CN116068760A - 光波导以及光波导设备 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种光波导以及光波导设备,光波导包括光波导本体、耦入光栅和耦出光栅,光波导本体包括耦入区域和耦出区域;耦入光栅设置于耦入区域,用于将光线耦入光波导本体,并在光波导本体内传播,耦入光栅的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系;耦出光栅设置于耦出区域,用于将传播至耦出区域的光线耦出光波导本体,耦出光栅的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系。本申请提供的光波导使得耦入效率较高的光线在耦出时具有相对较低的耦出效率,相反,耦入效率较低的光线在耦出时具有相对较高的耦出效率,从而能够提高不同入射角度的光线在通过光波导时衍射效率的一致性,进而提高视场角内的亮度均匀性。
Description
技术领域
本申请涉及衍射光学设备技术领域,具体涉及一种光波导以及光波导设备。
背景技术
增强现实(Augmented Reality,AR)是一种实时采集现实世界信息,并将虚拟信息、图像等与现实世界相结合的显示技术,有望成为继个人电脑、智能手机后的新一代信息交互终端,具有广阔的市场规模和想象空间。AR显示装置通常包含微型光机(opticalengine)和光学组合器(optical combiner)两部分。其中,AR设备中采用的微型光机是用于生成图像光线的器件,主要技术路线包括LCoS(硅基液晶)、Laser Beam Scanning(基于激光束扫描技术的微型投影模块)、Micro LED(微型发光二极管)、Micro OLED(微型有机发光二极管)等。对于AR光机来说,小体积、高效率是至关重要的参数。光学组合器的作用是将实际环境光线和图像光线进行组合,使得人眼同时能够观察到环境和光机产生的图像信息。光学组合器更大程度上决定了AR显示装置的整体形态,主要有几何光学和衍射光学两种技术路线,每种技术路线又分成不同的解决方案。
相关技术提供了一种采用SRG(Surface Relief Grating,表面浮雕光栅)的衍射光波导组合器,是利用具有周期性形貌变化的光栅,实现光的衍射,进而实现光波导的扩瞳功能。其优点在于,工艺可以采用基于半导体工艺制备的母模板、再通过纳米压印的技术进行SRG结构的复制,整个工艺方法具备很好的可量产性,在后续的大规模应用和生产中具有良好的前景,近年来得到了广泛的关注。
然而,在SRG衍射光波导实际的设计中,光线通过衍射光波导上的耦入光栅或耦出光栅发生衍射,由于衍射的特性,其衍射效率与光线进入光栅的角度有较强的相关性。对于HMD(Head Mount Display,头戴式可视设备)来说,希望获得更大的FOV,在这种情况下,必然存在不同入射角度的光线通过光栅发生衍射,其对应的衍射效率在不同入射角度也会有较大的差异,最终导致光线耦出光波导后,视场角内的亮度均匀性很差。
发明内容
本申请实施方式提出了一种光波导以及光波导设备,以解决上述技术问题。本申请实施方式通过以下技术方案来实现上述目的。
第一方面,本申请实施方式提供了一种光波导,包括光波导本体、耦入光栅和耦出光栅,光波导本体包括耦入区域和耦出区域;耦入光栅设置于耦入区域,用于将光线耦入光波导本体,并在光波导本体内传播,耦入光栅的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系;耦出光栅设置于耦出区域,用于将传播至耦出区域的光线耦出光波导本体,耦出光栅的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系。
在一种实施方式中,耦入光栅用于将第一光线和第二光线耦入光波导本体,第一光线和第二光线射入耦入光栅的入射角相区别,耦出光栅用于将第一光线和第二光线耦出光波导本体,第一光线与第二光线满足关系式:
η耦入(θ0+)×η耦出(θ0ut+)=η耦入(θ0-)×η耦出(θ0ut-);
式中,η耦入(θ0+)为第一光线的耦入效率,η耦出(θ0ut+)为第一光线的耦出效率;η耦入(θ0-)为第二光线的耦入效率,η耦出(θ0ut-)为第二光线的耦出效率。
在一种实施方式中,耦入光栅的深度范围为0.14μm~0.16μm,耦入光栅的占空比为0.65~0.8。
在一种实施方式中,耦出光栅为对称式光栅。
在一种实施方式中,光波导本体的折射率为1.6~1.8,耦出光栅的占空比为0.2~0.6。
第二方面,本申请实施方式提供了一种光波导,包括光波导本体、耦入光栅、转折光栅和耦出光栅,光波导本体包括耦入区域、转折区域和耦出区域;耦入光栅设置于耦入区域,用于将光线耦入光波导本体,并在光波导本体内传播,耦入光栅的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系;转折光栅设置于转折区域,用于将传播至转折区域的光线引导至耦出区域,转折光栅的耦出效率与耦入光线的入射角成单调递减关系;耦出光栅设置于耦出区域,用于将传播至耦出区域的光线耦出光波导本体。
