CN114904715A - 涂布头涂层厚度控制的微调机构 - Google Patents

涂布头涂层厚度控制的微调机构 Download PDF

Info

Publication number
CN114904715A
CN114904715A CN202110179218.8A CN202110179218A CN114904715A CN 114904715 A CN114904715 A CN 114904715A CN 202110179218 A CN202110179218 A CN 202110179218A CN 114904715 A CN114904715 A CN 114904715A
Authority
CN
China
Prior art keywords
coating
gasket
head
die
slit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110179218.8A
Other languages
English (en)
Inventor
张志安
徐启敏
徐艺甄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Usun Technology Co Ltd
Original Assignee
Usun Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Usun Technology Co Ltd filed Critical Usun Technology Co Ltd
Priority to CN202110179218.8A priority Critical patent/CN114904715A/zh
Publication of CN114904715A publication Critical patent/CN114904715A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B05C5/0258—Coating heads with slot-shaped outlet flow controlled, e.g. by a valve
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明提供一种涂布头涂层厚度控制的微调机构，适用于一涂布机，并于涂布机的机台上设置有一涂布平台，且机台上安装有供驱动装置带动朝涂布平台位移来将涂料涂布在被涂布件表面上的涂布头，而涂布头包含设置在一模头上的调整机构，并于模头的二狭缝模间夹设有一垫片，且二狭缝模下方形成有与腔室相连通的模唇，又调整机构包含安装在二狭缝模的结合面二侧的偏心旋转轴，并使二偏心旋转轴分别穿设于垫片对应的调整孔内，当二偏心旋转轴转动一角度时，可旋动推抵于调整孔使垫片作上下位移，精确微调垫片二侧下方凸出二狭缝模的模唇外部的凸出量。

