CN114920246A - 一种温场均匀的碳化硅立式合成炉 - Google Patents

Abstract

本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，包括石墨坩埚；所述石墨坩埚的侧壁安装有外壳；所述外壳的内部固接有电推杆；所述电推杆的输出端固接有支撑架；通过设置的环绕线圈连接中频感应电源供电，实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整，配合电推杆带动上下滑动对石墨坩埚的侧壁加热，起到对外壳内部温场控制均衡的作用，并且依靠在环绕线圈的表面涂覆耐热涂层，并包裹环绕线圈，降低高温对环绕线圈的灼伤，同时利用温度传感器对外壳内部温度监测，温度过高时使警报灯发出警报，提醒工人打开密封塞使外壳内部快速散热，把控温场的均匀性。

Description

一种温场均匀的碳化硅立式合成炉

技术领域

本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是一种温场均匀的碳化硅立式合成炉。

背景技术

碳化硅立式感应合成炉是以中频感应加热方式，并配比高纯碳粉、硅粉和添加剂均匀混合，将碳粉和硅粉合成高纯碳化硅原料的设备。

公开号为CN112516916A的一项中国专利公开了超高真空碳化硅原料合成炉系统，该发明所述的超高真空碳化硅原料合成炉系统中，炉室为圆筒形立式双层水冷结构，炉室上安装炉盖，炉盖为双层水冷结构，红外测温组件位于炉盖顶端，炉盖可由电动升降机实现升降并旋开；此专利主要以真空度高和合成的碳化硅粉体原料杂质少等特点，满足生长高质量碳化硅单晶的需求。

在碳化硅立式合成炉合成碳化硅粉体时，将高纯碳粉和硅粉利用高温合成的方法反应，现有的合成炉在反应时，由于温场的均匀性难以把控，导致合成后的碳化硅粉体纯度不够，造成原材料的浪费。

为此，本发明提供一种温场均匀的碳化硅立式合成炉。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，包括石墨坩埚；所述石墨坩埚的侧壁安装有外壳；所述外壳的内部固接有电推杆；所述电推杆的输出端固接有支撑架；所述支撑架的端部固接有多组环绕线圈；所述环绕线圈套在石墨坩埚的侧部位置；所述环绕线圈的侧壁连接有中频感应电源；所述环绕线圈的侧壁固接有伸缩杆，且伸缩杆固接在外壳的内部；实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整，并利用电推杆带动支撑架上的环绕线圈上下移动，对石墨坩埚的侧壁加热，实现温场的均匀性，并且依靠伸缩杆随电推杆的输出端上下伸缩，便于针对温度低的位置进行加热。

优选的，所述环绕线圈的表面涂有耐热涂层；所述耐热涂层为磷酸盐铅粉涂料设计；所述环绕线圈的表面包覆有隔热棉套；降低环绕线圈被高温灼伤的概率，同时利用隔热棉套包裹在环绕线圈的表面，进一步提高环绕线圈的抗高温效果。

优选的，所述外壳的内侧壁固接有温度传感器；所述外壳的端部固接有警报灯，且警报灯通过信号线与温度传感器连接；所述外壳的侧壁开设有两组通风口；所述外壳的侧壁固接有两组通风管，且位于通风口处；所述通风管的内侧壁安装有密封塞；通过信号线传送信号给警报灯，警报灯发出警报提醒工人查看，工人将外壳两侧的密封塞打开，温度传感器是现有技术中的感应器，网上都有销售，外壳内部的热量从两组通风管处散出，起到快速降温的效果，避免外壳内部长时间高温导致环绕线圈受损。

