CN116106646B - 电场传感器 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种电场传感器，涉及传感器技术领域。该电场传感器包括：基座框，固定电极，该固定电极与该基座框连接，压电驱动梁，该压电驱动梁与该基座框连接，该压电驱动梁包括多段驱动梁，该多段驱动梁中任意相邻的两段驱动梁之间的角度小于180°，为该压电驱动梁施加驱动电压的驱动电路，向该压电驱动梁施加的驱动电压驱动该多段驱动梁在垂直方向上向同向移动，可动电极，该可动电极与该压电驱动梁的末端连接，且，在该电场传感器处于非工作状态时，该可动电极与该固定电极位于同一平面上。采用该电场传感器可以提高电场传感器的灵敏度。

Description

电场传感器

技术领域

本申请涉及传感器技术领域，特别是涉及一种电场传感器。

背景技术

电场传感器不仅在输变电设备和线路的电磁环境评价、状态感知、缺陷识别、评价诊断等方面应用广泛。在气象领域,电场传感器可监测地表及高空大气电场变化，获知雷电的孕育、发展及发生信息，为雷电预警提供重要指标，从而为导弹和卫星等飞行器的发射升空提供重要的安全保障、也能够为森林、景区、输电线路、石化炼厂提供预警信息，在石化领域，人体、设备、油气等当静电荷积累到一定程度后容易引发放电，造成火灾、爆炸等严重的安全事故，电场传感器可评估静电高危区域带电情况，为石化领域安全生产提供有力支持。

传统技术中，为了增大驱动结构的最大位移，即提高传感器灵敏度，通常采用增大驱动梁长度或提高驱动电压的方法。

然而，在传感器微型化的要求下，驱动梁长度受到限制，且过大的驱动电压也难以与标准CMOS电路适配，还有可能造成压电薄膜被击穿，这些原因限制了驱动结构在垂直方向的位移，进而导致电场传感器的灵敏度较低。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能灵敏度较高的电场传感器。

第一方面，本申请提供了一种电场传感器，该电场传感器包括：基座框；固定电极，该固定电极与该基座框连接；压电驱动梁，该压电驱动梁与该基座框连接，该压电驱动梁包括多段驱动梁，该多段驱动梁中任意相邻的两段驱动梁之间的角度小于180°；为该压电驱动梁施加驱动电压的驱动电路，向该压电驱动梁施加的驱动电压驱动该多段驱动梁在垂直方向上向同向移动；可动电极，该可动电极与该压电驱动梁的末端连接，且，在该电场传感器处于非工作状态时，该可动电极与该固定电极位于同一平面上。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括三段驱动梁；其中，第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°，第二段驱动梁与第三段驱动梁之间的角度为90°。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括三种激励区域，该驱动电路为各该激励区域施加的驱动电压不同；其中，第一种激励区域位于第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第三段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第二种激励区域位于第三段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第三种激励区域位于第二段驱动梁上。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括两段驱动梁；其中，第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括三种激励区域，该驱动电路为各该激励区域施加的驱动电压不同；其中，第一种激励区域位于第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第二段驱动梁远离第一段驱动梁的一侧；第二种激励区域位于第二段驱动梁靠近第一段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第三种激励区域位于第一段驱动梁和第二段驱动梁的连接区域中。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括依次连接的第一压电驱动子梁、连接子梁以及第二压电驱动子梁，该第一压电驱动子梁包括三段驱动梁，该第二压电驱动子梁包括两段驱动梁；其中，该第一压电驱动子梁中的第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°，第二段驱动梁与第三段驱动梁之间的角度为90°；该第二压电驱动子梁中的第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括三种激励区域，该驱动电路为各种该激励区域施加的驱动电压不同；其中，第一种激励区域位于该第一压电驱动子梁中的第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧，以及第三段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧；第一种激励区域还位于该第二压电驱动子梁中的第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第二段驱动梁远离第一段驱动梁的一侧；第二种激励区域位于该第一压电驱动子梁中的第三段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧；第二种激励区域还位于该第二压电驱动子梁中的第二段驱动梁靠近第一段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第三种激励区域位于该第一压电驱动子梁中的第二段驱动梁上；第三种激励区域还位于该第二压电驱动子梁中的第一段驱动梁和第二段驱动梁的连接区域中；第三种激励区域还位于连接子梁上。

