CN115134266A - 数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备 - Google Patents

数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备 Download PDF

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Abstract

本发明实施例提供了数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该数据上传方法包括：对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；在与上位机通信故障时，存储监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与上位机通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息；在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机发送当前监测信息；在与上位机之间通信正常时，按预设的时间间隔，向上位机发送当前监测信息。上述方案在避免监测信息中断的同时，可以避免在发送监测信息的过程中，等待上位机发送的反馈信息，从而可以提高通信效率。

Description

数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备
技术领域
本发明涉及半导体装备技术领域，特别是涉及数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备。
背景技术
在半导体工艺设备中，下位机可以控制半导体工艺设备中的各个模块动作，完成对晶圆(wafer)的加工处理。下位机与上位机通信连接，上位机可以从下位机获取半导体工艺设备的各项监测信息，对半导体工艺设备进行监控和管理。现有技术中，下位机与上位机通信时，通信效率较低。
发明内容
本发明实施例所要解决的技术问题是半导体工艺设备中的下位机与上位机之间通信效率较低的问题。
为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种数据上传方法，应用于半导体工艺设备中的下位机，所述下位机与所述半导体工艺设备中的上位机通信连接；所述方法包括：
对预先确定的所述半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；
在与所述上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与所述上位机之间通信恢复正常后，向所述上位机广播发送所述历史监测信息；在向所述上位机广播发送所述历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息；
在与所述上位机之间通信正常的情况下，按所述时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息。
可选地，所述存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息，包括：根据所述多个监测目标的优先级，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。
可选地，所述存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息，包括：在监测到目标级别的所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。
可选地，所述向所述上位机广播发送所述当前监测信息，包括：在所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，向所述上位机广播发送所述监测目标的当前监测信息。
可选地，向所述上位机广播发送所述历史监测信息的步骤，包括：在所述历史监测信息包括多个的情况下，将多个所述历史监测信息打包为数据包，并向所述上位机广播发送所述数据包。
本发明实施例还公开了一种数据接收方法，应用于半导体工艺设备中的上位机，所述上位机与所述半导体工艺设备中的下位机通信连接；所述方法包括：
接收所述下位机发送的所述半导体工艺设备的多个监测目标的监测信息；
其中，所述监测目标的监测信息包括所述监测目标的历史监测信息和/或所述监测目标的当前监测信息；所述监测目标的历史监测信息由所述下位机在与所述上位机之间通信故障时监测并存储，在与所述上位机之间通信恢复正常后广播发送；所述监测目标的当前监测信息由所述上位机在与所述上位机之间通信正常时监测，并按预设的时间间隔广播发送。
可选地，所述多个监测目标中包括所述半导体工艺设备的一个或多个设备状态，所述方法还包括：
