CN115504076B - 一种pvd溅射靶材生产用转运箱 - Google Patents

Abstract

本发明涉及靶材储存技术领域，公开了一种PVD溅射靶材生产用转运箱，包括底座，上固定机构，所述上固定机构位于底座的上方；内转运机构，螺纹固定在底座的上端，所述内转运机构内放置有靶材产品；两个侧固定机构一，对称设置在底座的上端；两个侧固定机构二，对称设置在底座的上端；所述侧固定机构二与侧固定机构一卡接，所述内转运机构位于侧固定机构一、侧固定机构二、底座、上固定机构围成的区域内部，所述侧固定机构二、侧固定机构一的上端均与上固定机构的下表面相接触，且所述侧固定机构一与上固定机构卡接；本发明可以根据不同的存储需求进行规格上的适用性调整，可以为使用者提供更多的选择。

Description

一种PVD溅射靶材生产用转运箱

技术领域

本发明涉及靶材储存技术领域，更具体地说，它涉及一种PVD溅射靶材生产用转运箱。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

专利号为CN108891737A的现有技术中公开了一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。本发明通过设置有一系列的结构，使得该靶材储存箱，可对大型靶材进行存储的同时，方便拿取和存放，可对储存箱内部进行减震处理，对靶材进行充分保护，而日常生产中具有不同的存储需求，但是上述现有专利的规格是固定的，无法根据不同的存储需求进行规格上的适用性调整，不能为使用者提供更多的选择，具有一定的使用局限性。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种PVD溅射靶材生产用转运箱。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种PVD溅射靶材生产用转运箱，包括底座，上固定机构，所述上固定机构位于底座的上方；

内转运机构，螺纹固定在底座的上端，所述内转运机构内放置有靶材产品；

两个侧固定机构一，对称设置在底座的上端；

两个侧固定机构二，对称设置在底座的上端；

所述侧固定机构二与侧固定机构一卡接，所述内转运机构位于侧固定机构一、侧固定机构二、底座、上固定机构围成的区域内部，所述侧固定机构二、侧固定机构一的上端均与上固定机构的下表面相接触，且所述侧固定机构一与上固定机构卡接；

四个呈矩形阵列排布的连接机构，所述连接机构的两侧分别与侧固定机构二、侧固定机构一卡接，所述上固定机构的下端与连接机构的上端螺栓固定；

四个呈矩形阵列排布的固定柱，所述固定柱的下端与底座螺纹连接，所述固定柱的上端贯穿侧固定机构二、侧固定机构一至连接机构的内部。

作为本发明进一步的方案：所述上固定机构包含盖板，所述盖板的两侧均固定连接有用于与侧固定机构一卡接的横板，所述盖板的四个顶角的位置均设置有用于与连接机构连接固定的固定螺栓。

作为本发明进一步的方案：所述侧固定机构一包含侧固定板一，所述侧固定板一内部滑动连接有升降板一，所述升降板一的上端贯穿侧固定板一，所述升降板一与侧固定板一之间连接有多个呈等距离排布的弹性件一，所述侧固定板一的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块一，所述侧固定板一的上端对称开设有固定槽一，所述升降板一的上端对称开设有卡槽一，所述升降板一的上端转动安装有与横板卡接的卡接件。

作为本发明进一步的方案：所述侧固定机构二包含侧固定板二，所述侧固定板二内部滑动连接有升降板二，所述升降板二的上端贯穿侧固定板二，所述升降板二与侧固定板二之间连接有多个呈等距离排布的弹性件二，所述侧固定板二的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块二，所述侧固定板二的上端对称开设有固定槽二，所述升降板二的上端对称开设有卡槽二。

作为本发明进一步的方案：所述楔形块二和楔形块一卡接，所述升降板二、升降板一的截面均呈T型。

作为本发明进一步的方案：所述连接机构包含连接块一，所述连接块一的上端滑动安装有V型板，所述V型板的下端对称设置有卡接柱，所述连接块一的下端对称安装有连接柱，所述V型板的下端延伸至连接块一的内部，所述V型板的下端与连接块一之间连接有弹性件三。

作为本发明进一步的方案：所述连接柱分别与固定槽一、固定槽二相适配，所述卡接柱分别与卡槽二、卡槽一相适配。

作为本发明进一步的方案：所述内转运机构包含位于底座上端的分隔板，所述分隔板上设置有定位柱一，所述定位柱一的下端贯穿分隔板与底座螺纹连接，所述分隔板将底座分隔成四个置物区域，置物区域内设置有四个呈矩形阵列排布的定位柱二和多个堆叠设置的放置组件，所述定位柱二的下端贯穿放置组件与底座螺纹连接。

