CN116046708A - 一种基于ndir原理的二氧化碳传感装置及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于二氧化碳检测技术领域,公开了一种基于NDIR原理的二氧化碳传感装置及其控制方法,包括光源驱动电路、红外光源、进气口、出气口、光学气室、待测光滤波片、参考光滤波片、红外探测器、锁相放大器、A/D模数转换器、颗粒物测量模块以及信号处理模块。本发明将颗粒物测量模块作为外加的部分,将检测到的颗粒物质量浓度信号传递给信号处理模块,补偿颗粒物浓度对红外光吸收和散射效应的影响得出二氧化碳气体浓度,降低颗粒物对二氧化碳气体浓度检测结果的影响,提高了二氧化碳浓度测量准确性;采用单光束双波长测量,降低外界因素带来的浓度测量误差,有利于提高对二氧化碳浓度的检测精度和准确性,提高系统的可靠性。
Description
技术领域
本发明属于二氧化碳检测技术领域,尤其涉及一种基于NDIR原理的二氧化碳传感装置及其控制方法。
背景技术
目前,温室气体大量人为排放导致全球变暖情况逐渐加剧,不仅引发了冰川融化、海平面持续上升等一系列环境问题,还逐渐威胁到人体健康,二氧化碳作为最主要的温室气体受到了世界各方的广泛关注。燃煤电厂二氧化碳减排依赖于准确的二氧化碳检测技术,非色散红外(NDIR)检测技术因其具有精度高、响应速度快、结构紧凑、抗其他气体干扰能力强,可应用于连续测量、使用寿命长等优点被广泛使用。
NDIR技术基于朗伯-比尔定律(Lambert-Beer)来测量气体浓度。朗伯-比尔定律公式表示为:I=I0·e-KCL,其中I0表示入射光未被吸收时的强度;I表示红外辐射被特定吸收后的出射光强度;k表示待测气体对特定波长红外辐射的吸收系数;c表示待测气体浓度;L表示红外光从光源射出到探测器的光程距离。吸收系数K主要由气体本身的摩尔吸收系数决定,气体温度和压力的变化影响气体吸光度的变化,也会影响吸收系数的大小。当一束红外光穿过待测气体时,特定波长的红外光被气体选择性的吸收,通过测量特定波长红外光的衰减量即可确定气体浓度。
在实际测量中温度、相对湿度、颗粒物均会影响到测量结果。由于燃煤电厂绝大部分都进行了除尘和脱硫脱硝改造,排放的烟气具有高温、高湿度、不稳定等特征。当温度发生变化时,二氧化碳气体本身的光谱特性会产生变化,从而对红外光的吸收效率会有所变化,另外,水蒸气会对红外光产生一定的吸收,温度的变化和高相对湿度都会对测量准确性造成影响。在燃煤电厂环境中,煤炭等化石燃料的燃烧过程伴随着大量气体和烟尘颗粒物的产生。在利用NDIR技术测量二氧化碳气体浓度时,烟尘颗粒物对穿过其中的红外光会产生吸收和散射作用,导致红外光强度的衰减,这会对检测精度产生较大的影响。
总而言之,非色散红外(NDIR)测量技术的准确性和灵敏度受到温度、相对湿度和颗粒物的强烈影响。现有技术,专利“一种非分光红外气体传感器的温度补偿方法及补偿装置”(申请公布号CN108444935A),专利“一种NDIR气体传感器系统及温湿度补偿方法”(申请公布号CN 110006837 A)包含了对NDIR传感器进行温度湿度补偿,减少了温度、相对湿度对测量结果的影响,但是目前颗粒物影响NDIR技术检测二氧化碳浓度精度的问题没有被解决。
通过上述分析,现有技术存在的问题及缺陷为:现有的NDIR技术检测二氧化碳浓度的方式易受到颗粒物影响,精度较低。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本发明提供了一种基于NDIR原理的二氧化碳传感装置及其控制方法。
本发明是这样实现的,一种基于NDIR原理的二氧化碳传感装置及其控制方法包括:
光源驱动电路、红外光源、进气口、出气口、光学气室、待测光滤波片、参考光滤波片、红外探测器、锁相放大器、A/D模数转换器、颗粒物测量模块以及信号处理模块;
所述光源驱动电路用于驱动红外光源发出红外光;所述红外探测器用于接收特定波长的红外光线,与红外光源同轴安装,并将输出信号传递给锁相放大器;
所述锁相放大器用于将探测器输出的微弱信号去噪声放大,转换为与探测器原始输出信号幅值呈线性关系的低噪声直流电压;