Description

涂布头涂层厚度控制的微调机构
技术领域
本发明涉及一种涂布头涂层厚度控制的微调机构，尤指模头的二狭缝模间为夹设有一垫片，并于狭缝模二侧安装有偏心旋转轴，便可凭借偏心旋转轴旋动推抵于垫片的调整孔作上下位移，精确微调垫片二侧下方凸出二狭缝模的模唇外部的凸出量。
背景技术
现今常见的涂布机大都使用高精密且相对成本较低的涂布技术，可用以控制膜厚均匀性和涂布的宽度，不仅广泛应用于电子构装(如印刷电路板、晶片构装等)、光学膜、太阳能电池或锂电池的极板与半导体、平面显示器等产业所使用的基材上的涂布，并以平面显示器产品应用及电子构装所需的涂布精度最高，也更具有高附加价值，使得相关涂布设备厂商更加积极投入研究与开发。
而目前狭缝式涂布机(Slit Coater)主要应用于半导体、平面显示器等制程中的光阻剂涂布、水胶涂布、PCB材料涂布、LED高分子材料涂布、OLED材料涂布、离型材料涂布等，并利用内部形成宽方向较长的狭缝的喷嘴相对于基材水平移动，便可凭借注射式泵浦将供料模块中的涂料从狭缝中喷出后，使基材表面上形成一薄膜，但随着制程中涂布的精度要求越来越高，使涂层的厚度便需有更高的均匀度。
一般狭缝式涂布机用的涂布头或喷嘴系在二狭缝模之间夹设有一狭缝片，并使狭缝片下方凸出二狭缝模的模唇外部，便可凭借狭缝片的厚度来将二狭缝模隔开形成一狭缝间隙，以控制涂料从狭缝中喷出在被涂布件表面上的涂层宽度和厚度，惟该部分特殊涂布制程中，需要严格控制狭缝片的凸出量，并在小尺寸的涂布头还可利用高精度治具以切齐靠位的方式来进行安装，但在大尺寸的涂布头(如宽方向具有较长的狭缝的涂布头)就很难同时兼顾到狭缝片二侧凸出量的精度，即为从事于此行业者所亟欲研究改善的方向所在。
发明内容
故，发明人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料经由多方评估及考量，并以从事于此行业累积的多年经验持续试作与修改，始设计出此种涂布头涂层厚度控制的微调机构的发明专利诞生。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种涂布头涂层厚度控制的微调机构，适用于一涂布机，并于该涂布机的机台上设置有供被涂布件定位的涂布平台，且该机台上安装有一驱动装置，以及供该驱动装置带动位移来将涂料涂布在该被涂布件表面上的涂布头，其特征在于，该涂布头包括：
一模头，包含相互结合的二狭缝模及夹设在该二狭缝模间的垫片，并于该二狭缝模与该垫片之间形成有供该涂料进入的腔室，且该二狭缝模下方形成有与该腔室相连通的模唇，以供该垫片将该二模唇隔开形成有一狭缝间隙，且该垫片二侧分别设有一调整孔；以及
一设置于该模头上的调整机构，该调整机构包含安装在该二狭缝模结合面的二侧的偏心旋转轴，并使该二偏心旋转轴分别穿设于该垫片对应的调整孔内，当该二偏心旋转轴转动一角度时，分别旋动推抵于该调整孔使该垫片二侧作上下位移，用以微调该垫片二侧下方凸出该二狭缝模的模唇外部的凸出量。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该模头于二狭缝模相对内侧结合面上的左右二侧分别设有与该垫片的调整孔对应的安装孔，并于该调整机构的偏心旋转轴具有一偏心定位销及安装在该偏心定位销上的扣环，且该偏心定位销通过该扣环分别结合于该安装孔内。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该偏心定位销具有位于该垫片的调整孔内的凸轮头及由该凸轮头偏心延伸出的杆身，并于该凸轮头顶面上设有作动部。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该偏心定位销的作动部可供使用者以手工具进行对接，并转动一角度使该凸轮头旋动推抵于该垫片对应的调整孔。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该偏心定位销的杆身上设有一环状沟槽，并于该环状沟槽内安装有该扣环。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该模头于二狭缝模相对内侧结合面上的左右二侧分别设有一固定孔，并于该垫片二侧分别与该固定孔对应的穿孔，而该调整机构还包含有一紧固件，并由该二紧固件分别穿过该垫片对应的穿孔中，再锁接于该狭缝模对应的固定孔内结合成为一体。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该紧固件具有一螺丝，并于该螺丝上套设有垫圈。
所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其中：该模头的垫片下方具有与该腔室相连通的出料口，并于该出料口二侧设有凸出该二模唇外部横向表面一距离的伸出端。
