CN115414725A - 一种cmp抛光液过滤器 - Google Patents

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CN115414725A CN202211128703.3A CN202211128703A CN115414725A CN 115414725 A CN115414725 A CN 115414725A CN 202211128703 A CN202211128703 A CN 202211128703A CN 115414725 A CN115414725 A CN 115414725A
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杨海军
叶竹之
林猛
朱欣翼
王军涛
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Abstract

本发明公开了一种CMP抛光液过滤器，属于过滤器技术领域，以解决现有的圆柱形深层滤芯在使用一定的时间后内部的过滤网孔会被堵塞，从而影响过滤的效率的问题，包括底座，所述底座的表面中间位置处安装有隔板，所述隔板前侧的中间位置处安装有过滤箱，所述过滤箱一侧的隔板侧面安装有滤纸放置架，把需要过滤的CMP抛光液加入到过滤箱的内部，然后使得滤纸收卷端进行转动，由此使得滤纸放置架上的滤纸从过滤箱的内部穿过然后到达滤纸收卷端的位置处，由此使得过滤箱内部用作于过滤的滤纸始终是干净的状态，通过类传送带方式实时更新滤纸，达到最佳过滤效果，同时保持过滤的最佳状态，有效改善过滤的精度以及过滤的流速。

Description

一种CMP抛光液过滤器
技术领域
一种CMP抛光液过滤器，本实用新型属于过滤器技术领域，具体涉及抛光液过滤器技术领域。
背景技术
化学机械平面化(CMP)是用于制造半导体工业晶圆的抛光工艺。由于运输/处理问题，干燥以及浆料分配系统内的相互作用，工具中的浆料被输送到晶圆表面可能含有大颗粒/附聚物(>1um)，这些大颗粒可以在半导体晶片表面上形成缺陷(划痕)。
例如在201410366212.1中就公开了抛光液过滤装置，包括储液桶、第一阀门、泵、过滤器、颗粒检测器及第三阀门。储液桶储存抛光液原液或回收的抛光液。第一阀门的进液端与储液桶连接。泵的进液端与第一阀门的出液端连接。过滤器的进液端与泵的出液端连接。颗粒检测器的进液端与过滤器的出液端连接。
上述的专利中主要是采用过滤器进行过滤作业，这些过滤器都是使用了多层折叠或者多层梯度结构滤芯来达到过滤的效果，这些圆柱形深层滤芯可能会在效率、污物容量、流速和压降方面出现局限性，即在使用一定的时间后内部的过滤网孔会被堵塞，从而影响过滤的效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：提供一种CMP抛光液过滤器，以解决上述现有的圆柱形深层滤芯在使用一定的时间后内部的过滤网孔会被堵塞，从而影响过滤的效率的问题。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种CMP抛光液过滤器，包括底座，所述底座的表面中间位置处安装有隔板，所述隔板前侧的中间位置处安装有过滤箱，所述过滤箱一侧的隔板侧面安装有滤纸放置架，所述过滤箱另一侧的隔板侧面安装有滤纸收卷端，所述滤纸放置架上安装的滤纸经过过滤箱到达滤纸收卷端的位置处，所述过滤箱内部滤纸上方的位置处安装有CMP抛光液添加端。
本申请的技术方案中，把需要过滤的CMP抛光液加入到过滤箱的内部，然后使得滤纸收卷端进行转动，由此使得滤纸放置架上的滤纸从过滤箱的内部穿过然后到达滤纸收卷端的位置处，由此使得过滤箱内部用作于过滤的滤纸始终是干净的状态，通过类传送带方式实时更新滤纸，达到最佳过滤效果，同时保持过滤的最佳状态，有效改善过滤的精度以及过滤的流速。
进一步的，所述底座的底端分布有滚轮座，所述隔板后侧的底座表面安装有安装箱，所述安装箱的内部底端安装有电控盒，所述隔板的前侧安装有操作面板，所述操作面板的内部设置有为CMP抛光液添加端进行供料的物料泵。
更进一步的，滤纸收卷端包括安装在安装箱内部的隔板后侧的减速机，所述减速机的一侧连接有电机，所述减速机的内部安装有主轴，所述主轴贯穿且延伸至隔板的前侧，所述隔板前侧的主轴外部安装有限位盘一和防脱环。
更进一步的，所述滤纸放置架包括安装在安装箱内部的隔板后侧的轴承座，所述轴承座的内部安装有副轴，所述副轴贯穿且延伸至隔板的前侧，所述隔板前侧的副轴外部安装有两个限位盘二。
进一步的，所述滤纸收卷端与过滤箱以及滤纸放置架与过滤箱之间均设置有导向结构，且导向结构包括呈上下分布在隔板前侧的两个支撑轴承，所述支撑轴承的内部安装有导向轴，所述导向轴的外部套接有两个对滤纸进行限位的防偏环。
进一步的，所述过滤箱的两侧对应滤纸的位置处开设有卡口，所述卡口的内部卡接有卡板，所述卡板上开设有供滤纸通过的开口，所述开口的内壁与滤纸相切设置，且所述卡板设置为橡胶结构。