在所述上位机的使用率大于第一预设阈值的情况下，针对同一个所述设备状态，从所述设备状态的连续多个监测信息中，间隔选择部分监测信息进行处理；
在所述上位机的使用率大于第二预设阈值的情况下，丢弃所述设备状态的监测信息；所述第二预设阈值大于所述第一预设阈值。
可选地，所述多个监测目标中包括所述半导体工艺设备的一个或多个工艺控制数据，所述方法还包括：
在所述上位机的使用率大于第三预设阈值的情况下，按预设规则，从所述工艺控制数据的监测信息中保存与工艺处理结果相关的目标工艺控制数据的监测信息，并丢弃除所述目标工艺控制数据之外的其它所述工艺控制数据的监测信息。
本发明实施例还公开了一种半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括上位机和/或下位机，所述下位机被配置为执行如上所述的数据上传方法，所述上位机被配置为执行如上所述的数据接收方法。
与背景技术相比，本发明包括以下优点：下位机对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测，在与上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与上位机之间通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息，在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息；在与上位机之间通信正常的情况下，则按时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息。在通信故障时保存监测信息，在通信正常时发送保存的监测信息，并按预设的时间间隔向上位机发送当前获取的监测信息，在避免监测信息中断的同时，可以避免在发送监测信息的过程中，等待上位机发送的反馈信息，从而可以提高通信效率。
附图说明
图1示出了在先技术中的一种数据上传过程的示意图；
图2示出了本实施例提供的一种数据上传方法的步骤流程图；
图3示出了本实施例提供的一种上位机与下位机之间的通信流程图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，首先对在先技术中下位机与上位机之间的通信过程进行简要介绍。
如图1所示，图1示出了在先技术中的一种数据上传过程的示意图，半导体工艺设备中的下位机与上位机通信连接，在下位机与上位机之间建立通信连接之后，上位机向下位机发送订阅请求。下位机可以接收订阅请求，订阅请求中可以包括多个监测目标的标识信息，下位机可以根据监测目标的标识信息，确定需要监测的监测目标，获取监测目标的监测信息，并向上位机发送监测目标的监测信息。
其中，监测目标可以是半导体工艺设备的设备状态，或者半导体工艺设备的作业(job)状态，或者半导体工艺设备的工艺控制数据。半导体工艺设备例如刻蚀机，刻蚀机中设置有工艺腔室，工艺腔室上设置有阀门，设备状态可以是腔室门的开关状态和阀门的开关状态；作业状态可以是下位机在接收到上位机发送的控制任务之后，控制任务的执行结果；工艺控制数据例如先进工艺控制(Advanced process control，APC)过程的相关信息，可以包括对晶圆进行工艺处理时的各项工艺控制参数。监测目标的具体类型可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
以设备状态为例，订阅请求中可以包括阀门的标识信息。下位机在接收到订阅请求之后，若确定订阅请求中包括某个阀门的标识信息，则确定需要监测的监测目标中包括该阀门的开关状态。此时，下位机可以对该阀门的开关状态进行监测，得到对应的监测信息，监测信息指示阀门处于打开状态或关闭状态。在监测获取到阀门的监测信息之后，可以向上位机发送监测信息。通常情况下，监测目标包括多个，下位机可以监测得到多个监测目标的监测信息。在监测信息的发送过程中，下位机首先建立发送队列，在监测到每个监测目标的监测信息之后，将监测目标的监测信息插入到发送队列的队尾位置。在发送过程中，从发送队列的队首位置取出位于队首位置的监测信息向上位机发送。上位机在接收到下位机发送的一个监测信息之后，对监测信息进行处理，在处理完成之后，向下位机发送反馈信息。下位机在接收到上位机发送的反馈信息之后，从发送队列的队首位置再次取出另一个监测信息向上位机发送。依次类推，下位机在接收到上位机发送的一个反馈信息之后，从发送队列的队首位置取出一个监测信息向上位机发送，依次将发送队列中的每个监测信息发送至上位机。
在监测信息的发送过程中，下位机在未接收到上位机发送的反馈信息时等待。当等待超时或者检测到与上位机之间的通信故障时，将从发送队列取出的监测信息重新插入到发送队列的队首位置，等到接收到下一个反馈信息时，对插入到队首位置的监测信息再次进行发送。
在先技术中，下位机在向上位机发送每个监测信息时，均需要等待上位机发送的反馈信息，并且多个监测信息需要依次发送，导致发送效率较低。同时，上位机与下位机高度耦合，上位机与下位机二者中的任意一方故障时，均会导致另一方进入停止状态。例如，当下位机故障时，上位机无法接收到下位机发送的监测信息，上位机的流程需要停止，直至接收到下位机发送的监测信息；当上位机故障时，下位机无法接收到反馈信息，无法向上位机发送下一个监测信息，直至接收到上位机发送的反馈信息。
