CN116387402A - 一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，所述薄膜太阳能电池包括基板，所述基板上依次层叠有前电极层、光电转换层以及背电极层，包括以下步骤：S10：形成一包括第一激光模块和第二激光模块的光源模块；S20：基板在同光源模块相对位移时，第一激光模块从基板下方划刻掉前电极层以外的所有膜层；S30：第二激光模块沿前述S20第一激光模块的划刻位置对前电极层进行划刻，本发明中通过绿光以及红外激光组合的方式，且必须绿光先划刻，红外激光跟随划刻的方式，保证划刻精度及稳定性，解决产能问题，以及漏电划线稳定性问题。

Description

一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法及装置
技术领域
本发明涉及薄膜太阳能电池生产技术领域，具体涉及一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法及装置。
背景技术
薄膜太阳能电池一般在玻璃基板上制作，通过前段激光划线(P1)、吸光层激光划线(P2)以及背电极激光划线(P3)三道激光工艺完成电池片子电池的串并联，激光划刻设备贯穿整个前段工艺流程中，在薄膜太阳能电池的工艺流程中非常重要，其划刻效果的好坏也直接决定薄膜太阳能电池的性能，由于基板尺寸较大，往往需要将整个基板横向分成若干个并联模块，这就涉及到交叉线划刻，也叫做热斑线，以防止热斑效应，通过交叉线划刻，将整个基板分成若干个独立并联的部分，再通过引流条汇集。其中，在薄膜太阳能电池激光交叉线划刻工艺中，常规有两种方式，一种是通过P1线和P3线的组合，就是在做P1工艺中预先完成TCO膜层横向交叉线的划刻，然后在P3工艺中在同样P1划刻的位置完成交叉线划刻，通过组合的方式达到交叉线目的，将若干个模块完全独立，这种方式有两个弊端，一是影响设备产能，因为激光设备在整线工艺流程中往往会是一个瓶颈设备，如果在P1、P3工艺中再加入交叉线的工艺会进一步减少产能，得不偿失；另外一个弊端就是改交叉线通过两台设备两个工艺完成，但无法保证精度，往往会形成线性偏差，导致P1、P3线偏移，这样就会导致交叉线出现工艺问题，影响电池板性能。而第二种方式就是通过另外一台设备，也叫做P5设备，完成一次性划刻，通过红外激光一次性完成，这种方式同样会导致交叉线后模块相互之间漏电，从而影响电池板性能。
发明内容
本发明提供一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法及装置，以解决产生问题，以及漏电划线稳定性问题，该方法通过两种激光组合的方式，且两种激光采用先后的顺序进行划刻，保证划刻精度及稳定性。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，所述薄膜太阳能电池包括基板，所述基板上依次层叠有前电极层、光电转换层以及背电极层，包括以下步骤：
S10：形成一包括第一激光模块和第二激光模块的光源模块；
S20：基板在同光源模块相对位移时，第一激光模块从基板下方划刻掉前电极层以外的所有膜层；
S30：第二激光模块沿前述S20第一激光模块的划刻位置对前电极层进行划刻。
优选的，所述应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法还包括：
S11：光源模块在直线电机带动下移动至适宜位置；
S12：基板向光源模块方向移动，在基板移动至第一激光模块上方时，划刻掉前电极层以外的所有膜层；
S13：基板继续移动至第二激光模块上方时，完成对前电极层的划刻。
优选的，所述应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法还包括：
S11’：基板移动至适宜位置；
S12’：光源模块向基板方向移动，在第一激光模块移动至基板下方时，划刻掉前电极层以外的所有膜层；
S13’：光源模块继续移动使得第二激光模块位于基板下方时，完成对前电极层的划刻。
优选的，所述第一激光模块产生绿光激光。
优选的，所述第二激光模块产生红外激光。
优选的，所述第一激光模块产生的光斑直径大于第二激光模块产生的光斑直径。
一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻装置，包括基板，还包括能够平行于基板移动的光源模块，所述光源模块包括直线电机以及设置在直线电机上的第一激光模块和第二激光模块。
优选的，所述基板在同光源模块相对移动时，所述第一激光模块从基板下方划刻掉前电极层以外的所有膜层，继而第二激光模块划刻掉前电极层。
优选的，所述第一激光模块产生的光斑直径是第二激光模块产生的光斑直径的2倍以上。
