CN115326107A - 一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法,步骤依次为:梳理反射镜组误差参量并建立含误差参量的镜面法线指向模型,获得误差参量向量的解算模型,基于高精度两轴转台和光电准直仪搭建基准,关联载体坐标系和基准坐标系,实验数据测量,反射镜组误差参量数字化标定,反射镜组镜面法线指向误差修正及验证。本发明能快速实现误差参量辨识并通过测角进行误差补偿,提高镜面法线指向精度。
Description
技术领域
本发明属于光学技术领域,涉及一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法,特别适合于扫描式反射镜组镜面法线误差参量数字化标校。
背景技术
扫描反射镜组是现代光学系统中实现周视扫描和目标跟踪的重要光机组件,其误差参量会对光轴指向精度和稳定精度等光电装备性能产生直接影响。
扫描反射镜组通常由反射镜光学件、两轴两框结构件、伺服机构和测角元件等组成。反射镜组误差参量主要包括镜面法线与俯仰轴不垂直度误差、俯仰零位误差、轴系不正交性误差等。
目前扫描反射镜组误差标校的方法主要是通过控制零件加工形位公差和机械式装调予以保证。该方法存在以下不足:
1)零件形位公差受到机加能力限制,因此零件公差客观存在;
2)机械式装调依靠研磨与加垫片,破坏零件整体性且经常需要反复;
3)反射镜组长期使用后误差发生变化时需要重新装调,效率较低。
发明内容
针对传统机械式扫描反射镜组误差标校存在的效率低、破坏结构整体性等缺点,本发明的目的是提供一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,可在保证组件完整的基础上快速实现误差参量辨识并通过测角进行误差补偿,提高镜面法线指向精度。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法,包括如下步骤
S1,搭建由内环方位轴、外环俯仰轴、调平楔脚、测角元件、伺服驱动元件以及控制机柜内扫描反射镜组控制模块构成的高精度两轴转台,结合实现镜面准直的光电自准直仪,为扫描反射镜组数字化标校提供基准,进行样本数据采集及标校,梳理反射镜组误差参量并建立含误差参量的镜面法线指向模型n=f(e1,e2,...,e8,ψ,θ),其中e1,e2,...,e8为误差参量,ψ,θ分别为二维扫描反射镜组的方位角和俯仰角给定值。该模型为包含误差参量以及方位俯仰角的三角函数的强非线性模型;
S2,根据待标校扫描反射镜组结构,通过对镜面法线指向模型中误差参量三角函数泰勒级数展开并进行一阶近似处理,建立误差参量解算模型E=(HTH)-1HTD,式中E=[e1,e2,e3,e4,e5,e6,e7,e8]T为误差参量向量,H为由方位和俯仰角构成的状态矩阵,D为由扫描反射镜的方位ψ、俯仰角θ,以及光电自准直仪水平读数h和竖直读数v构成的常数项向量;
S3,通过电子水平仪调整调平楔脚使得高精度两轴转台的台面水平,在高精度两轴转台中心建立基准坐标系OXYZ,其中Z轴垂直于台面向上,Y轴零位时指向正前方,X轴由右手定则确定,将平面镜通过平面镜工装安装在台面前侧俯仰轴端;借助平面镜、光电自准直仪和经纬仪在高精度两轴转台正前方俯仰45°方向建立斜45°基准;将扫描反射镜组置于高精度两轴转台,微调反射镜在转台位置及方位轴和俯仰轴使得光电自准直仪对镜面法线准直;
S4,为伺服驱动元件加电;在方位轴和俯仰轴的工作角度范围内,通过伺服驱动元件转动反射镜,同时控制高精度两轴转台反向转动相同角度,记录转台角度读数及光电自准直仪的读数;
S4,为伺服驱动元件加电,在方位轴和俯仰轴的工作角度范围内,通过伺服驱动元件转动反射镜,同时控制高精度两轴转台反向转动相同角度,记录二维扫描反射镜的方位和俯仰角度读数ψi,θi及光电自准直仪在X方向和Y方向的读数hi,vi;