本发明的主要优点乃在于涂布机用的涂布头包含设置在一模头上的调整机构，并于模头的二狭缝模间夹设有一垫片，且二狭缝模下方形成有与腔室相连通的模唇，而调整机构包含安装在二狭缝模的结合面二侧的偏心旋转轴，并使二偏心旋转轴分别穿设于垫片对应的调整孔内，当二偏心旋转轴转动一角度时，可旋动推抵于调整孔使垫片作上下位移，以精确地微调垫片二侧下方凸出二狭缝模的模唇外部的凸出量，并保持在0.001～0.005mm之间精确的公差范围内，当涂布头将涂料涂布在被涂布件表面上形成有一涂布膜后，在涂层宽度不变的情况下，可通过精确微调垫片二侧下方的凸出量来控制涂层的厚度，以得到涂层厚度均匀的涂布膜，并确保涂布的品质。
本发明的另一优点乃在于涂布头的模头上设置调整机构的小型偏心旋转轴，并安装在狭缝模二侧设计，让使用者可转动偏心旋转轴来旋动推抵于垫片的调整孔作上下位移，且待垫片微调完成后，便可将垫片二侧穿孔内穿设的紧固件分别锁紧于狭缝模对应的固定孔内，使垫片稳固的结合在狭缝模内侧表面上，再将另一狭缝模以复数螺栓加以固定后，可使垫片夹设在二狭缝模之间结合成为一体。
附图说明
图1是本发明涂布头的立体外观图。
图2是本发明涂布头另一视角的立体外观图。
图3是本发明涂布头组装前的立体分解图。
图4是本发明图3的局部放大图。
图5是本发明狭缝片调整时的动作示意图(一)。
图6是本发明狭缝片调整时的动作示意图(二)。
图7是本发明狭缝片锁固后的立体外观图。
图8是本发明涂布头组装后的侧视图。
附图标记说明：1-模头；10-腔室；11-狭缝模；111-模唇；112-安装孔；113-固定孔；12-垫片；120-出料口；121-伸出端；122-穿孔；123-调整孔；2-调整机构；21-偏心旋转轴；211-偏心定位销；2111-凸轮头；2112-杆身；2113-作动部；2114-环状沟槽；212-扣环；22-紧固件；221-螺丝；222-垫圈。
具体实施方式
为达成上述目的及功效，本发明所采用的技术手段及其构造，兹绘图就本发明的较佳实施例详加说明其构造与功能如下，俾利完全了解。
请参阅如图1～图4所示，分别为本发明涂布头的立体外观图、另一视角的立体外观图、涂布头组装前的立体分解图及图3的局部放大图，由图中可清楚看出，本发明的涂布头涂层厚度控制的微调机构为适用于一涂布机，并于涂布机的机台上设置有供被涂布件(如玻璃基板、塑料膜、光学膜、软性基板、金属箔片、电路板等各种基材或料片)定位的涂布平台，且机台的门型框架上安装有驱动装置，以及供驱动装置带动朝涂布平台方向(如XY轴涂布方向或/及Z轴升降方向)位移来将涂料涂布在被涂布件表面上的涂布头，而涂料则可依实际的需求选用如光阻剂的正型光阻及负型光阻、功能性树脂、有机导电高分子材料、光固化涂料或压电材料等具特定的性质与粘度的流体，并使涂料自涂布头喷出后可在被涂布件表面上涂布形成有干膜、功能性薄膜、导电薄膜、光固化膜、压电薄膜或其他涂层厚度均匀的涂布膜。
在本实施例中，上述的涂布头为包括有狭缝式模头(Slot Die)1及调整机构2，其中该模头1包含前后面对面相互结合的二狭缝模11(又称为上游模与下游模)及夹设在二狭缝模11间的垫片(又称为狭缝片或间隙片，Shim)12，并于二狭缝模11与垫片12之间形成有供注射式泵浦或供料部将涂料供应至其内部流道中的腔室10，且二狭缝模11下方处所朝外凸出的模唇111内形成有与腔室10相连通的唇口，便可凭借垫片12的厚度来将唇口隔开形成有一狭缝间隙，并于垫片12具有与唇口相连通的出料口120，且出料口120左右二侧处设有凸出二模唇411外部横向表面一距离的伸出端121，用以控制调节涂料通过出料口120涂布在被涂布件表面上的涂层宽度和厚度。
此外，模头1的二狭缝模11之间为隔着至少一片垫片12以复数螺栓加以固定结合成为一体，并于二狭缝模11相对内侧的结合面上的左右二侧分别设有一对安装孔112及固定孔113，且各二安装孔112与固定孔113为位于腔室10左右二侧的上方一距离；另，垫片12表面上左右二侧分别设有与安装孔112对应的长椭圆形调整孔123，以及与固定孔113对应的穿孔122。
该调整机构2包含偏心旋转轴21及紧固件22，并于偏心旋转轴21具有一偏心定位销211或偏心螺丝，优选地为偏心定位销211，而偏心定位销211具有外径较大的凸轮头2111及由凸轮头2111偏心延伸出的杆身2112，并于凸轮头2111顶面上设有作动部2113，且杆身2112的环状沟槽2114内安装有一扣环212，又紧固件22具有一螺丝221，并于螺丝221上套设有一垫圈222。
当本发明的模头1于组装时，系先将调整机构2的二偏心旋转轴21通过偏心定位销211上的扣环212分别结合于狭缝模11(下游模)对应的安装孔112内，并使偏心定位销211的凸轮头2111略微凸出于狭缝模11表面上后，便可将垫片12的调整孔123分别套接于偏心定位销211对应的凸轮头2111上，并使垫片12与狭缝模11形成抵贴，且各穿孔122分别与狭缝模11的固定孔113形成对正，即可将紧固件22的螺丝221依序穿过垫圈222、垫片12的穿孔122中，再分别锁接于狭缝模11对应的固定孔113内形成暂时的定位。
请搭配参阅如图5～图8所示，分别为本发明狭缝片调整时的动作示意图(一)至(二)、狭缝片锁固后的立体外观图及涂布头组装后的侧视图，由图中可清楚看出，当使用者欲调整模头1的垫片12凸出二狭缝模11的模唇111外部一距离时，可利用调整机构2通过偏心旋转轴21旋动推抵于垫片12的调整孔123内壁面上，使垫片12左右二侧作上下位移达到微调的目的。