由以上技术方案可知，本发明具有如下有益效果：本发明中，在交叉线划刻过程中，将两种激光光源集成在一个光源模块中，通过基板与光源模块的相对移动，且在移动过程中保证基板先后与两种激光光源接触，因为基板一个往返只能加工一条交叉线，始终保持这个原则，如此往复，完成所有交叉线划刻，该方法通过绿光以及红外激光组合的方式，且必须绿光先划刻，红外激光跟随划刻的方式，保证划刻精度及稳定性，解决产能问题，以及漏电划线稳定性问题。
附图说明
图1为本发明提供的对薄膜太阳能电池划刻的示意图；
图2为基板与光源模块相对移动的示意图；
图3为本发明提供的划刻方法的流程图。
图中：10、基板；110、前电极层；120、光电转换层；130、背电极层；210、直线电机；220、第一激光模块；230、第二激光模块。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的一种优选实施方式作详细的说明。
实施例：
参照图1、图2、图3，一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，其中，薄膜太阳能电池包括基板10，基板10上依次层叠有前电极层110、光电转换层120以及背电极层130，具体的，该激光交叉线划刻方法包括以下步骤：
S10：形成一包括第一激光模块和第二激光模块的光源模块。
具体地，本发明中需要使用到两种激光光源，可以将其定义为第一激光模块和第二激光模块，同时可将第一激光模块和第二激光模块集成在一起，将其称为光源模块。
S20：基板在同光源模块相对位移时，第一激光模块从基板下方划刻掉前电极层以外的所有膜层。
具体地，使用时，基板在同光源模块相对位移时，始终保持运动方向平行，具体可通过机械调整实现两者线性精度，此外，两束激光间距也不做限制，基于系统集成便捷性以及稳定性即可，且在基板与光源模块相对位移时，光源模块中的第一激光模块从基板的下方划刻掉前电极层以外的所有膜层，即光电转换层及背电极层，需要说明的是，第一激光模块产生的绿光激光。
S30：第二激光模块沿前述S20第一激光模块的划刻位置对前电极层进行划刻。
具体地，S20完成后，第二激光模块随之移动到第一激光模块划刻后的位置，实现对前电极层进行划刻，需要说明的是，第二激光模块产生红外激光，至此，利用第一激光模块和第二激光模块分别对薄膜太阳能电池的交叉线划刻，且在划刻过程中始终保证第一激光模块(即绿光激光)在前划刻，第二激光模块(即红外激光)在后跟随划刻，即完成交叉线划刻，且所有数量的交叉线都可以采用此方式进行划刻。
作为本发明优选的技术方案，鉴于基板和光源模块是相对移动的，因此存在基板不动而光源模块移动，或者基板移动而光源模块不动的情况，当基板移动而光源模块不动时，所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法还包括：
S11：光源模块在直线电机带动下移动至适宜位置。
具体地，激光交叉线划刻之前，先将光源模块移动至适宜划刻的位置，可通过直线电机等驱动装置对光源模块进行驱动。
S12：基板向光源模块方向移动，在基板移动至第一激光模块上方时，划刻掉前电极层以外的所有膜层。
具体地，划刻时，由于此时的光源模块是不动的，为了实现划刻，需要基板向光源模块方向移动，并在基板移动至第一激光模块上方时，将前电极层以外的所有膜层划刻掉，即划刻掉光电转换层和背电极层。
S13：基板继续移动至第二激光模块上方时，完成对前电极层的划刻。
具体地，随着基板继续移动至第二激光模块上方，利用第二激光模块在第一激光模块划刻后的位置进行划刻，以对前电极层进行划刻。
作为本发明优选的技术方案，当基板不动而光源模块移动时，所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法还包括：
S11’：基板移动至适宜位置。
具体地，激光交叉线划刻之前，先将基板移动至适宜划刻的位置，可通过直线电机等驱动装置对基板进行驱动。
S12’：光源模块向基板方向移动，在第一激光模块移动至基板下方时，划刻掉前电极层以外的所有膜层。
具体地，划刻时，由于此时的基板是不动的，为了实现划刻，需要光源模块向基板方向移动，并在光源模块移动至第一激光模块下方时，将前电极层以外的所有膜层划刻掉，即划刻掉光电转换层和背电极层。
S13’：光源模块继续移动使得第二激光模块位于基板下方时，完成对前电极层的划刻。
具体地，随着光源模块继续移动至第二激光模块下方，利用第二激光模块在第一激光模块划刻后的位置进行划刻，以对前电极层进行划刻。
进一步的，为了保证工艺稳定性，保证划刻精度，防止漏电发生，第一激光模块(即红外激光)划刻线必须保证始终在第一激光模块(即绿光激光)划线的刻槽内，这就需要满足两个要求，第一，第二激光模块划刻始终在第一激光模块划线刻槽内；第二，第一激光模块的划线刻槽要大于第二激光模块的划线刻槽，因此在实际的划刻过程中，第一激光模块产生的光斑直径大于第二激光模块产生的光斑直径，基于稳定性考虑，可将第一激光模块220产生的光斑直径是第二激光模块230产生的光斑直径的2倍以上，在这里不做具体约束，保证第一激光模块产生的光斑直径大于第二激光模块产生的光斑直径即可。
