CN115913166A

CN115913166A - 一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器

Info

Publication number: CN115913166A
Application number: CN202211367407.9A
Authority: CN
Inventors: 赵娟; 田熙; 魏子杰
Original assignee: Chengdu Xinshicheng Microelectronics Co ltd
Current assignee: Chengdu Xinshicheng Microelectronics Co ltd
Priority date: 2022-11-03
Filing date: 2022-11-03
Publication date: 2023-04-04

Abstract

本申请提供一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器，用于解决现有技术中的声表面波谐振器会产生横向谐振模的技术问题。其中的一种声表面波谐振器，包括：衬底；压电层，设置在所述衬底的上表面；叉指换能器，设置在所述压电层的上表面，其中，所述叉指换能器包括第一子叉指换能器、第二子叉指换能器以及第三子叉指换能器，所述第一子叉指换能器和所述第三子叉指换能器设置在所述第二子叉指换能器的两侧，所述第二子叉指换能器的汇流条与声波传播方向平行，所述第一子叉指换能器的汇流条与所述第二子叉指换能器的汇流条之间呈第一预设角度，所述第三子叉指换能器的汇流条与所述第二子叉指换能器的汇流条之间呈第二预设角度。

Description

一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器

技术领域

本申请涉及半导体领域，具体涉及一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器。

背景技术

移动通信领域的快速发展离不开射频前端器件的不断进步，而声表面波器件作为射频前端的重要组成部分，对整个领域的发展都起着至关重要的作用。近年来，随着第五代移动通信(5^th Generation Mobile Networks,5G)标准的制定以及产品的快速普及，滤波器的需求量显著提升。其中，声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)滤波器是移动终端应用最广泛的滤波器，且随着移动终端模块化程度地不断升高，对声表面波滤波器也提出了小型化、高性能等更高的要求。

为满足上述更高的性能要求，则出现了应用薄膜压电材料的声表面波谐振器，利用这种技术路线可以实现低插损，高品质因数Q以及具有低的温度频率特性的滤波器设计。但是该类型的声表面波谐振器会因为一些原因，在激发所需要的声表面波的同时还会激发出一些横向谐振模，通常这些横向谐振模是需要避免的。因此，现有技术中的声表面波谐振器会产生横向谐振模的技术问题。

发明内容

本申请的目的是提供一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器，以解决现有技术中的声表面波谐振器会产生横向谐振模的技术问题。

第一方面，本申请提供一种声表面波谐振器，包括：

衬底；

压电层，设置在所述衬底的上表面；

叉指换能器，设置在所述压电层的上表面，其中，所述叉指换能器包括第一子叉指换能器、第二子叉指换能器以及第三子叉指换能器，所述第一子叉指换能器和所述第三子叉指换能器设置在所述第二子叉指换能器的两侧，所述第二子叉指换能器的汇流条与声波传播方向平行，所述第一子叉指换能器的汇流条与所述第二子叉指换能器的汇流条之间呈第一预设角度，所述第三子叉指换能器的汇流条与所述第二子叉指换能器的汇流条之间呈第二预设角度。

在本申请中，由于第一子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第一预设角度，第三子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第二预设角度，也就是改变了叉指换能器的叉指电极中的至少部分指条孔径，以使多个指条孔径中至少部分指条孔径不同，从而能够抑制横向谐振模。同时在本申请中，第二子叉指换能器的汇流条与声波传播方向平行，这样则保证了声表面波谐振器的有效谐振面积，从而能够保证声表面波谐振器的Q值不受影响，所以通过本申请提供的技术方案，在能够实现在抑制横向谐振模的同时保证了声表面波谐振器的Q值。

在一个可能的设计中，所述第二子叉指换能器的叉指电极对数与总叉指电极对数的比值大于或等于五分之一且小于或等于五分之四。

在本申请中，为保证声表面波谐振器的Q值不受影响，从而将第二子叉指换能器的叉指电极对数设置为总叉指电极对数的五分之一至五分至四。

在一个可能的设计中，所述第一子叉指换能器的叉指电极对数与所述第三子叉指换能器的叉指电极对数相同，或所述第一子叉指换能器的叉指电极对数与所述第三子叉指换能器的叉指电极对数不同。

