CN116487976A - 一种脉冲激光器 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种脉冲激光器，包括：沿种子光传输方向依次设置的种子光源、展宽单元、放大单元、压缩单元，展宽单元包括分束器，将种子光源输出的原始激光束分束成至少两束子激光束；展宽光纤，与子激光束对应，各展宽光纤的一端连接于分束器的输出端，且各所述展宽光纤的长度均不相同；应力调节装置，各展宽光纤盘绕于应力调节装置；耦合器，其输入端与各展宽光纤的另一端连接，各子激光束重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束；于应力调节装置作用下，各展宽光纤长度发生变化，以调节各所述子激光束的脉冲展宽量，从而使激光束的脉冲宽度发生变化。本发明通过分束器、展宽光纤以及耦合器的配合，实现降扩大脉冲宽度调节范围的效果。

Description

一种脉冲激光器

技术领域

本发明涉及激光领域，尤其涉及一种脉冲激光器。

背景技术

近年来，随着社会需求的发展，新型材料、复合材料、金属化合物以及非金属材料的不断推新，对材料加工技术的要求也同样水涨船高。相对于传统加工手段，激光加工技术可对新型材料等进行高效、高质、高水平加工。尤其是其中的超快脉冲激光器以其极高的峰值功率、窄的脉冲宽度，在材料精细微加工、半导体行业、太阳能光伏、科学研究等领域得到了广泛的应用。目前，为了产生飞秒级超快激光，通常采用CPA啁啾放大系统。即先将脉冲在时域上展宽，降低传输过程中的非线性，在光放大后再将其在时域上压缩，因而展宽和压缩系统是产生飞秒脉冲激光不可或缺的一部分。

目前，在飞秒脉冲激光加工中通常需要对脉冲宽度进行调节，从而使激光器能适应多种材料的加工需求。对于飞秒脉冲激光的脉宽调节方式有以下两中主流调节方案：

1)使用温度调谐直接对啁啾光纤光栅(CFBG)进行调制，其利用了啁啾光纤光栅温度影响非线性的特性。通过半导体制冷器(TEC)对啁啾光纤光栅分段控温来控制展宽时的色散量，与后续压缩量相匹配，从而实现脉宽调节的目的。但是分段控温啁啾光纤光栅在影响光纤非线性时，容易产生新的变量，比如高阶色散等，不利于最终的压缩出的脉冲形状。同时该方案对TEC的控温精度要求较高，以及存在相邻TEC温度差不能过大等限制。在最终脉冲宽度控制时也容易受到环境温度的影响导致之前匹配好的TEC温度不再适配，并且脉冲宽度的调节范围有限。此外该方案整体价格也十分昂贵，不利于激光器的降本普及；

2)使用电机直接拉伸啁啾光纤光栅(CFBG)，通过对CFBG的拉伸，利用CFBG受应力影响非线性的特性改变展宽时的色散量。该方案会直接对对CFBG的光栅区进行物理性调制，由于CFBG的光栅栅区相比于普通光纤在强度上会略逊一筹，存在被拉断的风险，且风险较大，同时色散的具体调整量很难控制，而且脉宽的调节范围有限，因而也不适合工业化的生产。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种能降低成本，不存在拉断风险，并且能够扩大脉冲宽度调节范围的脉冲激光器。

为解决以上技术问题，本发明提供一种脉冲激光器，包括：沿种子光传输方向依次设置的种子光源、展宽单元、放大单元、压缩单元，其特征在于，所述展宽单元包括：

分束器，将所述种子光源输出的原始激光束分束成至少两束子激光束；

展宽光纤，与子激光束一一对应，各展宽光纤的一端连接于分束器的输出端，且各所述展宽光纤的长度均不相同，以获得至少两束脉冲宽度不一致的子激光束；

应力调节装置，各所述展宽光纤盘绕于应力调节装置；

耦合器，其输入端与各展宽光纤的另一端连接，各子激光束重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束；