优选的，所述外壳的内侧壁固接有进水管；所述进水管的侧壁固接有一号拼接块；所述一号拼接块的侧部设置有二号拼接块；所述一号拼接块的侧壁设置有拼接组件，拼接组件用于一号拼接块和二号拼接块拼接使用；所述二号拼接块的侧壁固接有环绕水管，且环绕水管环绕在石墨坩埚的侧壁；所述环绕水管的侧壁固接有出水管；水流将外壳内部的高温带走，并从出水管流出，起到对外壳内部降温的效果，并且可以对温场进行控制使其均匀，出水管处连接回收装置，将水分回收利用，若外壳的内部较高时，可以在水中添加冷却水，使其提升冷却降温效果。

优选的，所述拼接组件包括限位插销、限位滑块和一号弹性件；所述限位插销固接在一号拼接块的侧壁；所述限位滑块滑动连接在限位插销的内侧壁；所述一号弹性件固接在限位滑块的侧壁，且一号弹性件固接限位插销的内侧壁；将限位滑块挤压下滑入限位插销的内部，一号弹性件收缩受力，当限位滑块滑动到二号拼接块的对应孔槽时，一号弹性件将限位滑块挤压卡在二号拼接块的内部限位，起到对一号拼接块和二号拼接块的限位连接作用。

优选的，所述一号拼接块的内侧壁插接有滤网板；所述滤网板的形状呈半弧形，且两端垂直设置；所述滤网板的侧壁设置有收集凹槽；所述滤网板的内侧壁通过扭簧转动连接有挡板；所述一号拼接块的内部设置有固定组件，固定组件用于对滤网板限位连接使用；当水流经过滤网板处时，滤网板对水流中的杂质进行过滤，将杂质过滤在滤网板的侧壁，起到对水中杂质过滤的效果，同时利用滤网板的弧形面引导，杂质在水流停止后下滑入挡板处，堆压挡板随扭簧转动，将杂质存储在收集凹槽的内部存储。

优选的，所述固定组件包括滑动插杆、二号弹性件和密封垫；所述滑动插杆滑动连接在一号拼接块的内侧壁；所述二号弹性件套接在滑动插杆的侧壁；所述滑动插杆的端部固接有密封垫；所述滤网板的侧壁开设有多组孔洞，且与滑动插杆相对应；插入一号拼接块的内部起到限位效果，滤网板的弧形面部位是软质的，而垂直部位则为硬质的，便于插入一号拼接块的内部固定，同时利用二号弹性件对滑动插杆挤压，并且将密封垫紧密挤压在二号拼接块的侧壁，起到密封的效果。

优选的，所述二号拼接块的内侧壁固接有限位板；所述二号拼接块的内侧壁通过扭簧转动连接有转动板；所述转动板的侧壁固接有橡胶块；所述橡胶块的形状呈山字形，且两侧对称设置有支杆；所述橡胶块的侧壁固接有撞击球；所述转动板的侧壁固接有弹性柱；橡胶块类似于传统弹簧的弹性作用，复位效果和受力都优于弹簧，起到支撑的作用，橡胶块被挤压的同时带动转动板随扭簧转动在限位板的内侧壁，弹性柱也被挤压收缩，当冲击力过后，多组弹性零件快速带动撞击球复位撞击滤网板的侧壁震动，起到对滤网板侧壁杂质震击松动掉落的效果。

优选的，所述撞击球的内部固接有一号磁性件；所述滤网板的侧壁固接有二号磁性件；所述一号磁性件与二号磁性件相互靠近时能够异性相吸；配合多组弹性零件快速带动撞击球复位撞击滤网板的侧壁，增强对滤网板侧壁杂质的清理效果，同时由于撞击球位于滤网板的上方位置，水流间歇式冲击，提高震动的频率。

优选的，所述撞击球的侧壁套接有摩擦垫；所述摩擦垫的形状呈半圆弧状；利用摩擦垫套接在撞击球的侧壁，用于对滤网板的侧壁直接接触使用，起到对滤网板侧壁保护的效果，降低磨损程度。

