CN116457492A - 热障涂层的施工方法以及耐热部件 - Google Patents

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Abstract

本公开的至少一个实施方式的热障涂层的施工方法具备：在配置在喷镀室内的对象物的耐热合金基材上，利用配置在该喷镀室内的喷镀枪，通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序；在配置在该喷镀室内的对象物的粘合涂层上，利用配置在该喷镀室内的喷镀枪，通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀，从而形成顶涂层的工序。

Description

热障涂层的施工方法以及耐热部件
技术领域
本公开涉及一种热障涂层的施工方法以及耐热部件。本申请基于2020年12月28日向日本国专利局申请的特愿2020-218460号主张优先权，在此援用其内容。
背景技术
已知在如航空发动机中的燃烧器面板或涡轮叶片、工业用燃气轮机中的涡轮叶片或分割环等那样的、暴露于高温燃烧气体的耐热部件设置热障涂层(Thermal BarrierCoating，TBC)。在这种热障涂层中，包括在耐热合金基材上形成的粘合涂层和在粘合涂层上形成的作为隔热层的顶涂层(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：(日本)特开2011-117012号公报
发明内容
发明要解决的课题
例如在粘合涂层中，希望与耐热合金基材的紧贴力大。因此，存在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的需求，该高速火焰喷镀通过使粘合涂层的原料粉末以超音速撞击耐热合金基材，可以获得比较大的紧贴力。
另外，由于顶涂层与粘合涂层所要求的性质和材料不同，因此存在希望通过与形成粘合涂层的喷镀方法不同的喷镀方法形成陶瓷层的需求。
这样，在利用不同的喷镀方法分别形成粘合涂层和顶涂层的情况下，由于装置结构的不同、使用的气体等所需要的周边装置和设备室的不同，难以在同一喷镀室中进行喷镀。因此，需要使喷镀的对象物移动到不同的喷镀室的工时、使对象物移动后到喷镀开始为止的对象物的设置等准备作业。
鉴于上述情况，本公开的至少一个实施方式的目的在于提高形成热障涂层时的作业效率。
用于解决问题的方案
(1)本公开的至少一个实施方式的热障涂层的施工方法
具备：在配置在喷镀室内的对象物的耐热合金基材上，利用配置在该喷镀室内的喷镀枪，通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序；
在配置在该喷镀室内的所述对象物的所述粘合涂层上，利用配置在该喷镀室内的喷镀枪，通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀，从而形成顶涂层的工序。
(2)本公开的至少一个实施方式的耐热部件具有通过基于上述(1)的方法的热障涂层的施工方法而形成的所述粘合涂层和所述顶涂层。
发明效果
根据本公开的至少一个实施方式，能够提高形成热障涂层时的作业效率。
附图说明
图1是具备通过几个实施方式的热障涂层的施工方法进行施工的热障涂层的耐热部件的截面的示意图。
图2是表示作为耐热部件的一例的航空发动机用的燃烧器面板的外观的图。
图3是表示几个实施方式的热障涂层的施工方法的步骤的流程图。
图4A是用于说明一个实施方式的热障涂层的施工方法的装置的概略的图。
图4B是用于说明另一实施方式的热障涂层的施工方法的装置的概略的图。
图4C是用于说明另一实施方式的热障涂层的施工方法的装置的概略的图。
图5A是用于说明内部供给式喷镀枪的构造的示意图。
图5B是用于说明外部供给式喷镀枪的构造的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本公开的几个实施方式进行说明。但是，作为实施方式记载的或附图所示的构成部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等并不旨在将本公开的范围限定于此，而仅仅是说明例。