所述A/D模数转换器用于采集锁相放大器电路的输出电压,与信号处理模块相连;
所述颗粒物测量模块,在传感装置测量二氧化碳浓度的同时测量颗粒物质量浓度并将信号传输给信号处理模块;
所述信号处理模块用于进行数据处理。
进一步,所述红外光源采用MEMS红外光源,采用TO封装,内部为一个MEMS微热板,外部为铝合金材质的聚光杯,保证了红外光出射时的准直性。
进一步,所述待测光滤波片中心波长为4.26μm,对应于二氧化碳的吸收峰;参考光滤波片中心波长为3.91μm,燃煤电厂尾气中的各种气体对于该波长的红外辐射无吸收。
进一步,所述光学气室是直通型气室。
进一步,所述装置还包括输出模块,信号处理模块与输出模块连接,输出模块输出二氧化碳气体浓度信息。
本发明的另一目的在于提供一种基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的控制方法,所述基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的控制方法包括:
步骤一,给基于NDIR原理的二氧化碳传感装置通电,待测气体通过进气口进入气室;光源驱动电路驱动红外光源发出红外光;
步骤二,红外光通过光学气室,二氧化碳气体吸收特定波长红外光,红外探测器接收特定波长的红外光线,得到测量波长红外光被气体吸收后的强度Iout(mea),参考波长红外光经过气体区域后的输出光强Iout(ref),红外探测器将光信号转化为电压信号。
步骤三,颗粒物测量模块测量颗粒物质量浓度并将信号传输给信号处理模块;
步骤四,信号处理模块得到颗粒物质量浓度信号,由颗粒物质量浓度计算出由于吸收和散射效应对测量波长消光值△I(mea)以及参考波长消光值△I(ref);
步骤五,测量波长消光值△I(mea)与红外探测器测量得到的测量波长光强Iout(mea)相加得到测量波长光强I′out(mea),参考波长消光值△I(ref)与红外探测器测量得到的参考波长光强Iout(ref)相加得到参考波长光强I′out(ref);
步骤六,信号处理模块根据修正后的测量波长光强I′out(mea)与参考波长光强I′out(ref)对应的电压信号计算出二氧化碳浓度,补偿颗粒物对红外光吸收和散射效应的影响。
结合上述的技术方案和解决的技术问题,本发明所要保护的技术方案所具备的优点及积极效果为:
本发明与传统基于NDIR原理二氧化碳传感装置相比,将颗粒物测量模块作为外加的部分,与信号处理模块相连,用于检测待测气体中颗粒物质量浓度,将检测到的颗粒物质量浓度信号传递给信号处理模块,信号处理模块得到颗粒物质量浓度信号,反演出由于吸收和散射效应对测量波长消光值△I(mea)以及参考波长消光值△I(ref),与特定波长光强信号相加,补偿颗粒物浓度对红外光吸收和散射效应的影响得出二氧化碳气体浓度,降低颗粒物对二氧化碳气体浓度检测结果的影响,提高了二氧化碳浓度测量准确性。
本发明采用单光束双波长测量,一定程度上消除因光源抖动、光学器件污染、电路噪声等外界因素带来的浓度测量误差,有利于提高对二氧化碳浓度的检测精度和准确性,提高系统的可靠性。
本发明的技术方案填补了国内外业内技术空白:NDIR测量二氧化碳浓度的准确性和灵敏度受到温度、压力、相对湿度、其他干扰气体和颗粒物的强烈影响,现有技术已经通过硬件或软件补偿对温度、压力、相对湿度、其他干扰气体进行误差修正,目前颗粒物影响NDIR技术检测二氧化碳浓度精度的问题没有被解决。本发明提出对光强信号进行校正,消除了颗粒物对NDIR测量二氧化碳浓度的影响。
本发明的技术方案是否解决了人们一直渴望解决、但始终未能获得成功的技术难题:在利用NDIR技术测量二氧化碳气体浓度时,烟尘颗粒物对穿过其中的红外光会产生吸收和散射作用,导致红外光的衰减。红外光强误差对二氧化碳浓度检测影响较大,因此颗粒物导致的红外光强衰减会对二氧化碳检测精度产生较大的影响。本发明解决了颗粒物影响基于NDIR原理的二氧化碳传感装置测量精度的问题。
附图说明
图1是本发明实施例提供的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的结构原理图;