在一种实施方式中,耦入光栅用于将第一光线和第二光线耦合进入光波导本体,第一光线和第二光线射入耦入光栅的入射角相区别,转折光栅用于将第一光线和第二光线引导至耦出区域;第一光线与第二光线满足关系式:
η耦入(θ0+)×η耦出(θ0ut+)=η耦入(θ0-)×η耦出(θ0ut-);
式中,η耦入(θ0+)为第一光线耦入耦入光栅的效率,η耦出(θ0ut+)为第一光线耦出转折光栅的效率;η耦入(θ0-)为第二光线耦入耦入光栅的效率,η耦出(θ0ut-)为第二光线耦出转折光栅的效率。
在一种实施方式中,耦入光栅的深度范围为0.14μm~0.16μm,耦入光栅的占空比为0.65~0.8。
第三方面,本申请实施方式提供了一种光波导设备,包括壳体以及第一方面所述的光波导或第二方面所述的光波导,光波导设置于壳体内。
在一种实施方式中,光波导设备为AR眼镜。
本申请实施方式提供的光波导包括光波导本体、耦入光栅和耦出光栅,耦入光栅的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系,耦出光栅的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系,使得耦入效率较高的光线在耦出时具有相对较低的耦出效率,相反,耦入效率较低的光线在耦出时具有相对较高的耦出效率,从而能够提高不同入射角度的光线在通过光波导时衍射效率的一致性,进而提高视场角内的亮度均匀性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的光波导的结构示意图。
图2为图1所示实施例提供的光波导的剖面图。
图3为图1所示实施例提供的光波导中耦出光栅的耦出效率与光线入射角度的关系图。
图4为图1所示实施例提供的光波导中耦入光栅的耦入效率与光线入射角度的关系图。
图5为图1所示实施例提供的光波导中耦出光栅的耦出效率、光线入射角度与占空比之间的关系图。
图6为图1所示实施例提供的光波导中耦入光栅的耦入效率、光线入射角度与占空比之间的关系图。
图7为本申请另一实施例提供的光波导的结构示意图。
图8为本申请实施例提供的光波导设备的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本申请的实施方式,所述实施方式的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的,仅用于解释本申请,而不能理解为对本申请的限制。
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
请参阅图1和图2,本申请实施例提供的光波导100包括光波导本体110、耦入光栅120和耦出光栅130,光波导本体110包括耦入区域111和耦出区域112,耦入光栅120设置于耦入区域111,用于将光线耦合进入光波导本体110,并在光波导本体110内传播,耦入光栅120的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系,其中,耦入光线的入射角即为光线入射到耦入光栅120的入射角,例如角度θ0+和角度θ0-。
耦出光栅130设置于耦出区域112,用于将传播至耦出区域112的光线耦出光波导本体110,耦出光栅130的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系,其中,耦出光线的入射角即为光线入射到耦出光栅130的入射角,例如角度θout+和角度θout-。
本申请实施例提供的光波导100通过同时调控耦入光栅120和耦出光栅130的结构参数,使得耦入效率较高的光线在耦出时具有相对较低的耦出效率,相反,耦入效率较低的光线在耦出时具有相对较高的耦出效率,而光线通过光波导100的衍射效率与光线的耦入效率和耦出效率相关,由此,能够提高不同入射角度的光线在通过光波导100时的衍射效率的一致性,进而提高视场角内的亮度均匀性。
本实施例中,光波导本体110是引导光波在其中传播的介质装置,通常由光透明介质(例如石英玻璃)制成,光线在光波导本体110内以全反射的方式传播。光波导本体110可以为平面光波导100,沿着光束传播方向,耦入区域111和耦出区域112分别设置于光波导本体110的两端。
耦入光栅120和耦出光栅130可以均为表面浮雕光栅,耦入光栅120可以包括多个设置于光波导本体110表面的耦入光栅条纹,多个耦入光栅条纹间隔排布。耦出光栅130包括多个设置于光波导本体110表面的耦出光栅条纹,多个耦出光栅条纹间隔排布,且耦入光栅条纹和耦出光栅条纹可以位于光波导本体110的同一表面。