例如，表示“在某一方向上”、“沿着某一方向”、“平行”、“正交”、“中心”、“同心”或“同轴”等相对或绝对的配置的表述不仅严格地表示这样的配置，还表示具有公差、或者能够获得相同功能的程度的角度或距离而相对位移的状态。
例如，表示“相同”、“相等”以及“均质”等事物为相等的状态的表述不仅表示严格相等的状态，还表示存在公差、或者能够获得相同功能的程度的差的状态。
例如，表示四边形状或圆筒形状等形状的表述不仅表示几何学上严格意义上的四边形状或圆筒形状等形状，在能够获得相同效果的范围内，还表示包含凹凸部或倒角部等的形状。
另一方面，“具备”、“配备”、“具有”、“包括”或“有”一个构成要素这样的表述并不是排除其他构成要素的存在的排他性的表述。
(热障涂层3)
图1是具备通过几个实施方式的热障涂层的施工方法进行施工的热障涂层3的耐热部件1的截面的示意图。
图2是表示作为耐热部件1的一例的航空发动机用的燃烧器面板1A的外观的图。
在航空发动机用的燃烧器面板1A或涡轮叶片、工业用燃气轮机用的涡轮叶片或分割环等耐热部件1，形成有用于耐热部件1的隔热的热障涂层(Thermal Barrier Coating：TBC)3。
在几个实施方式的耐热部件1的耐热合金基材(母材)5上，依次形成金属结合层(粘合涂层)7和作为隔热层的顶涂层9。即，在几个实施方式中，热障涂层3包括粘合涂层7和顶涂层9。
几个实施方式的粘合涂层7由MCrAlY合金(M表示Ni、Co、Fe等金属元素或它们中2种以上的组合)等构成。
几个实施方式的顶涂层9优选由ZrO2基材料、例如由Y2O3部分稳定或完全稳定的ZrO2即YSZ(钇稳定氧化锆)构成。另外，几个实施方式的顶涂层9可以由DySZ(镝稳定氧化锆)、ErSZ(铒稳定氧化锆)、Gd2Zr2O7或Gd2Hf2O7中的任一种构成。
由此，可以得到隔热性优异的热障涂层3。
在几个实施方式的顶涂层9中，沿顶涂层9的厚度方向延伸的纵裂纹Cv沿面方向、即图1中的图示左右方向以及纸面进深方向分散。另外，在几个实施方式的顶涂层9中，沿面方向延伸的横裂纹Ch分散。
在几个实施方式的热障涂层3中，通过顶涂层9中的具有多个纵裂纹Cv的结构，能够缓和因与耐热合金基材5的线膨胀系数不同而产生的热应力，因而热循环耐久性优异。
(流程图)
图3是表示几个实施方式的热障涂层的施工方法的步骤的流程图。几个实施方式的热障涂层的施工方法包括形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序S20。
在几个实施方式中，形成粘合涂层7的工序S10是在配置在后述的喷镀室20内的对象物(耐热部件1)的耐热合金基材5上，利用配置在该喷镀室20内的后述的喷镀枪30，通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7的工序。
即，在几个实施方式中，在形成粘合涂层7的工序S10中，通过高速火焰喷镀将作为喷镀材料的MCrAlY合金等粉末喷镀到耐热合金基材5的表面。
在几个实施方式中，形成顶涂层9的工序S20是在配置在实施了粘合涂层7的工序S10之后的喷镀室20内的上述对象物(耐热部件1)的粘合涂层7上，利用配置在该喷镀室20内的喷镀枪30，通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀，从而形成顶涂层9的工序。
即，在几个实施方式中，在形成顶涂层9的工序S20中实施的喷镀是利用悬浊液的高速火焰喷镀(S-HVOF)。在几个实施方式中，在形成顶涂层9的工序S20中，通过高速火焰喷镀将作为喷镀材料的陶瓷粉末分散在溶剂中的悬浊液喷镀到粘合涂层7的表面。在利用悬浊液的高速火焰喷镀中，作为悬浊液供给的喷镀材料TM通过燃烧火焰喷流CF喷向喷镀对象物的表面(参照后述的图5A、图5B)。
在高速火焰喷镀(HVOF)和利用悬浮液的高速火焰喷镀(S-HVOF)中，用于喷镀的原料(喷镀材料)的供给形态存在是保持粉体还是分散在溶剂中的悬浊液的差异，但均为使用高速火焰喷镀装置的喷镀方法。因此，在高速火焰喷镀和利用悬浊液的高速火焰喷镀中，虽然喷镀枪30等的装置结构不同，但所使用的气体等所需要的周边装置和设备室几乎没有差别。因此，能够将用于进行高速火焰喷镀的喷镀枪30和用于进行利用悬浊液的高速火焰喷镀的喷镀枪30配置在同一喷镀室20内，分别进行喷镀。
