CN115832852A - 一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统及调谐方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种重复频率差宽带可调谐的微腔多光梳系统及重复频率调谐方法，解决了现有微腔孤子光频梳重复频率以及微腔多光梳系统重复频率差调谐困难的问题。该系统及方法采用单泵浦或双泵浦方案产生多套微腔孤子光频梳，监测多套孤子光频梳的重复频率和重复频率差，基于微腔的热光效应，通过一套负反馈系统和温度控制模块对微腔进行温控，实现微腔自由光谱范围的变化，进而实现重复频率的变化。该系统和方法可以实现光频梳重复频率快速、高效、灵活地调谐，对推动微腔孤子光频梳在精密测量领域的应用具有重要意义。

Description

一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统及调谐方法

技术领域

本发明属于微腔光学频率梳技术领域，具体涉及一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统及调谐方法。

背景技术

光学频率梳(简称“光频梳”)以其优异的时频特性促进了精密测量领域的发展。基于传统锁模激光器或电光调制产生的光频梳一般重复频率较低、体积庞大且价格昂贵，不利于广泛应用。而新兴的基于克尔效应的微腔光频梳具有重复频率高、重量轻且易于片上集成等特点，可以解决传统光频梳所面临的困难，有望成为未来光频梳产生的主要技术方案。

自2007年首次在微盘腔中实现了宽带克尔光频梳以来，国内外科研人员开展了大量的研究工作，开发了多种产生孤子光频梳的实验技术，并先后在多种材料平台上实现了孤子光频梳，其波长范围覆盖了从可见光到中红外波段。伴随着微腔孤子光频梳产生技术的发展，基于微腔孤子光频梳在相干光通信、光学频率合成、量子密钥分发、精密测距、双光梳光谱等方面的应用研究也陆续展开。作为微腔孤子光频梳应用的一个分支，微腔双光梳系统为高速精密测距和精密光谱测量提供了诸多便利。例如：利用双光梳时域异步采样进行高速精密测距；利用重复频率略有不同的双光梳扩展色散干涉法测距的非模糊距离；利用双光梳进行气体传感研究等。

上述双光梳系统中存在的一个问题是：当两套孤子光频梳产生后，其重复频率和重复频率差便随之确定，并不再发生变化，而重复频率和重复频率差完全由工艺误差决定，难以人为灵活调控。在工艺误差难以改善的情况下，要想选择合适的重复频率和重复频率差，需要大量搜寻合适的两个微腔，这样会导致过程非常繁琐，且随机性较大，不利于其在精密测量方面的现实应用。因此，要实现微腔孤子光频梳的灵活应用，需要提出一种重复频率和重复频率差可以人为调控的技术方案。

发明内容

本发明的目的是解决现有微腔孤子光频梳重复频率和微腔多光梳系统重复频率差调谐困难的问题，而提供一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统及调谐方法。该系统和方法可以实现光频梳重复频率快速、高效、灵活地调谐，对推动微腔孤子光频梳在精密测量领域的应用具有重要意义。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特殊之处在于：包括微腔孤子光频梳发生模块、重复频率监测模块、负反馈模块和温度控制模块；

所述微腔孤子光频梳发生模块包括至少两个微腔孤子光频梳发生器，用于产生孤子光频梳；

所述每个微腔孤子光频梳发生器的输出端分为两路，其中一路通过保偏光纤合束并输出，另一路与重复频率监测模块的输入端连接；

所述重复频率监测模块用于监测每个微腔孤子光频梳发生器输出光频梳的重复频率，以及多个光频梳的重复频率差；重复频率监测模块的输出端与负反馈模块的输入端连接；

所述负反馈模块用于根据接收重复频率监测模块监测到的重复频率值与重复频率差值与预设值比较，进行判断和处理后输出反馈信号；负反馈模块的输出端与温度控制模块的输入端连接；

所述温度控制模块用于根据接收到的负反馈模块发出的反馈信号，对各微腔孤子光频梳发生器进行加热或制冷，同时通过实时监测各微腔孤子光频梳发生器温度，实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带调谐。

