CN115021083B - 一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,解决现有技术中存在的气体开关工作在工作时,产生电极烧蚀、气体压力变化、气体成分分解等物理现象,影响开关的正常工作和使用寿命以及现有的气体开关无法满足开关内的工作气压数倍于标准大气压的问题;包括陶瓷封装模块、气体净化模块、电极模块、电场屏蔽模块以及电接触连接模块;电极模块与气体净化模块设置在陶瓷封装模块内部,电极模块的阳极端与陶瓷封装模块的阳极端连接,电极模块的阴极端与气体净化模块的一端连接,气体净化模块的另一端与陶瓷封装模块的阴极端连接;电接触连接模块包括第一连接结构、第二连接结构、第三连接结构;电场屏蔽模块安装在陶瓷封装模块的两端。

Description

一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关
技术领域
本发明涉及一种自击穿气体开关,具体涉及一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关。
背景技术
脉冲功率装置将能量在时间尺度上压缩,获得短时的高功率输出,大量应用于高能粒子加速器,核聚变等大型装置中。开关决定脉冲功率装置的输出,是脉冲功率装置的核心部件。其中气体开关因其较高的通流能力、耐受电压,和较好的绝缘恢复能力,广泛应用于电压等级高于百千伏,电流在数千安以上的大型脉冲功率装置中。
为实现低抖动,一种方式为触发式气体开关,触发源可为光、电、辐射等。但此类开关需要引入外触发信号,导致结构复杂,体积庞大,造价昂贵,无法适应轻小型、长寿命的研制需求。
自击穿式气体开关无需引入外触发结构,系统结构简单,可靠性高,是最理想的开关形式。自击穿式气体开关的应用需考虑两方面因素,一方面因自击穿开关的电压抖动主要受电极的场增强影响,场增强系数较高的电极结构具有较低的抖动,故常用高场增强电极结构如针-板电极结构、刃板电极结构等作为电极,而高场增强的针、刃电极在大电流放电条件下耐烧蚀特性较差,限制了其应用;另一方面,气体开关的工作状态主要由气体成分和气体压力决定,随着气体开关工作电压、工作电流指标的提升,要求开关内的工作气压数倍于标准大气压,故在开关工作时需要气压值稳定无泄漏。且伴随开关工作的气体放电过程,必然产生气体成分分解等物理现象。综上所述电极烧蚀与气体压力变化、气体分解过程会影响开关的正常工作,影响开关使用寿命。
发明内容
本发明的目的是解决现有技术中存在的气体开关工作在工作时,产生电极烧蚀、气体压力变化、气体成分分解等物理现象,影响开关的正常工作和使用寿命的问题以及现有的气体开关无法满足开关内的工作气压数倍于标准大气压的问题,而提供了一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关。
本发明所采用的技术方案为:
一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特殊之处在于:
包括陶瓷封装模块、气体净化模块、电极模块、电场屏蔽模块以及电接触连接模块;
所述电极模块与气体净化模块依次设置在陶瓷封装模块内部,且电极模块的阳极端与陶瓷封装模块的阳极端连接,电极模块的阴极端与气体净化模块的一端连接,气体净化模块的另一端与陶瓷封装模块的阴极端连接;
所述电接触连接模块包括安装在气体净化模块与陶瓷封装模块阴极端之间的第一连接结构、安装在电极模块阴极端与气体净化模块之间的第二连接结构、安装在陶瓷封装模块阳极端与电极模块阳极端之间的第三连接结构;
所述电场屏蔽模块安装在陶瓷封装模块的两端,用于屏蔽陶瓷封装模块的阳极端与阴极端的电场;
所述陶瓷封装模块用于向气体开关提供密封气体环境;
所述气体净化模块用于对在电极模块工作时,气体开关内的气体放电分解产物进行处理。