作为本发明进一步的方案：所述放置组件包含对称设置的放置板，两个所述放置板之间设置有放置腔室。

作为本发明进一步的方案：所述固定柱的上端贯穿楔形块二和楔形块一至连接块一的内部。

与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

本发明中，部件之间的连接方式多采用可拆卸的连接方式，使得本发明整体便于安装、拆卸，利于维护、清洁，更换，延长整体使用寿命。

本发明中，可以增设分隔板，使得多个分隔板堆叠设置在定位柱一的外表面上，以期获得不同放置区域的高度，使得使用者可以根据实际使用需要而放置不同数量的PVD溅射靶材产品，使得使用者使用时具有更多的选择性，并且放置组件包含对称设置的放置板，两个放置板之间设置有放置腔室，放置腔室用于放置PVD溅射靶材产品，放置腔室可以根据PVD溅射靶材产品的形状进行对应设置，避免PVD溅射靶材产品在转运过程中出现剧烈抖动，使得产品表面受损的问题。

本发明中，通过侧固定机构一、侧固定机构二、上固定机构、连接机构、固定柱的配合使用，确保了整体的封装框架的稳定性和安全性，减少在转运过程中PVD溅射靶材产品受到的震动，进一步的确保PVD溅射靶材产品的转运质量。

本发明中，侧固定机构一、侧固定机构二、连接机构的垂直高度均可以进行适应性的调整，可以获得不同的转运箱整体高度，并且可以相应的对内转运机构中不同高度规格的定位柱一、定位柱二进行适应，使得本发明整体具有不同的规格，可以在面临不同的产品转运需求时提供相应的规格，具有更好的适用性。

附图说明

图1为本发明一种PVD溅射靶材生产用转运箱的整体结构图；

图2为本发明中连接机构的侧视图；

图3为本发明中侧固定机构一的侧视剖面示意图；

图4为本发明中侧固定机构二的主视剖面示意图；

图5为本发明中图1中的A处放大示意图；

图6为本发明中内转运机构、底座、固定柱的俯视连接示意图；

图7为本发明中放置组件的主视图。

图中：1、底座；2、侧固定机构一；3、侧固定机构二；4、连接机构；5、上固定机构；6、内转运机构；7、固定柱；21、侧固定板一；22、升降板一；23、弹性件一；24、楔形块一；25、固定槽一；26、卡槽一；27、卡接件；31、侧固定板二；32、升降板二；33、弹性件二；34、楔形块二；35、固定槽二；36、卡槽二；41、连接块一；42、连接柱；43、V型板；44、卡接柱；51、盖板；52、横板；53、固定螺栓；61、分隔板；62、定位柱一；63、放置组件；64、定位柱二；631、胶接板；632、放置板；633、放置腔室。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参照图1－图7，一种PVD溅射靶材生产用转运箱，用于对PVD溅射靶材产品进行封装，便于转运，并且使得整体结构高度可以根据放置PVD溅射靶材产品的数量进行高度调整，并且确保封装的稳定性和密封性。

该PVD溅射靶材生产用转运箱包括以下结构：

底座1，上固定机构5，上固定机构5位于底座1的上方；两个侧固定机构一2，对称设置在底座1的上端；两个侧固定机构二3，对称设置在底座1的上端；侧固定机构二3与侧固定机构一2卡接，内转运机构6位于侧固定机构一2、侧固定机构二3、底座1、上固定机构5围成的区域内部，侧固定机构二3、侧固定机构一2的上端均与上固定机构5的下表面相接触，且侧固定机构一2与上固定机构5卡接；四个呈矩形阵列排布的连接机构4，连接机构4的两侧分别与侧固定机构二3、侧固定机构一2卡接，上固定机构5的下端与连接机构4的上端螺栓固定；四个呈矩形阵列排布的固定柱7，固定柱7的下端与底座1螺纹连接，固定柱7的上端贯穿侧固定机构二3、侧固定机构一2至连接机构4的内部。