在本申请中，第一子叉指换能器的叉指电极对数与第三子叉指换能器的叉指电极对数相同，也就是第一子叉指换能器和第三子叉指换能器的均分除第二子叉指换能器的叉指电极对数外的剩余叉指电极对数。

第一子叉指换能器的叉指电极对数与第三子叉指换能器的叉指电极对数不同，也就是第一子叉指换能器的叉指电极对数大于第三子叉指换能器的叉指电极对数，或者是第一子叉指换能器的叉指电极对数小于第三子叉指换能器的叉指电极对数。

在一个可能的设计中，所述第一预设角度与所述第二预设角度不同。

在一个可能的设计中，所述第一预设角度和所述第二预设角度均大于零度且小于或等于20度。

在一个可能的设计中，所述叉指换能器还包括：第一反射栅和第二反射栅，其中，所述第一反射栅设置在所述第一子叉指换能器的一侧，所述第二反射栅设置在所述第三子叉指换能器的一侧，所述第一反射栅和所述第二反射栅的电极周期小于所述叉指换能器的叉指电极的周期。

在本申请中，反射栅的电极周期小于叉指换能器的叉指电极的周期，也就是减小反射栅的电极周期，提高反射栅电极的反射频率区间，能够实现进一步提高抑制横向谐振模的技术效果。

在一个可能的设计中，所述叉指换能器中的任一子叉指换能器包括沿汇流条交替排布的多个指条与假指，多个指条与假指一一对应，且每一对指条与假指之间具有间隙。

在本申请中，任一叉指换能器的叉指电极包括指条与假指，指条与假指之间具有间隙，能够实现进一步提高抑制横向谐振模的技术效果。

在一个可能的设计中，所述声表面波谐振器还包括声反射结构，设置在所述衬底与所述压电层之间。

在本申请中，在衬底与压电层之间设置有声放射结构，从而能够抑制声表面波在体方向泄露，从而能够提高声表面波谐振器的Q值。

第二方面，本申请提供一种声表面波滤波器，包括：至少一个串联谐振器和至少一个并联谐振器，其中，所述至少一个串联谐振器和/或所述至少一个并联谐振器为上述第一方面和任一可能的设计中所述的声表面波谐振器。

本申请提供的声表面波滤波器的有益效果与上述声表面波谐振器的有益效果相同，在此不再赘述。

第三方面，本申请提供一种双工器，包括：发送滤波器和接收滤波器，其中，所述发送滤波器和/或所述接收滤波器为上述第二方面所述声表面波滤波器。

本申请提供的双工器的有益效果与上述声表面波谐振器及声表面波滤波的有益效果相同，在此不再赘述。

除了上面所描述的本申请解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本申请提供的声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。

附图说明

图1为现有技术中的叉指换能器的结构示意图；

图2A-图2B为现有技术中的能够抑制横向谐振模的叉指换能器的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的一种叉指换能器的结构示意图；

图4A-图4C为本申请实施例提供的另一种叉指换能器的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的带有反射栅的叉指换能器的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的带有假指的叉指换能器的结构示意图；

图7A-图7C是本申请实施例提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的具体结构示意图以及对应的S参数曲线对比图；

图8A-图8B是本申请实施例提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的具体结构示意图以及对应的S参数曲线对比图；

图9A-图9C是本申请实施例提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的具体结构示意图以及对应的Q值对比图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

以下，对本申请实施例中的部分用于进行解释说明，以便于本领域技术人员理解。

(1)SAW谐振器，通常包括衬底、压电层、叉指换能器(Interdigital transducer，IDT)。SAW谐振器通常包括单端口和双端口两种类型，此处以单端口为例，单端口的SAW谐振器的叉指换能器的结构示意图请参见图1，叉指换能器包括相对平行设置的两个汇流条，以及沿汇流条交替排布的叉指电极，交替排布的相邻两个叉指电极称为一对，一对叉指电极的重合部分称为叉指换能器的声孔径，叉指换能器总的叉指电极对数与声孔径以及叉指电极的占空比相关，其中，若叉指电极的宽度用a表示，叉指电极之间的间距用p表示，叉指电极的占空比则为a/(a+p)。