为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备，下面结合附图和具体实施方式对本发明实施例作进一步详细的说明。
参照图2，图2示出了本实施例提供的一种数据上传方法的步骤流程图，该方法应用于半导体工艺设备中的下位机，下位机与半导体工艺设备中的上位机通信连接；该方法可以包括：
步骤201、对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测。
本实施例中，用户可以预先在下位机设置需要监测的监测目标，下位机在启动运行之后，可以直接对半导体工艺设备的多个监测目标进行监测，获取每个监测目标的监测信息。或者，用户可以在上位机设置需要监测的监测目标，上位机在启动运行，并与下位机建立通信连接之后，向下位机发送订阅请求，订阅请求中包括每个监测目标的标识信息。下位机可以根据订阅请求中的标识信息，确定监测目标，对半导体工艺设备中的每个监测目标进行监测，获取监测目标的监测信息。其中，下位机在对监测目标进行监测时，可以持续对监测目标进行监测，记录监测目标的变化，保存变化后的监测目标的监测信息。对监测目标进行监测的方法可以根据监测目标具体设置，本实施例对此不做限制。
步骤202、在与上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息。
步骤203、在与上位机之间通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息，在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息。
其中，历史监测信息为预先监测并存储得到的监测目标的监测信息，当前监测信息为实时监测得到的监测目标的监测信息。
本实施例中，下位机在启动运行之后，持续对下位机与上位机之间的通信网络进行监测，确定与上位机之间的通信处于正常状态或者故障状态。示例性地，下位机中可以设置网络监控模块，通过网络监控模块对下位机与上位机之间的通信网络进行监测。例如，下位机与上位机之间通过传输控制协议/网际协议(Transmission Control Protocol/Internet Protocol，TCP/IP)通信连接，网络监控模块例如连通性测试程序(PacketInternet Groper)，在建立与上位机之间的通信连接之后，连通性测试程序可以每隔预设的检测时长向上位机发送一个因特网报文控制协议(Internet Control MessageProtocol，ICMP)报文，测试与上位机之间的网络连通性，确定与上位机之间的通信网路处于正常状态或者故障状态。其中，对网络进行监测的方法可以根据上位机与下位机之间的通信协议具体设置，本实施例对此不做限制。
下位机在监测到下位机与上位机之间的通信网络处于故障状态时，确定与上位机之间通信故障，此时下位机可以对当前时刻监测到的监测目标的当前监测信息进行存储，得到历史监测信息。例如，下位机在监测到与上位机之间通信故障时，可以对当前时刻监测到的阀门的监测信息进行存储，将监测信息存储到下位机的预设位置。对应的，在监测到与上位机之间的通信恢复正常时，首先可以确定是否存储有历史监测信息，若确定存储有历史监测信息，首先以广播的方式向上位机发送历史监测信息，然后按预设的时间间隔向上位机广播发送当前监测信息。结合上述举例，在确定与上位机之间通信正常之后，若检测到预设位置中存储有历史监测信息，则下位机可以从预设位置读取历史监测信息，然后向上位机广播发送历史监测信息。在历史监测信息发送完成之后，下位机可以向上位机广播发送当前时刻监测得到的当前监测信息。示例性地，时间间隔为1秒，在将预设位置的历史监测信息发送完成之后，下位机可以每隔1秒向上位机发送一次当前时刻监测到的监测目标的当前监测信息。
其中，在向上位机广播发送当前时刻监测得到的当前监测信息时，若当前监测信息为多个监测目标的监测信息，上位机可以将多个监测信息打包为数据包，然后向上位机广播发送数据包，以将多个监测信息统一发送至上位机。结合上述举例，下位机若同时获取到多个监测目标的当前监测信息，下位机可以将多个监测目标的当前监测信息打包为一个数据包，向上位机发送数据包。可选地，针对不同的当前监测信息，可以在当前监测信息中设置不同的标识信息，上位机可以根据标识信息区分不同的当前监测信息。标识信息的具体形式可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
可选地，向上位机发送历史监测信息的步骤，包括：
在历史监测信息包括多个的情况下，将多个历史监测信息打包为数据包，并向上位机发送数据包。