上固定机构5包含盖板51，盖板51的两侧均固定连接有用于与侧固定机构一2卡接的横板52，盖板51的四个顶角的位置均设置有用于与连接机构4连接固定的固定螺栓53。

内转运机构6，螺纹固定在底座1的上端，内转运机构6内放置有靶材产品；内转运机构6包含位于底座1上端的分隔板61，分隔板61上设置有定位柱一62，定位柱一62的下端贯穿分隔板61与底座1螺纹连接，分隔板61将底座1分隔成四个置物区域，置物区域内设置有四个呈矩形阵列排布的定位柱二64和多个堆叠设置的放置组件63，定位柱二64的下端贯穿放置组件63与底座1螺纹连接，其中，定位柱一62、定位柱二64均与底座1螺纹连接，便于安装、拆卸，利于维护、清洁，更换，延长整体使用寿命，而且可以增设分隔板61，使得多个分隔板61堆叠设置在定位柱一62的外表面上，以期获得不同放置区域的高度，使得使用者可以根据实际使用需要而放置不同数量的PVD溅射靶材产品，具有更好的实用性和适用性，也使得使用者使用时具有更多的选择性，并且放置组件63包含对称设置的放置板632，两个放置板632之间设置有放置腔室633，放置腔室633用于放置PVD溅射靶材产品，放置腔室633可以根据PVD溅射靶材产品的形状进行对应设置，避免PVD溅射靶材产品在转运过程中出现剧烈抖动，使得产品表面受损的问题。

侧固定机构一2包含侧固定板一21，侧固定板一21内部滑动连接有升降板一22，升降板一22的上端贯穿侧固定板一21，升降板一22与侧固定板一21之间连接有多个呈等距离排布的弹性件一23，侧固定板一21的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块一24，侧固定板一21的上端对称开设有固定槽一25，升降板一22的上端对称开设有卡槽一26，升降板一22的上端转动安装有与横板52卡接的卡接件27，弹性件一23用于向下拉动升降板一22，使得升降板一22具有向下滑动的趋势。

侧固定机构二3包含侧固定板二31，侧固定板二31内部滑动连接有升降板二32，升降板二32的上端贯穿侧固定板二31，升降板二32与侧固定板二31之间连接有多个呈等距离排布的弹性件二33，侧固定板二31的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块二34，侧固定板二31的上端对称开设有固定槽二35，升降板二32的上端对称开设有卡槽二36，弹性件二33用于将升降板二32顶升，使得升降板二32具有向上滑动的趋势。

连接机构4包含连接块一41，连接块一41的上端滑动安装有V型板43，V型板43的下端对称设置有卡接柱44，连接块一41的下端对称安装有连接柱42，V型板43的下端延伸至连接块一41的内部，V型板43的下端与连接块一41之间连接有弹性件三，弹性件三用于帮助V型板43进行复位。

连接柱42分别与固定槽一25、固定槽二35相适配，卡接柱44分别与卡槽二36、卡槽一26相适配，固定柱7的上端贯穿楔形块二34和楔形块一24至连接块一41的内部。

实施例2

参照图1－图7，进一步的，作为本发明的更优选，还可以做出以下改变：

一、上下两个放置板632的外表面上均设置有胶接板631，胶接板631可以减轻在转运过程中PVD溅射靶材产品受到的震动，保护产品的转运质量。

二、盖板51的下表面分别设置有与定位柱一62、定位柱二64、V型板43相适配的定位槽一、定位槽二、定位槽三，确保放置组件63不会出现剧烈晃动，并且将V型板43收纳在定位槽三内部，可以确保盖板51的下表面与侧固定机构一2、侧固定机构二3紧密接触，确保整体的密封性。

三、楔形块二34和楔形块一24卡接，升降板二32、升降板一22的截面均呈T型，并且V型板43、连接块一41的两侧均设置有供T型结构卡入的滑槽，一方面使得升降板二32、升降板一22在升降过程中不易出现晃动，另一方面还可以在内转运机构6的外部填充海绵，使得连接机构4的两侧始终与升降板二32、升降板一2贴合在一起，并且借助海绵确保整体的密封性。

本发明在使用时，按照以下步骤进行安装：

先将PVD溅射靶材产品分别置于放置组件63内部，然后将内转运机构6整体与底座1相连接，然后将侧固定机构一2、侧固定机构二3通过楔形块二34和楔形块一24卡接后围成围板，将围板通过固定柱7进行固定，并且将固定柱7与底座1相连接，继续将连接机构4中的两个连接柱42分别插至固定槽一25、固定槽二35中，将整体框架定型后，接着将上固定机构5覆盖在内转运机构6中的定位柱一62、定位柱二64的上端，升降板二32抬升至其上表面与盖板51下端紧密接触，同时提拉卡接件27使得升降板一22抬升至其上表面与盖板51下端紧密接触，再将卡接件27与横板52卡接，此时，两个卡接柱44分别插至卡槽二36、卡槽一26内部，V型板43收纳在定位槽三内部，最后通过固定螺栓53将连接机构4进行固定即可，海绵填充在整体框架定型时可以进行。