耦入光栅120、耦出光栅130和光波导本体110可以为一体结构。具体地,耦入光栅120、耦出光栅130可通过压印技术等在基板上形成,即,基板被压印的部分构成耦入光栅120、耦出光栅130,基板未被压印的部分形成光波导本体110,因此,耦入光栅120、耦出光栅130和光波导本体110为一体结构。当然,在其他一些实施方式中,耦入光栅120、耦出光栅130中的一者或者两者也可以作为单独的光学元件分别贴覆在光波导本体110的耦入区域111和耦出区域112。
在一些实施例中,耦入光栅120用于将第一光线141和第二光线142耦入光波导本体110,第一光线141和第二光线142耦入耦入光栅120的入射角相区别,也即第一光线141和第二光线142入射耦入光栅120的入射角不同,耦出光栅130用于将第一光线141和第二光线142耦出光波导本体110,第一光线141和第二光线142满足关系式:
η耦入(θ0+)×η耦出(θ0ut+)=η耦入(θ0-)×η耦出(θ0ut-);
式中,η耦入(θ0+)为第一光线141的耦入效率,η耦出(θ0ut+)为第一光线141的耦出效率;η耦入(θ0-)为第二光线142的耦入效率,η耦出(θ0ut-)为第二光线142的耦出效率。
本实施例中,第一光线141的耦入效率与耦出效率的乘积等于第二光线142的耦入效率与耦出效率的乘积,能够进一步地提高不同入射角度的光线在通过光波导100时的衍射效率的一致性。
在一些实施例中,耦出光栅130可以为对称式光栅,例如耦出光栅130为矩形光栅。对于对称式光栅而言,小角度入射的光线(例如第一光线141)的耦出效率高于大角度入射的光线(例如第二光线142)的耦出效率,其耦出效率相对于耦出光线的入射角度的关系如图3所示,图3的纵坐标为耦出效率,横坐标为耦出光线入射到耦出光栅130的入射角度,由图3可知,耦出光栅130的耦出效率随着入射角度的增大而单调递减。
为了弥补耦出光栅130的耦出效率随着入射角度的增大而单调递减的趋势,可以控制耦入光栅120的几何结构,使得耦入光栅120的耦入效率随耦入光线入射角的增大而增大,耦入光栅120的耦入效率相对于耦入光线的入射角的关系如图4所示,图4的纵坐标为耦入效率,横坐标为耦入光线入射到耦入光栅120的入射角度,由图4可知,耦入光栅120的耦入效率随着入射角度的增大而单调递增。
图5为光波导本体110的折射率为1.6~1.8时,耦出光栅130的耦出效率与入射角的关系示意图,图5的纵坐标表示耦出光栅130的占空比,横坐标表示光线入射到耦出光栅130的入射角度,颜色灰度表示耦出效率。由图5可知,在一定的占空比范围内,例如0.2~0.6,耦出光栅130的耦出效率随着入射角度的增加而降低。因此,当光波导本体110的折射率为1.6~1.8,耦出光栅130的占空比为0.2~0.6时,也能够使得耦出光栅130的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系。示例性的,光波导本体110的折射率可以为1.7。
图6为耦入光栅120的深度范围为0.14μm~0.16μm时,耦入光栅120的耦入效率与耦入光线的入射角的关系图,图6的纵坐标表示耦入光栅120的耦入效率,横坐标表示光线入射到耦入光栅120的入射角度。由图6可知,在耦入光栅120的占空比在0.65~0.8之间时,耦入效率随着入射角的增大而增大。因此,当耦入光栅120的深度范围为0.14μm~0.16μm,耦入光栅120的占空比为0.65~0.8时,耦入光栅120的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系。作为一种示例,耦入光栅120可以为矩形光栅,在同时收集+1和-1级衍射的情况下,可以得到不错的衍射效率和亮度均一性。
请参阅图7,本申请实施例还提供了另一种光波导200,包括光波导本体210、耦入光栅220、转折光栅230和耦出光栅240,光波导本体210包括耦入区域211、转折区域212和耦出区域213,耦入光栅220设置于耦入区域211,用于将光线耦入光波导本体210,并在光波导本体210内传播,耦入光栅220的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系,其中,耦入光线的入射角即为光线入射到耦入光栅220的入射角。
转折光栅230设置于转折区域212,用于将传播至转折区域212的光线引导至耦出区域213,转折光栅230的耦出效率与耦入光线的入射角成单调递减关系,其中,耦入光线的入射角即为光线入射到转折光栅230的入射角。
耦出光栅240设置于耦出区域213,用于将传播至耦出区域213的光线耦出光波导本体210。
