CN116177667B - 一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，涉及废液回收技术领域，包括底座，底座的顶部固定连接有用于回收废液的回收罐体，回收罐体的内腔底部设置有加热腔，回收罐体的内腔底部设置有浮体，回收罐体的底部两侧对称开设有膨胀腔，回收罐体的两侧对称设置有侧边腔，回收罐体的顶部设置有处理腔，处理腔的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板，通过浮体在向上浮动的过程中带动废液加热产生的胶状物与漂浮物向上运动，进而实现自动去除废液中的胶状物与漂浮物，有效地减少了人工分离步骤，同时也提高了装置回收废液的工作效率。

Description

一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置

技术领域

本发明涉及废液回收技术领域，具体为一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置。

背景技术

电子级硫酸又称超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是工业上用量最大的湿电子化学品，主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀，以及印刷电路板的腐蚀和清洗等，可有效去除晶片和印刷电路板上的颗粒杂质、无机残留物和碳沉积物等，电子级硫酸属于浓度较高的硫酸种类，其处理方式有浓缩法、氧化法、萃取法和结晶法等方法，其中浓缩法在对浓度较高的硫酸废液处理过程中，先对硫酸废液进行加热，被加热的硫酸废液会产生悬浮物或胶状物，悬浮物一般漂浮在硫酸废液表面，若出现胶状物可能会粘连在罐体的内壁上或沉积在硫酸废液的底部，同时在对硫酸废液加热的过程中会产生有毒气体，进而导致人工无法安全地进行收集处理工作，若长时间的沉积可能导致装置无法进行后续的硫酸废液的处理工作。

为此，提出一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有用于回收电子级硫酸的回收罐体，所述回收罐体的内腔底部设置有加热腔，所述回收罐体的内腔底部且靠近加热腔顶部设置有浮体，所述回收罐体的底部两侧对称开设有膨胀腔，所述回收罐体的两侧对称设置有侧边腔，所述回收罐体的顶部设置有处理腔，所述处理腔的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板，所述刮板的外壁上设置有用于解除浮体卡接状态的推杆，所述处理腔的顶部固定连接有加注腔，所述加注腔的外壁均匀等距固定连接有加注管，所述回收罐体的外壁上均匀等距贯穿开设有加注口，所述加注管的底部均与加注口的内部固定连接。

优选的，所述加热腔的内部设置有用于加热废液的加热器，所述加热腔的中部设置有用于排放废液的排液口。

优选的，所述浮体内部设置有均匀分布的通管，所述通管的内壁上端固定连接有滤网，所述浮体的两侧对称开设有卡槽。

优选的，所述膨胀腔的内部且远离加热腔的一侧设置有电触点，所述膨胀腔的内壁与收缩簧的外侧端固定连接，所述收缩簧的内侧端固定连接有活塞块，所述活塞块活动连接在膨胀腔的内部，所述活塞块的表面且靠近收缩簧的一侧固定连接有电触杆，所述活塞块的表面且远离收缩簧的一侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的内侧端与膨胀腔的内壁固定连接。

优选的，所述侧边腔的内壁且靠近回收罐体内壁的一侧对称固定连接有两个电磁块，所述侧边腔的内壁且靠近回收罐体内腔的一侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的另一端固定连接有活动板，所述活动板横向活动连接在侧边腔的内部，所述活动板的中部对称固定连接有两个铁块，所述活动板的上下两端均固定连接有卡块。

优选的，所述处理腔的底部对称固定连接有两个收集腔，所述处理腔的内部对称转动连接有螺纹杆，所述刮板的两端均螺纹连接在螺纹杆上。

优选的，所述处理腔的内部固定连接有接触杆，所述活动板的顶部均固定连接有固定杆，所述固定杆的顶部开设有活动槽，所述活动槽的内部固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧的顶部固定连接有限位块，所述限位块竖向活动连接在活动槽的内部，所述固定杆的外壁固定连接有反向齿杆，所述处理腔的内壁下表面转动连接有齿轮，所述反向齿杆的内侧均与齿轮相互啮合。