进一步地，所述微腔孤子光频梳发生器包括泵浦激光器、第一光学放大器、微腔、声光调制器、第二光学放大器以及为声光调制器提供激发射频的射频源；

所述泵浦激光器输出的泵浦光分为两路，其中一路泵浦光经过第一光学放大器放大后从微腔上直波导的第一耦合端进入微腔内；另一路泵浦光作为辅助光用于维持微腔中的热平衡，辅助光先经过声光调制器移频后入射至第二光学放大器，经过第二光学放大器放大后从微腔上直波导的第二耦合端进入微腔内；

微腔孤子光频梳发生器输出的微腔孤子光频梳再次被分为两路，其中一路通过保偏光纤合束并输出，用于多光梳实际应用；另一路光频梳与重复频率监测模块相连接。

进一步地，所述微腔为微环腔、微盘腔、微球腔、棒状腔或晶体腔，具有明显的热效应，且通过改变温度可以对其自由光谱范围和谐振峰位置进行宽带调谐。

进一步地，所述微腔为基于高折射率差掺杂玻璃光子集成平台制备的上下话路型微环谐振腔，其自由光谱范围为48-50GHz，品质因子大于2.0×10⁶，微腔芯片下面贴附着导热钨片。

进一步地，所述泵浦激光器为波长可调谐的窄线宽连续激光器，其波长调节范围约为1nm，大于微腔的一个自由光谱范围，且能够激发微腔产生孤子光频梳，其中心波长为1560nm，线宽小于1kHz。

进一步地，所述声光调制器通过射频源激发，提供频率为60-180MHz的电信号，实现微腔孤子光频梳中的辅助光移频。

进一步地，所述重复频率监测模块包括依次连接的光电探测器和重复频率监测器，光频梳先经过光电探测器将光信号转换为电信号，电信号传输至重复频率监测器进行重复频率探测；

所述光电探测器为商用的高带宽光电探测器，可通过重复频率监测器显示与数据的读取；所述重复频率监测器为频谱仪、频率计数器或示波器。

进一步地，所述负反馈模块包括与重复频率监测器的FPGA电路或电脑程序，用于对重复频率监测器探测到的多个微腔孤子光频梳的重复频率值和重复频率差值进行判断和处理，给出反馈信号传输至温度控制模块。

进一步地，所述温度控制模块包括温度控制器、微加热器以及热敏电阻；所述温度控制器的输入端与负反馈模块的输出端连接，温度控制器的输出端和微加热器连接，用于根据接收到的反馈信号控制微加热器工作；所述微加热器位于微腔下表面或与微腔下表面的导热钨片接触，对微腔进行加热或制冷；所述热敏电阻与微加热器上表面接触，位于微腔附近，用于实时监测微腔温度；

所述微加热器为商用的半导体制冷器，可以加热和致冷微腔，温度控制为商用的温度控制器，用于监控微加热器的温度。

本发明还提供了一种基于上述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐方法，其特殊之处在于，包括以下步骤：

步骤一、基于辅助光热补偿技术，各微腔孤子光频梳发生模块产生微腔孤子光频梳；

步骤二、利用重复频率监测模块监测各微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差，并将其传输至负反馈模块；

步骤三、负反馈模块对接收到的重复频率和重复频率差值进行判断处理，得到反馈信号传输至温度控制模；

步骤四、温度控制模块根据接收到的反馈信号，通过改变对应微腔的温度，实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带灵活调谐。

与现有技术相比，本发明具有的有益技术效果如下：

1、本发明提供的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，基于微腔的热效应(热光效应和热膨胀效应)，通过一套负反馈系统对微腔进行温控，实现微腔自由光谱范围的变化，进而实现重复频率的变化，这种重复频率调谐思想具有较强的普适性，能够实现重复频率宽带调谐。

2、本发明提供的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐方法，无需大量随机寻找重复频率和重复频率差匹配的微腔，并且重复频率和重复频率差调谐过程全程可在孤子态情况下直接进行操作，无需终止孤子态等繁琐过程，从而使孤子光频梳的重复频率可以快速、高效、灵活、大范围地调谐，有利于推动微腔孤子光频梳在精密测量领域的工程化应用。