更进一步的，所述过滤箱的内部底端开设有供滤纸过滤后的CMP抛光液落下的通孔，在所述通孔下方的过滤箱底端设置有对过滤好的抛光液进行收集的积液槽，所述积液槽通过管道把过滤后的抛光液输送出，所述底座的表面对应通孔的位置处安装有抛光液储存盒。
更进一步的，所述防偏环包括安装在过滤箱内部的连接板，所述连接板的顶端安装有进液管，所述进液管上对应进液管的位置处开设有供管道通过的连接槽，所述连接板的底端安装有与进液管连通的进液管，所述进液管的底端分布有滴液管，所述滴液管的底端设置在滤纸的上方，所述连接板上方的过滤箱侧面通过合页连接有盖板。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
1、把需要使用的滤纸卷放置在滤纸放置架上，然后在把滤纸从过滤箱的内部穿过到达滤纸收卷端的位置处，通过CMP抛光液添加端把抛光液加入到安装箱的内部，由此使得抛光液通过滤纸落下，由此进行过滤作业，在进行过滤时滤纸进行类传送带方式实时更新滤纸，达到最佳过滤效果，同时保持过滤的最佳状态，有效改善过滤的精度以及过滤的流速。
2、通过滴液管把需要过滤的抛光液加入到过滤箱的内部，由此使得进入到过滤箱内部的抛光液流量较小，防止了抛光液从滤纸的边缘直接落下，而卡板的设置能够有效的防止移动的滤纸把抛光液带出到过滤箱的外部。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的立体结构后侧内部示意图；
图3为本实用新型的立体结构前侧内部示意图；
图4为本实用新型的密封件结构示意图；
1-底座；2-隔板；3-安装箱；4-过滤箱；5-滤纸收卷端；6-滤纸放置架；7-CMP抛光液添加端；8-滚轮座；9-操作面板；10-CMP抛光液储存盒；11-卡口；12-通孔；13-盖板；14-电机；15-减速机；16-主轴；17-限位盘一；18-防脱环；19-支撑轴承；20-导向轴；21-防偏环；22-轴承座；23-副轴；24-限位盘二；25-连接板；26-进液管；27-电控盒；28-连接槽；29-中转仓；30-滴液管；31-卡板；32-开口。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例1
如图1至图4中所示，一种CMP抛光液过滤器，包括底座1，底座1的表面中间位置处安装有隔板2，隔板2前侧的中间位置处安装有过滤箱4，过滤箱4一侧的隔板2侧面安装有滤纸放置架6，过滤箱4另一侧的隔板2侧面安装有滤纸收卷端5，滤纸放置架6上安装的滤纸经过过滤箱4到达滤纸收卷端5的位置处，过滤箱4内部滤纸上方的位置处安装有CMP抛光液添加端7。
本申请的技术方案中，把需要过滤的CMP抛光液加入到过滤箱4的内部，然后使得滤纸收卷端5进行转动，由此使得滤纸放置架6上的滤纸从过滤箱4的内部穿过然后到达滤纸收卷端5的位置处，由此使得过滤箱4内部用作于过滤的滤纸始终是干净的状态，通过类传送带方式实时更新滤纸，达到最佳过滤效果，同时保持过滤的最佳状态，有效改善过滤的精度以及过滤的流速。
实施例2
如图1至图3中所示，在实施例1的基础上，底座1的底端分布有滚轮座8，滚轮座8的设置便于对整体进行移动作业，隔板2后侧的底座1表面安装有安装箱3，安装箱3的内部底端安装有电控盒27，隔板2的前侧安装有操作面板9，通过操作面板9向电控盒27发送信息，电控盒27根据接收的信息对电机14的工作进行控制，由此可以对滤纸的移动速度进行控制，操作面板9的内部设置有为CMP抛光液添加端7进行供料的物料泵，通过物料泵进行工作由此使得外界的物料能够从CMP抛光液添加端7的位置处滴落。
滤纸收卷端5包括安装在安装箱3内部的隔板2后侧的减速机15，减速机15的一侧连接有电机14，减速机15的内部安装有主轴16，主轴16贯穿且延伸至隔板2的前侧，隔板2前侧的主轴16外部安装有限位盘一17和防脱环18，电机14工作由此带动主轴16进行转动，由此能够带动滤纸进行移动。
滤纸放置架6包括安装在安装箱3内部的隔板2后侧的轴承座22，轴承座22的内部安装有副轴23，副轴23贯穿且延伸至隔板2的前侧，隔板2前侧的副轴23外部安装有两个限位盘二24，把待使用的滤纸卷套在副轴23上，然后在主轴16的作用下使得副轴23上的滤纸逐步的移动到主轴16上。
实施例3
如图2至图4中所示，在实施例2的基础上，滤纸收卷端5与过滤箱4以及滤纸放置架6与过滤箱4之间均设置有导向结构，且导向结构包括呈上下分布在隔板2前侧的两个支撑轴承19，支撑轴承19的内部安装有导向轴20，导向轴20的外部套接有两个对滤纸进行限位的防偏环21，通过设置的多个导向轴20对滤纸进行支撑，由此不仅保证了过滤箱4两侧的滤纸处于水平位置处，而且也保证了滤纸在进行移动时具有适中的松紧度。
过滤箱4的两侧对应滤纸的位置处开设有卡口11，卡口11的内部卡接有卡板31，卡板31上开设有供滤纸通过的开口32，开口32的内壁与滤纸相切设置，且卡板31设置为橡胶结构，能够防止滤纸表面的抛光液从卡口11的位置处随着滤纸的移动排出。