进一步地,所述陶瓷封装模块包括阴极封盖、筒体、阳极封盖以及充气嘴;
所述筒体一端通过阴极法兰与阴极封盖密封连接,另一端与阳极封盖密封连接,密封方式需满足泄漏率小于1×10-7Pa·m3/s;
所述充气嘴密封安装在所述阳极封盖上;
所述电极模块与气体净化模块设置在筒体内,电极模块的阳极端与阳极封盖连接且第三连接结构设置在电极模块与阳极封盖之间,气体净化模块的另一端与阴极封盖连接且第二连接结构设置在体净化模块与阴极封盖之间。
进一步地,所述气体净化模块包括气体净化模块外罩以及至少一个净化物质承装层;
所述气体净化模块外罩侧壁开设有至少两个连通气体净化模块外罩内外的贯穿孔;
所述净化物质承装层内设置有粉末吸附蜂窝网板;
所述粉末吸附蜂窝网板内设置有分子筛;所述分子筛用于吸附放电酸性、腐蚀性分解产物;
所述气体净化模块外罩一端通过第二连接结构与电极模块的阴极端连接,另一端通过第一连接结构与阴极封盖连接。
进一步地,所述电极模块包括n个依次设置的电极以及设置在相邻两个电极之间,用于连接相邻两个电极的n-1个绝缘介质,其中n≥3;
第一个电极和第n个电极分别作为阴极和阳极,第2至n-1各电极分别包含阴极与阳极,相邻的电极之间存在间隙,从而形成放电间隙,相邻电极之间的距离相近,从而可以控制电极的阴极端场强相同,降低气体开关抖动;
所述电极(11)的阴极端放电区域由包含至少两个刃环的周期性结构组成;只具有阳极的一端通过第三连接结构与阳极封盖连接;只具有阴极的一端通过第二连接结构与气体净化模块外罩连接。
进一步地,所述电场屏蔽模块包括阴极屏蔽罩和阳极屏蔽罩;
所述阴极屏蔽罩与阳极屏蔽罩一侧均设置有槽口,分别用于包覆阴极封盖与阳极封盖;
所述阴极屏蔽罩(1)与阴极封盖(2)和通过螺钉连接;
所述阳极屏蔽罩(7)与阳极封盖(6)通过螺钉连接。
进一步地,所述第一连接结构包括均布的至少两个电接触弹簧,所述电接触弹簧一端用于与气体净化模块外罩连接,另一端用于与阴极封盖连接;
所述第二连接结构包括均布的至少两个连接件结构,所述连接件结构一端用于与电极模块阴极端连接,另一端用于与气体净化模块外罩;
所述第三连接结构包括均布的至少两个连接件结构,所述连接件结构一端用于与电极模块的阳极端连接,另一端用于与阳极封盖连接。
进一步地,所述电接触弹簧外部镀有导电金属涂层,气体净化模块外罩和阴极封盖与电接触弹簧接触的一侧镀有导电金属涂层;
与所述连接件结构连接的电极模块的阴极端、电极模块的阳极端、阳极封盖以及气体净化模块外罩均镀有导电金属涂层。
进一步地,至少两个刃环均匀设置在电极的阴极端。
进一步地,所述连接件结构包括爪型结构以及连接在爪型结构两端的电接触垫片;
所述电接触垫片与电极模块的阳极端或阳极封盖或电极模块阴极端或气体净化模块外罩连接;
所述爪型结构与电接触垫片的连接处设置有金箔。
进一步地,所述气体净化模块外罩包括直筒段和弧面圆台段,所述电极模块与弧面圆台段的小端连接,所述贯穿孔设置在直筒段。
本发明的有益效果是:
1、本发明提出的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,通过设置的陶瓷封装模块,降低泄漏率,为气体开关提供了稳定的气压环境,使得气体开关内的工作气压数倍于标准大气压的需求更易实现;通过设置的气体净化模块可以处理气体开关放电产生的电极烧蚀产物及气体分解产物,降低了上述产物对气体开关工作的负面影响,提高气体开关的使用寿命;设置的电极模块,具有降低气体开关抖动的功能;通过设置的电场屏蔽模块,提高绝缘可靠性;通过设置的电接触连接模块,避免了大电流下各模块连接部位的放电和烧蚀。
2、本发明提出的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其工作气压、工作气体成分、相邻电极间隙距离稳定,能够应对力、热等环境变化对气体开关工作的影响;且击穿电压抖动低,较强的可靠性和使用寿命,且结构简单无需维护,应用价值较高。