本发明的有益效果如下：

1.本发明所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，通过设置的环绕线圈连接中频感应电源供电，实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整，配合电推杆带动上下滑动对石墨坩埚的侧壁加热，起到对外壳内部温场控制均衡的作用，并且依靠在环绕线圈的表面涂覆耐热涂层，并包裹环绕线圈，降低高温对环绕线圈的灼伤，同时利用温度传感器对外壳内部温度监测，温度过高时使警报灯发出警报，提醒工人打开密封塞使外壳内部快速散热，把控温场的均匀性。

2.本发明所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，通过设置的进水管，当外壳的内部温度升高时，利用外接水泵抽冰水进入进水管的内部，并通过连通的环绕水管环绕石墨坩埚的侧壁降温，当外壳的内部温度过高时，可以在水中掺和冷却水降温，保持温场的均匀效果，水中的杂质被滤网板进行过滤，配合一号拼接块和二号拼接块的拼接便于对滤网板进行拆卸防堵，并且利用撞击球随水流冲击力不断对滤网板侧壁震动，降低滤网板侧壁堵塞的概率。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明。

图1是本发明中的外壳立体图；

图2是本发明中的外壳剖视图；

图3是图2的A处放大图；

图4是图3的B处放大图；

图5是图3的C处放大图；

图6是本发明中的撞击球结构示意图。

图中：1、石墨坩埚；11、外壳；12、电推杆；13、支撑架；14、环绕线圈；15、伸缩杆；2、耐热涂层；21、隔热棉套；3、温度传感器；31、警报灯；32、通风管；33、密封塞；4、进水管；41、一号拼接块；42、二号拼接块；43、环绕水管；44、出水管；5、限位插销；51、限位滑块；52、一号弹性件；6、滤网板；61、挡板；7、滑动插杆；71、二号弹性件；72、密封垫；8、限位板；81、转动板；82、橡胶块；83、撞击球；84、弹性柱；9、一号磁性件；91、二号磁性件；92、摩擦垫。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一

如图1至图4所示，本发明实施例所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，包括石墨坩埚1；所述石墨坩埚1的侧壁安装有外壳11；所述外壳11的内部固接有电推杆12；所述电推杆12的输出端固接有支撑架13；所述支撑架13的端部固接有多组环绕线圈14；所述环绕线圈14套在石墨坩埚1的侧部位置；所述环绕线圈14的侧壁连接有中频感应电源；所述环绕线圈14的侧壁固接有伸缩杆15，且伸缩杆15固接在外壳11的内部；在碳化硅立式合成炉合成碳化硅粉体时，将高纯碳粉和硅粉利用高温合成的方法反应，现有的合成炉在反应时，由于温场的均匀性难以把控，导致合成后的碳化硅粉体纯度不够，造成原材料的浪费，所以将高纯碳粉和硅粉放入石墨坩埚1的内部进行反应，石墨坩埚1是立式的设备，当物料放入石墨坩埚1的内部反应时，环绕线圈14通过连接的中频感应电源供电，实现环绕线圈14感应加热线圈的功率调整，并利用电推杆12带动支撑架13上的环绕线圈14上下移动，对石墨坩埚1的侧壁加热，实现温场的均匀性，并且依靠伸缩杆15随电推杆12的输出端上下伸缩，便于针对温度低的位置进行加热。

所述环绕线圈14的表面涂有耐热涂层2；所述耐热涂层2为磷酸盐铅粉涂料设计；所述环绕线圈14的表面包覆有隔热棉套21；当外壳11的内部高温，容易导致环绕线圈14被高温灼伤，所以在环绕线圈14的表面涂覆耐热涂层2，并以磷酸盐铅粉涂料为基础涂覆，降低环绕线圈14被高温灼伤的概率，同时利用隔热棉套21包裹在环绕线圈14的表面，进一步提高环绕线圈14的抗高温效果。