以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，包括：

底座（1），上固定机构（5），所述上固定机构（5）位于底座（1）的上方；

内转运机构（6），固定在底座（1）的上端；

两个侧固定机构一（2），对称设置在底座（1）的上端；

两个侧固定机构二（3），对称设置在底座（1）的上端；

所述侧固定机构二（3）与侧固定机构一（2）卡接，所述内转运机构（6）位于侧固定机构一（2）、侧固定机构二（3）、底座（1）、上固定机构（5）围成的区域内部，所述侧固定机构二（3）、侧固定机构一（2）的上端均与上固定机构（5）的下表面相接触，且所述侧固定机构一（2）与上固定机构（5）卡接；

四个呈矩形阵列排布的连接机构（4），所述连接机构（4）的两侧分别与侧固定机构二（3）、侧固定机构一（2）卡接，所述上固定机构（5）的下端与连接机构（4）的上端螺栓固定；

四个呈矩形阵列排布的固定柱（7），所述固定柱（7）的下端与底座（1）螺纹连接，所述固定柱（7）的上端贯穿侧固定机构二（3）、侧固定机构一（2）至连接机构（4）的内部；

所述上固定机构（5）包含盖板（51），所述盖板（51）的两侧均固定连接有用于与侧固定机构一（2）卡接的横板（52），所述盖板（51）的四个顶角的位置均设置有用于与连接机构（4）连接固定的固定螺栓（53）；

所述侧固定机构一（2）包含侧固定板一（21），所述侧固定板一（21）内部滑动连接有升降板一（22），所述升降板一（22）的上端贯穿侧固定板一（21），所述升降板一（22）与侧固定板一（21）之间连接有多个呈等距离排布的弹性件一（23），所述侧固定板一（21）的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块一（24），所述侧固定板一（21）的上端对称开设有固定槽一（25），所述升降板一（22）的上端对称开设有卡槽一（26），所述升降板一（22）的上端转动安装有与横板（52）卡接的卡接件（27）；

所述侧固定机构二（3）包含侧固定板二（31），所述侧固定板二（31）内部滑动连接有升降板二（32），所述升降板二（32）的上端贯穿侧固定板二（31），所述升降板二（32）与侧固定板二（31）之间连接有多个呈等距离排布的弹性件二（33），所述侧固定板二（31）的两侧均固定安装有多个呈等距离排布的楔形块二（34），所述侧固定板二（31）的上端对称开设有固定槽二（35），所述升降板二（32）的上端对称开设有卡槽二（36）；

所述楔形块二（34）和楔形块一（24）卡接，所述升降板二（32）、升降板一（22）的截面均呈T型；

所述连接机构（4）包含连接块一（41），所述连接块一（41）的上端滑动安装有V型板（43），所述V型板（43）的下端对称设置有卡接柱（44），所述连接块一（41）的下端对称安装有连接柱（42），所述V型板（43）的下端延伸至连接块一（41）的内部，所述V型板（43）的下端与连接块一（41）之间连接有弹性件三；

所述连接柱（42）分别与固定槽一（25）、固定槽二（35）相适配，所述卡接柱（44）分别与卡槽二（36）、卡槽一（26）相适配；

所述内转运机构（6）包含位于底座（1）上端的分隔板（61），所述分隔板（61）上设置有定位柱一（62），所述定位柱一（62）的下端贯穿分隔板（61）与底座（1）螺纹连接，所述分隔板（61）将底座（1）分隔成四个置物区域，置物区域内设置有四个呈矩形阵列排布的定位柱二（64）和多个堆叠设置的放置组件（63），所述定位柱二（64）的下端贯穿放置组件（63）与底座（1）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述放置组件（63）包含对称设置的放置板（632），两个所述放置板（632）之间设置有放置腔室（633）。

3.根据权利要求2所述的一种PVD溅射靶材生产用转运箱，其特征在于，所述固定柱（7）的上端贯穿楔形块二（34）和楔形块一（24）至连接块一（41）的内部。