过滤箱4的内部底端开设有供滤纸过滤后的CMP抛光液落下的通孔12，在通孔12下方的过滤箱4底端设置有对过滤好的抛光液进行收集的积液槽33，积液槽33通过管道把过滤后的抛光液输送出，底座1的表面对应通孔12的位置处安装有抛光液储存盒10，通过抛光液储存盒10对过滤箱4与滤纸收卷端5之间的滤纸上滴落的抛光液进行收集作业，防止了抛光液的肆流。
防偏环21包括安装在过滤箱4内部的连接板25，连接板25的顶端安装有进液管26，进液管26上对应进液管26的位置处开设有供管道通过的连接槽28，连接板25的底端安装有与进液管26连通的进液管26，进液管26通过管道与供料泵进行连接，由此使得抛光液能够进入到进液管26的内部，进液管26的底端分布有滴液管30，进液管26内部的抛光液通过滴液管30滴落在滤纸的上方，滴液管30的底端设置在滤纸的上方，通过滤纸对抛光液进行过滤作业，连接板25上方的过滤箱4侧面通过合页连接有盖板13，防止在过滤时外界的杂物进入到过滤箱4的内部。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种CMP抛光液过滤器，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的表面中间位置处安装有隔板(2)，所述隔板(2)前侧的中间位置处安装有过滤箱(4)，所述过滤箱(4)一侧的隔板(2)侧面安装有滤纸放置架(6)，所述过滤箱(4)另一侧的隔板(2)侧面安装有滤纸收卷端(5)，所述滤纸放置架(6)上安装的滤纸经过过滤箱(4)到达滤纸收卷端(5)的位置处，所述过滤箱(4)内部滤纸上方的位置处安装有CMP抛光液添加端(7)。
2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述底座(1)的底端分布有滚轮座(8)，所述隔板(2)后侧的底座(1)表面安装有安装箱(3)，所述安装箱(3)的内部底端安装有电控盒(27)，所述隔板(2)的前侧安装有操作面板(9)，所述操作面板(9)的内部设置有为CMP抛光液添加端(7)进行供料的物料泵。
3.根据权利要求2所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：滤纸收卷端(5)包括安装在安装箱(3)内部的隔板(2)后侧的减速机(15)，所述减速机(15)的一侧连接有电机(14)，所述减速机(15)的内部安装有主轴(16)，所述主轴(16)贯穿且延伸至隔板(2)的前侧，所述隔板(2)前侧的主轴(16)外部安装有限位盘一(17)和防脱环(18)。
4.根据权利要求2所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述滤纸放置架(6)包括安装在安装箱(3)内部的隔板(2)后侧的轴承座(22)，所述轴承座(22)的内部安装有副轴(23)，所述副轴(23)贯穿且延伸至隔板(2)的前侧，所述隔板(2)前侧的副轴(23)外部安装有两个限位盘二(24)。
5.根据权利要求1所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述滤纸收卷端(5)与过滤箱(4)以及滤纸放置架(6)与过滤箱(4)之间均设置有导向结构，且导向结构包括呈上下分布在隔板(2)前侧的两个支撑轴承(19)，所述支撑轴承(19)的内部安装有导向轴(20)，所述导向轴(20)的外部套接有两个对滤纸进行限位的防偏环(21)。
6.根据权利要求1所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述过滤箱(4)的两侧对应滤纸的位置处开设有卡口(11)，所述卡口(11)的内部卡接有卡板(31)，所述卡板(31)上开设有供滤纸通过的开口(32)，所述开口(32)的内壁与滤纸相切设置，且所述卡板(31)设置为橡胶结构。
7.根据权利要求6所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述过滤箱(4)的内部底端开设有供滤纸过滤后的CMP抛光液落下的通孔(12)，在所述通孔(12)下方的过滤箱(4)底端设置有对过滤好的抛光液进行收集的积液槽(33)，所述积液槽(33)通过管道把过滤后的抛光液输送出，所述底座(1)的表面对应通孔(12)的位置处安装有抛光液储存盒(10)。
8.根据权利要求7所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述防偏环(21)包括安装在过滤箱(4)内部的连接板(25)，所述连接板(25)的顶端安装有进液管(26)，所述进液管(26)上对应进液管(26)的位置处开设有供管道通过的连接槽(28)，所述连接板(25)的底端安装有与进液管(26)连通的进液管(26)，所述进液管(26)的底端分布有滴液管(30)，所述滴液管(30)的底端设置在滤纸的上方，所述连接板(25)上方的过滤箱(4)侧面通过合页连接有盖板(13)。
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