所述外壳11的内侧壁固接有温度传感器3；所述外壳11的端部固接有警报灯31，且警报灯31通过信号线与温度传感器3连接；所述外壳11的侧壁开设有两组通风口；所述外壳11的侧壁固接有两组通风管32，且位于通风口处；所述通风管32的内侧壁安装有密封塞33；当外壳11的内部长时间高温，容易造成环绕线圈14损坏，所以利用温度传感器3在外壳11的内部感应温度，当温度传感器3感应到外壳11的内部的温度高于设定的高温后，通过信号线传送信号给警报灯31，警报灯31发出警报提醒工人查看，工人将外壳11两侧的密封塞33打开，温度传感器3是现有技术中的感应器，网上都有销售，外壳11内部的热量从两组通风管32处散出，起到快速降温的效果，避免外壳11内部长时间高温导致环绕线圈14受损。

所述外壳11的内侧壁固接有进水管4；所述进水管4的侧壁固接有一号拼接块41；所述一号拼接块41的侧部设置有二号拼接块42；所述一号拼接块41的侧壁设置有拼接组件，拼接组件用于一号拼接块41和二号拼接块42拼接使用；所述二号拼接块42的侧壁固接有环绕水管43，且环绕水管43环绕在石墨坩埚1的侧壁；所述环绕水管43的侧壁固接有出水管44；当外壳11的内部温度高时，利用外接水泵将冰水抽入进水管4的内部，一号拼接块41与二号拼接块42通过拼接组件进行连接，将进水管4与环绕水管43连通，冰水流进入环绕水管43的内部，并随环绕水管43环绕在石墨坩埚1的侧壁降温，环绕水管43是耐腐蚀抗高温的材料制成的水管，水流将外壳11内部的高温带走，并从出水管44流出，起到对外壳11内部降温的效果，并且可以对温场进行控制使其均匀，出水管44处连接回收装置，将水分回收利用，若外壳11的内部较高时，可以在水中添加冷却水，使其提升冷却降温效果。

所述拼接组件包括限位插销5、限位滑块51和一号弹性件52；所述限位插销5固接在一号拼接块41的侧壁；所述限位滑块51滑动连接在限位插销5的内侧壁；所述一号弹性件52固接在限位滑块51的侧壁，且一号弹性件52固接限位插销5的内侧壁；在对一号拼接块41和二号拼接块42进行拼接时，可以将一号拼接块41侧壁固接的限位插销5插入二号拼接块42的内部，限位滑块51的斜坡面与二号拼接块42的侧壁接触后，将限位滑块51挤压下滑入限位插销5的内部，一号弹性件52收缩受力，当限位滑块51滑动到二号拼接块42的对应孔槽时，一号弹性件52将限位滑块51挤压卡在二号拼接块42的内部限位，起到对一号拼接块41和二号拼接块42的限位连接作用。

所述一号拼接块41的内侧壁插接有滤网板6；所述滤网板6的形状呈半弧形，且两端垂直设置；所述滤网板6的侧壁设置有收集凹槽；所述滤网板6的内侧壁通过扭簧转动连接有挡板61；所述一号拼接块41的内部设置有固定组件，固定组件用于对滤网板6限位连接使用；当外接水泵抽取的水中含有杂质时，利用固定组件将滤网板6限位固定在一号拼接块41的内侧壁，并处于一号拼接块41与二号拼接块42中部处位置，当水流经过滤网板6处时，滤网板6对水流中的杂质进行过滤，将杂质过滤在滤网板6的侧壁，起到对水中杂质过滤的效果，同时利用滤网板6的弧形面引导，杂质在水流停止后下滑入挡板61处，堆压挡板61随扭簧转动，将杂质存储在收集凹槽的内部存储。

