CN115021052A - 一种基于掺铥dfb光纤激光器和双次频率变换的激光系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，包括单频分布反馈掺铥光纤激光器、第二路单频激光种子源、非线性频率变换模块、倍频模块，本申请实施例中，采用上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，将单频分布反馈掺铥光纤激光技术与非线性频率变换技术相结合，采用双路单频激光并将其中一路倍频后再与另一路和频或差频的方式突破掺镱、掺铒和掺铥增益光纤增益波段的限制，有效结合光纤激光器、半导体激光器和固体激光器等不同种类单频激光器的优点，在589nm、729nm和759nm等现有技术难以实现高性能单频激光输出的波段实现窄线宽低噪声高功率单频激光输出。
Description
技术领域
本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统。
背景技术
单频激光凭借其线宽窄、光谱纯度高、相干性好等优点在量子光学、冷原子物理、天文物理、激光武器、激光雷达和相干通信等领域有着重要应用价值。其中在冷原子研究相关领域，因为要去匹配不同的原子分子谱线，往往对单频激光的波长和线宽有着极高的要求，只有当单频激光波长对应的能量正好满足谱线能级差时才可满足应用需求，所需波长的具体范围可以从160nm的极紫外波段到6μm的远红外波段。
然而，在580-614nm、664-765nm范围内，例如应用广泛的589nm(钠导星)、729nm(钙离子钟频光)和759nm(镱原子钟)等，受限于现有技术，获得的单频激光性能和可靠性还无法彻底满足应用需求，使得研究者无法在该波段对冷原子物理和天文物理等相关领域进行更好地研究。
到目前为止，现有技术可以采用光纤激光器进行倍频，固体或半导体激光器直接输出或进行非线性频率变换的方式来获得上述波段的单频激光，其中单频光纤激光器虽然是目前整体性能最佳的单频激光光源，但对光纤激光器进行倍频的方案需要其基频光在1160-1228nm和1328-1530nm范围内，但目前技术较为成熟的掺镱、掺铒和掺铥光纤均无法在这两个波段实现高效率、高性能的单频激光输出，所以一般采用以半导体单频激光器作为种子，以受激拉曼散射作为增益的方式来获得这两个波段的高功率单频激光，再经倍频实现所需波段单频激光输出，但这种方式存在着激光噪声大，稳定性不佳的问题，无法很好地满足应用需求，而且系统结构复杂，体积庞大；单频半导体激光器由于可以灵活设计PN结而在任意波长实现激光输出，但存在输出功率低，容易跳模等问题；固体激光器可以通过选择合适增益介质直接获得上述波段的单频激光，也可以通过非线性频率变换的方式用一台或多台单频固体激光器来获得所需波段的单频激光，但单频固体激光器目前普遍存在稳定性差、功率易衰减、易受环境影响和维护成本高等问题。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题之一。
本申请提供了一种能够在589nm、729nm、759nm波段实现高性能单频激光输出的基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，包括：
单频分布反馈掺铥光纤激光器，用于输出波段为1700-2200nm的第一单频激光；
第二路单频激光种子源，用于输出波段为970-1160nm或1520-1610nm的第二单频激光；
倍频模块，用于接收所述第一单频激光或所述第二单频激光并对其进行倍频以形成倍频激光；
非线性频率变换模块，用于接收所述倍频激光以及所述第一单频激光，或所述倍频激光以及所述第二单频激光，并对其进行和频或差频以形成第三单频激光。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，所述第二路单频激光种子源为光纤激光器、半导体激光器或固体激光器。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，所述第一单频激光的线宽≤10GHz。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，所述倍频模块基于块状晶体或波导进行倍频，所述块状晶体或所述波导的数量不小于1。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，所述非线性频率变换模块基于块状晶体或波导进行倍频或差频，所述块状晶体或所述波导数量不小于1。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，还包括：
掺铥光纤放大模块，用于接收所述单频分布反馈掺铥光纤激光器输出的所述第一单频激光并对其进行功率放大，并将功率放大后的所述第一单频激光输出至所述倍频模块或所述非线性频率变换模块。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，还包括：