图2是传统NDIR原理二氧化碳气体传感装置测量框图;
图中:1、光源驱动电路;2、红外光源;3、进气口;4、出气口;5、光学气室;6、待测光滤波片;7、参考光滤波片;8、红外探测器;9、锁相放大器;10、A/D模数转换器;11、颗粒物测量模块;12、信号处理模块;13、输出模块。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
为了使本领域技术人员充分了解本发明如何具体实现,该部分是对权利要求技术方案进行展开说明的解释说明实施例。
如图1所示,为带有颗粒物补偿功能的NDIR二氧化碳传感装置原理图,包括光源驱动电路1、红外光源2、进气口3、出气口4、光学气室5、待测光滤波片6、参考光滤波片7、红外探测器8、锁相放大器9、A/D模数转换器10、颗粒物测量模块11、信号处理模块12以及输出模块13;
所述光源驱动电路用于驱动红外光源发出红外光;
所述红外光源采用MEMS红外光源,采用TO封装,内部为一个MEMS微热板,外部为铝合金材质的聚光杯,保证了红外光出射时的准直性。
所述光学气室是直通型气室;
所述待测光滤波片中心波长为4.26μm,对应于二氧化碳的吸收峰;
参考光滤波片中心波长为3.91μm,燃煤电厂尾气中的各种气体对于该波长的红外辐射无吸收。
所述锁相放大器用于将探测器输出的微弱信号去噪声放大,转换为与探测器原始输出信号幅值成线性关系的低噪声直流电压;
所述A/D模数转换器用于采集锁相放大器电路的输出电压,与信号处理模块相连;
所述颗粒物测量模块,直接获取燃煤电厂CEMS颗粒物质量浓度实时读数,在传感装置测量二氧化碳浓度的同时将颗粒物质量浓度信号传输给信号处理模块;
所述信号处理模块得到颗粒物质量浓度信号,由颗粒物质量浓度计算出由于吸收和散射效应对测量波长消光值△I(mea)以及参考波长消光值△I(ref),将△I(mea)与红外探测器测量得到的测量波长光强Iout(mea)相加得到测量波长光强I′out(mea).△I(ref)与红外探测器测量得到的参考波长光强Iout(ref)相加得到参考波长光强I′out(ref),由测量波长光强I′out(mea)与参考波长光强I′out(ref)反演得出二氧化碳浓度,补偿了颗粒物对红外光吸收和散射效应的影响。
所述输出模块输出二氧化碳气体浓度信息。
为了证明本发明的技术方案的创造性和技术价值,该部分是对权利要求技术方案进行具体产品上或相关技术上的应用实施例。
如图1所示,待测气体通过进气口进入气室;光源驱动电路驱动红外光源发出红外光;红外光通过光学气室,二氧化碳气体吸收特定波长红外光,红外探测器接收特定波长的红外光线,得到测量波长红外光被气体吸收后的强度Iout(mea),参考波长红外光经过气体区域后的输出光强Iout(ref),红外探测器将光信号转化为电压信号。颗粒物测量模块可以直接获取燃煤电厂CEMS颗粒物质量浓度实时读数并将信号传输给信号处理模块;信号处理模块由颗粒物质量浓度计算出由于吸收和散射效应对测量波长消光值△I(mea)以及参考波长消光值△I(ref);将测量波长消光值△I(mea)与红外探测器测量得到的测量波长光强Iout(mea)相加得到测量波长光强I′out(mea),参考波长消光值△I(ref)与红外探测器测量得到的参考波长光强Iout(ref)相加得到参考波长光强I′out(ref);信号处理模块根据修正后的测量波长光强I′out(mea)与参考波长光强I′out(ref)对应的电压信号计算出二氧化碳浓度,补偿颗粒物对红外光吸收和散射效应的影响。
本发明实施例在研发或者使用过程中取得了一些积极效果,和现有技术相比的确具备很大的优势,下面内容结合实验过程的数据、图表等进行描述。