所述固定组件包括滑动插杆7、二号弹性件71和密封垫72；所述滑动插杆7滑动连接在一号拼接块41的内侧壁；所述二号弹性件71套接在滑动插杆7的侧壁；所述滑动插杆7的端部固接有密封垫72；所述滤网板6的侧壁开设有多组孔洞，且与滑动插杆7相对应；当对滤网板6进行固定时，利用一号拼接块41与二号拼接块42贴合，二号拼接块42的侧壁对密封垫72挤压，带动密封垫72对滑动插杆7挤压滑动，滑动插杆7上的二号弹性件71收缩受力，滑动插杆7滑动贯穿滤网板6的内侧壁，并插入一号拼接块41的内部起到限位效果，滤网板6的弧形面部位是软质的，而垂直部位则为硬质的，便于插入一号拼接块41的内部固定，同时利用二号弹性件71对滑动插杆7挤压，并且将密封垫72紧密挤压在二号拼接块42的侧壁，起到密封的效果。

如图1至图5所示，所述二号拼接块42的内侧壁固接有限位板8；所述二号拼接块42的内侧壁通过扭簧转动连接有转动板81；所述转动板81的侧壁固接有橡胶块82；所述橡胶块82的形状呈山字形，且两侧对称设置有支杆；所述橡胶块82的侧壁固接有撞击球83；所述转动板81的侧壁固接有弹性柱84；当外接的水泵抽水进入进水管4的内部时，因水掺合杂质进入被滤网板6过滤，水流速度过激冲击撞击球83上，撞击球83受力挤压橡胶块82变形，橡胶块82类似于传统弹簧的弹性作用，复位效果和受力都优于弹簧，起到支撑的作用，橡胶块82被挤压的同时带动转动板81随扭簧转动在限位板8的内侧壁，弹性柱84也被挤压收缩，当冲击力过后，多组弹性零件快速带动撞击球83复位撞击滤网板6的侧壁震动，起到对滤网板6侧壁杂质震击松动掉落的效果。

所述撞击球83的内部固接有一号磁性件9；所述滤网板6的侧壁固接有二号磁性件91；所述一号磁性件9与二号磁性件91相互靠近时能够异性相吸；当水流对撞击球83冲刷时，撞击球83被冲击力冲压远离滤网板6的侧壁，在冲击力过后，二号磁性件91与一号磁性件9磁性相吸，配合多组弹性零件快速带动撞击球83复位撞击滤网板6的侧壁，增强对滤网板6侧壁杂质的清理效果，同时由于撞击球83位于滤网板6的上方位置，水流间歇式冲击，提高震动的频率。

实施例二

如图6所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述撞击球83的侧壁套接有摩擦垫92；所述摩擦垫92的形状呈半圆弧状；当撞击球83长时间对滤网板6的侧壁撞击震动时，容易造成滤网板6侧壁的磨损，从而影响过滤效果，所以利用摩擦垫92套接在撞击球83的侧壁，用于对滤网板6的侧壁直接接触使用，起到对滤网板6侧壁保护的效果，降低磨损程度。