3、本发明提出的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,采用了气体净化模块,用于应对开关放电产生的电极烧蚀产物及气体分解产物,降低了上述产物对气体开关工作的负面影响,延长了气体开关的使用寿命。
4、本发明提出的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,优化了单级间隙的电极结构,将单刃板间隙扩展为均匀设置的多刃板间隙,在低抖动的前提下,具有较好的耐烧蚀特性,延长了气体开关的工作寿命,扩大了气体开关的使用范围,使得其可以在高功率长寿命气体开关中应用。
5、本发明提出的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,采用了陶瓷封装的密封式气体开关结构,工作气压稳定,降低了气体开关维护次数。
附图说明
图1为本发明实施例的总体结构示意图;
图2为本发明实施例中气体净化模块结构示意图;
图3为本发明实施例中电极模块结构示意图;
图4为本发明实施例中陶瓷封装模块结构示意图;
图5为本发明实施例中陶瓷封装模块阴极区密封结构示意图;
图6为本发明实施例中陶瓷封装模块阳极区密封结构示意图;
图7为本发明实施例中气体净化模块与陶瓷封装模块连接结构示意图;
图8为本发明实施例中充气嘴氩弧焊缝结构示意图;
图9为本发明实施例中充气嘴径向、轴向密封结构示意图。
图中,1、阴极屏蔽罩;2、阴极封盖;3、筒体;4、气体净化模块;5、电极模块;6、阳极封盖;7、阳极屏蔽罩;8、充气嘴;9、气体净化模块外罩;10、净化物质承装层;11、电极;12、绝缘介质;13、爪型结构;14、阴极三结合点区;15、阳极三结合点区;16、第一连接结构;17、第二连接结构;18、第三连接结构;19、第一平面槽;20、第二平面槽;22、径向密封槽;23、轴向密封槽;24、氩弧焊缝;25、钎焊缝;26、充气嘴氩弧焊缝;27、充气嘴径向密封结构;28、充气嘴轴向密封结构;30、过渡结构;31、阴极法兰;32、放电间隙;33、电接触弹簧。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明提出的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,如图1-9所示,包括陶瓷封装模块、气体净化模块4、电极模块5、电场屏蔽模块以及电接触连接模块。
如图4所示,陶瓷封装模块的阳极端与阴极端分别形成阳极三结合点区15和阴极三结合点区14。
上述模块的作用如下:
设置陶瓷封装模块的目的在于为气体开关提供密封气体环境,使得泄漏率小于1×10-7Pa·m3/s;设置气体净化模块4的目的在于,为气体开关提供稳定的气体环境,应对气体开关放电产生的电极烧蚀产物及气体分解产物,降低上述产物对气体开关工作的负面影响;设置的电极模块5采用了基于五刃环结构的放电间隙32,降低了开关的抖动;设置的电场屏蔽模块用于降低陶瓷封装模块的阴极三结合点区14和阳极三结合点区15的电场强度,提高绝缘可靠性;电接触连接模块的设置是用于陶瓷封装模块、气体净化模块4、电极模块5之间的连接,具有良好的电接触性能,又消除了气体开关工作时,由于内部温度不均匀升高导致的应力对封装结构的破坏,并且避免在大电流下各模块连接部位的放电和烧蚀。
各部件组成及结构如下:
如图1与图4所示,陶瓷封装模块包括充气嘴8和依次连接的阳极封盖6、筒体3、阴极法兰31和阴极封盖2,充气嘴8密封安装在阳极封盖6上。
阴极封盖2的内壁镀有金层,阳极封盖6内部设置四个第二平面槽20,第二平面槽20内镀有金层,用来降低接触电阻。
其具体连接方式如下:
阳极封盖6与筒体3一端密封连接,另一端通过阴极法兰31与阴极封盖2密封连接;所采用的密封方式要满足泄漏率小于1×10-7Pa·m3/s。
如图1与图2所示,气体净化模块4包括气体净化模块外罩9和依次设置在气体净化模块外罩9内的六层净化物质承装层10;净化物质承装层10内装承装粉末吸附蜂窝网板,用于吸附放电生成的粉末,承装分子筛以控制气体湿度,吸附放电生成的酸性腐蚀性气体,如HF、H2S、SO2;为了降低表面电场强度,气体净化模块外罩9包括直筒段和弧面圆台段,弧面圆台段的侧面为弧形,电极模块与弧面圆台段的小端连接,直筒段的侧壁开设多个通孔,用于连通气体净化模块外罩9内部与气体净化模块外罩9外部。
气体净化模块外罩9沿直筒段一端外壁镀有5微米金层,用来降低接触电阻,弧面圆台段小径端设置有四个第一平面槽19,第一平面槽19内镀有金层,用来降低接触电阻;
如图3所示,电极模块5包括六个电极11以及五个绝缘介质12,且六个电极11以及五个绝缘介质12交错设置,绝缘介质12与位于其两侧的电极11连接,位于两端电极11分别作为阴极和阳极,第2至n-1各电极11分别包含阴极与阳极,相邻的阴极与阳极之间存在间隙,形成放电间隙32。
电极11与绝缘介质12的连接为嵌入式结构,即绝缘介质12的两端分别嵌入到相邻的电极11内。
为了避免开关放电致热应力导致的放电间隙32距离变化,影响开关正常工作,在绝缘介质12与电极11接触面涂环氧胶,从而完成绝缘介质12与电极11的粘接。
为了提高电极11表面的场增强因子,每个放电间隙32的典型特征为,阴极由5个场增强因子高于1.5场增强较高的刃环组成,且5个刃环均匀分布。
如图1与图4所示,电场屏蔽模块用于降低筒体3的阴极三结合点区14,阳极三结合点区15的电场强度,包括阴极屏蔽罩1和阳极屏蔽罩7,阴极屏蔽罩1与阳极屏蔽罩7的一端均设置有槽口,阳极屏蔽罩7同时作为气体开关的接口,与外部其他结构连接,阴极屏蔽罩1与阴极封盖2和通过螺钉连接;阳极屏蔽罩7与阳极封盖6通过螺钉连接。
如图1所示,电接触连接模块包括第一连接结构16、第二连接结构17、第三连接结构18;
如图2与图7所示,第一连接结构16包括八个外部镀有金层的电接触弹簧33,八个电接触弹簧33一端安装在气体净化模块外罩9外壁镀有5微米金层的一侧,且电接触弹簧33的轴线与六个电极11的设置方向一致,另一端与阴极封盖2连接。
如图3所示,第二连接结构17与第三连接结构18相同,均包括四个连接件结构,连接件结构包括爪型结构13和分别安装在爪型结构13两端的电接触垫片;
爪型结构13的具体结构如下:
连接件结构均等置于电极模块5的阴极、阳极两端,即电极模块5的阴极连接有均布的四个连接件结构,阳极连接有均布的四个连接件结构;位于两端的电接触垫片的宽度费分别与第一平面槽19和第二平面槽20宽度相等,接触面积一般不大于10平方毫米,边缘倒圆角。
各部件的连接关系如下:
打开阴极封盖2,将电极模块5与气体净化模块4依次放置到陶瓷封装模块内,且电极模块5阳极端连接的四个爪型结构13一对一安装在四个第二平面槽20内,阴极端的四个连接件结构一对一的一端安装在气体净化模块4的四个第一平面槽19内,然后安装阴极封盖2,安装后,电接触弹簧33处于压缩状态,且与阴极封盖2内壁贴合,并通过充气嘴8向陶瓷封装模块内封装六氟化硫气体。
为了便于固定气体净化模块4的位置,阴极封盖2内壁设置有凹槽,气体净化模块4的气体净化模块外罩9的外围嵌到凹槽内。
为了降低接触电阻,在电接触垫片与爪型结构13的之间增加金箔,并且通过增加的金箔,可以抵消电极模块5阴极和阳极上安装的爪型结构13不平行,导致第一平面槽19和第二平面槽20接触不均匀的问题。
为了保证泄漏率小于1×10-7Pa·m3/s,陶瓷封装模块中各部件的材料如下:
筒体3的材料为95瓷;阳极封盖6、充气嘴8和阴极法兰31的材料均为316L不锈钢。
具体密封方式如下:
如图5所示,陶瓷封装模块阴极区采用过渡结构30密封的方式,过渡结构30设置在筒体3与阴极封盖2之间,过渡结构30的材料为4J33材料,其热膨胀系数与95瓷更接近;
过渡结构30与筒体3通过一道钎焊缝25实现密封连接,通过一道氩弧焊缝24完成过渡结构30与阴极法兰31的密封连接,阴极法兰31内部端面与阴极封盖2贴合处设置有径向密封槽22,径向密封槽22内安装有全氟醚材料的O型密封圈,阴极法兰31内部侧壁与阴极封盖2贴合处,设置有两个轴向密封槽23,两个轴向密封槽23内均安装有全氟醚材料的O型密封圈;
采用全氟醚材料的O型密封圈的优点在于避免气体开关放电产生腐蚀性气体对O型密封圈的腐蚀。
如图6所示,陶瓷封装模块阳极区采用过渡结构30密封的方式,过渡结构30设置在筒体3与阳极封盖6外侧,过渡结构30通过1道钎焊缝25完成与筒体3的密封连接,通过1道氩弧焊缝24,完成与阳极封盖6的密封连接。
如图8与图9所示,充气嘴8通过一道氩弧焊、2道径向密封结构、1道轴向密封结构实现密封;
具体的:充气嘴8与阳极封盖6通过一道氩弧焊26密封连接,充气嘴8采用柱塞式密封,包含两道径向密封结构27和一道轴向密封结构28。通过螺母与螺纹结构固定柱塞式密封柱。
为了实现过渡结构30的固定,过渡结构30靠近筒体3设有与过渡结构30一体设置的凸块,阴极法兰31或筒体3以及阳极封盖6或筒体3上均设置有与凸块相适配的槽口。
在设计时,根据开关工作模式设计电极11间的分配电压与电场强度;
具体的:通过调整绝缘介质12厚度调整电极11间的分配电压,通过调整放电间隙32距离调整电场强度,调整方法如下:
电极11各间隙分配电压反比于各间隙的电容,各间隙电容值主要由介电常数大的绝缘介质12决定,因此间隙的电容正比于绝缘介质12的截面积S,反比于绝缘介质12的厚度d。如希望增大某一间隙的分压,则需减小其电容值,则需减小绝缘介质12的面积或增大绝缘介质12厚度D。实际应用中,通过逐级调整截面积S与厚度D并进行静电场仿真,经多轮迭代调整至预设电压;
调整放电间隙32的距离d对间隙电容也就是分压的影响可以忽略,实际应用中,通过逐级改变电极11厚度调整距离d,并通过静电场仿真多轮迭代至预设电场强度。

Claims (9)

1.一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
包括陶瓷封装模块、气体净化模块(4)、电极模块(5)、电场屏蔽模块以及电接触连接模块;
所述电极模块(5)与气体净化模块(4)依次设置在陶瓷封装模块内部,且电极模块(5)的阳极端与陶瓷封装模块的阳极端连接,电极模块(5)的阴极端与气体净化模块(4)的一端连接,气体净化模块(4)的另一端与陶瓷封装模块的阴极端连接;
所述电接触连接模块包括安装在气体净化模块(4)与陶瓷封装模块阴极端之间的第一连接结构(16)、安装在电极模块(5)阴极端与气体净化模块(4)之间的第二连接结构(17)、安装在陶瓷封装模块阳极端与电极模块(5)阳极端之间的第三连接结构(18);
所述电场屏蔽模块安装在陶瓷封装模块的两端,用于屏蔽陶瓷封装模块的阳极端与阴极端的电场;
所述陶瓷封装模块用于向气体开关提供密封气体环境;
所述气体净化模块(4)用于对在电极模块(5)工作时,气体开关内的气体放电分解产物进行处理;
所述陶瓷封装模块包括阴极封盖(2)、筒体(3)、阳极封盖(6)以及充气嘴(8);
所述筒体(3)一端通过阴极法兰(31)与阴极封盖(2)密封连接,另一端与阳极封盖(6)密封连接,密封方式需满足泄漏率小于1×10-7Pa·m3/s;
所述充气嘴(8)密封安装在所述阳极封盖(6)上;