在其中一个实施例中，该驱动电路，用于向第一种激励区域和第二种激励区域施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向第三种激励区域不施加交流电。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁包括叠层设置的上驱动电极、压电薄膜、下驱动电极、绝缘层以及弹性梁；其中，该上驱动结构位于该压电驱动梁的最上方，该压电薄膜位于该上驱动电极的下方，该下驱动电极位于该压电薄膜的下方，该绝缘层位于该下驱动电极的下方，该弹性梁位于该绝缘层的下方。

在其中一个实施例中，该固定电极与该可动电极均为梳齿状结构，且，该固定电极与该可动电极的梳齿在平面内依次交错排列。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁为偶数组，且对称设置。

在其中一个实施例中，该压电驱动梁的振动方式为垂直周期振动。

上述电场传感器，该电场传感器包括：基座框，固定电极，可动电极，压电驱动梁以及驱动电路，该驱动电路可以向该压电驱动梁施加驱动电压，该驱动电压可以驱动压电驱动梁中的多段驱动梁在垂直方向上产生同向位移，实现位移的逐级叠加，可以在较低的工作电压下使压电驱动梁与可动电极产生较大的垂直方向上的位移，进而提高了电场传感器的灵敏度。

附图说明

图1为一个实施例中电场传感器的结构示意图；

图2为一个实施例中压电驱动粱结构的示意图；

图3为另一个实施例中电场传感器的结构示例图；

图4为一个实施例中激励分布区域的示意图；

图5为一个实施例中压电驱动粱末端发生面外平移的示意图；

图6为另一个实施例中电场传感器的结构示例图；

图7为另一个实施例中激励分布区域的示意图；

图8为另一个实施例中电场传感器的结构示例图；

图9为另一个实施例中激励分布区域的示意图。

实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如，两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

电场传感器不仅在输变电设备和线路的电磁环境评价、状态感知、缺陷识别、评价诊断等方面应用广泛。在气象领域，电场传感器可监测地表及高空大气电场变化，获知雷电的孕育、发展及发生信息，为雷电预警提供重要指标，从而为导弹和卫星等飞行器的发射升空提供重要的安全保障、也能够为森林、景区、输电线路、石化炼厂提供预警信息，在石化领域，人体、设备、油气等当静电荷积累到一定程度后容易引发放电，造成火灾、爆炸等严重的安全事故，电场传感器可评估静电高危区域带电情况，为石化领域安全生产提供有力支持。

传统技术中，为了增大驱动结构的最大位移，即提高传感器灵敏度，通常采用增大驱动粱长度或提高驱动电压的方法。

然而，在传感器微型化的要求下，驱动粱长度受到限制，且过大的驱动电压也难以与标准CMOS电路适配，还有可能造成压电薄膜被击穿，这些原因限制了驱动结构在垂直方向的位移，进而导致传感器的灵敏度较低。

有鉴于此，本申请实施例提供了一种电场传感器，该电场传感器可以在较低的工作电压下使压电驱动粱与可动电极产生较大的垂直方向上的位移，进而提高了电场传感器的灵敏度。

在一个实施例中，如图1所示，提供了一种电场传感器100，该电场传感器100包括基座框101，固定电极102，该固定电极102与该基座框101连接，压电驱动梁103，该压电驱动梁103与该基座框101连接，该压电驱动梁103包括多段驱动梁，该多段驱动梁中任意相邻的两段驱动梁之间的角度小于180°，为该压电驱动梁103施加驱动电压的驱动电路104（图中未示出），向该压电驱动梁103施加的驱动电压驱动该多段驱动梁在垂直方向上向同向移动，可动电极105，该可动电极105与该压电驱动梁103的末端连接，且，在该电场传感器100处于非工作状态时，该可动电极105与该固定电极102位于同一平面上。

该基座框101的结构可如图1所示，该基座框101由四个支架组成，每两个支架之间连接的角度为90°，且支架与支架之间的连接方式为活动连接，可以根据所需基座框101的大小，选择不同长度的支架进行组合连接。

