CN116175083A - 一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法 - Google Patents

一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，包括以下步骤：第一步、根据工件材料利用仿真及系统实验方法确定预期改性层晶态结构及厚度；第二步、利用激光辅助滚压方法对工件表面进行遍历改性处理；第三步、利用超精密加工方法对激光辅助滚压改性后的材料进行超精密成型加工；第四步、利用激光辅助滚压方法对超精密加工表面进行光整抛光处理。本发明所提供的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，在超精密加工前面工序中，基于激光辅助滚压可预先改善工件材料的可加工性能，通过控制激光辅助滚压的激光及滚压参数灵活调控待加工改性层的非晶态占比、多晶晶粒细化尺度和改性层厚度。

Description

一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法
技术领域
本发明属于表面改性处理、超精密加工制造技术领域，具体涉及一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法。
背景技术
光学元件近年来在消费电子、通信遥感和国防安全等领域取得了广泛的应用，超精密机械加工方法是实现光学元件工业化生产的主要方法。但受限于部分难加工材料可加工性能较差，利用传统超精密加工方法无法直接满足生产需求。例如：多晶硒化锌等脆性材料由于在机械力作用下易产生崩碎，且多晶晶粒间加工性能差异大、晶界效应明显，在传统超精密切削加工过程中，加工表面晶粒易解理剥落，部分晶粒易局部碎裂，限制了工件加工表面均匀性。另一方面，即便通过超精密切削等方法实现了塑性表面加工，但机械加工引入的周期性刀纹结构仍然会严重限制功能性表面性能。例如：纯铅等软质金属材料则由于材料塑性流动趋势强导致切削侧流明显，刀具积屑瘤严重限制了超精密光学加工质量。虽然后续通过抛光工艺可去除缺陷、消除周期性刀纹，实现均匀平坦化光学表面加工，但势必会影响加工效率及面形精度，并且对于部分无法抛光的微纳结构表面，会直接限制其加工表面质量。因此，针对难以获得理想加工表面质量的难加工材料，有必要基于现有超精密加工方法探索新的辅助加工工艺手段，进一步提高表面加工质量。
激光辅助滚压方法是一种实现材料表层晶粒细化、局部非晶化改性及表层应力调控的有效处理手段，其利用激光加热滚压区域，有效激发材料内部位错，实现更理想的滚压调控效果，可以有效改善材料可加工性能。目前还未有研究人员系统地将激光辅助滚压方法应用至超精密加工领域的工件材料改性调控中。另一方面，滚压工艺是实现精密加工工件光整效果的理想手段，可以有效消除切削纹路，同时，部分研究学者通过研究表明切削纹路在激光辐照后可以得到明显消除，但目前还未有研究将激光和滚压同时应用在超精密加工表面的光整抛光中。本专利分析认为激光辅助滚压方法可以一方面调控难加工材料可切削性能，为传统超精密加工提供了良好的前序改性支撑，另一方面，也为消除超精密机械加工的表面周期性刀纹结构提供了新的有效解决途径。综上所述，现目前亟需开发一种基于激光辅助滚压调控的超精密复合加工工艺方法，以进一步提高难加工材料加工表面质量。
发明内容
本发明的目的是解决上述问题，提供一种可有效提高难加工材料超精密加工表面质量和亚表面完整性，省去或节省部分抛光工序所占时间的基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，包括以下步骤：
S1、根据工件材料利用仿真及系统实验方法确定预期改性层晶态结构及厚度；
S2、利用激光辅助滚压方法对工件表面进行遍历改性处理；
S3、利用超精密加工方法对激光辅助滚压改性后的材料进行超精密成型加工；
S4、利用激光辅助滚压方法对超精密加工表面进行光整抛光处理，在改善粗糙度同时，修复加工损伤层缺陷和提高加工表面完整性。
进一步地，所述步骤S1中的仿真使用软件为分子动力学和有限元分析软件，分别用于分析不同晶态改性层切削性能和激光加热温度场。
进一步地，所述步骤S1中的系统实验方法包含能获得材料热力学特征的高温纳米压痕、高温纳米划擦测试和评价材料可加工性能的纳米斜切、超精密加工试验。
进一步地，所述步骤S1中的改性层晶态结构包括细化后晶粒特征尺寸大小、非晶态占比。
进一步地，所述步骤S1中改性层的厚度大于超精密加工去除深度。