因此，根据几个实施方式的热障涂层的施工方法，在形成粘合涂层7后，也可以不将作为对象物的耐热部件1移动到其他喷镀室，因此不需要将耐热部件1移动到不同的喷镀室的工时，能够大幅削减直至利用悬浊液的高速火焰喷镀的喷镀开始为止的耐热部件1的设置等准备作业，因此能够提高形成热障涂层3时的作业效率，削减制造成本。
需要说明的是，以往，顶涂层9为了确保热循环耐久性，为了在层内含有沿顶涂层9的厚度方向延伸的被称为纵裂纹的龟裂(纵裂纹Cv)，大多情况下通过电子束物理蒸镀(EB-PVD)形成。但是，对于用于进行电子束物理蒸镀的装置来说，装置的初始成本比喷镀装置等高10倍以上。另外，用于通过电子束物理蒸镀而形成层的运行成本是用于通过喷镀等而形成层的运行成本的10倍左右，是高价的。另外，通过电子束物理气相沉积而形成层的形成速度低，为通过喷镀等而形成的层的形成速度的几分之一左右。
发明者们进行了深入研究，结果判明：如果通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀从而形成顶涂层，能够确保与通过电子束物理蒸镀在粘合涂层7上形成顶涂层的情况下同等的隔热性和热循环耐久性等性能。
根据几个实施方式的热障涂层的施工方法，与通过电子束物理蒸镀在粘合涂层7上形成顶涂层9的情况相比，能够以较低的运行成本且更短时间形成顶涂层。另外，根据几个实施方式的热障涂层的施工方法，也能够大幅抑制用于形成顶涂层9的设备的导入成本。
另外，几个实施方式的耐热部件1具有通过几个实施方式的热障涂层的施工方法形成的粘合涂层7和顶涂层9。
由此，能够抑制耐热部件1的制造成本。
图4A是用于说明一个实施方式的热障涂层的施工方法的装置的概略的图。
图4B是用于说明另一实施方式的热障涂层的施工方法的装置的概略的图。
图4C是用于说明再一实施方式的热障涂层的施工方法的装置的概略的图。
图5A是用于说明内部供给式喷镀枪30I的构造的示意图。
图5B是用于说明外部供给式喷镀枪301E的构造的示意图。
如图4A至图4C所示，在几个实施方式的热障涂层的施工方法中，使用喷镀枪30、喷镀枪30的移动装置50、集尘罩70来对热障涂层3进行施工。需要说明的是，在几个实施方式的热障涂层的施工方法中，除了图4A至图4C所示的这些装置以外，虽然未图示，但装置构成中还包括喷镀控制盘、控制移动装置50的驱动的控制装置、喷镀材料的供给装置等。
在进行热障涂层3的施工时，在需要固定热障涂层3的施工的对象物即耐热部件1的情况下，可以使用固定夹具91，在需要使耐热部件1连续旋转的情况下，可以使用未图示的旋转驱动装置。
几个实施方式的移动装置50例如是工业用机器人，但也可以是例如NC装置那样的具有能够在多个方向上移动的滑动轴的扫描装置。
如图4A至图4C所示，在几个实施方式的热障涂层的施工方法中，例如，喷镀枪30、移动装置50以及集尘罩70配置在一个喷镀室20的内部。喷镀室20为了隔音或为了防止粉尘向周围飞散而形成与周围隔开的空间。例如喷镀室20可以是配置在作业室内的箱状，也可以是用壁等划分作业室的一部分的一个区域，也可以是设置在建筑物内的专用房间。
热障涂层3的施工的对象物即耐热部件1在该喷镀室20内形成热障涂层3、即粘合涂层7和顶涂层9。
如图4A所示，在一个实施方式的热障涂层的施工方法中，在形成粘合涂层7的工序S10中，也可以一边利用移动装置50使第一喷镀枪30A移动一边通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7。而且，在形成顶涂层9的工序中，也可以一边利用在形成粘合涂层7的工序S10中使用的移动装置50使与第一喷镀枪30A不同的第二喷镀枪30B移动，一边形成顶涂层。
即，在图4A所示的一个实施方式的热障涂层的施工方法中，在形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序中，更换所使用的喷镀枪30(安装在移动装置50的喷镀枪30)。由此，形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序能够在同一喷镀室20内实施。
例如，在使用如图5A所示的、构成为将喷镀材料TM向喷镀枪30的内部供给的内部供给式喷镀枪30I的情况下，在形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序中，更换所使用的喷镀枪30即可。