本申请实施例提供的光波导本体210,耦入光栅220的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系,转折光栅230的耦出效率与耦入光线的入射角成单调递减关系,使得耦入效率较高的光线在耦出转折光栅230时具有相对较低的耦出效率,相反,耦入效率较低的光线在耦出转折光栅230时具有相对较高的耦出效率,能够提高不同入射角度的光线在通过耦入光栅220和转折光栅230后衍射效率的一致性,进而在一定程度上提高不同入射角度的光线在通过耦入光栅220、转折光栅230和耦出光栅240后衍射效率的一致性,也即提高不同入射角度的光线在通过光波导200的衍射效率的一致性,最终同样能够实现提高视场角内的亮度均匀性的目的。
本实施例中,光波导本体210可以为平面光波导,耦入光栅220和转折光栅230位于光波导本体210的同一侧,耦出光栅240位于光波导本体210的另一侧,耦入光栅220的中心和转折光栅230的中心的连线与耦出光栅240的中心和转折光栅230的中心的连线可以相互垂直,使得转折光栅230内的光线能够大部分射入耦出光栅240,保证了光波导200的耦出效率。
耦入光栅220、转折光栅230、耦出光栅240和光波导本体210可以为一体结构。具体地,耦入光栅220、转折光栅230和耦出光栅240可通过压印技术等在基板上形成,即,基板被压印的部分构成耦入光栅220、转折光栅230和耦出光栅240,基板未被压印的部分形成光波导本体210,因此,耦入光栅220、转折光栅230和耦出光栅240和光波导本体210为一体结构。
在其他一些实施方式中,耦入光栅220、转折光栅230和耦出光栅240中的一者、两者或者三者也可以作为单独的光学元件分别贴覆在光波导本体210的耦入区域211、转折区域212和耦出区域213。
在一些实施例中,耦入光栅220用于将第一光线和第二光线耦合进入光波导本体210,第一光线和第二光线耦入耦入光栅的入射角相区别,也即第一光线和第二光线入射耦入光栅的入射角不同,转折光栅230用于将第一光线和第二光线引导至耦出区域213,第一光线与第二光线满足关系式:
η耦入(θ0+)×η耦出(θ0ut+)=η耦入(θ0-)×η耦出(θ0ut-);
式中,η耦入(θ0+)为第一光线耦入耦入光栅220的效率,η耦出(θ0ut+)为第一光线耦出转折光栅230的效率;η耦入(θ0-)为第二光线耦入耦入光栅220的效率,η耦出(θ0ut-)为第二光线耦出转折光栅230的效率。
本实施例中,第一光线耦入耦入光栅220的效率与耦出转折光栅230的效率的乘积等于第二光线耦入耦入光栅220的效率与耦出转折光栅230的效率的乘积,能够进一步地提高不同入射角度的光线在通过光波导100的衍射效率的一致性,进而提高视场角内的亮度均匀性。
在一些实施例中,耦入光栅220的深度范围为0.14μm~0.16μm,耦出光栅240的占空比为0.2~0.6,以使耦入光栅220的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系。
在一些实施例中,转折光栅230可以为对称式光栅,例如转折光栅230为矩形光栅,以使得折转光栅的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系。或者在一些实施例中,光波导本体210的折射率为1.6~1.8,转折光栅230的占空比为0.2~0.6时,同样可以使得转折光栅230的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系。
在本实施例中,耦出光栅240的结构参数并不具体限定。作为一种示例,耦出光栅240的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系,也即耦出光栅240的耦出效率随着入射光线入射角的增大而减小。例如,耦出光栅240可以为对称式光栅;或者,光波导本体210的折射率为1.6~1.8,耦出光栅240的占空比为0.2~0.6。
请参阅图8,本申请实施例还提供了一种光波导设备300,包括壳体310以及上述实施例所述的光波导100或者光波导200,光波导100或者光波导200均设置于壳体310。
本申请实施例提供的光波导设备300中,耦入光栅220的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系,耦出光栅240的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系,使得耦入效率较高的光线在耦出时具有相对较低的耦出效率,相反,耦入效率较低的光线在耦出时具有相对较高的耦出效率,从而能够提高不同入射角度的光线在通过光波导时衍射效率的一致性,进而提高视场角内的亮度均匀性。
光波导设备300可以为AR眼镜等显示设备,或者也可以为光波导照明设备,本实施例以光波导设备300为AR眼镜为例进行说明。