3、本发明提供的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐方法，不局限于某一种具体的微腔孤子光频梳产生技术，只要微腔具有明显的热效应，均可以采用本发明的思想进行重复频率和重复频率差调谐，另外，通过适当改变泵浦功率、泵浦光与微腔谐振峰的相位失谐也可以改变腔内温度，进而调谐重复频率和重复频率差。

附图说明

图1为本发明微腔双光梳的重复频率差宽带调谐系统的结构示意图；

图2为本发明微腔双光梳的重复频率差宽带调谐系统的原理示意图；

图3为本发明微腔双光梳的重复频率差宽带调谐方法流程图；

图4为采用本发明实施例中调谐系统产生的单孤子态光频梳光谱图；

图5为采用本发明实施例中调谐系统微腔谐振峰随温度变化的瀑布图；

图6为采用本发明实施例中调谐方法调谐后的孤子态光频梳后重复频率随温度变化的瀑布图；

图7为采用本发明实施例中调谐方法不同微腔调谐后的孤子光频梳的重复频率随温度变化的分布图；

附图标记：

1-微腔孤子光频梳发生模块，2-重复频率监测模块，3-负反馈模块，4-温度控制模块，5-保偏光纤，6-射频线缆；

11-泵浦激光器，12-第一光学放大器，13-微腔，14-声光调制器，15-第二光学放大器，16-射频源；

21-光电探测器，22-重复频率监测器；

41-温度控制器，42-微加热器，43-热敏电阻。

具体实施方式

为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统及调谐方法作进一步详细说明。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用来解释本发明的技术原理，目的并不是用来限制本发明的保护范围。

针对微腔双光梳在精密光谱学、精密测距等领域的应用价值与前景，本发明提供了一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统及调谐方法，该系统和方法采用单泵浦或双泵浦技术方法产生多套微腔孤子光频梳，通过监测多套微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差，利用负反馈系统对重复频率和重复频率差进行判断处理，根据预设的重复频率和重复频率差值与实际值对比，输出一个反馈电信号，将反馈电信号输入到温度控制器，实现了微腔温度从10℃到80℃的变化，进而实现微腔重复频率约30MHz的宽带连续调谐。

如图1所示，本实施例提供的微腔双光梳的重复频率差宽带调谐系统包括微腔孤子光频梳发生模块1、重复频率监测模块2、负反馈模块3和温度控制模块4。

微腔孤子光频梳发生模块1包括两个微腔孤子光频梳发生器，微腔孤子光频梳发生器采用单泵浦或同偏振双泵浦技术产生微腔孤子光频梳，微腔孤子光频梳发生器的两个输出端均用光分束器分为两路，其中一路通过保偏光纤5合束并输出，用于双光梳实际应用，另一路与重复频率监测模块2相连接。

重复频率监测模块2用于监测两个微腔孤子光频梳发生器输出光频梳的重复频率Frep1和Frep2，以及两者的重复频率差ΔFrep。

负反馈模块3用于根据接收重复频率监测模块2监测到的重复频率值与重复频率差值，再通过FPGA电路或电脑程序进一步将实测重复频率和重复频率差与预设值比较，进行判断和处理后输出一个反馈信号。

温度控制模块4用于根据接收到的负反馈模块3发出的反馈信号，对微腔进行加热或制冷，同时通过热敏电阻43实时监测微腔温度，实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带灵活调谐。

在如图1所示的整个系统中，微腔孤子光频梳发生模块1和重复频率监测模块2之间，以及微腔孤子光频梳发生模块1的双光频输出端采用保偏光纤5(实线)进行连接，其余重复频率监测模块2、负反馈模块3和温度控制模块4中涉及到的电学设备采用射频线缆6(虚线)连接。