该固定电极102指的是不可发生移动的电极，该固定电极102可以是感应电极，该感应电极可以在电场中产生感应电荷。

该可动电极105指的是可以发生移动的电极，该可动电极105也可以是感应电极。

在一个可选的实施例中，如图1所示，该固定电极102与该可动电极105均为梳齿状结构，且，该固定电极102与该可动电极105的梳齿在平面内依次交错排列。

该驱动电路104指的是可以向压电驱动粱施加驱动电压的电路。

该压电驱动粱103通过支撑粱106与基座101连接。

在一个可选的实施例中，该压电驱动梁103的多段驱动粱为偶数组，且对称设置。

在一个可选的实施例中，如图2所示，该压电驱动梁103包括叠层设置的上驱动电极1031、压电薄膜1032、下驱动电极1033、绝缘层1034以及弹性粱1035。

其中，该上驱动结构位于该压电驱动粱的最上方，该压电薄膜位于该上驱动电极的下方，该下驱动电极位于该压电薄膜的下方，该绝缘层位于该下驱动电极的下方，该弹性粱位于该绝缘层的下方。

在一种可能实现的方式中，在电场传感器处于工作状态下，该驱动电路104通过上驱动电压1031和下驱动电压1033对压电薄膜1032施加交流驱动电压，使得压电驱动粱103以模式进行垂直方向的弯曲振动，多段驱动粱的位移将会逐级叠加。

在压电驱动粱103处于上述模式下工作时，应力为1方向，压电材料受到外界施加在1方向上的拉应力或压应力，其产生的机械形变也是沿着1方向，但压电材料极化和产生的电场均为3方向，即电压为3方向，应力为1方向。

在一个可选的实施例中，该压电驱动梁103的振动方式为垂直周期振动。

可选的，当压电驱动粱103发生垂直方向的弯曲振动时，会带动连接于压电驱动粱103末端的可动电极105发生平移，当多段驱动粱的位移发生逐级叠加，连接于压电驱动粱103末端的可动电极105发生的平移也会随之变大。

在一种可能实现的方式中，该固定电极102与可动电极105均为感应电极，且又互为屏蔽电极，可以利用电场的边缘效应起到屏蔽作用，即在压电驱动粱103处于振动过程中并且带动可动电极105进行平移时，当可动电极105处于低于固定电极102的平面的情况下，固定电极对可动电极起到屏蔽作用，即可动电极表面的感应电荷减少。

在另一种可能实现的方式中，在压电驱动粱103处于振动过程中并且带动可动电极105进行平移时，当可动电极105处于高于固定电极102的平面的情况下，可动电极对固定电极起到屏蔽作用，即固定电极表面的感应电荷减少。

进一步地，可动电极与固定电极表面的感应电荷随着压电驱动粱的振动发生周期性的变化，则可动电极与固定电极表面的感应电荷形成的感应电流将会以差分的形式输出，可以通过检测输出电流的大小，判断电场强度，实现空间电场测量的目的。

如上文所述的电场传感器，该电场传感器包括：基座框，固定电极，可动电极，压电驱动梁以及驱动电路，该驱动电路可以向该压电驱动粱施加驱动电压，该驱动电压可以驱动压电驱动粱中的多段驱动粱在垂直方向上产生同向位移，实现位移的逐级叠加，可以在较低的工作电压下使压电驱动粱与可动电极产生较大的垂直方向上的位移，进而提高了电场传感器的灵敏度。

在其中一个实施例中，如图3所示，该压电驱动梁103包括三段驱动梁；其中，第一段驱动梁301与第二段驱动梁302之间的角度为90°，第二段驱动梁302与第三段驱动梁303之间的角度为90°。

在一个可选的实施例中，如图4所示，该压电驱动梁103包括三种激励区域，该驱动电路为各该激励区域施加的驱动电压不同；其中，第一种激励区域401位于第一段驱动梁301靠近第二段驱动梁302的一侧，以及第三段驱动梁303远离第二段驱动梁302的一侧；第二种激励区域402位于第三段驱动梁303靠近第二段驱动梁302的一侧，以及第一段驱动梁301远离第二段驱动梁302的一侧；第三种激励区域403位于第二段驱动梁302上。