本发明还提供了一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻装置，包括基板10，还包括能够平行于基板10移动的光源模块，所述光源模块包括直线电机210以及设置在直线电机210上的第一激光模块220和第二激光模块230，第一激光模块220和第二激光模块230在直线电机210的带动下可实现基板10与光源模块的相对移动，当基板10在同光源模块相对移动时，所述第一激光模块220从基板10下方划刻掉前电极层以外的所有膜层，继而第二激光模块230划刻掉前电极层110，同时为了保证工艺稳定性，保证划刻精度，防止漏电发生，第二激光模块的激光划刻线必须保证始终在第一激光模块的激光划线的刻槽内，这就需要满足两个要求，其一，第二激光模块的激光划刻始终在第一激光模块的划线刻槽内；其二，第一激光模块的划线刻槽要大于第二激光模块的划线刻槽。要实现以上两个要求，首先将激光光源模块化，两束激光头集成在同一个模块上，该模块再集成在直线电机导轨上，从而可实现整个模块通过直线电机移动位置。两束激光头呈线性排列，始终与基板运动方向平行。此外对两束激光间距也不做限制，基于系统集成便捷性以及稳定性即可。其次，将第一激光模块的光斑直径大于第二激光模块的激光光斑直径，基于稳定性考虑，一般可调整到两倍大小，但这里不做具体约束。
以上所述实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (9)

1.一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，所述薄膜太阳能电池包括基板(10)，所述基板(10)上依次层叠有前电极层(110)、光电转换层(120)以及背电极层(130)，其特征在于，包括以下步骤：
S10：形成一包括第一激光模块和第二激光模块的光源模块；
S20：基板在同光源模块相对位移时，第一激光模块从基板下方划刻掉前电极层以外的所有膜层；
S30：第二激光模块沿前述S20第一激光模块的划刻位置对前电极层进行划刻。
2.根据权利要求1所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，其特征在于，所述应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法还包括：
S11：光源模块在直线电机带动下移动至适宜位置；
S12：基板向光源模块方向移动，在基板移动至第一激光模块上方时，划刻掉前电极层以外的所有膜层；
S13：基板继续移动至第二激光模块上方时，完成对前电极层的划刻。
3.根据权利要求1所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，其特征在于，所述应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法还包括：
S11’：基板移动至适宜位置；
S12’：光源模块向基板方向移动，在第一激光模块移动至基板下方时，划刻掉前电极层以外的所有膜层；
S13’：光源模块继续移动使得第二激光模块位于基板下方时，完成对前电极层的划刻。
4.根据权利要求2或3所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，其特征在于，所述第一激光模块产生绿光激光。
5.根据权利要求4所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，其特征在于，所述第二激光模块产生红外激光。
6.根据权利要求5所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻方法，其特征在于，所述第一激光模块产生的光斑直径大于第二激光模块产生的光斑直径。
7.一种应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻装置，包括基板(10)，其特征在于，还包括能够平行于基板(10)移动的光源模块，所述光源模块包括直线电机(210)以及设置在直线电机(210)上的第一激光模块(220)和第二激光模块(230)。
8.根据权利要求7所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻装置，其特征在于，所述基板(10)在同光源模块相对移动时，所述第一激光模块(220)从基板(10)下方划刻掉前电极层以外的所有膜层，继而第二激光模块(230)划刻掉前电极层(110)。
9.根据权利要求8所述的应用于薄膜太阳能电池激光交叉线划刻装置，其特征在于，所述第一激光模块(220)产生的光斑直径是第二激光模块(230)产生的光斑直径的2倍以上。
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