其中，于所述应力调节装置作用下，各所述展宽光纤长度发生变化，以调节各所述子激光束的脉冲展宽量，从而使激光束的脉冲宽度发生变化。

作为优选，展宽单元还包括与耦合器输出端连接的脉冲选取装置，用于在经耦合器重新合束后得到的激光束中选取预定脉冲宽度的脉冲进行输出。

作为优选，所述脉冲激光器还包括脉宽稳定单元，所述脉宽稳定单元包括：

监测模块，设置于压缩单元的输出光路上，用于接收压缩单元输出的光信号，并将其转换为电信号；

控制模块，分别与监测模块以及应力调节装置电连接，用于接收监测模块发出的电信号，并根据电信号的幅度值变化对应地调节应力调节装置产生的应力。

作为优选，所述监测模块包括：倍频晶体，设置于压缩单元的输出光路上，压缩单元输出的激光束至少部分输入至倍频晶体后输出倍频光；

光电监测装置，采集倍频光，并将倍频光转换成电信号。

作为优选，控制模块具体用于接收监测模块发出的电信号，根据电信号的幅度值变化，反向计算各幅度值下对应的实时脉冲宽度，并根据实时脉冲宽度与预定脉冲宽度的差值，调节应力调节装置进行应力加减指令，同时比对调节后的电信号的幅度值变化，实时调节应力调节装置的应力。

作为优选，压缩单元的激光输出光路上设置有反射镜，至少部分激光束于反射镜处透射进入倍频晶体。

作为优选，放大单元包括至少一个依次设置的光纤放大模块，所述光纤放大模块包括：合束器、增益光纤以及至少一个泵浦源，所述泵浦源与展宽单元的输出端均连接于合束器的输入端，合束器的输出端与增益光纤的输入端连接。

作为优选，最后一个光纤放大模块还包括连接于增益光纤输出端的光纤端帽。

作为优选，压缩单元包括：沿激光束传输方向依次设置的二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片以及脉冲压缩光栅。

作为优选，应力调节装置为压电陶瓷。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

(1)通过分束器将从种子光源输出的原始激光束分束形成至少两束子激光束，各子激光束在经过展宽光纤之前脉冲宽度均相同，在各子激光束经过各长度均不相同的展宽光纤后，各子激光束获得了不同的展宽量，各子激光束的脉冲宽度均不相同，由于展宽光纤盘绕于应力调节装置，在应力调节装置的作用下，各展宽光纤的长度发生变化，各子激光束获得的脉冲展宽量也发生变化，在应力调节装置的应力调节范围下，各子激光束获得的脉冲展宽量同样存在一个调节范围，而又由于各展宽光纤长度不同，各子激光束的脉冲宽度已经不相同，因此各子激光束在应力调节装置的作用下所能达到的脉冲宽度的范围也均不相同，从而多个子激光束在应力调节装置的作用下，能够获得比单个激光束更大的脉冲宽度的调节范围。而后在耦合器的作用下，可以将多个子激光束合束成具有脉冲宽度从窄至宽的脉冲串的激光束，只需在后续的激光输出过程中对于脉冲串中的脉冲进行选单输出，即可获得所需脉冲宽度的激光束，相对比于仅采用一束激光束在应力调节装置的作用下调节脉冲宽度所能够获得的脉冲宽度的选择范围更大。

(2)通过在分束器将从种子光源输出的原始激光束分束形成至少两束子激光束，各子激光束在经过展宽光纤之前脉冲宽度均相同，在各子激光束经过各长度均不相同的展宽光纤后，各子激光束获得了不同的展宽量，各子激光束的脉冲宽度均不相同，在耦合器的作用下，各子激光束又重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束，最后再后面经过放大单元和压缩单元后，获得一束飞秒级具有不同脉冲宽度的激光束，并且由于展宽光纤长度越长，展宽量越大，脉冲在展宽光纤内走的时间也就越长，因此也就形成了脉冲输出排序按照脉冲宽度从窄至宽依次重复排列，也就是说能够实现脉冲宽度从窄至宽的脉冲串功能。这种脉冲串在实际加工应用过程中，由于在同样的单脉冲能量下，脉冲宽度越窄，其峰值功率就越高，也就是说在分束器分束的子激光束的能量均相同的情况下，在脉冲串中，脉冲峰值功率逐个降低，因此在实际采用该脉冲激光器进行材料加工时，高峰值功率的脉冲率先打中材料突破材料的损伤阈值，再通过逐个降低的脉冲进行温和处理控制变化，材料在加工过程中经历剧烈到温和的过程，从而使加工的精度更高。