如图2所示,为传统NDIR原理二氧化碳气体传感装置测量框图,主要包括光源驱动电路、红外光源、光学气室、红外探测器、放大器、模数转换器、信号处理模块以及输出模块组成。光源驱动电路用于驱动光源发出红外光,红外光通过光学气室,二氧化碳气体吸收特定波长红外光;红外探测器,用于接收特定波长的红外光线,并将输出信号传递给放大器;放大器将探测器输出的微弱信号去噪声放大;放大器、模数转换器、信号处理模块以及输出模块依次连接。当一束红外光线通过待测二氧化碳气体介质时,二氧化碳气体分子对红外光造成衰减,且光强衰减遵循朗伯-比尔定律(Lamber-Beer law),其表达式为:I=I0·e-KCL,对于特定的测量装置及环境条件,红外光光程L.二氧化碳气体吸收系数k为定值,通过测量红外光的入射光强I0和出射光强I之间的关系,可间接计算出待测二氧化碳气体的浓度C。在燃煤电厂环境中,煤炭等化石燃料的燃烧过程伴随着大量气体和烟尘颗粒物的产生。颗粒物对穿过其中的光会产生吸收和散射作用,导致光强信号的衰减,NDIR二氧化碳气体传感器易受到颗粒物的影响。
如图1所示,带有颗粒物补偿功能的NDIR二氧化碳气体传感器具有颗粒物自动补偿功能,在传感器检测二氧化碳浓度的同时颗粒物测量装置获得颗粒物质量浓度以修正二氧化碳浓度。
颗粒物对NDIR二氧化碳传感器的影响,本质上来说是由于颗粒物对光的吸收和散射效应,当一束光穿过含尘气流时,气流中的颗粒物与光束相互作用产生吸收和散射,散射光向四面八方传播,偏离了原来的传播的方向;透射光与原光束传播方向相同,但是强度上由于颗粒对光束的散射和吸收效应发生了衰减,颗粒物对光束的消光遵从朗伯-比尔定律:I=I0e-τL,式中I是透射光的强度,I0是入射光的光强,τ是待测气体的浊度,与颗粒物自身的特性以及浓度有关,L为光束经过的光程。燃煤烟尘颗粒物一般是实心球体颗粒,烟囱中部采样得到的烟尘颗粒物中,质量中值粒径小于5μm的烟尘颗粒基本是球形。假设被测颗粒是球形颗粒,在介质中的分布满足不相干的单散射,则颗粒系总的浊度为:σ是颗粒系的迎光面积,λ为入射光的波长,m是颗粒相对周围介质的相对复折射率,Kext是颗粒的消光系数,无量纲尺寸因α=mπd/λ,θ即为监测点所在的散射角,an和bn是与散射颗粒无量纲尺寸因子α和折射率密切相关的函数,可由递推公式求出。由上式可以看出,Kext与被测颗粒的粒径D.颗粒相对周围介质的相对复折射率m和入射光的波长λ有关。在实际工业测量中,因为通常被监测的颗粒大多不是单分散系的颗粒,都是多分散系颗粒,具有一定的尺寸分布,则τ的表达式为:代入朗伯-比尔定律:I=I0e-τL可得:N(D)可以是颗粒系的尺寸分布函数,或者说是颗粒系的频率分布函数,大量研究表明在无量纲尺寸因子α较小的时候,用等效平均消光系数Km来代替颗粒系的消光系数产生的误差很小,同样的用等效平均直径D32来代替被测颗粒系的粒径分布,入射光和出射光的表达式就可以转化为颗粒系质量浓度的公式为:两式结合可以得到:在测量二氧化碳浓度的同时,通过CEMS可以读出颗粒物质量浓度,测量二氧化碳浓度采用的MEMS红外光源属于宽带光源,多波长光源作为入射光,有可能造成两种光波散射效应的互相影响,形成相干涉的复散射,但是在颗粒特性一定时,粒径已知,等效平均直径D32可以求得,消光系数Kext可以通过标定得到,依然可以通过上述公式由颗粒物质量浓度反演出由于吸收和散射效应对测量波长以及参考波长的总消光值。
如图1所示,所述带有颗粒物补偿功能的NDIR二氧化碳传感装置采用单光束双波长的方法测量二氧化碳浓度,对于测量波长的红外光,可以被待测气体强吸收,红外光由光源发出后经过长度为L的吸收区域,可由朗伯-比尔定律得:Iout(mea)=Iin(mea)e-k(mea)cl式中,Iin(mea)为测量波长的红外光由红外光源发出时的强度,Iout(mea)为测量波长的红外光被气体吸收后的强度。对于参考波长的红外光经过气体区域后,输出红外光强为:Iout(ref)=Iin(ref)e-k(ref)cl,式中,Iin(ref)为参考波长的红外光由光源发出时的强度,Iout(ref)为参考波长红外光经过气体区域后的输出光强。由于测量通道与参考通道的红外光为同一红外光源发出,且在同一环境下通过气体区域,所以可以认为两者的光强相似,即Iin(mea)=Iin(ref),接着,将两式相除,整理可得:由式可知只需要监测测量波长与参考波长的输出光强信息:Iout(mea)与Iout(ref),便可以反演出所测气体的浓度信息。