在一种实施方式中，在向上位机广播发送历史监测信息的过程中，下位机可以在历史监测信息为多个的情况下，首先对多个历史监测信息进行打包，然后向上位机广播发送打包得到的数据包，将多个历史监测信息统一发送至上位机。结合上述举例，若预设位置中存储的历史监测信息中包括阀门的历史监测信息和腔室门的历史监测信息，以及工艺控制数据和作业状态的历史监测信息，下位机可以将多个历史监测信息打包为一个数据包，向上位机发送数据包。可选地，针对不同的历史监测信息，可以在历史监测信息中设置不同的标识信息，上位机可以根据标识信息区分不同的历史监测信息。标识信息的具体形式可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
本发明实施例中，在历史监测信息的发送过程中，下位机可以对多个历史监测信息进行打包发送，避免依次发送每个历史监测信息，从而可以提高历史监测信息的发送效率。
可选地，存储监测到的监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息的步骤可以包括：根据多个监测目标的优先级，存储目标级别的监测目标的当前监测信息，得到目标级别的监测目标的历史监测信息。
在一种实施方式中，用户可以预先设置不同监测目标的优先级，在确定下位机与上位机之间通信故障的情况下，下位机在存储监测得到的当前监测信息时，可以只对目标级别的监测目标的当前监测信息进行存储，得到历史监测信息。结合上述举例，用户可以设置作业状态和工艺控制数据的优先级为第一优先级，设备状态的优先级为第二优先级。在监测到上位机与下位机之间的通信故障时，下位机可以确定第一优先级为目标级别，存储作业状态的当前监测信息和工艺控制数据的当前监测信息，得到历史监测信息。
本发明实施例中，在通信故障时，只对目标级别的监测目标的监测信息进行存储，可以减小历史监测信息的数据量，在通信恢复之后，在发送历史监测信息的过程中，可以降低数据量，提高数据发送效率。
可选地，存储目标级别的监测目标的当前监测信息，得到目标级别的监测目标的历史监测信息，包括：
在监测到目标级别的监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，存储目标级别的监测目标的当前监测信息，得到目标级别的监测目标的历史监测信息。
在一种实施方式中，在存储当前监测信息的过程中，可以只对变化的当前监测信息进行存储，得到历史监测信息，不对未发生变化的当前监测信息进行存储。例如，针对某个作业状态的当前监测信息，当该作业状态不变时，当前时刻监测到的该作业状态的监测信息不会发生变化，而当该作业状态变化之后，该作业状态的监测信息会发生变化。在监测到上位机与下位机之间的通信故障时，若监测到该作业状态的监测信息未发生变化，则不对该作业状态的当前监测信息进行存储，反之当监测到该作业状态的监测信息发生变化时，对该作业状态的当前监测信息进行存储，得到历史监测信息。
在本发明实施例中，在存储当前监测信息的过程中，只对发生变化的当前监测信息进行存储，可以降低历史监测信息的数据量，在通信恢复之后，可以降低向上位机发送的数据量，从而可以提高通信质量。
步骤204、在与上位机之间通信正常的情况下，则按时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息。
本实施例中，下位机在确定与上位机之间的通信正常的情况下，若同时确定未存储历史监测信息，可以直接按预设的时间间隔，以广播的形式向上位机发送当前时刻监测到的监测目标的监测信息。
可选地，向上位机广播发送当前监测信息的步骤包括：
在监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，向上位机广播发送监测目标的当前监测信息。
在一种实施方式中，下位机在向上位机广播发送监测目标的监测信息时，可以在监测目标的当前监测信息发生变化时，向上位机广播发送变化后的当前监测信息，在监测目标的当前监测信息不发生变化时，不执行向上位机广播发送监测目标的当前监测信息的步骤。例如，针对阀门的当前监测信息，当阀门一直处于打开状态或关闭状态时，当前时刻监测到的阀门的监测信息不会发生变化，此时不向上位机发送阀门的当前监测信息。而当阀门由打开状态切换至关闭状态，或者由关闭状态切换至打开状态之后，阀门的监测信息会发生变化，此时向上位机发送变化后的阀门的当前监测信息。对应的，上位机在接收到下位机发送的阀门的当前监测信息之后，根据当前监测信息对上位机中的阀门的监测信息进行更新，而当未接收到阀门的当前监测信息时，默认阀门的状态未发生变化，不对上位机中阀门的监测信息进行更新。
本发明实施例中，在向上位机发送监测目标的当前监测信息时，下位机只向上位机发送变化后的监测信息，可以降低下位机与上位机之间传输的数据量，从而可以提高通信质量。