第二路光纤放大模块，用于接收所述第二路单频激光种子源输出的所述第二单频激光并对其进行功率放大，并将功率放大后的所述第二单频激光输出至所述倍频模块或所述非线性频率变换模块。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，所述第二单频激光的波段为970-1160nm，所述第二路光纤放大模块为基于掺镱增益光纤的功率放大模块。
进一步限定，上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其中，所述第二单频激光的波段为1520-1610nm，所述第二路光纤放大模块为基于掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤的功率放大模块。
本发明至少具备以下有益效果：
1、将单频分布反馈掺铥光纤激光技术与非线性频率变换技术相结合，采用双路单频激光并将其中一路倍频后再与另一路和频或差频的方式突破掺镱、掺铒和掺铥增益光纤增益波段的限制，其中，单频分布反馈掺铥光纤激光器输出的单频激光波段为1700-2200nm，第二路单频激光种子源输出的单频激光波段为970-1160nm或1520-1610nm，通过将其中一路倍频后再与另一路和频或差频后能够实现波段为377-881nm、1161-1529nm和大于1800nm的任意波长的高性能单频激光输出；
2、能够有效结合光纤激光器、半导体激光器和固体激光器等不同种类单频激光器的优点，在580-614nm和664-765nm等现有技术难以实现高性能单频激光输出的波段实现窄线宽低噪声高功率单频激光输出；
3、整个系统除了倍频模块、非线性频率变换模块以外为全光纤结构，具有结构紧凑，效率高且不易受到环境干扰等优点，能够有效抵御外界环境温度和振动的影响，具有极佳的环境稳定性，其中和频或差频也可在波导中进行，使得整个单频激光系统具有最佳的抗干扰能力和稳定性；
4、实现了589nm波长附近的高性能单频激光输出，可满足钠导星、钠原子冷却、钠荧光雷达等领域的重要应用需求；实现了729nm波长附近的高性能单频激光输出，可满足冷原子物理中钙离子领域的重要应用需求；实现了759nm波长附近的高性能单频激光输出，可满足冷原子物理中镱离子领域的重要应用需求。
附图说明
图1为本申请实施例基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统的结构示意图；
图2为本申请实施例基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统的结构示意图。
附图标记
单频分布反馈掺铥光纤激光器-100、掺铥光纤放大模块-200、倍频模块-300、第二路单频激光种子源-400、第二路光纤放大模块-500、非线性频率变换模块-600。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统进行详细地说明。
实施例1：
如图1、图2所示，本申请实施例提供了一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，包括单频分布反馈掺铥光纤激光器100(即掺铥DFB光纤激光器，DFB为分布反馈的缩写)、第二路单频激光种子源400、非线性频率变换模块600、倍频模块300，非线性频率变换模块600分别与单频分布反馈掺铥光纤激光器100、第二路单频激光种子源400连接，其中，单频分布反馈掺铥光纤激光器100为全光纤结构的单频激光器，由写在掺铥光纤上的相移光纤布拉格光栅形成，用于向非线性频率变换模块600输出波段为1700-2200nm的第一单频激光，第一单频激光的线宽＞0且≤10GHz，例如第一单频激光的线宽为10mHz、1Hz、100Hz、1kHz、10kHz、20kHz、50kHz、100kHz、1MHz、10MHz、100MHz、1GHz等。
第二路单频激光种子源400具体为单频激光器且用于向非线性频率变换模块600输出波段为970-1160nm或1520-1610nm的第二单频激光，其种类能够采用但不局限于光纤激光器、半导体激光器或固体激光器等能够实现上述波段单频激光输出的激光器。
倍频模块300设置在单频分布反馈掺铥光纤激光器100与非线性频率变换模块600之间或第二路单频激光种子源400与非线性频率变换模块600之间，用于对第一单频激光或第二单频激光进行倍频以形成倍频激光，其中，倍频模块300可以基于块状晶体进行倍频，也可以基于波导进行倍频，所用的晶体或波导数量大于等于1。
非线性频率变换模块600用于接收倍频激光以及第一单频激光或倍频激光以及第二单频激光并对其进行和频或差频以形成高性能的第三单频激光，第三单频激光的波段范围包括377-881nm、1161-1529nm和大于1800nm的任意波长，其中，非线性频率变换模块600可以基于块状晶体进行倍频或差频，也可以基于波导进行和频或差频，所用的晶体或波导数量大于等于1。