根据图4A所示的一个实施方式的热障涂层的施工方法，如果在形成粘合涂层7后、开始形成顶涂层9之前将安装在移动装置50的喷镀枪30从第一喷镀枪30A变更为第二喷镀枪30B，则移动装置50也可以不变更，因此能够简化形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业。
如图4B所示，在另一实施方式的热障涂层的施工方法中，在形成粘合涂层7的工序S10中，也可以一边利用移动装置50使喷镀枪30移动一边通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7。而且，在形成顶涂层9的工序S20中，也可以一边利用在形成粘合涂层7的工序S10中使用的移动装置50使在形成粘合涂层7的工序S10中使用的喷镀枪30移动，一边形成顶涂层9。
即，在图4B所示的另一实施方式的热障涂层的施工方法中，在形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序S20中，不更换所使用的喷镀枪30(安装在移动装置50的喷镀枪30)，而实施利用同一喷镀枪30形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序S20。
根据图4B所示的另一实施方式的热障涂层的施工方法，如果在形成粘合涂层7后、开始形成顶涂层9之前，如后所述，例如将用于供给粘合涂层7的喷镀材料TM的供给部35变更为用于供给顶涂层9的喷镀材料TM的供给部35，则移动装置50以及喷镀枪30也可以不变更。由此，能够简化在形成粘合涂层7后开始顶涂层9形成之前的准备作业。
需要说明的是，除了在粘合涂层7和顶涂层9中喷镀材料不同之外，还存在喷镀材料的供给形态为保持粉末还是悬浊液的差异。因此，在图4B所示的另一实施方式的热障涂层的施工方法中，作为喷镀枪30，例如优选使用如图5B所示的、构成为在喷镀枪30的外部供给喷镀材料TM的外部供给式喷镀枪30E。而且，优选在形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序中，更换安装在外部供给式喷镀枪30E的外部的、用于将喷镀材料TM供给到燃烧火焰喷流CF的供给部35。即，在图4B所示的另一实施方式的热障涂层的施工方法中，优选在形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序S20中，变更利用喷镀枪30喷镀的喷镀材料TM的供给部35。
具体而言，在图4B所示的另一实施方式的热障涂层的施工方法中，在实施形成粘合涂层7的工序S10的情况下，优选在外部供给式喷镀枪30E安装用于供给粘合涂层7的喷镀材料TM的第一供给部35A。另外，在实施形成顶涂层9的工序S20的情况下，优选在外部供给式喷镀枪30E安装用于供给顶涂层9的喷镀材料TM的第二供给部35B。
由此，形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序能够在同一喷镀室20内实施。
需要说明的是，第一供给部35A以及第二供给部35B分别与用于将喷镀材料TM供给到第一供给部35A以及第二供给部35B的未图示的供给装置连接。
根据图4B所示的另一实施方式的热障涂层的施工方法，如果在形成粘合涂层7后、开始形成顶涂层9之前将第一供给部35A变更为第二供给部35B，则移动装置50以及喷镀枪30也可以不变更，因此能够简化形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业。
如图4C所示，在再一实施方式的热障涂层的施工方法中，在形成粘合涂层7的工序S10中，也可以一边利用第一移动装置50A使第一喷镀枪30A移动一边通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7。而且，在形成顶涂层9的工序S20中，也可以一边利用与第一移动装置50A不同的第二移动装置50B使与第一喷镀枪30A不同的第二喷镀枪30B移动一边形成顶涂层9。