S5,重复上述步骤,直至读数满足要求,将试验数据(二维扫描反射镜的方位和俯仰角度读数ψi,θi及光电自准直仪在X方向和Y方向的读数hi,vi)带入误差参量解算模型E=(HTH)-1HTD进行误差参量标定;
S6,将误差参量解算结果带入含误差参量的扫描反射镜组控制模块并重新烧写,基于所述方法对误差参量补偿后镜面法线的指向精度进行验证。
所述的一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法,对于两轴两框扫描反射镜组,误差参量包括:镜面法线与俯仰轴不垂直误差、俯仰零位误差、方位俯仰轴不正交性误差、方位零位误差、方位轴位置误差、测角误差以及基准误差。
所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其步骤S3中具体为:
S31,通过电子水平仪调节高精度两轴转台四个地脚使得方位轴铅垂;
S32,在俯仰轴端安装平面镜工装,将高精度两轴转台俯仰轴线通过反射镜法线引出,将高精度两轴转台设置到转台零位并使用第一个经纬仪对反射镜自准;
S33,在高精度两轴转台前方位置放置第二个经纬仪,与第一个经纬仪互瞄对准;
S34,将第一个经纬仪放置于方位轴上,与第二个经纬仪互瞄对准;
S35,将第一个经纬仪俯仰向上转动45°,方位清零,锁紧方位轴和俯仰轴;
S36,在高精度两轴转台前放置电动升降台,其放置位置在俯仰轴转动范围外,在电动升降台上放置45°自准直仪座,调整电动升降台高度和自准直仪高低,使自准直仪口径与经纬仪口径大致对中,根据经纬仪中观察到的自准直仪出射“十字”分划光,调整自准直仪的左右和俯仰,使得自准直仪的“十字”分划与经纬仪的目镜的十字分划重合;
S37,由此建立基准坐标系O-XYZ,平行转台俯仰轴为X轴,平行转台方位轴为Z轴,Y轴由右手定则确定。
所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其步骤S3中关联载体坐标系和基准坐标系:首先将待测二维扫描反射镜组通过连接件工装与高精度两轴转台连接,二维扫描反射镜组的方位座与高精度两轴转台的方位组端面居中放置,调整二维扫描反射镜组的方位和俯仰,使得自准直仪经过反射镜能自准成像,记录此时二维扫描反射镜组的方位角度和俯仰角度。按照需标定角度的最大值转动高精度两轴转台方位和俯仰,同时反向转动二维扫描反射镜组方位和俯仰相同角度,观察自准直仪中是否有反射像,若无,需调整二维扫描反射镜组与高精度两轴转台的居中情况,再重复转动最大角度,直至自准直仪中可观察到反射像。
所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其步骤S4中实验数据测量时在扫描反射镜组工作角度范围内(如方位-55°~+55°,俯仰-10°~35°)进行数据采集,从二维扫描反射镜组俯仰-10°开始,固定俯仰角不变,方位角从-55°以5°等间隔遍历至55°,在每次调整二维扫描反射镜组方位角和俯仰角的同时,控制高精度两轴转台方位轴旋转相同角度,但反向相反,记录此时扫描反射镜组方位、俯仰角理论值以及准直仪X、Y数值,然后以5°等间隔调整至下一个俯仰角,重复上述步骤,最终遍历至俯仰角35°,方位角55°位置。
所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其步骤S5中扫描反射镜组误差参量数字化标定:将上述步骤中实验数据按照取奇数行(或偶数行)方法划分为两组,一组为标定组,另一组为验证组;将标定组方位、俯仰角带入步骤S2中反射镜组误差参量解算模型,将方位、俯仰角以及光电准直仪度数换算得基准在基准坐标系的值,最后利用步骤S2对误差参量进行数值计算,获得扫描反射镜组误差参量标定结果。