本申请实施例中，采用上述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，采用双路单频激光并将其中一路倍频后再与另一路和频或差频的方式突破掺镱、掺铒和掺铥增益光纤增益波段的限制，且能够有效结合单频光纤激光器、单频半导体激光器和单频固体激光器等不同种类单频激光器的优点，在580-614nm和664-765nm等现有技术难以实现高性能单频激光输出的波段实现窄线宽低噪声高功率单频激光输出。
同时，整个系统除了倍频模块300和非线性频率变换模块600以外为全光纤结构，具有结构紧凑，效率高且不易受到环境干扰等优点，能够有效抵御外界环境温度和振动的影响，具有极佳的环境稳定性，其中和频或差频也可在波导中进行，使得整个单频激光系统具有最佳的抗干扰能力和稳定性。
实施例2：
如图1、图2所示，本实施例中提供了一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，除了包括上述实施例1中的全部特征，还包括掺铥光纤放大模块200以及第二路光纤放大模块500，掺铥光纤放大模块200设置在单频分布反馈掺铥光纤激光器100与非线性频率变换模块600之间，用于对第一单频激光进行放大，掺铥光纤放大模块200设置在第二路单频激光种子源400与非线性频率变换模块600之间，用于对第二单频激光进行放大，其中，倍频模块300设置在掺铥光纤放大模块200与非线性频率变换模块600之间或第二路光纤放大模块500与非线性频率变换模块600之间，用于对经掺铥光纤放大模块200功率放大的第一单频激光或经第二路光纤放大模块500功率放大的第二单频激光进行倍频形成倍频激光。
掺铥光纤放大模块200为基于掺铥增益光纤的功率放大模块，工作波段为1700-2200nm，可将第一单频激光的功率放大至百瓦量级。
可以理解的是，根据功率需要，掺铥光纤放大模块200中可包含一级或多级放大。
第二路光纤放大模块500为基于掺镱增益光纤、掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤输出的功率放大模块，工作波段为1μm和1.5μm，可将第二单频激光的功率放大至百瓦量级，其中，当第二单频激光的波长范围在970-1160nm时，第二路光纤放大模块500为基于掺镱增益光纤的功率放大模块，此时第二单频激光的波段落入掺镱增益光纤的增益带内，可以通过掺镱增益光纤来提供增益，当第二单频激光的波长范围在1520-1610nm时，第二路光纤放大模块500为基于掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤的功率放大模块，此时第二单频激光的波段落入掺铒增益光纤和铒镱共掺增益光纤的增益带内，可以通过掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤来提供增益。
可以理解的是，根据功率需要，第二路光纤放大模块500中可包含一级或多级放大。
本申请实施例中，采用上述方案的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统中，通过掺铥光纤放大模块200以及第二路光纤放大模块500分别对第一单频激光以及第二单频激光进行功率放大，使其能够满足下游设备的功率需求。
可以理解的是，当单频分布反馈掺铥光纤激光器100输出的第一单频激光已能够满足功率需求时，掺铥光纤放大模块200可以对应的去除，同理，当第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光能够满足功率需求时，第二路光纤放大模块500可以对应的去除。
实施例3：
如图1所示，本实施例中提供了一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，包括单频分布反馈掺铥光纤激光器100、第二路单频激光种子源400、掺铥光纤放大模块200、第二路光纤放大模块500、非线性频率变换模块600、倍频模块300。
单频分布反馈掺铥光纤激光器100连接掺铥光纤放大模块200，掺铥光纤放大模块200连接倍频模块300，倍频模块300连接非线性频率变换模块600，单频分布反馈掺铥光纤激光器100用于向掺铥光纤放大模块200输出波段为1700-2200nm的第一单频激光，掺铥光纤放大模块200对第一单频激光进行功率放大后将其输出至倍频模块300，倍频模块300对第一单频激光进行倍频后向非线性频率变换模块600输出波长范围为850-1100nm的倍频激光。
第二路单频激光种子源400连接第二路光纤放大模块500，第二路光纤放大模块500连接非线性频率变换模块600，第二路单频激光种子源400用于向第二路光纤放大模块500输出波段为970-1160nm或1520-1610nm的第二单频激光，第二路光纤放大模块500对第二单频激光进行功率放大后将其输出至非线性频率变换模块600，非线性频率变换模块600将倍频激光与第二单频激光进行和频或差频，最终获得高性能的所需波长第三单频激光。