在图4C所示的再一实施方式的热障涂层的施工方法中，在形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序中，交换所使用的喷镀枪30以及移动装置50。由此，形成粘合涂层7的工序S10和形成顶涂层9的工序能够在同一喷镀室20内实施。
根据图4C所示的再一实施方式的热障涂层的施工方法，通过使用第一移动装置50A和第一喷镀枪30A作为用于形成粘合涂层7的装置，使用第二移动装置50B和第二喷镀枪30B作为用于形成顶涂层9的装置，在形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业中，能够省略喷镀枪30的更换作业和供给部35的更换作业等。
本公开不限定于上述的实施方式，还包括对上述实施方式施加了变形的方式、和将这些方式适当组合的方式。
上述各实施方式所记载的内容例如可以如以下这样理解。
(1)本公开的至少一个实施方式的热障涂层的施工方法具备在配置在喷镀室20内的对象物(耐热部件1)的耐热合金基材5上，利用配置在该喷镀室20内的喷镀枪30，通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7的工序(S10)。本公开的至少一个实施方式的热障涂层的施工方法具备在配置在该喷镀室20内的上述对象物(耐热部件1)的粘合涂层7上，利用配置在该喷镀室20内的喷镀枪30，通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀，从而形成顶涂层9的工序(S20)。
根据上述(1)的方法，在形成粘合涂层7后，也可以不将对象物(耐热部件1)移动到其他喷镀室，因此不需要将喷镀的对象物(耐热部件1)移动到不同的喷镀室的工时，能够大幅削减直至利用悬浊液的高速火焰喷镀的喷镀开始为止的对象物(耐热部件1)的设置等准备作业，因此能够提高形成热障涂层3时的作业效率，削减制造成本。
另外，根据上述(1)的方法，与通过电子束物理蒸镀在粘合涂层7上形成顶涂层9的情况相比，能够以较低的运行成本且更短时间形成顶涂层9。另外，根据上述(1)的方法，也能够大幅抑制用于形成顶涂层9的设备的导入成本。
(2)在几个实施方式中，根据上述(1)的方法，在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7的工序(S10)中，也可以一边利用第一移动装置50A使第一喷镀枪30A移动一边通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7。而且，在形成顶涂层9的工序(S20)中，也可以一边利用与第一移动装置50A不同的第二移动装置50B使与第一喷镀枪30A不同的第二喷镀枪30B移动一边形成顶涂层9。
根据上述(2)的方法，通过使用第一移动装置50A和第一喷镀枪30A作为用于形成粘合涂层7的装置，使用第二移动装置50B和第二喷镀枪30B作为用于形成顶涂层9的装置，在形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业中，能够省略喷镀枪30的更换作业和供给部35的更换作业等。
(3)在几个实施方式中，根据上述(1)的方法，在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7的工序(S10)中，也可以一边利用移动装置50使第一喷镀枪30A移动一边通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7。而且，在形成顶涂层9的工序(S20)中，也可以一边利用该移动装置50使与第一喷镀枪30A不同的第二喷镀枪30B移动，一边形成顶涂层9。
根据上述(3)的方法，如果在形成粘合涂层7后、开始形成顶涂层9之前将安装在移动装置50的喷镀枪30从第一喷镀枪30A变更为第二喷镀枪30B，则移动装置50也可以不变更，因此能够简化形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业。
(4)在几个实施方式中，根据上述(1)的方法，在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7的工序(S10)中，也可以一边利用移动装置50使喷镀枪30移动一边通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7。而且，在形成顶涂层9的工序(S20)中，也可以一边利用该移动装置50使该喷镀枪30移动，一边形成顶涂层9。