所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其步骤S6中反射镜组镜面法线指向误差修正及验证。将标定误差参量带入步骤S1中含误差参量的镜面法线指向模型,将步骤S5中实验数据验证组中方位俯仰理论值分别带入镜面法线指向模型计算法线基准坐标系下指向,然后与基准在基础坐标系下计算值进行求夹角计算。最后将验证数据组计算所得夹角取均方值,给出反射镜组误差数字化标校后镜面法线指向精度。
本发明的有益效果在于:采用数字化标校技术,可一次性标校出扫描反射镜组多个误差参量,具有效率高的优点;采用高精度两轴转台加光电自准直仪构建目标基准,样本点数量可由两轴转台转动角度自主设定,提高标校精度;采用数字化标校技术进行误差参量标定避免了传统机械式装调研磨结构件的过程,保证了结构完好性。
附图说明
图1为本发明步骤S3中的方位轴调铅垂示意图;
图2为本发明步骤S3中俯仰轴引出示意图;
图3为本发明步骤S3中俯仰轴过渡示意图;
图4为本发明步骤S3中方位零位确定示意图;
图5为本发明步骤S3中俯仰45°基准确定示意图;
图6为本发明步骤S3中基准过渡及确立示意图;
图7为本发明添加标校前后镜面法线误差对比曲线。
各附图标记为:1—高精度两轴转台,2—调平楔脚,3—电子水平仪,4—平面镜工装,5—经纬仪,6—光电自准直仪,7—自准直仪座,8—电动升降台。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
本发明公开的一种扫描式反射镜组误差参量数字化标校涉及镜面法线指向模型建立、误差参量解算模型建立、靶标基准建立、实验测试以及误差辨识与验证五个步骤。具体实施方式如下。
S1,搭建由内环方位轴、外环俯仰轴、调平楔脚2、测角元件、伺服驱动元件以及控制机柜内扫描反射镜组控制模块构成的高精度两轴转台1,结合实现镜面准直的光电自准直仪6,为扫描反射镜组数字化标校提供基准,进行样本数据采集及标校,梳理反射镜组误差参量并建立含误差参量的镜面法线指向模型n=f(e1,e2,...,e8,ψ,θ),其中e1,e2,...,e8为误差参量,ψ,θ分别为二维扫描反射镜的方位角和俯仰角的给定值,转台方位,俯仰角和它大小相等符号相反。该模型为包含误差参量以及方位俯仰角的三角函数的强非线性模型。各种误差参量的物理含义如下表所示。
序号 | 符号 | 含义 |
1 | e<sub>1</sub> | 镜面法线与俯仰轴不垂直度误差 |
2 | e<sub>2</sub> | 俯仰零位误差 |
3 | e<sub>3</sub> | 方位轴与俯仰轴不正交误差 |
4 | e<sub>4</sub> | 载体系与基准系绕Y轴偏转误差 |
5 | e<sub>5</sub> | 载体系与基准系绕X轴偏转误差 |
6 | e<sub>6</sub> | 载体系与基准系绕Z轴偏转误差 |
7 | e<sub>7</sub> | 基准绕X轴偏转误差 |
8 | e<sub>8</sub> | 基准绕Z轴偏转误差 |
S2,在机加和装配保证反射镜组误差参量均为小量的前提下,通过对模型中误差参量三角函数泰勒级数展开并进行一阶近似处理。利用最小二乘原理获得误差参量向量的解算模型。
根据待标校扫描反射镜组实际结构形式建立误差参量解算模型E=(HTH)-1HTD,式中E=[e1,e2,e3,e4,e5,e6,e7,e8]T为误差参量向量,H为由方位和俯仰角构成的状态矩阵,D为由方位ψ、俯仰角θ、以及光电自准直仪6水平读数h和竖直读数v构成的常数项向量。
S3,调整调平楔脚2使得高精度两轴转台1的台面水平,在高精度两轴转台1中心建立基准坐标系OXYZ,其中Z轴垂直于台面向上,Y轴零位时指向正前方,X轴由右手定则确定,将平面镜通过平面镜工装4安装在台面前侧;借助平面镜、光电自准直仪6和经纬仪5在高精度两轴转台1正前方俯仰45°方向建立斜45°基准;将扫描反射镜组置于高精度两轴转台1,微调反射镜在转台位置及方位轴和俯仰轴使得光电自准直仪6对镜面法线准直。
S4,为伺服驱动元件加电,在方位轴和俯仰轴的工作角度范围内,通过伺服驱动元件转动反射镜,同时控制高精度两轴转台1反向转动相同角度,记录二维扫描反射镜的方位和俯仰角度读数ψi,θi及光电自准直仪6在X方向和Y方向的读数hi,vi。