其中，当第二路单频激光种子源400输出波长范围在970-1160nm时，第二路光纤放大模块500为基于掺镱增益光纤的功率放大模块；当第二路单频激光种子源400输出波长范围在1520-1610nm时，第二路光纤放大模块500为基于掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤的功率放大模块。
非线性频率变换模块600输出第三单频激光的具体波长范围如表1所示：
表1基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统输出激光波段表
其中，当单频分布反馈掺铥光纤激光器100输出的第一单频激光波长为1900nm，第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光波长为1550nm，非线性频率变换模块600的频率变换方式为和频时，第三单频激光为589nm波长附近的高性能单频激光，可满足钠导星、钠原子冷却、钠荧光雷达等领域的重要应用需求。
可以理解的是，由于单频分布反馈掺铥光纤激光器100输出的第一单频激光经倍频模块300倍频后形成的倍频激光为850-1100nm，与单频分布反馈掺镱光纤激光器的波段970-1200nm有部分重合，故若将单频分布反馈掺铥光纤激光器100、倍频模块300整体替换为单频分布反馈掺镱光纤激光器，最终经非线性频率变换模块600和频后能够获得理论波段为495-571nm、593-688nm范围内的第三单频激光，虽然与本方案获得的第三单频激光波段453.0-653.5nm有部分重合，但其覆盖波段不包括589nm(钠导星)、729nm(钙离子钟频光)或759nm(镱原子钟)等波长，而且单频分布反馈掺镱光纤激光器的970-1200nm输出波段为理论极限波段，其输出的单频激光在实际应用中很难达到理论波段的极限波长，即使能够达到，就现有技术而言也存在技术难度高、成本高的问题。
若将单频分布反馈掺铥光纤激光器100、倍频模块300整体替换为单频分布反馈掺镱光纤激光器并将第二路单频激光种子源400设置为能够实现任意波长的单频半导体激光器，通过调整第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光波长，能够使得最终输出的第三单频激光波段覆盖589nm(钠导星)、729nm(钙离子钟频光)或759nm(镱原子钟)等波长，但单频半导体激光器直接输出的第二单频激光功率较低，从而经非线性频率变换模块600和频后形成的第三单频激光频率很低，必须经过功率放大才能够满足实际应用需求，如果第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光波长超出掺镱、掺铒和掺铥光纤的增益带，只能通过受激拉曼散射或其他增益介质来进行放大，这些方式目前普遍存在着噪声大、转换效率低等问题，频率放大后的第三单频激光很难满足实际应用需求。
实施例4：
如图2所示，本实施例中提供了一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，包括单频分布反馈掺铥光纤激光器100、第二路单频激光种子源400、掺铥光纤放大模块200、第二路光纤放大模块500、非线性频率变换模块600、倍频模块300。
单频分布反馈掺铥光纤激光器100连接掺铥光纤放大模块200，掺铥光纤放大模块200连接非线性频率变换模块600，单频分布反馈掺铥光纤激光器100用于向掺铥光纤放大模块200输出波段为1700-2200nm的第一单频激光，掺铥光纤放大模块200对第一单频激光进行功率放大后将其输出至非线性频率变换模块600。
第二路单频激光种子源400连接第二路光纤放大模块500，第二路光纤放大模块500连接倍频模块300，倍频模块300连接非线性频率变换模块600，第二路单频激光种子源400用于向第二路光纤放大模块500输出波段为970-1160nm或1520-1610nm的第二单频激光，第二路光纤放大模块500对第二单频激光进行功率放大后将其输出至倍频模块300，倍频模块300对第一单频激光进行倍频后向非线性频率变换模块600输出波长范围为935-580nm或760-805nm的倍频激光，非线性频率变换模块600将倍频激光与第一单频激光进行和频或差频，最终获得高性能的所需波长第三单频激光。
其中，当第二路单频激光种子源400输出波长范围在970-1160nm时，第二路光纤放大模块500为基于掺镱增益光纤的功率放大模块；当第二路单频激光种子源400输出波长范围在1520-1610nm时，第二路光纤放大模块500为基于掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤的功率放大模块。
非线性频率变换模块600输出第三单频激光的具体波长范围如表2所示：