在存在颗粒物的情况下,红外光源发出的红外光由于颗粒物的散射和吸收效应强度会发生衰减,红外探测器接收到测量波长和参考波长红外光强信号得到信号衰减值至少包括两部分,一部分是由于二氧化碳对特定波长红外光的吸收,另外一部分是颗粒物对红外光的散射和吸收。在燃煤电厂环境中,煤炭等化石燃料的燃烧过程伴随着大量气体和烟尘颗粒物的产生,颗粒物质量浓度越高,引起的消光作用就越明显,颗粒物引起的测量误差越大,理论上来说颗粒物存在的情况下二氧化碳浓度测量值会偏高。
因此,本发明引入颗粒物检测模块,在燃煤电厂实际应用中可从CEMS模块实时读出颗粒物质量浓度,实时颗粒物质量浓度可以反演出由于吸收和散射效应对测量波长4.26μm消光值△I(mea)以及参考波长3.91μm消光值△I(ref),颗粒物质量浓度和消光值△I(mea),△I(ref)一一对应,在信号处理模块将△I(mea)与Iout(mea)相加得到测量波长光强I′out(mea).△I(ref)与Iout(ref)相加得到参考波长光强I′out(ref),再由修正后的测量波长光强I′out(mea)与参考波长光强I′out(ref)反演得出二氧化碳浓度,这样就根据颗粒物质量浓度补偿了由于颗粒物对光的吸收和散射效应引起的光衰减,使二氧化碳吸收特定波长红外光引起的衰减更接近真实值,最后由输出模块输出经颗粒物补偿后的二氧化碳浓度值。
本发明提供的基于NDIR原理具有颗粒物浓度补偿功能的二氧化碳传感装置将颗粒物测量模块作为外加的部分,通过颗粒物测量模块得到实时颗粒物质量浓度信号,由颗粒物质量浓度计算出由于吸收和散射效应对测量波长消光值△I(mea)以及参考波长消光值△I(ref),分别与测量波长光强Iout(mea)和参考波长光强Iout(ref)相加,由修正后的测量波长光强和参考波长光强对应的电压信号计算出二氧化碳浓度,使得所测二氧化碳浓度不受颗粒物浓度的影响。
应当注意,本发明的实施方式可以通过硬件、软件或者软件和硬件的结合来实现。硬件部分可以利用专用逻辑来实现;软件部分可以存储在存储器中,由适当的指令执行系统,例如微处理器或者专用设计硬件来执行。本领域的普通技术人员可以理解上述的设备和方法可以使用计算机可执行指令和/或包含在处理器控制代码中来实现,例如在诸如磁盘、CD或DVD-ROM的载体介质、诸如只读存储器(固件)的可编程的存储器或者诸如光学或电子信号载体的数据载体上提供了这样的代码。本发明的设备及其模块可以由诸如超大规模集成电路或门阵列、诸如逻辑芯片、晶体管等的半导体,或者诸如现场可编程门阵列、可编程逻辑设备等的可编程硬件设备的硬件电路实现,也可以用由各种类型的处理器执行的软件实现,也可以由上述硬件电路和软件的结合例如固件来实现。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,凡在本发明的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种基于NDIR原理的二氧化碳传感装置,其特征在于,所述基于NDIR原理的二氧化碳传感装置包括:
光源驱动电路用于驱动红外光源发出红外光;
红外探测器用于接收特定波长的红外光线,并将输出信号传递给锁相放大器;
锁相放大器用于将探测器输出的微弱信号去噪声放大,转换为与探测器原始输出信号幅值成线性关系的低噪声直流电压;
A/D模数转换器与信号处理模块相连,用于采集锁相放大器电路的输出电压;
颗粒物测量模块用于测量颗粒物质量浓度并将信号传输给信号处理模块;
信号处理模块用于进行数据处理。
2.如权利要求1所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置,其特征在于,所述红外探测器与红外光源同轴安装。
3.如权利要求1所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置,其特征在于,所述红外光源采用MEMS红外光源,采用TO封装,内部为一个MEMS微热板,外部为铝合金材质的聚光杯,保证了红外光出射时的准直性。