详细来说，当使用者利用手工具将前端的起子头对接于偏心定位销211的作动部2113(如内六角凹槽、星形凹槽等)内，并朝顺时针或逆时针转动一角度时，可由凸轮头2111旋动推抵于垫片12的调整孔123内壁面上，并使垫片12左右二侧的调整孔123随着偏心定位销211作上下位移，以微调垫片12下方的伸出端121凸出二狭缝模11的模唇111外部的凸出量，较佳实施可将公差范围精确控制在0.001～0.005mm之间，且待垫片12微调完成后，便可将紧固件22的螺丝221分别锁紧于狭缝模11对应的固定孔113内，使垫片12稳固的结合在狭缝模11(下游模)内侧表面上，再将另一狭缝模11(上游模)以复数螺栓加以固定，使垫片12夹设在二狭缝模11之间结合成为一体。
此种模头1上设置调整机构2的小型偏心旋转轴21，并分别安装在狭缝模11左右二侧设计，让使用者可通过转动偏心旋转轴21来旋动推抵于垫片12的调整孔123上下位移，以微调垫片12二侧下方伸出端121凸出二狭缝模11的模唇111外部的凸出量，并将凸出量保持在精确的公差范围内，以达到微调垫片12位置的目的，当涂布头将涂料涂布在被涂布件表面上形成有一涂布膜后，在涂层宽度不变的情况下，可通过精确微调垫片12的凸出量来控制调节涂层的厚度，以得到一涂层厚度均匀的涂布膜，并确保涂布的品质。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种涂布头涂层厚度控制的微调机构，适用于一涂布机，并于该涂布机的机台上设置有供被涂布件定位的涂布平台，且该机台上安装有一驱动装置，以及供该驱动装置带动位移来将涂料涂布在该被涂布件表面上的涂布头，其特征在于，该涂布头包括：
一模头，包含相互结合的二狭缝模及夹设在该二狭缝模间的垫片，并于该二狭缝模与该垫片之间形成有供该涂料进入的腔室，且该二狭缝模下方形成有与该腔室相连通的模唇，以供该垫片将该二模唇隔开形成有一狭缝间隙，且该垫片二侧分别设有一调整孔；以及
一设置于该模头上的调整机构，该调整机构包含安装在该二狭缝模结合面的二侧的偏心旋转轴，并使该二偏心旋转轴分别穿设于该垫片对应的调整孔内，当该二偏心旋转轴转动一角度时，分别旋动推抵于该调整孔使该垫片二侧作上下位移，用以微调该垫片二侧下方凸出该二狭缝模的模唇外部的凸出量。
2.如权利要求1所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该模头于二狭缝模相对内侧结合面上的左右二侧分别设有与该垫片的调整孔对应的安装孔，并于该调整机构的偏心旋转轴具有一偏心定位销及安装在该偏心定位销上的扣环，且该偏心定位销通过该扣环分别结合于该安装孔内。
3.如权利要求2所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该偏心定位销具有位于该垫片的调整孔内的凸轮头及由该凸轮头偏心延伸出的杆身，并于该凸轮头顶面上设有作动部。
4.如权利要求3所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该偏心定位销的作动部可供使用者以手工具进行对接，并转动一角度使该凸轮头旋动推抵于该垫片对应的调整孔。
5.如权利要求3所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该偏心定位销的杆身上设有一环状沟槽，并于该环状沟槽内安装有该扣环。
6.如权利要求1所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该模头于二狭缝模相对内侧结合面上的左右二侧分别设有一固定孔，并于该垫片二侧分别与该固定孔对应的穿孔，而该调整机构还包含有一紧固件，并由该二紧固件分别穿过该垫片对应的穿孔中，再锁接于该狭缝模对应的固定孔内结合成为一体。
7.如权利要求6所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该紧固件具有一螺丝，并于该螺丝上套设有垫圈。
8.如权利要求1所述的涂布头涂层厚度控制的微调机构，其特征在于：该模头的垫片下方具有与该腔室相连通的出料口，并于该出料口二侧设有凸出该二模唇外部横向表面一距离的伸出端。
CN202110179218.8A 2021-02-09 2021-02-09 涂布头涂层厚度控制的微调机构 Pending CN114904715A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110179218.8A CN114904715A (zh) 2021-02-09 2021-02-09 涂布头涂层厚度控制的微调机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110179218.8A CN114904715A (zh) 2021-02-09 2021-02-09 涂布头涂层厚度控制的微调机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114904715A true CN114904715A (zh) 2022-08-16