附图说明

图1为本发明实施例一中的脉冲激光器的结构示意图；

图2为本发明实施例一中的脉冲时序示意图；

图3为本发明实施例二中的脉冲激光器的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明技术方案，以下结合附图与具体实施例进行详细说明。

实施例一

如图1所示，本实施例提供了一种脉冲激光器，包括沿种子光传输方向依次设置的种子光源1、展宽单元2、放大单元3、压缩单元4，展宽单元2包括：分束器21，将种子光源1输出的原始激光束分束成至少两束子激光束；展宽光纤22，与子激光束一一对应，各展宽光纤22的一端连接于分束器的输出端，且各所述展宽光纤22的长度均不相同，以获得至少两束脉冲宽度不一致的子激光束；应力调节装置23，各所述展宽光纤22盘绕于应力调节装置23；耦合器24，其输入端与各展宽光纤22的另一端连接，各子激光束重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束，且激光束各个脉冲的排序按照脉冲宽度从窄至宽依次重复排列；其中，于应力调节装置23作用下，各所述展宽光纤22长度发生变化，以调节各子激光束的脉冲展宽量，从而使激光束的脉冲宽度发生变化。

在上述结构中，通过分束器21将从种子光源1输出的原始激光束分束形成至少两束子激光束，各子激光束在经过展宽光纤22之前脉冲宽度均相同，在各子激光束经过各长度均不相同的展宽光纤22后，各子激光束获得了不同的展宽量，各子激光束的脉冲宽度均不相同，由于展宽光纤22盘绕于应力调节装置23，在应力调节装置23的作用下，各展宽光纤22的长度发生变化，各子激光束获得的脉冲展宽量也发生变化，在应力调节装置23的应力调节范围下，各子激光束获得的脉冲展宽量同样存在一个调节范围，而又由于各展宽光纤22长度不同，各子激光束的脉冲宽度已经不相同，因此各子激光束在应力调节装置23的作用下所能达到的脉冲宽度的范围也均不相同，从而多个子激光束在应力调节装置23的作用下，能够获得比单个激光束更大的脉冲宽度的调节范围。而后在耦合器24的作用下，由于展宽光纤22长度越长，子激光束走的时间也越长，因此在时域上产生了延迟差，所以多个子激光束合束成具有脉冲宽度从窄至宽的脉冲串的激光束，只需在后续的激光输出过程中对于脉冲串中的脉冲进行选频输出，即可获得所需脉冲宽度的激光束，相对比于仅采用一束激光束在应力调节装置的作用下调节脉冲宽度所能够获得的脉冲宽度的选择范围更大。

在本实施例中，分束器21将种子光源输出的原始激光束分束形成两束子激光束，通过两根长度不一致的展宽光纤22进行传输，再通过耦合器24将两束子激光束重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束。假设其中一子激光束的初始脉冲宽度为a，另一子激光束的初始脉冲宽度为b，且a小于b，应力调节装置23所能调节的脉冲宽度范围为(0，c)，则其中一子激光束的脉冲宽度可调节范围为(a，a+c)，另一子激光束的脉冲宽度可调节范围为(b，b+c)，因此最终可以选择输出的激光束的脉冲宽度可以具有两个范围(a，a+c)和(b，b+c)，当然在经过计算预先设定好两根展宽光纤22的长度差值，可以使输出的激光束的脉冲宽度的范围为(a，b+c)，相对于仅有一束激光束的情况下，可调节的范围更大。当然，在具有两根以上的展宽光纤22，输出的激光束的脉冲宽度的可调节范围也就进一步增大。

如图2所示，图2为本实施例中经分束器21后输出的两束子激光束的脉冲时序图，脉冲时序A为较短展宽光纤的脉冲时序，脉冲时序B为较长的展宽光纤的脉冲时序，在经过耦合器24后的到脉冲时序C。由于展宽光纤在长度确定的情况下，输出的脉冲频率是固定的，因此根据实际需求，只需要在固定的间隔时间内对脉冲进行选择输出，最终可以输出一束具有相同脉冲宽度的激光束，并且在应力调节装置23不参与应力调节的情况下，可以选择输出脉冲时序A或脉冲时序B，也就是说可以在合束后形成的脉冲串中选取一个需要的脉冲宽度输出，如图2中虚线所示，即为选取脉冲输出。当然，也可以在合束后形成的脉冲串后选择输出一束具有不同脉冲宽度的脉冲串进行输出。