本申请实施例提供的光波导设备300还可以包括微投系统,壳体310可以包括镜架311、两个镜腿312以及微投系统(未示出),两个镜腿312的一端均转动连接于镜架311,镜架311设置有两个相互间隔的视窗区313,两个视窗区313并排设置于两个镜腿312之间,以分别对应于人体左右眼。以光波导100为例,结合图2和图8,镜架311可以设置有两个光波导100,且两个光波导100的耦出光栅130分别位于两个视窗区313内,两个镜腿312分别设置有一微投系统,两个微投系统可输出不同视差图像,以实现三维显示。
其中,微投系统可以包括微型光机和光学透镜,光学透镜设置于微型光机和耦入光栅120之间的光路上。微型光机可以为液晶投影机(LCoS)、投影仪(DLP)、液晶显示器(LCD)或者发光二极管(LED)等,微型光机发出的光经过透镜后聚焦成像,并将图像光射入耦入光栅120,最终由耦出光栅130输出形成显示画面。
关于光波导100和光波导200的详细结构特征请参阅上述实施例的相关描述。由于光波导设备300包括上述实施例中的光波导100和光波导200,因而具有光波导100和光波导200所具有的一切有益效果,在此不再赘述。
以上所述,仅是本申请的较佳实施例而已,并非对本申请作任何形式上的限制,虽然本申请已以较佳实施例揭示如上,然而并非用以限定本申请,任何本领域技术人员,在不脱离本申请技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本申请技术方案内容,依据本申请的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰,均仍属于本申请技术方案的范围内。
Claims (10)
1.一种光波导,其特征在于,包括:
光波导本体,所述光波导本体包括耦入区域和耦出区域;
耦入光栅,设置于所述耦入区域,用于将光线耦入所述光波导本体,并在所述光波导本体内传播,所述耦入光栅的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系;以及
耦出光栅,设置于所述耦出区域,用于将传播至所述耦出区域的光线耦出所述光波导本体,所述耦出光栅的耦出效率与耦出光线的入射角成单调递减关系。
2.根据权利要求1所述的光波导,其特征在于,所述耦入光栅用于将第一光线和第二光线耦入所述光波导本体,所述第一光线和所述第二光线入射所述耦入光栅的入射角相区别,所述耦出光栅用于将所述第一光线和所述第二光线耦出所述光波导本体,所述第一光线与所述第二光线满足关系式:
η耦入(θ0+)×η耦出(θ0ut+)=η耦入(θ0-)×η耦出(θ0ut-);
式中,η耦入(θ0+)为所述第一光线的耦入效率,η耦出(θ0ut+)为所述第一光线的耦出效率;η耦入(θ0-)为所述第二光线的耦入效率,η耦出(θ0ut-)为所述第二光线的耦出效率。
3.根据权利要求1所述的光波导,其特征在于,所述耦入光栅的深度范围为0.14μm~0.16μm,所述耦入光栅的占空比为0.65~0.8。
4.根据权利要求1所述的光波导,其特征在于,所述耦出光栅为对称式光栅。
5.根据权利要求1所述的光波导,其特征在于,所述光波导本体的折射率为1.6~1.8,所述耦出光栅的占空比为0.2~0.6。
6.一种光波导,其特征在于,包括:
光波导本体,所述光波导本体包括耦入区域、转折区域和耦出区域;
耦入光栅,设置于所述耦入区域,用于将光线耦入所述光波导本体,并在所述光波导本体内传播,所述耦入光栅的耦入效率与耦入光线的入射角成单调递增关系;
转折光栅,设置于所述转折区域,用于将传播至所述转折区域的光线引导至所述耦出区域,所述转折光栅的耦出效率与耦入光线的入射角成单调递减关系;以及
耦出光栅,设置于所述耦出区域,用于将传播至所述耦出区域的光线耦出所述光波导本体。
7.根据权利要求6所述的光波导,其特征在于,所述耦入光栅用于将第一光线和第二光线耦入所述光波导本体,所述第一光线和所述第二光线入射所述耦入光栅的入射角相区别,所述转折光栅用于将所述第一光线和所述第二光线引导至所述耦出区域;所述第一光线与所述第二光线满足关系式:
η耦入(θ0+)×η耦出(θ0ut+)=η耦入(θ0-)×η耦出(θ0ut-);
式中,η耦入(θ0+)为所述第一光线耦入所述耦入光栅的效率,η耦出(θ0ut+)为所述第一光线耦出所述转折光栅的效率;η耦入(θ0-)为所述第二光线耦入所述耦入光栅的效率,η耦出(θ0ut-)为所述第二光线耦出所述转折光栅的效率。
8.根据权利要求6所述的光波导,其特征在于,所述耦入光栅的深度范围为0.14μm~0.16μm,所述耦入光栅的占空比为0.65~0.8。
9.一种光波导设备,其特征在于,包括壳体以及如权利要求1-5任一项所述的光波导或如权利要求6-8任一项所述的光波导,所述光波导设置于所述壳体内。
10.根据权利要求9所述的光波导设备,其特征在于,所述光波导设备为AR眼镜。
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