优选的，所述加热器与设备外接控制系统电性连接，加热器通电后能够产生热量对回收罐体内部的废液进行加热，所述排液口的内部设置有电子阀门，且电子阀门通过外接的控制系统电性控制，通过控制电子阀门的开合来控制回收罐体内部废液的排放。

优选的，所述浮体的内部设置为空心状，所述通管的内部设置为上下贯通状，起到便于废液向浮体底部流动的作用。

优选的，所述收缩簧采用镍-钛合金材质的记忆合金，记忆合金材质的收缩簧受热后会收缩，所述电触点与设备外接电源电线连接，起到控制电路通断电的作用。

优选的，所述侧边腔的上下两端均与回收罐体的内部相互贯通，起到便于卡块与卡槽相互卡接的作用，所述电磁块与电触杆电性连接，起到控制电磁块通断电的作用。

优选的，所述收集腔的底部通过管道连接有储存罐，胶状物与漂浮物会通过收集腔后进入到储存罐内部，所述螺纹杆通过电机驱动，且电机通过设备外接的控制系统电性控制，起到控制螺纹杆转动的作用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、通过浮体在向上浮动的过程中带动电子级硫酸废液加热产生的胶状物与漂浮物向上运动，使废液与加热后产生的胶状物和漂浮物分离，进而实现自动去除废液中胶状物与漂浮物的目的，有效地减少了人工分离步骤，同时也提高了装置的废液回收效率；

2、通过刮板对浮体上表面分离后的胶状物与漂浮物进行刮除，刮板能够刮动胶状物与漂浮物向收集腔的内部运动，有效地减少了人工收集的步骤，同时装置对胶状物与漂浮物的收集均在密闭空间内进行处理，进而有效地防止处理电子级硫酸废液过程中产生的废气扩散到空气中，进一步地保证了装置处理电子级硫酸废液的安全性，防止废气对工人造成危险；

3、通过顶部的卡块与卡槽相互卡接，进而有效地实现对浮体的稳定，防止在后续的刮除浮体表面胶状物与漂浮物时出现晃动而导致无法刮除干净的问题，提高了装置收集胶状物与漂浮物的有效性，同时也保证了装置运行过程中的稳定性；

4、通过浮体重力的作用下在回收罐体的内部向下运动，浮体在向下运动的过程中能够对回收罐体内壁残留的废液进行刮除，防止残留废液影响后续的处理工作，提高装置的废液处理效果。

附图说明

图1为本发明整体结构立体示意图；

图2为本发明加注腔与加注管内部剖视立体示意图；

图3为本发明整体内部结构剖视示意图；

图4为本发明图3中A处结构放大示意图；

图5为本发明图3中B处结构放大示意图；

图6为本发明膨胀腔内部结构局部立体示意图；

图7为本发明图6中C处结构放大示意图；

图8为本发明反向齿杆与齿轮的位置关系立体示意图；

图9为本发明图8中D处结构放大示意图；

图10为本发明处理腔内部结构局部立体示意图；

图11为本发明收集腔内部结构局部立体示意图。

图中：

1、底座；2、回收罐体；

3、加热腔；31、加热器；32、排液口；

4、浮体；41、通管；42、滤网；43、卡槽；

5、膨胀腔；51、电触点；52、收缩簧；53、活塞块；54、电触杆；55、第一弹簧；

6、侧边腔；61、电磁块；62、第二弹簧；63、活动板；64、铁块；65、卡块；

7、处理腔；71、收集腔；72、螺纹杆；73、刮板；

8、推杆；81、接触杆；82、固定杆；83、活动槽；84、第三弹簧；85、限位块；86、反向齿杆；87、齿轮；

9、加注腔；91、加注管；92、加注口。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护的范围。

请参阅图1至图10，本发明提供一种技术方案：

实施例一

请参照图1至图7所示，一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，包括底座1，底座1的顶部固定连接有用于回收电子级硫酸的回收罐体2，回收罐体2的内腔底部设置有加热腔3，回收罐体2的内腔底部且靠近加热腔3顶部设置有浮体4，浮体4的内部设置为空心状，回收罐体2的底部两侧对称开设有膨胀腔5，回收罐体2的两侧对称设置有侧边腔6，侧边腔6的上下两端均与回收罐体2的内部相互贯通，起到便于卡块65与卡槽43相互卡接的作用。