(2)本申请实施例中的术语“多个”是指两个或两个以上，鉴于此，本申请实施例中也可以将“多个”理解为“至少两个”；“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在背景技术的描述中提到，目前的声表面波谐振器会因为某些原因产生横向谐振模，作为示例，为了降低声表面波谐振器的温度系数，通常在压电层下沉积一层和压电层温度系数相反的温度补偿层，为了使声表面波谐振器达到良好的温度补偿效果，需要对压电层进减薄。然而，当压电层的厚度与在声表面波谐振器中传播的声波波长λ接近时，声表面波谐振器会激发出更加复杂的声波模式，使得声表面波谐振器内的声波传播方向与声表面波谐振器的指条排列方向产生较大的偏角，又或者是因为波衍射，声表面波可能在偏离指条排列方向传播，即声波不再仅沿着指条排列方向传播，而是产生一个横向分量，这个横向分量在不加干扰的情况下会产生横向谐振模。

目前，抑制上述横向谐振模通常有两种方式，一种是在叉指电极的末端增加一种活塞结构，也就是小锤结构，具体请参见图2A。增加这种结构之后，破坏了横向模的谐振条件，能够对谐振区域内的横向谐振模实现一定的抑制，且不影响谐振器的Q值。但此方法对横向谐振模无法完全抑制，在谐振区域内仍存在一些残留的横向谐振模，其中，谐振区域就是指叉指电极重叠的区域。

另一种方式是将叉指换能器沿着声表面波的传播方向进行一定角度的倾斜，具体请参见图2B。这种抑制杂波的方法同样是破坏横向模的谐振条件，此抑制方法对谐振区域内的横向谐振模有较好的抑制效果，谐振区域内几乎无残存的横向谐振模，但此方法会降低谐振器的Q值。所以，现有技术中的声表面波谐振器存在无法在抑制杂波的同时保证声表面波谐振器的Q值不受影响的技术问题。

本申请实施例中，第一子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第一预设角度，第三子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第二预设角度，改变了叉指电极中的至少部分指条孔径，以使多个指条孔径中至少部分指条孔径不同，从而能够抑制声表面波谐振器的横向谐振模。同时在本申请中，第二子叉指换能器的汇流条与声波传播方向平行，这样则保证了声表面波谐振器的有效谐振面积，从而能够保证声表面波谐振器的Q值不受影响。所以通过本申请提供的技术方案，能够实现在抑制横向谐振模的同时保证声表面波谐振器的Q值不受影响。

为解决上述技术问题，并使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请的实施方式作进一步的详细描述。

本申请设计的声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器能够应用于民用领域，例如基站设备、终端设备、汽车、物联网、无线路由器、无人机或者其它设备。其中，终端设备可以是智能手机，可以是智能可穿戴设备，智能可穿戴设备可以是智能手表、智能手环等。当然本申请设计的声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器也能够应用于军用领域，例如数据链、导航、单兵电台、雷达、导弹、卫星通信等。

第一方面，为本申请提供的一种声表面波谐振器，包括：

衬底；

压电层，设置在所述衬底的上表面；

在本申请中，衬底的材料可以是硅Si、氮化镓GaN、砷化镓GaAs、金刚石C、玻璃、碳化硅SiC、蓝宝石(Saphire)等。

衬底包括上表面以及与上表面对应的下表面，在本申请中，在衬底的上表面形成压电层。在具体实现过程中，可以通过离子注入剥离(crystal ion slicing，CIS)的方式形成，也可以是通过键合减薄的方式形成，或者通过其它方式形成，在此不做限制。其中，压电层的材料可以是氮化铝AlN、GaN、锆钛酸铅PZT、铌酸钾KNbO₃、钽酸锂LiTaO₃，或者铌酸锂LiNbO₃等。压电层的形状、尺寸与衬底的形状、尺寸相同。

在介绍完衬底和压电层之后，则接着介绍设置在压电层上的叉指换能器，通常情况下，在叉指电极的结构为图1所示的结构时，使用该叉指电极结构的声表面波谐振器容易激发横向谐振模。