4.如权利要求1所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置,其特征在于,所述待测光滤波片中心波长为4.26μm,参考光滤波片中心波长为3.91μm。
5.如权利要求1所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置,其特征在于,所述光学气室是直通型气室。
6.如权利要求1所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置,其特征在于,所述基于NDIR原理的二氧化碳传感装置还包括输出模块,信号处理模块与输出模块连接,输出模块用于输出二氧化碳气体浓度信息。
7.一种用于权利要求1~6任意一项所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的控制方法,其特征在于,包括:
步骤一,给基于NDIR原理的二氧化碳传感装置通电,待测气体通过进气口进入气室;光源驱动电路驱动红外光源发出红外光;
步骤二,红外光通过光学气室,二氧化碳气体吸收特定波长红外光,红外探测器接收特定波长的红外光线,得到测量波长红外光被气体吸收后的强度Iout(mea),参考波长红外光经过气体区域后的输出光强Iout(ref),红外探测器将光信号转化为电压信号;
步骤三,颗粒物测量模块测量颗粒物质量浓度并将信号传输给信号处理模块;
步骤四,信号处理模块得到颗粒物质量浓度信号,由颗粒物质量浓度计算出由于吸收和散射效应对测量波长消光值△I(mea)以及参考波长消光值△I(ref);
步骤五,测量波长消光值△I(mea)与红外探测器测量得到的测量波长光强Iout(mea)相加得到测量波长光强I′out(mea),参考波长消光值△I(ref)与红外探测器测量得到的参考波长光强Iout(ref)相加得到参考波长光强I′out(ref);
步骤六,信号处理模块根据修正后的测量波长光强I′out(mea)与参考波长光强I′out(ref)对应的电压信号计算出二氧化碳浓度,补偿颗粒物对红外光吸收和散射效应的影响。
8.一种计算机设备,其特征在于,所述计算机设备包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,所述计算机程序被所述处理器执行时,使得所述处理器执行如权利要求7所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的控制方法的步骤。
9.一种计算机可读存储介质,存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时,使得所述处理器执行如权利要求7所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的控制方法的步骤。
10.一种信息数据处理终端,其特征在于,所述信息数据处理终端用于实现如权利要求7所述的基于NDIR原理的二氧化碳传感装置的控制方法的步骤。
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CN202211462365.7A CN116046708A (zh) | 2022-11-22 | 2022-11-22 | 一种基于ndir原理的二氧化碳传感装置及其控制方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN117191654A (zh) * | 2023-08-03 | 2023-12-08 | 山东科技大学 | 基于红外吸收原理的粉尘爆炸浓度测定装置及测定方法 |
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2022
- 2022-11-22 CN CN202211462365.7A patent/CN116046708A/zh active Pending
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