进一步地，所述步骤S2和S4中的激光辅助滚压方法指在滚压工件同时利用激光束对滚压区域进行在线原位加热，以进一步改善滚压效果的方法；具体地包括激光源、滚压刀体和工件，滚压刀体对工件进行滚压作业，同时激光源发出激光束，引导激光束从滚压刀体入射面进入刀体，穿过透光率良好的刀体材料后从刀体接触面指定位置出射，持续辐照加热滚压刀体与工件接触区域，实现在线原位加热效果，材料在激光原位加热及滚压刀体机械作用下实现材料预改性或工件表面光整抛光效果。
进一步地，所述步骤S2中的激光辅助滚压方法包括以分下步骤：
S21、装夹调试准备；
S22、原位面形测量；
S23、激光辅助滚压改性。
进一步地，所述步骤S3包括以下分步骤
S31、超精密加工成型；
S32、原位面形测量；
S33、判断面型精度，面型精度不合格时返回步骤S23。
进一步地，所述步骤S3中的超精密加工方法包括超精密切削加工、超精密磨削加工、超精密抛光加工法。
进一步地，所述步骤S4中，进行光整抛光处理包含以下分步骤
S41、激光辅助滚压抛光；
S42、拆卸工件，根据激光辅助滚压抛光验收标准对工件进行质量综合评价；
S43、判断表面质量，表面质量不合格时返回步骤S21，表面质量合格时结束。
进一步地，所述激光辅助滚压抛光验收标准包含：表面粗糙度、表面三维形貌功率谱密度分析和表层应力状态三项检验指标，只有同时满足三项指标要求才能判断表面质量合格与否，表面质量合格时结束，当三项指标有任意一项不合格时，返回步骤S21。
进一步地，所述步骤S4中激光辅助滚压抛光是指通过激光辅助滚压过程中激光加热工件表层微熔区重结晶与滚压头机械作用共同影响，实现降低表面粗糙度、修复加工损伤层缺陷和提高加工表面完整性的方法。
本发明的有益效果是：
1、本发明所提供的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，在超精密加工前面工序中，基于激光辅助滚压可预先改善工件材料的可加工性能，通过控制激光辅助滚压的激光及滚压参数灵活调控待加工改性层的非晶态占比、多晶晶粒细化尺度和改性层厚度。针对难加工脆性材料，增大改性层非晶态占比可以有效降低材料硬度，改善材料塑性，抑制加工中脆性裂纹产生，材料内部晶粒细化和应力调控可以抑制晶粒解理脱落。对于难加工金属材料，材料表面晶粒细化可有效抑制晶界效应、提高表面硬度，改善切削侧流、晶界台阶和刀具积屑瘤等黏刀现象，在工件表层形成梯度晶结构将有助于提升器件最终使用性能。
2、在超精密加工后继工序中，可利用激光辅助滚压改善超精密加工工件的表面完整性，本发明所述方法通过激光加热形成的表面微融区和较大尺寸滚压头挤压的同时作用，一方面机械加工引入的规则切削纹路和加工残高可以被有效抹平，起到工件表面光整的抛光效果，另一方面微融区重结晶过程有利于修复加工影响层晶体结构，同时改善了工件加工表面粗糙度及亚表面完整性。
附图说明
图1是本发明一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法中激光辅助滚压工艺流程图；
图2是本发明激光辅助滚压的复合一体加工系统图。
附图标记说明：001、激光原位滚压改性系统；002、车削刀架；003、原位测量装置；004、工件。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明：
如图1和图2所示，本发明提供的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，包括以下步骤：
S1、根据工件材料利用仿真及系统实验方法确定预期改性层晶态结构及厚度。
在步骤S1中的仿真使用软件为分子动力学和有限元分析软件，分别用于分析不同晶态改性层切削性能和激光加热温度场。本步骤S1中的系统实验方法包含能获得材料热力学特征的高温纳米压痕、高温纳米划擦测试和评价材料可加工性能的纳米斜切、超精密加工试验。本步骤S1中的改性层晶态结构包括细化后晶粒特征尺寸大小、非晶态占比。本步骤S1中改性层的厚度大于超精密加工去除深度。
S2、利用激光辅助滚压方法对工件表面进行遍历改性处理。
在本步骤S2中的激光辅助滚压方法指在滚压工件同时利用激光束对滚压区域进行在线原位加热，以进一步改善滚压效果的方法。具体地包括激光源、滚压刀体和工件，滚压刀体对工件进行滚压作业，同时激光源发出激光束，引导激光束从滚压刀体入射面进入刀体，穿过透光率良好的刀体材料后从刀体接触面指定位置出射，持续辐照加热滚压刀体与工件接触区域，实现在线原位加热效果，材料在激光原位加热及滚压刀体机械作用下实现材料预改性或工件表面光整抛光效果。
步骤S2中的激光辅助滚压方法包括以下分步骤：
S21、装夹调试准备。
S22、原位面形测量。
S23、激光辅助滚压改性。