该激励区域存在于压电薄膜上，是由上驱动电极和下驱动电极对压电薄膜施加交流驱动电压产生的。

在一个可选的实施例中，该驱动电路，用于向第一种激励区域401和第二种激励区域402施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向第三种激励区域403不施加交流电。

该第三种激励区域403可以用于连接第一种激励区域401和第二种激励区域402。

在一种可能实现的方式中，如图5所示，通过不同激励区域的驱动信号配合，调整多个压电驱动粱103的振动方式，使压电驱动粱103的末端的振动方式为面外平动方式，而不是绕轴旋转方式。

如上文所述，该驱动电路为各该激励区域施加的驱动电压不同，这样的设置方式可以降低电场传感器工作时多端驱动粱与可动电极连接处的应力，避免机械结构损坏，有利于延长电场传感器使用寿命。

在其中一个实施例中，如图6所示，该压电驱动梁103包括两段驱动梁；其中，第一段驱动梁601与第二段驱动梁602之间的角度为90°。

在一个可选的实施例中，如图7所示，该压电驱动梁103包括三种激励区域，该驱动电路为各该激励区域施加的驱动电压不同；

其中，第一种激励区域401位于第一段驱动梁601靠近第二段驱动梁602的一侧，以及第二段驱动梁602远离第一段驱动梁601的一侧；第二种激励区域402位于第二段驱动梁602靠近第一段驱动梁601的一侧，以及第一段驱动梁601远离第二段驱动梁602的一侧；第三种激励区域403位于第一段驱动梁601和第二段驱动梁602的连接区域中。

在一个可选的实施例中，该驱动电路，用于向第一种激励区域401和第二种激励区域402施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向第三种激励区域403不施加交流电。

本实施例提供的压电驱动粱也可以有效的降低压电驱动粱的结构刚度，并且可以实现多段驱动粱位移的叠加，此外，在工作状态下，本实施例提供的压电驱动粱的振动位移高于上述图3实施例提供的压电驱动粱的振动位移，同时还提高了振动频率，进一步增强了输出信号，提升电场传感器的灵敏度。

在其中一个实施例中，如图8所示，该压电驱动梁103包括依次连接的第一压电驱动子梁801、连接子梁802以及第二压电驱动子梁803，该第一压电驱动子梁801包括三段驱动梁，该第二压电驱动子梁803包括两段驱动梁；其中，该第一压电驱动子梁中801的第一段驱动梁8011与第二段驱动梁8012之间的角度为90°，第二段驱动梁8012与第三段驱动梁8013之间的角度为90°；该第二压电驱动子梁803中的第一段驱动梁8031与第二段驱动梁8032之间的角度为90°。

在一个可选的实施例中，如图9所示，该压电驱动梁103包括三种激励区域，该驱动电路为各种激励区域施加的驱动电压不同；其中，第一种激励区域401位于该第一压电驱动子梁801中的第一段驱动梁8011远离第二段驱动梁8012的一侧，以及第三段驱动梁8013靠近第二段驱动梁8012的一侧；第一种激励区域还位于该第二压电驱动子粱803中的第一段驱动梁8031靠近第二段驱动梁8032的一侧，以及第二段驱动梁8032远离第一段驱动梁8031的一侧；第二种激励区域402位于该第一压电驱动子梁801中的第三段驱动梁8013远离第二段驱动梁8012的一侧，以及第一段驱动梁8011靠近第二段驱动梁8012的一侧；第二种激励区域402还位于该第二压电驱动子粱803中的第二段驱动梁8032靠近第一段驱动梁8031的一侧，以及第一段驱动梁8031远离第二段驱动梁8032的一侧；第三种激励区域403位于该第一压电驱动子梁801中的第二段驱动梁8012上；第三种激励区域403还位于该第二压电驱动子粱803中的第一段驱动梁8031和第二段驱动梁8032的连接区域中；第三种激励区域还位于连接子粱802上。

在一个可选的实施例中，该驱动电路，用于向第一种激励区域401和第二种激励区域402施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向第三种激励区域403不施加交流电。