5,重复上述步骤,直至读数满足要求,将试验数据(二维扫描反射镜的方位和俯仰角度读数ψi,θi及光电自准直仪6在X方向和Y方向的读数hi,vi)带入误差参量解算模型E=(HTH)-1HTD进行误差参量标定。
S6,将误差参量解算结果带入含误差参量的扫描反射镜组控制模块并重新烧写,基于所述方法对误差参量补偿后镜面法线的指向精度进行验证。
所述的步骤S1中,对于两轴两框扫描反射镜组误差参量有:镜面法线与俯仰轴不垂直误差、俯仰零位误差、方位俯仰轴不正交性误差、方位零位误差、方位轴位置误差、测角误差以及基准误差等。其中测角误差为随机误差不再此项方法研究之内,可通过23面体进行单独标定。通过四元数或旋转矩阵数学工具建立含误差参量的镜面法线指向模型n=f(e1,e2,...,e8,ψ,θ),其中e1,e2,...,e8为误差参量,ψ,θ分别为方位角和俯仰角。该模型为包含误差参量以及方位俯仰角的三角函数的强非线性模型。
所述步骤S3中基于高精度两轴转台1和光电自准直仪6搭建基准。
S31,通过电子水平仪3调节高精度两轴转台1四个地脚使得方位轴铅垂,如图1所示。
S32,在俯仰轴端安装平面镜工装4,按照Q/717J7.38-2017《俯仰回转轴系轴晃测试工艺规范》将高精度两轴转台1俯仰轴线通过反射镜法线引出,将高精度两轴转台1设置到转台零位并使用第一个经纬仪5对反射镜自准,如图2所示。
S33,在高精度两轴转台1前方位置放置第二个经纬仪5,与第一个经纬仪5互瞄对准,如图3所示。
S34,将第一个经纬仪5放置于方位轴上,与第二个经纬仪5互瞄对准,如图4所示。
S35,将第一个经纬仪5俯仰向上转动45°,方位清零,锁紧方位轴和俯仰轴,如图5所示。
S36,在高精度两轴转台1前放置电动升降台8,其放置位置在俯仰轴转动范围外。在电动升降台8上放置45°自准直仪座7,调整电动升降台8高度和自准直仪6高低,使自准直仪6口径与经纬仪5口径大致对中。根据经纬仪5中观察到的自准直仪6出射“十字”分划光,调整自准直仪6的左右和俯仰,使得自准直仪6的“十字”分划与经纬仪5的目镜的十字分划重合(图5)。
S37,由此建立基准坐标系(O-XYZ),平行转台俯仰轴为X轴,平行转台方位轴为Z轴,Y轴由右手定则确定。
所述步骤S3中关联载体坐标系和基准坐标系:首先将待测二维扫描反射镜组通过连接件工装与高精度两轴转台1连接,二维扫描反射镜组的方位座与高精度两轴转台1的方位组端面居中放置,如图6所示。调整二维扫描反射镜组的方位和俯仰,使得自准直仪6经过反射镜能自准成像。记录此时二维扫描反射镜组的方位角度和俯仰角度。按照需标定角度的最大值转动高精度两轴转台1方位和俯仰,同时反向转动二维扫描反射镜组方位和俯仰相同角度,观察自准直仪6中是否有反射像,若无,需调整二维扫描反射镜组与高精度两轴转台1的居中情况,再重复转动最大角度,直至自准直仪6中可观察到反射像。
所述步骤S4中实验数据测量:在扫描反射镜组工作角度范围内(如方位-55°~+55°,俯仰-10°~35°)进行数据采集。从二维扫描反射镜组俯仰-10°开始,固定俯仰角不变,方位角从-55°以5°等间隔遍历至55°。在每次调整二维扫描反射镜组方位角和俯仰角的同时,控制高精度两轴转台1方位轴旋转相同角度,但反向相反,记录此时扫描反射镜组方位、俯仰角理论值以及准直仪X、Y数值。然后以5°等间隔调整至下一个俯仰角,重复上述步骤,最终遍历至俯仰角35°,方位角55°位置。
所述步骤S5中扫描反射镜组误差参量数字化标定:将上述步骤中实验数据按照取奇数行(或偶数行)方法划分为两组,一组为标定组,另一组为验证组。将标定组方位、俯仰角带入步骤S2中反射镜组误差参量解算模型,将方位、俯仰角以及光电准直仪度数换算得基准在基准坐标系的值。最后利用步骤S2对误差参量进行数值计算,获得扫描反射镜组误差参量标定结果。