加热腔3的内部设置有用于加热电子级硫酸废液的加热器31，加热器31与设备外接控制系统电性连接，加热器31通电后能够产生热量对回收罐体2内部的电子级硫酸废液进行加热，加热腔3的中部设置有用于排放废液的排液口32，排液口32的内部设置有电子阀门，且电子阀门通过外接的控制系统电性控制，通过控制电子阀门的开合来控制回收罐体2内部废液的排放。

浮体4内部设置有均匀分布的通管41，通管41的内部设置为上下贯通状，起到便于废液向浮体4底部流动的作用，通管41的内壁上端固定连接有滤网42，浮体4的两侧对称开设有卡槽43。

膨胀腔5的内部且远离加热腔3的一侧设置有电触点51，膨胀腔5的内壁与收缩簧52的外侧端固定连接，收缩簧52的采用镍-钛合金材质的记忆合金，记忆合金材质的收缩簧52受热后会收缩，收缩簧52的内侧端固定连接有活塞块53，活塞块53活动连接在膨胀腔5的内部，活塞块53的表面且靠近收缩簧52的一侧固定连接有电触杆54，活塞块53的表面且远离收缩簧52的一侧固定连接有第一弹簧55，第一弹簧55的内侧端与膨胀腔5的内壁固定连接。

侧边腔6的内壁且靠近回收罐体2内壁的一侧对称固定连接有两个电磁块61，电磁块61与电触杆54电性连接，起到控制电磁块61通断电的作用，侧边腔6的内壁且靠近回收罐体2内腔的一侧固定连接有第二弹簧62，第二弹簧62的另一端固定连接有活动板63，活动板63横向活动连接在侧边腔6的内部，活动板63的中部对称固定连接有两个铁块64，活动板63的上下两端均固定连接有卡块65。

实施例二

请参照图1、图2、图5、图8、图9和图10所示，回收罐体2的顶部设置有处理腔7，处理腔7的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板73，刮板73的外壁上设置有用于解除浮体4卡接状态的推杆8，处理腔7的顶部固定连接有加注腔9，加注腔9的外壁均匀等距固定连接有加注管91，回收罐体2的外壁上均匀等距贯穿开设有加注口92，加注管91的底部均与加注口92的内部固定连接。

处理腔7的底部对称固定连接有两个收集腔71，收集腔71的底部通过管道连接有储存罐，胶状物与漂浮物会通过收集腔71进入到储存罐内部，处理腔7的内部对称转动连接有螺纹杆72，螺纹杆72通过电机驱动，且电机通过设备外接的控制系统电性控制，起到控制螺纹杆72转动的作用，刮板73的两端均螺纹连接在螺纹杆72上。

处理腔7的内部固定连接有接触杆81，活动板63的顶部均固定连接有固定杆82，固定杆82的顶部开设有活动槽83，活动槽83的内部固定连接有第三弹簧84，第三弹簧84的顶部固定连接有限位块85，限位块85竖向活动连接在活动槽83的内部，固定杆82的外壁固定连接有反向齿杆86，处理腔7的内壁下表面转动连接有齿轮87，反向齿杆86的内侧均与齿轮87相互啮合。