综上所述，在本发明实施例中，下位机对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测，在与上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与上位机之间通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息，在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息；在与上位机之间通信正常的情况下，则按时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息。在通信故障时保存监测信息，在通信正常时发送保存的监测信息，并按预设的时间间隔向上位机发送当前获取的监测信息，在避免监测信息中断的同时，可以避免在发送监测信息的过程中，等待上位机发送的反馈信息，从而可以提高通信效率。
同时，下位机在向上位机发送监测信息时，不需要等待上位机发送的反馈信息，可以实现上位机与下位机之间的解耦，避免出现上位机与下位机二者之间的任意一方出现问题时，导致另一方处于等待的问题。进一步的，在通信故障时，可以保存监测信息，在通信恢复之后，可以根据保存的历史监测信息，快速恢复控制。并且，在监测信息的发送过程中，可以实现多个监测信息的同时发送，可以提高发送效率。
参照图3，图3示出了本实施例提供的一种上位机与下位机之间的通信流程图，上位机与下位机在启动运行之后，可以建立通信连接。下位机可以对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测，并对下位机与上位机之间的通信网络进行监测。在监测到通信正常时，按时间间隔，向上位机广播发送监测得到的监测目标的当前监测信息。在通信故障时，存储监测到的监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息。在监测到与上位机之间的通信恢复正常之后，首先向上位机广播发送存储的历史监测信息，然后继续执行按时间间隔，向上位机广播发送监测得到的当前监测信息的步骤。同时，下位机持续对上位机与下位机之间的通信网络进行监测，以及继续执行获取监测目标的监测信息的步骤。
本发明实施还提供一种数据接收方法，应用于上位机，上位机与半导体工艺设备中的下位机通信连接；该方法包括：接收下位机发送的多个监测目标的监测信息；监测目标的监测信息包括监测目标的历史监测信息和/或监测目标的当前监测信息；监测目标的历史监测信息由下位机在与上位机之间的通信故障时监测并存储，在与上位机之间通信恢复正常后广播发送；监测目标的当前监测信息由上位机在与上位机之间的通信正常时监测，并按预设的时间间隔广播发送。上位机在监测信息的处理过程中，可以根据自身的使用率，对不同类型的监测目标的监测信息做不同的处理。
其中，多个监测目标中可以包括半导体工艺设备的一个或多个设备状态。
上位机在对多个监测目标的监测信息进行处理的过程中，上位机可以在上位机的使用率大于第一预设阈值的情况下，针对同一个设备状态，从设备状态的连续多个监测信息中，间隔选择部分监测信息进行处理；在上位机的使用率大于第二预设阈值的情况下，丢弃设备状态的监测信息；第二预设阈值大于第一预设阈值。
本实施例中，上位机可以根据自身的使用率，对设备状态的监测信息做不同的处理。上位机的使用率可以通过上位机中处理器(Central Processing Unit，CPU)的使用率或内存的使用率表征。如图3所示，上位机可以持续监测CPU的使用率，在接收到下位机发送的监测信息之后，首先对监测信息分类，确定监测信息所属的监测目标属于设备状态、工艺控制数据或作业状态。其中，针对设备状态的监测信息，可以预先设置第一预设阈值和第二预设阈值，第二预设阈值大于第一预设阈值。在设备状态的监测信息的处理过程中，若CPU的使用率大于第一预设阈值，上位机可以从接收到的连续的多个监测信息中，间隔选择部分监测信息进行处理。以阀门的监测信息为例，下位机在连续的多个时间点分别向上位机发送阀门的监测信息，上位机可以接收到连续的多个监测信息。当CPU的使用率大于第一预设阈值(第一预设阈值例如50％)时，上位机可以从连续的多个监测信息中，间隔选择部分监测信息进行处理，丢弃其它未选择的监测信息，以降低数据量，降低CPU的负载。具体的，若下位机每隔0.1秒向上位机发送阀门的一个监测信息，针对阀门的连续的多个监测信息，上位机可以从连续的10个监测信息中随机选择一个监测信息进行处理，而丢弃10个监测信息中的其它监测信息。进一步的，当CPU的使用率大于第二预设阈值(第二预设阈值例如80％)时，上位机可以直接丢弃阀门所有的监测信息，以进一步降低处理器的负载。第一预设阈值和第二预设阈值的具体数值可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
可选地，多个监测目标中包括半导体工艺设备的一个或多个工艺控制数据，该还包括：在上位机的使用率大于第三预设阈值的情况下，按预设规则，从工艺控制数据的监测信息中保存与工艺处理结果相关的目标工艺控制数据的监测信息，并丢弃除目标工艺控制数据之外的其它工艺控制数据的监测信息。
在一种实施方式中，针对工艺控制数据，当上位机的负载较大时，可以只对控制控制信息中与工艺处理结果相关的目标工艺控制数据的监测信息进行处理，而丢弃除目标工艺控制数据之外的其它工艺控制数据的监测信息。第三预设阈值可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