本实施例提供的压电驱动粱采用组合型折叠结构，通过增加多段驱动粱折叠级数实现对图3实施例提供的压电驱动粱的优化，可以有效的降低压电驱动粱的结构刚度，实现多段驱动粱的振动位移叠加，提高电场传感器的灵敏度。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种电场传感器，其特征在于，所述电场传感器包括：

基座框；

固定电极，所述固定电极与所述基座框连接；

压电驱动梁，所述压电驱动梁与所述基座框连接，所述压电驱动梁包括多段驱动梁，所述多段驱动梁中任意相邻的两段驱动梁之间的角度小于180°，所述压电驱动梁包括叠层设置的上驱动电极、压电薄膜、下驱动电极、绝缘层以及弹性梁，其中，所述上驱动电极位于所述压电驱动梁的最上方，所述压电薄膜位于所述上驱动电极的下方，所述下驱动电极位于所述压电薄膜的下方，所述绝缘层位于所述下驱动电极的下方，所述弹性梁位于所述绝缘层的下方；

为所述压电驱动梁施加驱动电压的驱动电路，向所述压电驱动梁施加的驱动电压驱动所述多段驱动梁在垂直方向上向同向移动；

所述压电驱动梁包括三种激励区域，各段所述驱动粱包括各所述激励区域中的至少一种，所述驱动电路为各所述激励区域施加的驱动电压不同；

可动电极，所述可动电极与所述压电驱动梁的末端连接，且，在所述电场传感器处于非工作状态时，所述可动电极与所述固定电极位于同一平面上。

2.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括三段驱动梁；

其中，第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°，第二段驱动梁与第三段驱动梁之间的角度为90°。

3.根据权利要求2所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括三种激励区域，所述驱动电路为各所述激励区域施加的驱动电压不同；

其中，第一种激励区域位于第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第三段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第二种激励区域位于第三段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第三种激励区域位于第二段驱动梁上。

4.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括两段驱动梁；

其中，第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°。

5.根据权利要求4所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括三种激励区域，所述驱动电路为各所述激励区域施加的驱动电压不同；

其中，第一种激励区域位于第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第二段驱动梁远离第一段驱动梁的一侧；第二种激励区域位于第二段驱动梁靠近第一段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；第三种激励区域位于第一段驱动梁和第二段驱动梁的连接区域中。

6.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括依次连接的第一压电驱动子梁、连接子梁以及第二压电驱动子梁，所述第一压电驱动子梁包括三段驱动梁，所述第二压电驱动子梁包括两段驱动梁；

其中，所述第一压电驱动子梁中的第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°，第二段驱动梁与第三段驱动梁之间的角度为90°；

所述第二压电驱动子梁中的第一段驱动梁与第二段驱动梁之间的角度为90°。

7.根据权利要求6所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括三种激励区域，所述驱动电路为各种所述激励区域施加的驱动电压不同；

其中，第一种激励区域位于所述第一压电驱动子梁中的第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧，以及第三段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧；

第一种激励区域还位于所述第二压电驱动子梁中的第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧，以及第二段驱动梁远离第一段驱动梁的一侧；

第二种激励区域位于所述第一压电驱动子梁中的第三段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁靠近第二段驱动梁的一侧；

第二种激励区域还位于所述第二压电驱动子梁中的第二段驱动梁靠近第一段驱动梁的一侧，以及第一段驱动梁远离第二段驱动梁的一侧；

第三种激励区域位于所述第一压电驱动子梁中的第二段驱动梁上；

第三种激励区域还位于所述第二压电驱动子梁中的第一段驱动梁和第二段驱动梁的连接区域中；

第三种激励区域还位于连接子梁上。

8.根据权利要求3或5或7所述的电场传感器，其特征在于，所述驱动电路，用于向第一种激励区域和第二种激励区域施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向第三种激励区域不施加交流电。

9.根据权利要求1至7任一所述的电场传感器，其特征在于，所述固定电极与所述可动电极均为梳齿状结构，且，所述固定电极与所述可动电极的梳齿在平面内依次交错排列。

10.根据权利要求1至7任一所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁为偶数组，且对称设置。

11.根据权利要求1至7任一所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁的振动方式为垂直周期振动。