根据上述实施例一和实施例二的整体工作原理如下：

初始状态，排液口32内部的电子阀门在控制系统的控制下处于闭合状态，第一弹簧55处于未受外力的正常弹性收缩状态，第一弹簧55使得活塞块53处于膨胀腔5的中部位置，活塞块53使得电触杆54未与电触点51电性接触，此时收缩簧52处于被拉伸状态，因为电触杆54与电磁块61电性连接，进而此时电磁块61通电产生磁性，第二弹簧62处于未受外力的正常弹性收缩状态，第二弹簧62使得活动板63处于侧边腔6的最内侧，活动板63使得上下两端的卡块65均处于最内侧，同时浮体4处于回收罐体2内部的最低位置，卡块65的内侧端与卡槽43相互卡接，刮板73处于处理腔7内部最右侧图十所示，此时刮板73使得推杆8与接触杆81相互接触，推杆8的底部与限位块85的顶部接触并挤压限位块85，使得限位块85处于活动槽83的最低位置并压缩第三弹簧84。

工作时，加注腔9内部的电子级硫酸废液通过加注管91后，再通过加注口92向回收罐体2的内部进行排放，使得电子级硫酸废液充满回收罐体2的内部，同时在加注口92的限制作用下电子级硫酸废液的水位高度并不会高于加注口92的水平高度，当完成电子级硫酸废液的加注工作后，此时停止加注，因为加热器31与设备外接的控制系统电性连接，此时通过控制系统控制加热器31通电，加热器31通电后能够产生热量，进而对回收罐体2内部的电子级硫酸废液进行加热，在常规的硫酸加热反应过程中都会产生漂浮物与胶状物，与此同时在加热器31的不断加热过程中，其产生的热量会传导进入到膨胀腔5的内部，进而使得膨胀腔5内部的收缩簧52受热，因为收缩簧52的材质为镍-钛合金，镍-钛合金记忆金属在高于四十摄氏度时产生的收缩力大于第一弹簧55的弹力，收缩簧52收缩带动活塞块53在膨胀腔5的内部向外侧运动并拉伸第一弹簧55，活塞块53带动电触杆54向外侧运动，当电触杆54与电触点51电性接触后，因为电触点51与设备外接电源电性连接，进而使得电触杆54通电，电触杆54通电后使得电磁块61通电，电磁块61通电后产生磁性，电磁块61磁吸铁块64在侧边腔6的内部向靠近电磁块61的一侧运动，铁块64带动活动板63向靠近电磁块61的一侧运动并拉伸第二弹簧62，活动板63带动上下两端的卡块65向侧边腔6的内部运动，使得卡块65无法与卡槽43相互卡接，此时回收罐体2内部的电子级硫酸废液被加热器31加热后已产生胶状物与漂浮物，进而再因为浮体4的内部设置为空心结构，此时在电子级硫酸废液的浮力作用下使得浮体4向上浮动，同时电子级硫酸废液会通过通管41向下流动至回收罐体2底部，进而通过电子级硫酸废液的浮力使得浮体4有效向上浮动，同时在滤网42的作用下能够防止胶状物与漂浮物通过通管41向下排放的问题，浮体4在向上浮动的过程中带动电子级硫酸废液加热产生的胶状物与漂浮物向上运动，使废液与加热后产生的胶状物和漂浮物分离，进而实现自动去除废液中胶状物与漂浮物的目的，有效地减少了人工分离步骤，同时也提高了装置的废液回收效率。

当浮体4浮动到电子级硫酸废液水位的最高位置后，此时控制系统控制加热器31停止加热，当装置内部的温度降下来后，此时收缩簧52产生的收缩力减小并小于第一弹簧55的弹性拉力，第一弹簧55收缩后拉动活塞块53在膨胀腔5的内壁向内侧运动，活塞块53带动电触杆54解除与电触点51电性接触，进而使得电磁块61断电，电磁块61断电后无法磁吸铁块64，在第二弹簧62收缩的作用下使得活动板63在侧边腔6的内部向内侧运动，活动板63带动上下两端的卡块65向回收罐体2的方向运动，此时浮体4处于电子级硫酸废液水位的最高位置，进而使得顶部的卡块65与卡槽43相互卡接，进而有效地实现对浮体4的稳定，防止在后续的刮除浮体4表面胶状物与漂浮物时出现晃动而导致无法刮除干净的问题，提高了装置收集胶状物与漂浮物的有效性，同时也保证了装置运行过程中的稳定性。