工作原理，在碳化硅立式合成炉合成碳化硅粉体时，将高纯碳粉和硅粉利用高温合成的方法反应，现有的合成炉在反应时，由于温场的均匀性难以把控，导致合成后的碳化硅粉体纯度不够，造成原材料的浪费，所以将高纯碳粉和硅粉放入石墨坩埚1的内部进行反应，石墨坩埚1是立式的设备，当物料放入石墨坩埚1的内部反应时，环绕线圈14通过连接的中频感应电源供电，实现环绕线圈14感应加热线圈的功率调整，并利用电推杆12带动支撑架13上的环绕线圈14上下移动，对石墨坩埚1的侧壁加热，实现温场的均匀性，并且依靠伸缩杆15随电推杆12的输出端上下伸缩，便于针对温度低的位置进行加热；当外壳11的内部高温，容易导致环绕线圈14被高温灼伤，所以在环绕线圈14的表面涂覆耐热涂层2，并以磷酸盐铅粉涂料为基础涂覆，降低环绕线圈14被高温灼伤的概率，同时利用隔热棉套21包裹在环绕线圈14的表面，进一步提高环绕线圈14的抗高温效果；当外壳11的内部长时间高温，容易造成环绕线圈14损坏，所以利用温度传感器3在外壳11的内部感应温度，当温度传感器3感应到外壳11的内部的温度高于设定的高温后，通过信号线传送信号给警报灯31，警报灯31发出警报提醒工人查看，工人将外壳11两侧的密封塞33打开，温度传感器3是现有技术中的感应器，网上都有销售，外壳11内部的热量从两组通风管32处散出，起到快速降温的效果，避免外壳11内部长时间高温导致环绕线圈14受损；当外壳11的内部温度高时，利用外接水泵将冰水抽入进水管4的内部，一号拼接块41与二号拼接块42通过拼接组件进行连接，将进水管4与环绕水管43连通，冰水流进入环绕水管43的内部，并随环绕水管43环绕在石墨坩埚1的侧壁降温，环绕水管43是耐腐蚀抗高温的材料制成的水管，水流将外壳11内部的高温带走，并从出水管44流出，起到对外壳11内部降温的效果，并且可以对温场进行控制使其均匀，出水管44处连接回收装置，将水分回收利用，若外壳11的内部较高时，可以在水中添加冷却水，使其提升冷却降温效果；在对一号拼接块41和二号拼接块42进行拼接时，可以将一号拼接块41侧壁固接的限位插销5插入二号拼接块42的内部，限位滑块51的斜坡面与二号拼接块42的侧壁接触后，将限位滑块51挤压下滑入限位插销5的内部，一号弹性件52收缩受力，当限位滑块51滑动到二号拼接块42的对应孔槽时，一号弹性件52将限位滑块51挤压卡在二号拼接块42的内部限位，起到对一号拼接块41和二号拼接块42的限位连接作用；当外接水泵抽取的水中含有杂质时，利用固定组件将滤网板6限位固定在一号拼接块41的内侧壁，并处于一号拼接块41与二号拼接块42中部处位置，当水流经过滤网板6处时，滤网板6对水流中的杂质进行过滤，将杂质过滤在滤网板6的侧壁，起到对水中杂质过滤的效果，同时利用滤网板6的弧形面引导，杂质在水流停止后下滑入挡板61处，堆压挡板61随扭簧转动，将杂质存储在收集凹槽的内部存储；当对滤网板6进行固定时，利用一号拼接块41与二号拼接块42贴合，二号拼接块42的侧壁对密封垫72挤压，带动密封垫72对滑动插杆7挤压滑动，滑动插杆7上的二号弹性件71收缩受力，滑动插杆7滑动贯穿滤网板6的内侧壁，并插入一号拼接块41的内部起到限位效果，滤网板6的弧形面部位是软质的，而垂直部位则为硬质的，便于插入一号拼接块41的内部固定，同时利用二号弹性件71对滑动插杆7挤压，并且将密封垫72紧密挤压在二号拼接块42的侧壁，起到密封的效果；当外接的水泵抽水进入进水管4的内部时，因水掺合杂质进入被滤网板6过滤，水流速度过激冲击撞击球83上，撞击球83受力挤压橡胶块82变形，橡胶块82类似于传统弹簧的弹性作用，复位效果和受力都优于弹簧，起到支撑的作用，橡胶块82被挤压的同时带动转动板81随扭簧转动在限位板8的内侧壁，弹性柱84也被挤压收缩，当冲击力过后，多组弹性零件快速带动撞击球83复位撞击滤网板6的侧壁震动，起到对滤网板6侧壁杂质震击松动掉落的效果；当水流对撞击球83冲刷时，撞击球83被冲击力冲压远离滤网板6的侧壁，在冲击力过后，二号磁性件91与一号磁性件9磁性相吸，配合多组弹性零件快速带动撞击球83复位撞击滤网板6的侧壁，增强对滤网板6侧壁杂质的清理效果，同时由于撞击球83位于滤网板6的上方位置，水流间歇式冲击，提高震动的频率。