表2基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统输出激光波段表
其中，当单频分布反馈掺铥光纤激光器100输出的第一单频激光波长为2200nm，第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光波长为1610nm，非线性频率变换模块600的频率变换方式为和频时，第三单频激光为589nm波长附近的高性能单频激光，可满足钠导星、钠原子冷却、钠荧光雷达等领域的重要应用需求。
当单频分布反馈掺铥光纤激光器100输出的第一单频激光波长为1968nm，第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光波长为1064nm，非线性频率变换模块600的频率变换方式为差频时，第三单频激光为729nm波长附近的高性能单频激光，可满足冷原子物理中钙离子领域的重要应用需求。
当单频分布反馈掺铥光纤激光器100输出的第一单频激光波长为1871nm，第二路单频激光种子源400输出的第二单频激光波长为1080nm，非线性频率变换模块600的频率变换方式为差频时，可第三单频激光为759nm波长附近的高性能单频激光，可满足冷原子物理中镱离子领域的重要应用需求。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。
Claims (9)
1.一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，包括：
单频分布反馈掺铥光纤激光器，用于输出波段为1700-2200nm的第一单频激光；
第二路单频激光种子源，用于输出波段为970-1160nm或1520-1610nm的第二单频激光；
倍频模块，用于接收所述第一单频激光或所述第二单频激光并对其进行倍频以形成倍频激光；
非线性频率变换模块，用于接收所述倍频激光以及所述第一单频激光，或所述倍频激光以及所述第二单频激光，并对其进行和频或差频以形成第三单频激光。
2.根据权利要求1所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，所述第二路单频激光种子源为光纤激光器、半导体激光器或固体激光器。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，所述第一单频激光的线宽≤10GHz。
4.根据权利要求1所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，所述倍频模块基于块状晶体或波导进行倍频，所述块状晶体或所述波导的数量不小于1。
5.根据权利要求1所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，所述非线性频率变换模块基于块状晶体或波导进行倍频或差频，所述块状晶体或所述波导数量不小于1。
6.根据权利要求1所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，还包括：
掺铥光纤放大模块，用于接收所述单频分布反馈掺铥光纤激光器输出的所述第一单频激光并对其进行功率放大，并将功率放大后的所述第一单频激光输出至所述倍频模块或所述非线性频率变换模块。
7.根据权利要求1所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，还包括：
第二路光纤放大模块，用于接收所述第二路单频激光种子源输出的所述第二单频激光并对其进行功率放大，并将功率放大后的所述第二单频激光输出至所述倍频模块或所述非线性频率变换模块。
8.根据权利要求7所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，所述第二单频激光的波段为970-1160nm，所述第二路光纤放大模块为基于掺镱增益光纤的功率放大模块。
9.根据权利要求7所述的一种基于掺铥DFB光纤激光器和双次频率变换的激光系统，其特征在于，所述第二单频激光的波段为1520-1610nm，所述第二路光纤放大模块为基于掺铒增益光纤或铒镱共掺增益光纤的功率放大模块。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117033456A (zh) * | 2023-06-13 | 2023-11-10 | 上海频准激光科技有限公司 | 一种用于光纤激光器的推荐系统 |
| CN117712817A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-03-15 | 上海频准激光科技有限公司 | 单频激光系统及包含其的激光干涉仪 |
-
2022
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Cited By (3)
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