S3、利用超精密加工方法对激光辅助滚压改性后的材料进行超精密成型加工。
在本步骤S3中的超精密加工方法包括超精密切削加工、超精密磨削加工、超精密抛光加工法。步骤S3还包括以下分步骤：
S31、超精密加工成型。
S32、原位面形测量。
S33、判断面型精度，面型精度不合格时返回步骤S23。
S4、利用激光辅助滚压方法对超精密加工表面进行光整抛光处理，在改善粗糙度同时，修复加工损伤层缺陷和提高加工表面完整性。
在步骤S4中，进行光整抛光处理包括以下分步骤
S41、激光辅助滚压抛光。
S42、拆卸工件，根据激光辅助滚压抛光验收标准对工件进行质量综合评价。
S43、判断表面质量，表面质量不合格时返回步骤S21，表面质量合格时结束。
根据激光辅助滚压抛光验收标准进行表面质量综合评价，所述激光辅助滚压抛光验收标准包含：表面粗糙度、表面三维形貌功率谱密度分析和表层应力状态三项检验指标，只有同时满足三项指标要求才能判断表面质量合格与否。本实施例中激光辅助滚压抛光验收标准要求表面粗糙度Sa低于5nm，对于抛光前后功率谱密度分析结果，主频峰值强度至少减小70％，抛光后表面应力呈压应力状态，且应力值低于20MPa，表面质量合格时结束，当三项指标有任意一项不合格时，返回步骤S21。
在实际使用过程中，本发明的加工对象为难加工材料，其中难加工材料包括脆性材料和金属材料两类。其中脆性材料包括多晶碳化钨、多晶碳化硅、单晶碳化硅、多晶硫化锌、多晶硒化锌、单晶硅、单晶锗、蓝宝石、石英玻璃、微晶玻璃、氟化钙晶体、氟化钡晶体；金属材料是指：纯铜、纯锡、纯铅、不锈钢、殷钢、钨合金。激光辅助滚压抛光是指通过激光表层微熔区重结晶与滚压头机械作用实现降低表面粗糙度、修复加工损伤层缺陷和提高加工表面完整性的方法。
在实际使用过程中，超精密加工质量已满足要求，步骤S4可以省略。
本实施例加工对象材料为多晶碳化钨。首先，利用高温纳米压痕测试获得对象材料热力学特征，并利用电子背散射衍射花样表征测得材料平均晶粒尺寸，通过分子动力学或有限元仿真分析建立不同改性层晶态结构的正交切削模型，结合单点金刚石切削实验研究，通过试切表面质量和刀具寿命构建改性层纳米切削性能评价模型，确定最佳改性层晶态结构及对应的激光辅助滚压改性参数。
将工件004装夹固定在超精密机床主轴上，随C轴转动，其中的C轴为机床的转轴。为提高整体加工效率，本实施例中将原位测量装置003、激光原位滚压改性系统001及车削刀架002装置均安装在机床B轴台面上，其中B轴台面指的是超精密机床上与C轴垂直的转台。在实际使用过程中，仅需转动B轴便可灵活在机实现不同工序需求，如图2所示。在本实施例中原位面形测量指的是：利用接触式探针测得工件过中心的表面轮廓，其中原位测量装置003包含：标准半径测头探针、高度微调装置以及信号处理单元，测头半径将用于准确计算工件面型轮廓，高度微调装置通过差动螺钉带动测量探针上下移动，以实现测量探针中心与工件中心位于同一水平高度，信息处理单元用于传输、处理、保存探针信号。
利用原位测量装置003获得装夹固定工件004的面形轮廓后，根据滚压刀体接触面及金刚石刀具刃口圆弧曲率半径Rtool，沿工件接触点PC法失方向
Figure BDA0004054837650000051
补偿刀体几何轮廓，计算得到滚压及超精密切削控制点PL轨迹：
Figure BDA0004054837650000061
利用理论及实验研究获得的最佳工艺参数对工件进行激光辅助滚压改性处理，使得工件表层产生理想晶态及厚度的改性层，有效提高材料可加工性能。
利用超精密切削方法对改性后多晶碳化钨工件进行减材成型加工，而后通过原位面形测量装置评价工件面形精度，如将面形精度PV(Peak-valley)值成功控制在1μm以内，则继续后续加工步骤，反之则进行表层激光辅助滚压改性处理后再次切削加工，如图1所示。
多晶碳化钨工件利用超精密切削方法满足面形精度要求后，根据上一步面形测量数据再次生成滚压路径，并调整激光辅助滚压参数对工件遍历进行抛光处理，利用离线原子力显微镜对滚压抛光后工件表面质量进行综合评估，如表面切削纹路基本消除，表面粗糙度稳定在Sa<5nm范围内，则认为加工工件质量合格，否则便重新测量面形进行改性、切削和抛光处理。同时抽检部分加工工件，用透射电子显微镜对其最终亚表面质量进行系统表征，与未经激光辅助滚压抛光的样品对比发现，由于激光辅助滚压抛光处理过程中形成了表面微融区，微融区重结晶后形成修复层，工件亚表面加工损伤层明显改善。综上所述，本发明所提出的基于激光辅助滚压的超精密加工方法一方面可有效改善材料可加工性能，实现均匀光学表面加工，另一方面也有效提升了加工表面完整性，有利于保障器件最终使用性能。