此时通过控制系统控制排液口32内部的电子阀门开启，进而回收罐体2内部已完成处理的电子级硫酸废液向下排放到后续加工的罐体中，同时再通过控制系统控制电机驱动螺纹杆72转动，因为刮板73的两端与螺纹杆72螺纹连接，进而螺纹杆72转动的过程中带动刮板73在处理腔7的内部向左侧运动，参照图10所示，刮板73在向左侧运动的过程中，刮板73会带动推杆8向左侧运动，推杆8的外侧端无法与接触杆81接触，同时推杆8的底部同样也不与限位块85的顶部接触，此时在第三弹簧84的弹性伸展作用下使得限位块85在活动槽83的内部向上运动，此时刮板73对浮体4上表面分离后的胶状物与漂浮物进行刮除，当刮板73运动到最左侧后，刮板73能够刮动胶状物与漂浮物向收集腔71的内部运动，因为收集腔71的底部外接有储存罐，进而此时的胶状物与漂浮物能够通过收集腔71进入到储存罐中以便集中处理，有效地减少了人工收集的步骤，同时装置对胶状物与漂浮物的收集均在密闭空间内进行处理，进而有效地防止处理电子级硫酸废液过程中产生的废气扩散到空气中，进一步地保证了装置处理电子级硫酸废液的安全性，防止废气对工人造成危险。

此时再控制电机反向驱动螺纹杆72反向转动，螺纹杆72带动刮板73在处理腔7的内部向右侧运动，刮板73能够再次对浮体4表面残留的胶状物与漂浮物进行刮除，有效地提高了装置刮除的有效性，保证浮体4上表面的胶状物与漂浮物有效的被刮除，当刮板73运动到处理腔7的最右侧时，此时推杆8的外侧端会与限位块85的内侧面接触并推挤限位块85，限位块85通过活动槽83带动固定杆82向外侧运动，在固定杆82向外侧运动的过程中，固定杆82能够带动反向齿杆86向外侧运动，反向齿杆86通过与之啮合的齿轮87能够通过另一侧的反向齿杆86带动另一侧的固定杆82同步向外侧运动，两个固定杆82均带动活动板63向靠近电磁块61的一侧运动，两个活动板63带动上下两端的卡块65均向侧边腔6的内部运动，使得两个卡块65无法与卡槽43相互卡接，同时回收罐体2内部的电子级硫酸废液已完成排放，浮体4通过重力的作用下在回收罐体2的内部向下运动，浮体4在向下运动的过程中能够对回收罐体2内壁残留的废液进行刮除，防止残留废液影响后续的处理工作，提高装置的废液处理效果。

当限位块85被推杆8推挤到最外侧时，此时限位块85的斜面与接触杆81斜面接触，在接触杆81斜面的作用下会使得限位块85被挤压向下运动，当限位块85被挤压到活动槽83的最内部时，此时推杆8无法与限位块85的内侧面抵接，此时在第二弹簧62的弹性收缩作用下使得活动板63带动固定杆82向内侧运动，固定杆82同步带动限位块85向内侧运动到初始位置，此时活动板63带动卡块65向回收罐体2的方向运动，当浮体4掉落到回收罐体2的最低位置后，此时浮体4挤压卡块65的斜面后推挤卡块65向侧边腔6的内部运动并通过活动板63拉伸第二弹簧62，当卡槽43与卡块65水平位置相互对齐后，此时第二弹簧62弹性收缩后通过活动板63带动卡块65与卡槽43相互卡接，为后续的电子级硫酸废液进行处理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有用于回收电子级硫酸的回收罐体(2)，所述回收罐体(2)的内腔底部设置有加热腔(3)，所述回收罐体(2)的内腔底部且靠近加热腔(3)顶部设置有浮体(4)，所述回收罐体(2)的底部两侧对称开设有膨胀腔(5)，所述回收罐体(2)的两侧对称设置有侧边腔(6)，所述回收罐体(2)的顶部设置有处理腔(7)，所述处理腔(7)的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板(73)，所述刮板(73)的外壁上设置有用于解除浮体(4)卡接状态的推杆(8)，所述处理腔(7)的顶部固定连接有加注腔(9)，所述加注腔(9)的外壁均匀等距固定连接有加注管(91)，所述回收罐体(2)的外壁上均匀等距贯穿开设有加注口(92)，所述加注管(91)的底部均与加注口(92)的内部固定连接；