上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：包括石墨坩埚(1)；所述石墨坩埚(1)的侧壁安装有外壳(11)；所述外壳(11)的内部固接有电推杆(12)；所述电推杆(12)的输出端固接有支撑架(13)；所述支撑架(13)的端部固接有多组环绕线圈(14)；所述环绕线圈(14)套在石墨坩埚(1)的侧部位置；所述环绕线圈(14)的侧壁连接有中频感应电源；所述环绕线圈(14)的侧壁固接有伸缩杆(15)，且伸缩杆(15)固接在外壳(11)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述环绕线圈(14)的表面涂有耐热涂层(2)；所述耐热涂层(2)为磷酸盐铅粉涂料设计；所述环绕线圈(14)的表面包覆有隔热棉套(21)。

3.根据权利要求1所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述外壳(11)的内侧壁固接有温度传感器(3)；所述外壳(11)的端部固接有警报灯(31)，且警报灯(31)通过信号线与温度传感器(3)连接；所述外壳(11)的侧壁开设有两组通风口；所述外壳(11)的侧壁固接有两组通风管(32)，且位于通风口处；所述通风管(32)的内侧壁安装有密封塞(33)。

4.根据权利要求3所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述外壳(11)的内侧壁固接有进水管(4)；所述进水管(4)的侧壁固接有一号拼接块(41)；所述一号拼接块(41)的侧部设置有二号拼接块(42)；所述一号拼接块(41)的侧壁设置有拼接组件，拼接组件用于一号拼接块(41)和二号拼接块(42)拼接使用；所述二号拼接块(42)的侧壁固接有环绕水管(43)，且环绕水管(43)环绕在石墨坩埚(1)的侧壁；所述环绕水管(43)的侧壁固接有出水管(44)。

5.根据权利要求4所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述拼接组件包括限位插销(5)、限位滑块(51)和一号弹性件(52)；所述限位插销(5)固接在一号拼接块(41)的侧壁；所述限位滑块(51)滑动连接在限位插销(5)的内侧壁；所述一号弹性件(52)固接在限位滑块(51)的侧壁，且一号弹性件(52)固接限位插销(5)的内侧壁。

6.根据权利要求5所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述一号拼接块(41)的内侧壁插接有滤网板(6)；所述滤网板(6)的形状呈半弧形，且两端垂直设置；所述滤网板(6)的侧壁设置有收集凹槽；所述滤网板(6)的内侧壁通过扭簧转动连接有挡板(61)；所述一号拼接块(41)的内部设置有固定组件，固定组件用于对滤网板(6)限位连接使用。

7.根据权利要求6所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述固定组件包括滑动插杆(7)、二号弹性件(71)和密封垫(72)；所述滑动插杆(7)滑动连接在一号拼接块(41)的内侧壁；所述二号弹性件(71)套接在滑动插杆(7)的侧壁；所述滑动插杆(7)的端部固接有密封垫(72)；所述滤网板(6)的侧壁开设有多组孔洞，且与滑动插杆(7)相对应。

8.根据权利要求6所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述二号拼接块(42)的内侧壁固接有限位板(8)；所述二号拼接块(42)的内侧壁通过扭簧转动连接有转动板(81)；所述转动板(81)的侧壁固接有橡胶块(82)；所述橡胶块(82)的形状呈山字形，且两侧对称设置有支杆；所述橡胶块(82)的侧壁固接有撞击球(83)；所述转动板(81)的侧壁固接有弹性柱(84)。

9.根据权利要求8所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述撞击球(83)的内部固接有一号磁性件(9)；所述滤网板(6)的侧壁固接有二号磁性件(91)；所述一号磁性件(9)与二号磁性件(91)相互靠近时能够异性相吸。

10.根据权利要求9所述的一种温场均匀的碳化硅立式合成炉，其特征在于：所述撞击球(83)的侧壁套接有摩擦垫(92)；所述摩擦垫(92)的形状呈半圆弧状。

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