为抑制横向谐振模的激发，在本申请实施例中，叉指换能器包括第一子叉指换能器、第二子叉指换能器以及第三子叉指换能器。第一子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条呈第一预设角度，第三子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第二预设角度，具体请参见图3，其中，所述第一预设角度与所述第二预设角度不同，所述第一预设角度和所述第二预设角度均大于零度且小于或等于20度。

第一预设角度与第二预设角度不同可以包括如下几种情况：

(1)第一预设角度与第二预设角度互补。作为示例，第一预设角度为10°，第二预设角度为170°。

在该情况下，在第二预设角度为170°时，第二预设角度可以是以第二子叉指换能器的汇流条的右侧端点为原点，延长线为一边，逆时针旋转170°，也可以是以第二子叉指换能器的汇流条的右侧端点为原点，延长线为一边，顺时针方向旋转170°，具体请参见图3、图4A。

(2)第一预设角度与第二预设角度之和不等于180°。作为示例，第一预设角度为10°，第二预设角度为175°。

在该情况下，第二预设角度为175°时，第二预设角度可以是以第二子叉指换能器的汇流条的右侧端点为原点，延长线为一边，逆时针旋转175°，也可以一是以第二子叉指换能器的汇流条的右侧端点为原点，延长线为一边，顺时针方向旋转175°，具体请参见图4B、图4C。

本申请提供的技术方案中，第一子叉指换能器的汇流条与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第一预设角度，第三子叉指换能器与第二子叉指换能器的汇流条之间呈第二预设角度，改变了相较于图1所示的叉指换能器的结构，也就是改变了叉指电极中的至少部分指条孔径，以使多个指条孔径中至少部分指条孔径不同，从而能够抑制横向谐振模。同时，由于第二子叉指换能器的汇流条与声表面波的传播方向平行，保证了声表面波谐振器的有效谐振面积，从而能够保证声表面波谐振器的Q值不受影响。所以，通过本申请提供的技术方案，能够实现在抑制横向谐振器模的同时保证声表面波谐振器的Q值不受影响技术效果。

进一步，本申请实施例提供的技术方案不仅能够实现上述技术效果，且本申请提供的技术方案相较于在叉指电极末端设置活塞结构的技术方案来说，制备工艺上较为简单，这是因为，在光刻技术领域，无法保证在叉指电极末端设置的活塞结构具有理想的形状，作为示例，活塞结构是一个宽度宽于指条宽度的长方形结构，该长方形结构设置在指条的末端，与指条形成一个小锤结构。那么在光刻出的活塞结构的形状无法保证的情况下，对应的声表面波谐振器对横向谐振模的抑制效果也无法得到保证。因此，通过本申请提供的技术方案，在能够抑制横向谐振模的同时还能够简化制备工艺。

在上述描述中也提到叉指换能器的叉指对数，以及叉指对数设置的相关因素，那么接下来则结合本申请中的叉指换能器的结构来具体描述各子叉指换能器包括的叉指电极对数。在本申请实施例中，所述第二子叉指换能器的叉指电极对数与总叉指电极对数的比值大于或等于五分之一且小于或等于五分之四。

在本申请实施例中，第二子叉指换能器的叉指电极对数占总叉指电极对数的五分之一至五分之四，以保证叉指换能器的有效谐振面积，从而保证声表面波谐振器在抑制横向谐振模的同时保证声表面波谐振器的Q值不受影响。在具体实现过程中，以叉指换能器的总叉指电极对数是100对为例，则第二子叉指换能器的叉指电极对数为20对～80对。

上面介绍的是第二子叉指换能器的叉指电极对数，下面则介绍第一子叉指换能器和第三子叉指换能器的叉指电极对数。所述第一子叉指换能器的叉指电极对数与所述第三子叉指换能器的叉指电极对数相同，或所述第一子叉指换能器的叉指电极对数与所述第三子叉指换能器的叉指电极对数不同。

继续沿用上述举例，第一子叉指换能器的叉指电极对数与第三子叉指换能器的叉指电极对数相同。作为示例，在第二子叉指换能器的叉指电极对数为40对时，第一子叉指换能器的叉指电极对数与第三子叉指换能器的叉指电极对数相同，均为30对；第一子叉指换能器的叉指电极对数与第三子叉指换能器的叉指电极对数不同，作为示例，第一子叉指换能器的叉指电极对数为25对，第三子叉指换能器的叉指电极对数为35对，或者，第一子叉指换能器的叉指电极对数为35对，第三子叉指换能器的叉指电极对数为25对，本领域普通技术人员可以根据实际需要进行设置，在此不做限制。

