高半字节再入特征为F时，则跳转至步骤11，当高半字节再入特征为A时，则将索引标记MovingCMD_SN置为00H并跳转至步骤11；
步骤11、检查是否为Pause暂停键触发，当为Pause暂停键触发时，则跳转至步骤12，否则，跳转至步骤14；
步骤12、当为Pause暂停键的奇数次暂停触发时，则响应暂停键处理任务项，并在响应暂停键处理任务项后，跳转至步骤13；
步骤13、判断索引标记MovingCMD_SN是否为F0H，当索引标记MovingCMD_SN不为F0H时，则跳转至步骤3，否则，跳转至步骤13；
步骤13、当Pause暂停键触发奇数次期间存在命令/数据时，则将索引标记MovingCMD_SN置为FxH，x为1～8，并跳转至步骤8；
步骤14、通过当前气缸对应的气缸到位传感器监测当前气缸是否运动到位，当确定当前气缸未运动到位时，则跳转至步骤4，否则，跳转至步骤15；
步骤15、生成错误代码ERR_CODE＝00，并跳转至步骤17；
步骤16、生成错误代码ERR_CODE＝01，并跳转至步骤17；
步骤17、清灯、停计时，并配置索引标记MovingCMD_SN为00H；
步骤18、完成对当前的第一类任务项的响应。
8.根据权利要求7所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，响应暂停键处理任务项时，包括：
步骤12-1、停止气缸驱动的声光提示；
步骤12-2、判断是否有命令/数据的消息传递，当存在消息传递时，跳转至步骤12-14，否则，跳转至步骤12-3；
步骤12-3、判断是否为Pause暂停键与OP键的两个按键同时按动触发，若是，则跳转至步骤12-4，否则，跳转至步骤12-5；
步骤12-4、闪灯3秒后再对是否为Pause暂停键与OP键的两个按键同时按动触发判断，若是，POP被动强制弹栈并索引标记配置为MovingCMD_SN为00H，以激活主程序WORK_GOON的维护模式，否则，跳转至步骤12-5；
步骤12-5、对Pause暂停键进行奇数次按动抬起抗抖延时，当抬起抗抖延时完成时，则跳转至步骤12-6，否则，跳转至12-9；
步骤12-6、对延时期内三次采样Pause暂停键，以判断是否抖动，若有抖动时，并跳转至步骤12-7，否则，跳转至步骤12-8；
步骤12-7、重始不应期延时监测3次采样，并跳转至步骤12-2；
步骤12-8、PAUSE暂停键稳定抬起、可以再次响应时，跳转至步骤12-2；
步骤12-9、判断是否为偶数次按下Pause暂停键，若是，跳转至步骤12-10，否则，跳转至步骤12-2；
步骤12-10、对Pause暂停键进行偶数次按动抬起抗抖延时完成判断，当延时完成时，跳转至步骤12-11；
步骤12-11、对延时期内三次采样Pause暂停键，以判断是否抖动，若有抖动时，并跳转至步骤12-12，否则，跳转至步骤12-13；
步骤12-12、重始不应期延时监测3次采样，并跳转至步骤12-10；
步骤12-13、PAUSE暂停键稳定抬起、可以再次响应时，跳转至步骤12-14；
步骤12-14、将索引标记配置为MovingCMD_SN为F0H，并退出对暂停键处理任务项的响应。
9.根据权利要求1至8任一项所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，还包括与SMIF装载控制单元适配连接的FEC上位机、装载检测接口板以及晶圆映射单元，其中，
SMIF装载控制单元通过串口与FEC上位机以及晶圆映射单元连接，晶圆映射单元与LP装载口连接。
10.根据权利要求1至8任一项所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，还包括用于检测载物平台在载物平台后移UNDOCK位置状态的SMIF关闭安全检测传感器，所述SMIF关闭安全检测传感器与SMIF装载控制单元连接。
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