如图2所示，本实施例中，微腔孤子光频梳发生模块1中采用辅助光热补偿技术产生微腔孤子光频梳。

微腔孤子光频梳发生模块的微腔孤子光频梳发生器采用双泵浦结构，包括泵浦激光器11，第一光学放大器12，微腔13，声光调制器14，第二光学放大器15以及为声光调制器14提供激发射频的射频源16。

泵浦激光器11输出的泵浦光分为两路，其中一路泵浦光经过第一光学放大器12放大后从微腔13上直波导的第一耦合端进入微腔内；另一路泵浦光作为辅助光用于维持微腔13中的热平衡，辅助光先经过声光调制器14移频后入射至第二光学放大器15，经过第二光学放大器15放大后从微腔13上直波导的第二耦合端进入微腔内。

微腔13具有较强的非线性光学效应，在腔内泵浦光相对于微腔13谐振峰的失谐逐渐变小时，腔内光功率逐渐变大，满足了发生四波混频的条件，激发了腔内级联四波混频。辅助光起的主要作用是提供热补偿，维持腔内热平衡。当泵浦光波长和辅助光波长分别处于微腔谐振峰的红失谐和蓝失谐处时，实现微腔孤子光频梳输出。

本实施例中，泵浦激光器11为波长可调谐的窄线宽连续激光器，其波长调节范围约为1nm，大于微腔的一个自由光谱范围，且能够激发微腔产生孤子光频梳，其中心波长在1560nm附近，线宽小于1kHz。

微腔13可以为微环腔、微盘腔、微球腔、棒状腔或晶体腔，并具有明显的热效应(热光效应和热膨胀效应)，能够通过改变微腔温度对其自由光谱范围和谐振峰位置进行宽带调谐。微腔孤子光频梳发生器中的微腔13由相同工艺过程制备的，其自由光谱范围存在微小差别，该差别是由工艺误差造成的。本实施例中，微腔13为基于高折射率差掺杂玻璃光子集成平台制备的上下话路型微环谐振腔，其自由光谱范围约为48-50GHz，品质因子大于2.0×10⁶，微腔13芯片下面贴附着导热钨片。微腔13的自由光谱范围决定了微腔孤子光频梳的重复频率，通过改变自由光谱范围可以调谐微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差。

本实施例中，声光调制器14通过射频源16激发后，可以提供约100MHz左右(60-180MHz)的电信号，实现微腔孤子光频梳中的辅助光移频。

微腔孤子光频梳发生器输出的微腔孤子光频梳再次被分为两路，其中一路通过保偏光纤5合束并输出，用于双光梳实际应用；另一路光频梳与重复频率监测模块2相连接。

重复频率监测模块2包括依次连接的光电探测器21和重复频率监测器22，光频梳先经过光电探测器21将光信号转换为电信号，电信号传输至重复频率监测器22进行重复频率探测。

重复频率监测器22探测到两个微腔孤子光频梳发生器输出的光频梳的重复频率Frep1和Frep2，以及两者的重复频率差ΔFrep，并将三个频率值传输至负反馈模块3。

重复频率监测器22可以为频谱仪、频率计数器、示波器，本实施例中采用频谱仪。光电探测器21为商用的高带宽光电探测器，可通过频谱仪、频率计数器和示波器进行显示与数据的读取。

负反馈模块3包括与重复频率监测器22连接的负反馈系统，负反馈系统为FPGA电路或电脑程序，用于对重复频率监测器22探测到的两个微腔孤子光频梳的重复频率值和重复频率差值进行判断和处理，给出一个反馈信号传输至温度控制模块4。

温度控制模块4包括依次连接的温度控制器41，微加热器42以及热敏电阻43。温度控制器41的两个控制端分别与负反馈系统和微加热器42连接，用于根据接收到的负反馈系统输出的反馈信号控制微加热器42。微加热器42与微腔13芯片下导热钨片接触或位于其旁边，对微腔13进行加热或制冷。热敏电阻43与微加热器42上表面接触，位于微腔13附近，用于实时监测微腔温度，最终实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带灵活调谐。