所述电极模块(5)与气体净化模块(4)设置在筒体(3)内,电极模块(5)的阳极端与阳极封盖(6)连接且第三连接结构(18)设置在电极模块(5)与阳极封盖(6)之间,气体净化模块(4)的另一端与阴极封盖(2)连接且第二连接结构(17)设置在体净化模块(4)与阴极封盖(2)之间。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述气体净化模块(4)包括气体净化模块外罩(9)以及至少一个净化物质承装层(10);
所述气体净化模块外罩(9)侧壁开设有至少两个连通气体净化模块外罩(9)内外的贯穿孔;
所述净化物质承装层(10)内设置有粉末吸附蜂窝网板;
所述粉末吸附蜂窝网板内设置有分子筛;
所述气体净化模块外罩(9)一端通过第二连接结构(17)与电极模块(5)的阴极端连接,另一端通过第一连接结构(16)与阴极封盖(2)连接。
3.根据权利要求2所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述电极模块(5)包括n个依次设置的电极(11)以及设置在相邻两个电极(11)之间,用于连接相邻两个电极(11)的n-1个绝缘介质(12),其中n≥3;
第一个电极(11)和第n个电极(11)分别作为阴极和阳极,第2至n-1各电极分别包含阴极与阳极,相邻的电极(11)之间存在间隙,从而形成放电间隙(32);
所述电极(11)的阴极端放电区域由包含至少两个刃环的周期性结构组成。
4.根据权利要求3所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述电场屏蔽模块包括阴极屏蔽罩(1)和阳极屏蔽罩(7);
所述阴极屏蔽罩(1)与阳极屏蔽罩(7)一侧均设置有槽口,分别用于包覆阴极封盖(2)与阳极封盖(6);
所述阴极屏蔽罩(1)与阴极封盖(2)和通过螺钉连接;
所述阳极屏蔽罩(7)与阳极封盖(6)通过螺钉连接。
5.根据权利要求1-4任一所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述第一连接结构(16)包括均布的至少两个电接触弹簧(33),所述电接触弹簧(33)一端用于与气体净化模块外罩(9)连接,另一端用于与阴极封盖(2)连接;
所述第二连接结构(17)包括均布的至少两个连接件结构,所述连接件结构一端用于与电极模块(5)阴极端连接,另一端用于与气体净化模块外罩(9);
所述第三连接结构(18)包括均布的至少两个连接件结构,所述连接件结构一端用于与电极模块(5)的阳极端连接,另一端用于与阳极封盖(6)连接。
6.根据权利要求5所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述电接触弹簧(33)外部镀有导电金属涂层,气体净化模块外罩(9)和阴极封盖(2)与电接触弹簧(33)接触的一侧镀有导电金属涂层;
与所述连接件结构连接的电极模块(5)的阴极端、电极模块(5)的阳极端、阳极封盖(6)以及气体净化模块外罩(9)均镀有导电金属涂层。
7.根据权利要求3-4任一所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
至少两个刃环均匀设置在电极(11)的阴极端。
8.根据权利要求6所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述连接件结构包括爪型结构(13)以及连接在爪型结构(13)两端的电接触垫片;
所述电接触垫片与电极模块(5)的阳极端或阳极封盖(6)或电极模块(5)阴极端或气体净化模块外罩(9)连接;
所述爪型结构(13)与电接触垫片的连接处设置有金箔。
9.根据权利要求2-4任一所述的一种陶瓷封装密封式低抖动自击穿气体开关,其特征在于:
所述气体净化模块外罩(9)包括直筒段和弧面圆台段,所述电极模块(5)与弧面圆台段的小端连接,所述贯穿孔设置在直筒段。
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