所述步骤S6中反射镜组镜面法线指向误差修正及验证:将标定误差参量带入步骤S1中含误差参量的镜面法线指向模型,将步骤S5中实验数据验证组中方位俯仰理论值分别带入镜面法线指向模型计算法线基准坐标系下指向,然后与基准在基础坐标系下计算值进行求夹角计算。最后将验证数据组计算所得夹角取均方值,给出反射镜组误差数字化标校后镜面法线指向精度。标校前后镜面法线误差对比曲线如图7所示。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效,以及部分运用的实施例,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法,其特征在于:包括如下步骤
S1,搭建由内环方位轴、外环俯仰轴、调平楔脚(2)、测角元件、伺服驱动元件以及控制机柜内扫描反射镜组控制模块构成的高精度两轴转台(1),结合自准直仪座(7)上实现镜面准直的光电自准直仪(6),为扫描反射镜组数字化标校提供基准,进行样本数据采集及标校,根据反射镜组误差参量建立镜面法线指向模型n=f(e1,e2,...,e8,ψ,θ),其中e1,e2,...,e8为误差参量,ψ,θ分别为扫描反射镜的方位角和俯仰角给定值;
S2,根据待标校扫描反射镜组结构,通过对镜面法线指向模型中误差参量三角函数泰勒级数展开并进行一阶近似处理,建立误差参量解算模型E=(HTH)-1HTD,式中E=[e1,e2,e3,e4,e5,e6,e7,e8]T为误差参量向量,H为由方位和俯仰角构成的状态矩阵,D为由扫描反射镜的方位ψ、俯仰角θ,以及光电自准直仪(6)水平读数h和竖直读数v构成的常数项向量;
S3,通过电子水平仪(3)调整调平楔脚(2)使得高精度两轴转台(1)的台面水平,在高精度两轴转台(1)中心建立基准坐标系OXYZ,其中Z轴垂直于台面向上,Y轴零位时指向正前方,X轴由右手定则确定,将平面镜通过平面镜工装(4)安装在俯仰轴端,借助平面镜、光电自准直仪(6)和经纬仪(5)在高精度两轴转台(1)正前方俯仰45°方向建立斜45°基准,将扫描反射镜组置于高精度两轴转台(1),微调反射镜位置及方位轴和俯仰轴使得光电自准直仪(6)对镜面法线准直;
S4,为伺服驱动元件加电,在方位轴和俯仰轴的工作角度范围内,通过伺服驱动元件转动反射镜,同时控制高精度两轴转台(1)反向转动相同角度,记录扫描反射镜的方位和俯仰角度读数ψi,θi及光电自准直仪(6)在X方向和Y方向的读数hi,vi;
S5,重复上述步骤,直至读数满足要求,将试验数据ψi,θi及hi,vi带入误差参量解算模型E=(HTH)-1HTD进行误差参量标定;
S6,将误差参量解算结果带入扫描反射镜组控制模块,对误差参量补偿后镜面法线的指向精度进行验证。
2.根据权利要求1所述的一种扫描反射镜镜面法线误差数字化标校方法,其特征在于,对于两轴两框扫描反射镜组,误差参量包括:镜面法线与俯仰轴不垂直误差、俯仰零位误差、方位俯仰轴不正交性误差、方位零位误差、方位轴位置误差、测角误差以及基准误差。
3.根据权利要求2所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其特征在于,所述步骤S3具体包括:
S31,通过电子水平仪(3)调节高精度两轴转台(1)四个地脚使得方位轴铅垂;
S32,在俯仰轴端安装平面镜工装(4),将高精度两轴转台(1)俯仰轴线通过反射镜法线引出,将高精度两轴转台(1)设置到转台零位并使用第一个经纬仪(5)对反射镜自准;
S33,在高精度两轴转台(1)前方位置放置第二个经纬仪(5)并与第一个经纬仪(5)互瞄对准;
S34,将第一个经纬仪(5)放置于方位轴上并与第二个经纬仪(5)互瞄对准;
S35,将第一个经纬仪(5)俯仰向上转动45°,方位清零后锁紧方位轴和俯仰轴;
S36,在高精度两轴转台(1)前的俯仰轴转动范围外放置电动升降台(8),在电动升降台(8)上放置45°自准直仪座(7),使自准直仪(6)口径与经纬仪(5)口径对中,根据经纬仪(5)中观察到的自准直仪(6)出射的十字分划光,调整自准直仪(6)的左右和俯仰,使得自准直仪(6)与经纬仪(5)目镜的十字分划重合;