在本实施例中，展宽光纤22为单模传输光纤。利用普通的单模传输光纤的群时延色散特性来展宽，相比于啁啾光纤光栅(CFBG)，其展宽量更容易控制，且价格低廉。假设单模传输光纤的群时延色散量为39ps/nm/km，种子光源的光谱宽度为10nm，输出的原始激光束经过1000m的单模传输光纤后，总群时延色散量为390ps，即展宽量为390ps，为正啁啾，同时假定压缩模块同样为10nm的带宽，且总群时延色散量为500ps，即压缩量为500ps，为负啁啾。为了使最终输出的脉冲宽度达到最小值，即零啁啾的状态。那么就需要展宽量和压缩量相匹配，即都为500ps，经计算为了使展宽量达到500ps，需要约1282m的单模传输光纤来展宽，从成本角度上来说1282m的单模传输光纤价格低于啁啾光纤光栅，并且单模传输光纤的直径仅为0.25mm，因此如此长度的单模传输光纤在盘绕于应力调节装置23上也并不存在盘绕后体积过大的问题。

此外，在本实施例中，应力调节装置23为压电陶瓷(PZT)。通过对施加在压电陶瓷的电压的调节即可改变盘绕于压电陶瓷上的展宽光纤22的应力，从而改变展宽光纤的长度，在电压越大，压电陶瓷产生的应力越大，展宽光纤的长度也就越长，展宽量越大。可以由多块扇形的压电陶瓷组合形成一块圆形的光纤盘，再将展宽光纤盘绕于压电陶瓷外圈。

举个例子，在压缩单元4的压缩量为固定500ps，初始脉冲宽度为5ps的前提下，分别采用1300m和1305m的单模传输光纤进行展宽，所采用的压电陶瓷功率为5W，对压电陶瓷施加电压从0V-150V进行调节，最终于压缩单元后输出的脉冲宽度(最终输出的脉冲宽度＝初始脉冲宽度+展宽量-压缩量)，如下表所示：

如上表可知，在0V-150V的电压下，选择1300m的单模传输光纤最终经过压缩单元4后可以输出的脉冲宽度范围在315fs-1088fs之间，选择1305m的单模传输光纤最终经过压缩单元4后可以输出的脉冲宽度范围在1151fs-1954fs之间，脉冲宽度的调节范围大幅度增加。因此在想要得到预定的最终输出的脉冲宽度，只需要选择对应长度的单模传输光纤，并对应的调节压电陶瓷的电压。

除此之外，通过在分束器21将从种子光源1输出的原始激光束分束形成至少两束子激光束，各子激光束在经过展宽光纤22之前脉冲宽度均相同，在各子激光束经过各长度均不相同的展宽光纤22后，各子激光束获得了不同的展宽量，各子激光束的脉冲宽度均不相同，在耦合器24的作用下，各子激光束又重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束，最后再后面经过放大单元3和压缩单元4后，获得一束飞秒级具有不同脉冲宽度的激光束，并且由于展宽光纤22长度越长，展宽量越大，脉冲在展宽光纤22内走的时间也就越长，因此在耦合后也就形成了脉冲输出排序按照脉冲宽度从窄至宽依次重复排列，也就是说能够实现脉冲宽度从窄至宽的脉冲串功能。这种脉冲串在实际加工应用过程中，由于在同样的单脉冲能量下，脉冲宽度越窄，其峰值功率就越高，也就是说在分束器21分束的子激光束的能量均相同的情况下，在脉冲串中，脉冲峰值功率逐个降低，因此在实际采用该激光束进行材料加工时，高峰值功率的脉冲率先打中材料突破材料的损伤阈值，再通过逐个降低的脉冲进行温和处理控制变化，材料在加工过程中经历剧烈到温和的过程，从而使加工的精度更高。作为优选，本实施例中的分束器21为5:5分束器，即分出两束能量相同的子激光束。