所述浮体(4)内部设置有均匀分布的通管(41)，所述通管(41)的内壁上端固定连接有滤网(42)，所述浮体(4)的两侧对称开设有卡槽(43)；

所述膨胀腔(5)的内部且远离加热腔(3)的一侧设置有电触点(51)，所述膨胀腔(5)的内壁与收缩簧(52)的外侧端固定连接，所述收缩簧(52)采用记忆合金制成，所述收缩簧(52)受热后会收缩，所述收缩簧(52)的内侧端固定连接有活塞块(53)，所述活塞块(53)活动连接在膨胀腔(5)的内部，所述活塞块(53)的表面且靠近收缩簧(52)的一侧固定连接有电触杆(54)，所述活塞块(53)的表面且远离收缩簧(52)的一侧固定连接有第一弹簧(55)，所述第一弹簧(55)的内侧端与膨胀腔(5)的内壁固定连接；

所述侧边腔(6)的内壁且靠近回收罐体(2)内壁的一侧对称固定连接有两个电磁块(61)，所述电磁块(61)与电触杆(54)电性连接，起到控制电磁块(61)通断电的作用；所述侧边腔(6)的内壁且靠近回收罐体(2)内腔的一侧固定连接有第二弹簧(62)，所述第二弹簧(62)的另一端固定连接有活动板(63)，所述活动板(63)横向活动连接在侧边腔(6)的内部，所述活动板(63)的中部对称固定连接有两个铁块(64)，所述活动板(63)的上下两端均固定连接有卡块(65)，所述卡块(65)的内侧端与所述卡槽(43)相互卡接。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，其特征在于：所述加热腔(3)的内部设置有用于加热电子级硫酸废液的加热器(31)，所述加热腔(3)的中部设置有用于排放废液的排液口(32)。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，其特征在于：所述处理腔(7)的底部对称固定连接有两个收集腔(71)，所述处理腔(7)的内部对称转动连接有螺纹杆(72)，所述刮板(73)的两端均螺纹连接在螺纹杆(72)上。

4.根据权利要求2所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，其特征在于：所述处理腔(7)的内部固定连接有接触杆(81)，所述活动板(63)的顶部均固定连接有固定杆(82)，所述固定杆(82)的顶部开设有活动槽(83)，所述活动槽(83)的内部固定连接有第三弹簧(84)，所述第三弹簧(84)的顶部固定连接有限位块(85)，所述限位块(85)竖向活动连接在活动槽(83)的内部，所述固定杆(82)的外壁固定连接有反向齿杆(86)，所述处理腔(7)的内壁下表面转动连接有齿轮(87)，所述反向齿杆(86)的内侧均与齿轮(87)相互啮合。

5.根据权利要求2所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，其特征在于：所述加热器(31)与设备外接控制系统电性连接，所述排液口(32)的内部设置有电子阀门，且电子阀门通过外接的控制系统电性控制。

6.根据权利要求3所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置，其特征在于：所述收集腔(71)的底部通过管道连接有储存罐，所述螺纹杆(72)通过电机驱动，且电机通过设备外接的控制系统电性控制。