CN116246928B - 一种用新型材料固定气体分流盘装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用新型材料固定气体分流盘装置，包括：螺丝底座，该螺丝底座的内壁贴附设置有一轴端挡圈，该轴端挡圈中贯穿设置有沉头螺丝，该沉头螺丝依次贯穿轴端挡圈与螺丝底座；轴端挡圈为耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料。根据本发明，有效地防止气体分流盘经过长时间的高温工艺产生形变，延长了气体分流盘的寿命。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆设备的技术领域，特别涉及一种用新型材料固定气体分流盘装置。
背景技术
在半导体制造工艺中，等离子体去胶设备是整个生产工艺中不可或缺的设备；等离子体去胶设备上腔体通常均会配有气体分流盘，其作用是腔体在工艺时气体自上而下流动时，使得气体均匀的分散到正在工艺的晶圆表面上。通常来说，气体分流盘一般用内六角沉头螺丝固定如图1。这种连接结构装配方式较为简单，但缺点是容易导致气体分流盘在长时间高温工艺后产生形变。
发明内容
针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种用新型材料固定气体分流盘装置，有效地防止气体分流盘经过长时间的高温工艺产生形变，延长了气体分流盘的寿命。为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种用新型材料固定气体分流盘装置，包括：
螺丝底座，该螺丝底座的内壁贴附设置有一轴端挡圈，该轴端挡圈中贯穿设置有沉头螺丝，该沉头螺丝依次贯穿轴端挡圈与螺丝底座；
轴端挡圈为耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料。
优选的，螺丝底座的中间位置处开设有阶梯型通孔，该阶梯型通孔与沉头螺丝相匹配。
优选的，轴端挡圈包括外围环形圈件及与外围环形圈件固接的内部环形圈件，该内部环形圈件的横截面为一梯形形状，该内部环形圈件与沉头螺丝的头部相匹配。
本发明与现有技术相比，其有益效果是：使用耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料做成的螺丝紧固轴端挡圈，可有效防止螺丝松动，耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料做成的螺丝紧固轴端挡圈由于具有良好的弹性和耐高温性，所以和内六角平头螺丝的装配可使得气体分流盘在经过高温工艺后不易产生形变。
附图说明
图1为根据本发明的用新型材料固定气体分流盘装置的现有技术的装配图；
图2为根据本发明的用新型材料固定气体分流盘装置的螺丝底座结构示意图；
图3为根据本发明的用新型材料固定气体分流盘装置的轴端挡圈的结构示意图；
图4为根据本发明的用新型材料固定气体分流盘装置的装配图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1-4，一种用新型材料固定气体分流盘装置，包括：螺丝底座1，该螺丝底座1的内壁贴附设置有一轴端挡圈2，该轴端挡圈2中贯穿设置有沉头螺丝3，该沉头螺丝3依次贯穿轴端挡圈2与螺丝底座1，在使用时，将沉头螺丝3与轴端挡圈2进行安装，使得轴端挡圈2位于沉头螺丝3的头部端，再将沉头螺丝3与螺丝底座1进行安装，使用2.5mm内六角螺丝刀将装配完成的沉头螺丝3通过星形锁法锁上气体分流盘，使气体分流盘固定在腔体上；
轴端挡圈2为耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料，该轴端挡圈2配合沉头螺丝3，可有效地防止螺丝松动。对于＝耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜的复合材料，耐高温硅胶的中间为镂空的设计使得材料本身具有良好的弹性；而镀铝涂层会让材料具有较好的耐腐蚀性和耐高温性。所以由于该种复合材料具有耐高温、导电、弹性缓冲的特点，腔体在经过高温工艺后仍可有效的防止气体分流盘发生形变。该种复合材料的金属涂层除了用镀铝涂层，也可用镀银，镀镍，镀铬的金属涂层，这些金属材料均具有较好的耐高温性。
进一步的，螺丝底座1的中间位置处开设有阶梯型通孔，该阶梯型通孔与沉头螺丝3相匹配。
进一步的，轴端挡圈2包括外围环形圈件及与外围环形圈件固接的内部环形圈件，该内部环形圈件的横截面为一梯形形状，该内部环形圈件与沉头螺丝3的头部相匹配。该轴端挡圈2优化了装配方式，使得沉头螺丝3在使用时达到既防松又防止形变的作用。
这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本发明的说明的，对本发明的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
Claims (1)
1.一种用新型材料固定气体分流盘装置，其特征在于，包括：
螺丝底座（1），该螺丝底座（1）的内壁贴附设置有一轴端挡圈（2），该轴端挡圈（2）中贯穿设置有沉头螺丝（3），该沉头螺丝（3）依次贯穿轴端挡圈（2）与螺丝底座（1）；
轴端挡圈（2）为耐高温硅胶与镀铝涂层的聚酰亚胺膜复合材料，轴端挡圈（2）包括外围环形圈件及与外围环形圈件固接的内部环形圈件，该内部环形圈件的横截面为一梯形形状，该内部环形圈件与沉头螺丝（3）的头部相匹配；
螺丝底座（1）的中间位置处开设有阶梯型通孔，该阶梯型通孔与沉头螺丝（3）相匹配。
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