进一步的说，展宽单元2还包括与耦合器24输出端连接的脉冲选取装置25，用于在经耦合器24重新合束后得到的激光束中选取预定脉冲宽度的脉冲进行输出。在本实施例中，脉冲选取装置25为光纤声光调制器。光纤声光调制器的选择性开光机制可以在合束后的激光束中选取所需脉冲或者脉冲串输出，即在合束后的激光束的脉冲串中选择性地输出一束脉冲宽度均相同的激光束，或者在合束后的激光束的脉冲串中脉冲串中其中选取部分脉冲组合形成脉冲串输出。例如，分束器21将原始激光束分束形成三束子激光束，合束后得到的激光束在一个脉冲串中具有三个脉冲宽度不同的脉冲，通过光纤声光调制器可以选择其中两个脉冲组合再输出。

具体的说，本实施例中的耦合器24为2×2(9:1)耦合器，其中一端的两个接口分别连接两根单模传输光纤，另一端分束比为9的接口连接光纤声光调制器，分束比为1的接口连接一光电探测器26，用于探测经耦合器输出的激光束的脉冲频率，为光纤声光调制器的选择性开关提供基频选择。

更进一步的说，放大单元3包括：至少一个依次设置的光纤放大模块，光纤放大模块包括：合束器31、增益光纤32以及至少一个泵浦源33，泵浦源33与展宽单元2的输出端均连接于合束器31的输入端，合束器31的输出端与增益光纤32的输入端连接，最后一个光纤放大模块还包括连接于增益光纤32输出端的光纤端帽34。

通过上述结构，从耦合器24中输出的激光束在经过每经过一个光纤放大模块后，逐步提高其输出功率，最后经最后一个光纤放大模块的光纤端帽34输出，此时经过合束后的激光束在光纤端帽处输出后变成空间光并进入压缩单元。

更进一步的说，压缩单元4包括：沿激光束传输方向依次设置的二分之一波片41、偏振分光棱镜42、四分之一波片43以及脉冲压缩光栅44。在本实施例中，脉冲压缩光栅44为体光栅。

在上述结构中，激光束依次经过二分之一波片41、偏振分光棱镜42、四分之一波片43后进入体光栅，实现脉冲的压缩，使脉冲宽度变窄达到飞秒量级，而后激光束经反射，原路返回，再次经过四分之一波片43，此时激光束的偏振态发生变化，无法从偏振分光棱镜42处通过，在经过偏振分光棱镜42时，激光束从偏振分光棱镜42的侧面反射出去，实现最终的激光束输出。

实施例二

本实施例与实施例1中相同部分给予相同的附图标记，并省略相同的文字说明。

脉冲激光器在工作过程中，通常会产生较大的热量，而光纤温度等变量会影响到色散量，脉冲宽度也因此会有所影响，很难保证脉冲宽度在长期使用过程中一直保持不变，对实际应用时会产生较大影响。因此需要在脉冲激光器在工作中保持脉冲宽度的稳定。

因此，如图3所示，本实施例中，脉冲激光器还包括脉宽稳定单元5，脉宽稳定单元5包括：监测模块51，设置于压缩单元4的输出光路上，用于接收压缩单元4输出的光信号，并将其转换为电信号；控制模块52，分别与监测模块51以及应力调节装置23电连接，用于接收监测模块51发出的电信号，并根据电信号的幅度值变化对应地调节应力调节装置23产生的应力。

具体的说，监测模块51包括：倍频晶体511，设置于压缩单元4的输出光路上，压缩单元4输出的激光束至少部分输入至倍频晶体511后输出倍频光；光电监测装置512，采集倍频光，并将倍频光转换成电信号。控制模块52具体用于接收监测模块51发出的电信号，根据电信号的幅度值变化，反向计算各幅度值下对应的实时脉冲宽度，并根据实时脉冲宽度与预定脉冲宽度的差值，调节应力调节装置23进行应力加减指令，同时比对调节后的电信号的幅度值变化，实时调节应力调节装置23的应力。