S37,建立基准坐标系O-XYZ,平行转台俯仰轴为X轴,平行转台方位轴为Z轴,Y轴由右手定则确定。
4.根据权利要求3所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其特征在于,所述步骤S3中先将待测二维扫描反射镜组通过连接件工装与高精度两轴转台(1)连接,二维扫描反射镜组的方位座与高精度两轴转台(1)的方位组端面居中放置,调整二维扫描反射镜组的方位和俯仰,使得自准直仪(6)经过反射镜能自准成像,记录此时二维扫描反射镜组的方位角度和俯仰角度,按照需标定角度的最大值转动高精度两轴转台(1)方位和俯仰,同时反向转动二维扫描反射镜组方位和俯仰相同角度,观察自准直仪(6)中是否有反射像,若无则调整二维扫描反射镜组与高精度两轴转台(1)的居中情况,再重复转动最大角度,直至自准直仪(6)中可观察到反射像。
5.根据权利要求4所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其特征在于,所述步骤S4中在方位-55°~+55°和俯仰-10°~35°范围内进行数据采集,从二维扫描反射镜组俯仰-10°开始,固定俯仰角不变,方位角从-55°以5°等间隔遍历至55°,在每次调整二维扫描反射镜组方位角和俯仰角的同时,控制高精度两轴转台(1)方位轴旋转相同角度但反向相反,记录此时扫描反射镜组方位、俯仰角理论值以及准直仪X、Y数值,然后以5°等间隔调整至下一个俯仰角,重复上述步骤,最终遍历至俯仰角35°和方位角55°位置。
6.根据权利要求5所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其特征在于,所述步骤S5中将实验数据按照取奇数行或偶数行的方法划分为两组,一组为标定组,另一组为验证组;将标定组方位、俯仰角带入误差参量解算模型,将方位、俯仰角以及光电准直仪度数换算得基准在基准坐标系的值,最后利用步骤S2对误差参量进行数值计算,获得扫描反射镜组误差参量标定结果。
7.根据权利要求6所述的一种扫描式反射镜组镜面法线指向误差数字化标校方法,其特征在于,所述步骤S6中将标定误差参量带入含误差参量的镜面法线指向模型,将实验数据验证组中方位俯仰理论值分别带入镜面法线指向模型计算法线基准坐标系下指向,然后与基准在基础坐标系下计算值进行求夹角计算,最后将验证数据组计算所得夹角取均方值,给出反射镜组误差数字化标校后镜面法线指向精度。
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CN116954011A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-10-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 高精度光学反射系统标校相机的装调方法 |
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CN116954011A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-10-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 高精度光学反射系统标校相机的装调方法 |
CN116954011B (zh) * | 2023-09-18 | 2023-11-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 高精度光学反射系统标校相机的装调方法 |
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