根据上述(4)的方法，如果在形成粘合涂层7后、开始形成顶涂层9之前，例如将用于供给粘合涂层7的喷镀材料TM的供给部35变更为用于供给顶涂层9的喷镀材料TM的供给部35，则移动装置50以及喷镀枪30也可以不变更，能够简化在形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业。
(5)在几个实施方式中，根据上述(4)的方法，在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层7的工序(S10)和形成顶涂层9的工序(S20)中，优选变更利用喷镀枪30喷镀的喷镀材料TM的供给部35。
根据上述(5)的方法，如果在形成粘合涂层7后、开始形成顶涂层9之前，将粘合涂层7形成用的喷镀材料TM的供给部(第一供给部35A)变更为顶涂层9形成用的喷镀材料TM的供给部(第二供给部35B)，则移动装置50以及喷镀枪30也可以不变更，能够简化在形成粘合涂层7后开始形成顶涂层9之前的准备作业。
(6)本公开的至少一个实施方式的耐热部件1具有通过基于上述(1)至(5)中任一个方法的热障涂层的施工方法而形成的粘合涂层7和顶涂层9。
根据上述(6)的结构，能够抑制耐热部件1的制造成本。
附图标记说明
1耐热部件
3热障涂层(Thermal Barrier Coating：TBC)
5耐热合金基材(母材)
7金属结合层(粘合涂层)
9 顶涂层
20 喷镀室
30 喷镀枪
35 供给部
50 移动装置

Claims (6)

1.一种热障涂层的施工方法，其特征在于，具备：
在配置在喷镀室内的对象物的耐热合金基材上，利用配置在该喷镀室内的喷镀枪，通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序；
在配置在该喷镀室内的所述对象物的所述粘合涂层上，利用配置在该喷镀室内的喷镀枪，通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀，从而形成顶涂层的工序。
2.如权利要求1所述的热障涂层的施工方法，其中，
在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序中，一边利用第一移动装置使第一喷镀枪移动一边通过高速火焰喷镀形成所述粘合涂层，
在通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀而形成顶涂层的工序中，一边利用与所述第一移动装置不同的第二移动装置使与所述第一喷镀枪不同的第二喷镀枪移动一边形成所述顶涂层。
3.如权利要求1所述的热障涂层的施工方法，其中，
在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序中，一边利用移动装置使第一喷镀枪移动一边通过高速火焰喷镀形成所述粘合涂层，
在通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀而形成顶涂层的工序中，一边利用该移动装置使与所述第一喷镀枪不同的第二喷镀枪移动一边形成所述顶涂层。
4.如权利要求1所述的热障涂层的施工方法，其中，
在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序中，一边利用移动装置使喷镀枪移动一边通过高速火焰喷镀形成所述粘合涂层，
在通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀而形成顶涂层的工序中，一边利用该移动装置使该喷镀枪移动一边形成所述顶涂层。
5.如权利要求4所述的热障涂层的施工方法，其中，
在通过高速火焰喷镀形成粘合涂层的工序和通过高速火焰喷镀对含有陶瓷粉末的悬浊液进行喷镀而形成顶涂层的工序中，变更利用所述喷镀枪喷镀的喷镀材料的供给部。
6.一种耐热部件，其中，
具有通过如权利要求1至5中任一项所述的热障涂层的施工方法而形成的所述粘合涂层和所述顶涂层。
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