在本实施例中，应力调节装置23为压电陶瓷。在上述结构中，在压缩单元4与倍频晶体511之间的输出光路上设置45°反射镜6，压缩后的激光束在经过45°反射镜6时，大部分激光束会被45°反射镜6反射输出，但是会有一束微弱的光透射并打入倍频晶体511，由于倍频晶体511的倍频效率与脉冲的峰值功率有关，在单脉冲能量不变的情况下，脉宽越窄，产生的倍频光功率越强，利用光电监测装置512采集倍频光，并转换成电信号。通过不断对电信号的监测，控制模块52可以反向计算各幅度值下对应的实时脉冲宽度，并根据实时脉冲宽度与预定脉冲宽度的差值，计算所需要调节的电压大小，实时改变施加在压电陶瓷上的电压，使得脉冲宽度稳定在一个固定范围或者某个固定值，从而保证脉冲激光器的脉宽稳定性。

本实施例的控制模块52也可用于实施例一中的脉冲宽度的调节，即将预定脉冲宽度输入控制模块52，控制模块52进而改变施加在压电陶瓷的电压，调节输出的激光束脉冲宽度至预定脉冲宽度的范围附近，再进行微调电压，使脉冲宽度达到预定脉冲宽度，最后再根据监测模块51实时发出的电信号实时调节电压，使脉冲宽度保持稳定。

以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围以权利要求所限定的范围为准，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内做出的若干改进和润饰，也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种脉冲激光器，包括：沿种子光传输方向依次设置的种子光源、展宽单元、放大单元、压缩单元，其特征在于，所述展宽单元包括：

分束器，将所述种子光源输出的原始激光束分束成至少两束子激光束；

展宽光纤，与子激光束一一对应，各展宽光纤的一端连接于分束器的输出端，且各所述展宽光纤的长度均不相同，以获得至少两束脉冲宽度不一致的子激光束；

应力调节装置，各所述展宽光纤盘绕于应力调节装置；

耦合器，其输入端与各展宽光纤的另一端连接，各子激光束重新合束形成一束具有不同脉冲宽度的激光束；

其中，于所述应力调节装置作用下，各所述展宽光纤长度发生变化，以调节各所述子激光束的脉冲展宽量，从而使激光束的脉冲宽度发生变化。

2.根据权利要求1所述的脉冲激光器，其特征在于，所述展宽单元还包括与耦合器输出端连接的脉冲选取装置，用于在经耦合器重新合束后得到的激光束中选取预定脉冲宽度的脉冲进行输出。

3.根据权利要求1所述的脉冲激光器，其特征在于，所述脉冲激光器还包括脉宽稳定单元，所述脉宽稳定单元包括：

监测模块，设置于压缩单元的输出光路上，用于接收压缩单元输出的光信号，并将其转换为电信号；

控制模块，分别与监测模块以及应力调节装置电连接，用于接收监测模块发出的电信号，并根据电信号的幅度值变化对应地调节应力调节装置产生的应力。

4.根据权利要求3所述的脉冲激光器，其特征在于，所述监测模块包括：

倍频晶体，设置于压缩单元的输出光路上，压缩单元输出的激光束至少部分输入至倍频晶体后输出倍频光；

光电监测装置，采集倍频光，并将倍频光转换成电信号。

5.根据权利要求3所述的脉冲激光器，其特征在于，所述控制模块具体用于接收监测模块发出的电信号，根据电信号的幅度值变化，反向计算各幅度值下对应的实时脉冲宽度，并根据实时脉冲宽度与预定脉冲宽度的差值，调节应力调节装置进行应力加减指令，同时比对调节后的电信号的幅度值变化，实时调节应力调节装置的应力。

6.根据权利要求4所述的脉冲激光器，其特征在于，所述压缩单元的激光输出光路上设置有反射镜，至少部分激光束于反射镜处透射进入倍频晶体。

7.根据权利要求1所述的脉冲激光器，其特征在于，所述放大单元包括：至少一个依次设置的光纤放大模块，所述光纤放大模块包括：合束器、增益光纤以及至少一个泵浦源，所述泵浦源与展宽单元的输出端均连接于合束器的输入端，合束器的输出端与增益光纤的输入端连接。

8.根据权利要求6所述的脉冲激光器，其特征在于，最后一个光纤放大模块还包括连接于增益光纤输出端的光纤端帽。

9.根据权利要求1所述的脉冲激光器，其特征在于，所述压缩单元包括：沿激光束传输方向依次设置的二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片以及脉冲压缩光栅。

10.根据权利要求1所述的脉冲激光器，其特征在于，所述应力调节装置为压电陶瓷。