本发明实施例还一种半导体工艺设备，半导体工艺设备包括上位机和/或下位机，下位机被配置为执行如上所述的数据上传方法，上位机被配置为执行如上所述的数据接收方法。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者移动设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者移动设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者移动设备中还存在另外的相同要素。
以上对本发明实施例所提供的深硅刻蚀方法和半导体工艺设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明实施例的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明实施例的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明实施例的限制。

Claims (9)

1.一种数据上传方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备中的下位机，所述下位机与所述半导体工艺设备中的上位机通信连接；所述方法包括：
对预先确定的所述半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；
在与所述上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与所述上位机之间通信恢复正常后，向所述上位机广播发送所述历史监测信息；在向所述上位机广播发送所述历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息；
在与所述上位机之间通信正常的情况下，按所述时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息，包括：
根据所述多个监测目标的优先级，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息，包括：
在监测到目标级别的所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向所述上位机广播发送所述当前监测信息，包括：
在所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，向所述上位机广播发送所述监测目标的当前监测信息。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，向所述上位机广播发送所述历史监测信息的步骤，包括：
在所述历史监测信息包括多个的情况下，将多个所述历史监测信息打包为数据包，并向所述上位机广播发送所述数据包。
6.一种数据接收方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备中的上位机，所述上位机与所述半导体工艺设备中的下位机通信连接；所述方法包括：
接收所述下位机发送的所述半导体工艺设备的多个监测目标的监测信息；
其中，所述监测目标的监测信息包括所述监测目标的历史监测信息和/或所述监测目标的当前监测信息；所述监测目标的历史监测信息由所述下位机在与所述上位机之间通信故障时监测并存储，在与所述上位机之间通信恢复正常后广播发送；所述监测目标的当前监测信息由所述上位机在与所述上位机之间通信正常时监测，并按预设的时间间隔广播发送。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述多个监测目标中包括所述半导体工艺设备的一个或多个设备状态，所述方法还包括：
在所述上位机的使用率大于第一预设阈值的情况下，针对同一个所述设备状态，从所述设备状态的连续多个监测信息中，间隔选择部分监测信息进行处理；
在所述上位机的使用率大于第二预设阈值的情况下，丢弃所述设备状态的监测信息；所述第二预设阈值大于所述第一预设阈值。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述多个监测目标中包括所述半导体工艺设备的一个或多个工艺控制数据，所述方法还包括：
在所述上位机的使用率大于第三预设阈值的情况下，按预设规则，从所述工艺控制数据的监测信息中保存与工艺处理结果相关的目标工艺控制数据的监测信息，并丢弃除所述目标工艺控制数据之外的其它所述工艺控制数据的监测信息。
9.一种半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备包括上位机和/或下位机，所述下位机被配置为执行如权利要求1-5中任一项所述的方法，所述上位机被配置为执行如权利要求6-9中任一项所述的方法。
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