微加热器42为商用的半导体制冷器，可以加热和致冷微腔，温度控制41为商用的温度控制器，用于监控微加热器42的温度。

如图3所示，本发明提供的微腔双光梳的重复频率差宽带调谐方法包括以下步骤：

步骤一、基于辅助光热补偿技术，微腔孤子光频梳发生模块1产生微腔孤子光频梳；

微腔孤子光频梳发生模块1包括两个微腔孤子光频梳发生器；

步骤二、利用重复频率监测器22监测微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差，并将其传输至负反馈模块3；

步骤三、负反馈模块3对接收到的重复频率和重复频率差值进行判断处理，得到一个反馈信号传输至温度控制模块4；

步骤四、温度控制器41根据接收到反馈信号，通过改变微加热器42的电流或电压来改变微腔13的温度，实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带灵活调谐。

上述方法中，微腔孤子光频梳的产生不局限于某一种具体方案，只要微腔具有明显的热效应，均可以采用本发明的思想进行重复频率和重复频率差调谐，另外，通过适当改变泵浦功率、泵浦光与微腔谐振峰的相位失谐也可以改变腔内温度，进而调谐重复频率和重复频率差。

本实施例中，为了表征孤子态的形成，图4给出了产生的单孤子态光频梳光谱图，其中心波长约为1560nm，谱宽大于100nm，光谱包络为近似完美的双曲正割函数形状。

为了表征微腔的热效应情况，图5给出了微腔谐振峰随温度变化的瀑布图，当温度从10℃以5℃的间隔逐渐变化到125℃时，微腔谐振峰向长波长移动了约1.7nm，超过了4倍的自由光谱范围(约0.4nm)。

为了说明重复频率的调谐效果，图6给出了产生孤子态光频梳后重复频率随温度变化的瀑布图，当温度从10℃以5℃的间隔逐渐变化到80℃时，重复频率减小了约30MHz，其调谐速率近似不变。若在其它实施例中温度范围变化更大，则可以实现重复频率更宽范围的调谐。

为了进一步说明重复频率的调谐效果，图7给出了7个不同微腔产生的孤子光频梳的重复频率随温度变化的分布图，可以看出，不同微腔产生的孤子光频梳的重复频率各不相同，最大重复频率差约为70MHz。另外，所有微腔孤子光频梳的重复频率随温度变化的速率近似相同，约为0.43MHz/℃。若在其它实施例中温度范围变化更大，则大部分微腔产生的孤子光频梳的重复频率可以通过温度调谐到相同大小，重复频率差可以从零变化到数十MHz量级，实现宽带调谐，这对推动微腔孤子光频梳在精密测量领域的应用具有重要意义。

综上所述，本发明提供一种重复频率差宽带可调谐的微腔多光梳系统及重复频率调谐方法，其核心是提供一种微腔孤子光频梳重复频率调谐思想，利用微腔的热效应，通过一套负反馈系统，改变微腔的温度，从而改变微腔孤子光频梳的重复频率。本发明克服了由于工艺误差造成的重复频率随机性大且不易调谐的难题，使孤子光频梳的重复频率可以快速、高效、灵活、大范围地调谐，对推动微腔孤子光频梳在精密测量领域的工程化应用具有举足轻重的意义。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：包括微腔孤子光频梳发生模块(1)、重复频率监测模块(2)、负反馈模块(3)和温度控制模块(4)；

所述微腔孤子光频梳发生模块(1)包括至少两个微腔孤子光频梳发生器，用于产生孤子光频梳；

所述每个微腔孤子光频梳发生器的输出端分为两路，其中一路通过保偏光纤(5)合束并输出，另一路与重复频率监测模块(2)的输入端连接；

所述重复频率监测模块(2)用于监测每个微腔孤子光频梳发生器输出光频梳的重复频率，以及多个光频梳的重复频率差；重复频率监测模块(2)的输出端与负反馈模块(3)的输入端连接；

所述负反馈模块(3)用于根据接收重复频率监测模块(2)监测到的重复频率值与重复频率差值与预设值比较，进行判断和处理后输出反馈信号；负反馈模块(3)的输出端与温度控制模块(4)的输入端连接；