本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、根据工件材料利用仿真及系统实验方法确定预期改性层晶态结构及厚度；
S2、利用激光辅助滚压方法对工件表面进行遍历改性处理；
S3、利用超精密加工方法对激光辅助滚压改性后的材料进行超精密成型加工；
S4、利用激光辅助滚压方法对超精密加工表面进行光整抛光处理，在改善粗糙度同时，修复加工损伤层缺陷和提高加工表面完整性。
2.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤S1中的仿真使用软件为分子动力学和有限元分析软件，分别用于分析不同晶态改性层切削性能和激光加热温度场。
3.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤S1中的系统实验方法包含能获得材料热力学特征的高温纳米压痕、高温纳米划擦测试和评价材料可加工性能的纳米斜切、超精密加工试验。
4.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于：所述步骤S1中的改性层晶态结构包括细化后晶粒特征尺寸大小、非晶态占比。
5.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于：所述步骤S1中改性层的厚度大于超精密加工去除深度。
6.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于：所述步骤S2和S4中的激光辅助滚压方法指在滚压工件同时利用激光束对滚压区域进行在线原位加热，以进一步改善滚压效果的方法；具体地包括激光源、滚压刀体和工件，滚压刀体对工件进行滚压作业，同时激光源发出激光束，引导激光束从滚压刀体入射面进入刀体，穿过透光率良好的刀体材料后从刀体接触面指定位置出射，持续辐照加热滚压刀体与工件接触区域，实现在线原位加热效果，材料在激光原位加热及滚压刀体机械作用下实现材料预改性或工件表面光整抛光效果。
7.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤S2中的激光辅助滚压方法包括以下分步骤：
S21、装夹调试准备；
S22、原位面形测量；
S23、激光辅助滚压改性。
8.根据权利要求7所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤S3包括以下分步骤：
S31、超精密加工成型；
S32、原位面形测量；
S33、判断面型精度，面型精度不合格时返回步骤S23。
9.根据权利要求7所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤S4中，进行光整抛光处理包括以下分步骤为：
S41、激光辅助滚压抛光；
S42、拆卸工件，根据激光辅助滚压抛光验收标准对工件进行质量综合评价；
S43、判断表面质量，表面质量不合格时返回步骤S21，表面质量合格时结束。
10.根据权利要求1所述的一种基于激光辅助滚压调控的超精密加工方法，其特征在于：所述步骤S4中激光辅助滚压抛光是指通过激光辅助滚压过程中激光加热工件表层微熔区重结晶与滚压头机械作用共同影响，实现降低表面粗糙度、修复加工损伤层缺陷和提高加工表面完整性的方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116532910A (zh) * 2023-07-06 2023-08-04 太原理工大学 一种激光辅助超声滚压加工平面工件的装置
CN116728001A (zh) * 2023-08-16 2023-09-12 西南交通大学 一种晶粒梯度细化的高完整性金属材料表面加工方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116532910A (zh) * 2023-07-06 2023-08-04 太原理工大学 一种激光辅助超声滚压加工平面工件的装置
CN116532910B (zh) * 2023-07-06 2023-09-08 太原理工大学 一种激光辅助超声滚压加工平面工件的装置
CN116728001A (zh) * 2023-08-16 2023-09-12 西南交通大学 一种晶粒梯度细化的高完整性金属材料表面加工方法
CN116728001B (zh) * 2023-08-16 2023-11-03 西南交通大学 一种晶粒梯度细化的高完整性金属材料表面加工方法

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