在本申请实施例中，请参见图5，叉指换能器还包括：第一反射栅和第二反射栅，其中，所述第一反射栅设置在所述第一子叉指换能器的一侧，所述第二反射栅设置在所述第三子叉指换能器的一侧，所述第一反射栅和所述第二反射栅的电极周期小于所述叉指换能器的叉指电极的周期。

在本申请中，通过减少反射栅的电极周期，可以提高反射栅电极的反射频率区间，从而能够进一步抑制杂散，以提高声表面波谐振器的性能。

在具体实现过程中，第一反射栅的电极周期小于叉指电极周期，第二反射栅的电极周期小于叉指电极周期，第一反射栅的电极周期与叉指电极周期的比值在(0.8，1]，第二反射栅的电极周期与叉指电极周期的比值在(0.8，1]，其中，第一反射栅的电极周期可以与第二反射栅的电极周期相同，第一反射栅的电极周期也可以与第二反射栅的电极周期不同。作为示例，第一反射栅的电极周期与叉指换能器的叉指电极周期的比值为0.85，第二反射栅的电极周期与叉指换能器的叉指电极周期的比值为0.9，或者第一反射栅的电极周期与叉指换能器的叉指电极周期的比值为0.9，第二反射栅的电极周期与叉指换能器的叉指电极周期的比值为0.85。

上面介绍了反射栅的电极周期和叉指电极周期之间的关系，下面则进一步介绍叉指换能器中叉指电极的情况，请参见图6，所述叉指换能器中的任一子叉指换能器包括沿汇流条交替排布的多个指条与假指，多个指条与假指一一对应，且每一对指条与假指之间具有间隙。

在本申请实施例中，叉指换能器中的任一子叉指换能器包括沿汇流条交替排布的多个指条与假指，继续沿用上述举例，若第二子叉指换能器包括30对叉指电极，则每一对叉指电极包括第一叉指电极和第二叉指电极，第一叉指电极包括第一指条和第一假指，第二叉指电极包括第二指条和第二假指，其中，第一指条与第二子叉指换能器的第一汇流条连接，第一假指与第二子叉指换能器的第二汇流条连接，对应的第二假指与第一汇流条连接，第二指条与第二汇流条连接，通过假指的设置，可以提高声表面波谐振器的Q值。

进一步，任一叉指电极包括的指条与对应的假指之间具有间隙，作为示例，间隙小于0.5λ，其中，λ为声表面波谐振器激发的声表面波的波长。

下面接着介绍声表面波谐振器的结构，在本申请中声表面波谐振器还包括声反射结构，设置在所述衬底与所述压电层之间。

在具体实现过程中，声反射结构可以是布拉格反射层，布拉格反射层可以是由高低声阻抗层交替排列形成，也可以是由高低声速层交替排列形成的。通过设置声反射结构，可以将声表面波沿体方向泄露的波反射回去，以提高声表面波谐振器的Q值。

下面以三个具体的示例的对比分析，对本申请实施例提供的声表面波谐振器所能实现的技术效果进行示例说明。

示例的，图7C为本申请提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的S参数对比图。本申请提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的区别在于叉指电极的结构不同，现有技术中的声表面波谐振器的叉指换能器的结构可以参见图7A，叉指电极的对数为100对。本申请提供的声表面波谐振器的叉指换能器的结构可以参见图7B，总叉指电极对数为100对，第一子叉指换能器的叉指电极对数为30对，第二子叉指换能器的叉指电极对数为40对，第三子叉指换能器的叉指电极对数为30对。请继续参见图7C，黑色的实线表示的是现有技术中的声表面波谐振器的实测S参数图，灰色虚线表示的现有技术中的声表面波谐振器的实测S参数图。从图7C中可以看出，在频率区间1.890吉赫兹(GHz)～1.972GHz范围内，灰色虚线基本是平滑的，而黑色实现具有一些锯齿状的波动，所以本申请提供的声表面波谐振器相较于现有技术中的声表面波谐振器具有较好的横向谐振模的抑制效果。