所述温度控制模块(4)用于根据接收到的负反馈模块(3)发出的反馈信号，对各微腔孤子光频梳发生器进行加热或制冷，同时通过实时监测各微腔孤子光频梳发生器温度，实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带调谐。

2.根据权利要求1所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述微腔孤子光频梳发生器包括泵浦激光器(11)、第一光学放大器(12)、微腔(13)、声光调制器(14)、第二光学放大器(15)以及为声光调制器(14)提供激发射频的射频源(16)；

所述泵浦激光器(11)输出的泵浦光分为两路，其中一路泵浦光经过第一光学放大器(12)放大后从微腔(13)直波导的第一耦合端进入微腔(13)内；另一路泵浦光作为辅助光经过声光调制器(14)移频后入射至第二光学放大器(15)，经过第二光学放大器(15)放大后从微腔(13)直波导的第二耦合端进入微腔(13)内；

所述微腔(13)输出的微腔孤子光频梳再次被分为两路，其中一路通过保偏光纤(5)合束并输出，用于多光梳实际应用；另一路光频梳与重复频率监测模块(2)的输入端连接。

3.根据权利要求2所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述微腔(13)为微环腔、微盘腔、微球腔、棒状腔或晶体腔，所述微腔(13)具有热效应，可通过改变温度对其自由光谱范围和谐振峰位置进行宽带调谐。

4.根据权利要求3所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述微腔(13)为基于高折射率差掺杂玻璃光子集成平台制备的上下话路型微环谐振腔，其自由光谱范围为48-50GHz，品质因子大于2.0×10⁶，微腔(13)的下表面贴附有导热钨片。

5.根据权利要求4所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述泵浦激光器(11)为波长可调谐的窄线宽连续激光器，其波长调节范围大于微腔(13)的自由光谱范围，其中心波长为1560nm，线宽小于1kHz。

6.根据权利要求5所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述声光调制器(14)频率为60-180MHz，声光调制器(14)用于实现微腔孤子光频梳中的辅助光移频。

7.根据权利要求2-6任一所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述重复频率监测模块(2)包括依次连接的光电探测器(21)和重复频率监测器(22)，微腔(13)输出的微腔孤子光频梳经过光电探测器(21)将光信号转换为电信号，电信号传输至重复频率监测器(22)进行显示与数据的读取；

所述光电探测器(21)为高带宽光电探测器；所述重复频率监测器(22)为频谱仪、频率计数器或示波器。

8.根据权利要求7所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述负反馈模块(3)包括为FPGA电路或电脑程序。

9.根据权利要求8所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于：

所述温度控制模块(4)包括温度控制器(41)、微加热器(42)以及热敏电阻(43)；所述温度控制器(41)的输入端与负反馈模块(3)的输出端连接，温度控制器(41)的输出端和微加热器(42)连接，用于根据接收到的反馈信号控制微加热器(42)工作；所述微加热器(42)位于微腔(13)下表面或与微腔(13)下表面的导热钨片接触，对微腔(13)进行加热或制冷；所述热敏电阻(43)与微加热器(42)上表面接触，用于实时监测微腔(13)温度；

所述微加热器(42)为半导体制冷器，可以加热和致冷微腔，温度控制(41)用于监控微加热器(42)的温度。

10.一种微腔多光梳的重复频率差宽带调谐方法，基于权利要求1-9任一所述的微腔多光梳的重复频率差宽带调谐系统，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、基于辅助光热补偿技术，各微腔孤子光频梳发生模块(1)产生微腔孤子光频梳；

步骤二、利用重复频率监测模块(2)监测各微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差，并将其传输至负反馈模块(3)；

步骤三、负反馈模块(3)对接收到的重复频率和重复频率差值进行判断处理，得到反馈信号传输至温度控制模块(4)；

步骤四、温度控制模块(4)根据接收到的反馈信号，通过改变对应微腔(13)的温度，实现微腔孤子光频梳的重复频率和重复频率差的宽带灵活调谐。

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