示例的，图8B为本申请提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的S参数对比图。本申请提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的区别在于叉指电极的结构不同，现有技术中的声表面波谐振器的叉指换能器的结构可以参见图8A，叉指电极的对数为100对。本申请提供的声表面波谐振器的叉指换能器的结构图可以参见图7B，总叉指电极对数为100对，第一子叉指换能器的叉指电极对数为30对，第二子叉指换能器的叉指电极对数为40对，第三子叉指换能器的叉指电极对数为30对。请继续参见图8B，图8B中，两条曲线，也就是黑色曲线表示的是现有技术中的声表面波谐振器的S参数曲线图，灰色曲线表示的是现有技术中的声表面波谐振器的S参数曲线图，在图8B中，点m4-m5的区间内基本重合，这就表明本申请提供的声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果相当于现有技术中的声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。

示例的，图9A为本申请提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的Q值对比图。本申请提供的声表面波谐振器与现有技术中的声表面波谐振器的区别在于叉指电极的结构不同，现有技术中的声表面波谐振器的叉指换能器的结构可以参见图8B，叉指电极的对数为100对，本申请提供的声表面波谐振器的叉指换能器的结构可以参见图7B，总叉指电极对数为100对，第一子叉指换能器的叉指电极对数为30对，第二子叉指换能器的叉指电极对数为40对，第三子叉指换能器的叉指电极对数为30对。图9A中的实线表示的是本申请提供的声表面波谐振器的Q值曲线，用Q4表示，图9A中的虚线表示的是现有技术中的声表面波谐振器的Q值曲线，用Q表示，从图像可以看出，在频率1.889GHz处，实线上对应m2点的Q值高于虚线上对应m3点的Q值，在频率1.976GHz处，实线上对应m7点的Q值高于虚线上对应m8点的Q值。为了更清楚的对比本申请提供的声表面波谐振器和现有技术中的声表面波谐振器的Q值，则将两者的Q值曲线分别独立展示，具体请参见图9B和图9C。

基于上面的具体示例也可以看出本申请提供的声表面波谐振器在抑制横向谐振模的同时能够保证Q值不受影响。

第二方面，本申请还提供一种声表面波滤波器，包括至少一个串联谐振器和至少一个并联谐振器，其中，所述至少一个串联谐振器和/或所述至少一个并联谐振器为第一方面所述的声表面波谐振器。

第三方面，本申请还提供一种双工器，包括发送滤波器和接收滤波器，其中，所述接收滤波器和/或所述发送滤波器为第二方面所述的声表面波滤波器。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：

衬底；

压电层，设置在所述衬底的上表面；

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第二子叉指换能器的叉指电极对数与总叉指电极对数的比值大于或等于五分之一且小于或等于五分之四。

3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一子叉指换能器的叉指电极对数与所述第三子叉指换能器的叉指电极对数相同，或所述第一子叉指换能器的叉指电极对数与所述第三子叉指换能器的叉指电极对数不同。

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一预设角度与所述第二预设角度不同。

5.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一预设角度和所述第二预设角度均大于零度且小于或等于20度。

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器还包括：第一反射栅和第二反射栅，其中，所述第一反射栅设置在所述第一子叉指换能器的一侧，所述第二反射栅设置在所述第三子叉指换能器的一侧，所述第一反射栅和所述第二反射栅的电极周期小于所述叉指换能器的叉指电极的周期。

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器中的任一子叉指换能器包括沿汇流条交替排布的多个指条与假指，多个指条与假指一一对应，且每一对指条与假指之间具有间隙。

8.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器还包括：

声反射结构，设置在所述衬底与所述压电层之间。

9.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：至少一个串联谐振器和至少一个并联谐振器，其中，所述至少一个串联谐振器和/或所述至少一个并联谐振器为权利要求1-8任一项所述的声表面波谐振器。

10.一种双工器，其特征在于，包括：发送滤波器和接收滤波器，其中，所述发送滤波器和/或所述接收滤波器为权利要求9所述声表面波滤波器。