Family

ID=82760851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110179218.8A Pending CN114904715A (zh) 2021-02-09 2021-02-09 涂布头涂层厚度控制的微调机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114904715A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115672660A (zh) * 2022-11-03 2023-02-03 北京大学长三角光电科学研究院 狭缝涂布设备及涂布方法
CN115780175A (zh) * 2022-11-16 2023-03-14 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 一种涂布模头

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109759284A (zh) * 2019-03-21 2019-05-17 泉州市大疆涂布设备有限公司 便于垫片快速精准更换的涂布机涂布模头
KR102143345B1 (ko) * 2019-12-10 2020-08-11 디에이치 주식회사 듀얼 다이 코터
CN111760755A (zh) * 2020-07-31 2020-10-13 惠州市赢合科技有限公司 一种可水平方向调节腔压的涂布模头
CN112007824A (zh) * 2020-09-18 2020-12-01 宁德中能电子设备有限公司 电池极片涂布的涂布模头及其工作方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109759284A (zh) * 2019-03-21 2019-05-17 泉州市大疆涂布设备有限公司 便于垫片快速精准更换的涂布机涂布模头
KR102143345B1 (ko) * 2019-12-10 2020-08-11 디에이치 주식회사 듀얼 다이 코터
CN111760755A (zh) * 2020-07-31 2020-10-13 惠州市赢合科技有限公司 一种可水平方向调节腔压的涂布模头
CN112007824A (zh) * 2020-09-18 2020-12-01 宁德中能电子设备有限公司 电池极片涂布的涂布模头及其工作方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115672660A (zh) * 2022-11-03 2023-02-03 北京大学长三角光电科学研究院 狭缝涂布设备及涂布方法
CN115672660B (zh) * 2022-11-03 2023-10-13 北京大学长三角光电科学研究院 狭缝涂布设备及涂布方法
CN115780175A (zh) * 2022-11-16 2023-03-14 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 一种涂布模头
CN115780175B (zh) * 2022-11-16 2023-12-26 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 一种涂布模头

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114904715A (zh) 涂布头涂层厚度控制的微调机构
US11413648B2 (en) Slot die with variable manifolds and controlling method thereof
US10820424B2 (en) Slot die with variable nozzles
CN213368253U (zh) 一种真空定位产品的治具
KR20150033533A (ko) 코팅 디바이스 및 코팅 방법
US8671881B2 (en) Thickness adjustment device for thin-film coating
KR100818490B1 (ko) 코팅물의 패턴화 장치
TWI762153B (zh) 塗佈頭塗層厚度控制之微調機構
US20130180955A1 (en) Segmented or selected-area coating
CN219703748U (zh) 一种bga植球机助焊剂装置
KR100789581B1 (ko) 이온 성분을 함유하는 코팅액을 이용한 패턴 형성 방법
CN220742451U (zh) 转印设备
JPH05329423A (ja) 塗布装置
TW200538207A (en) Apparatus for depositing an organic material on a substrate
JP2007062890A (ja) 搬送装置及び搬送方法並びに描画装置
JP2009242114A (ja) 液滴吐出装置
US10807171B2 (en) System and method for forming aligned holes in a work piece
CN214676396U (zh) 一种l型铜片贴胶治具
CN220823396U (zh) 印制电路板贴胶治具
KR100789569B1 (ko) 코팅물의 패턴화 방법
CN203578115U (zh) 涂布装置
CN215612749U (zh) 一种纯铝铝箔胶带生产用涂胶装置
KR100818491B1 (ko) 코팅물의 패턴화 장치
TWI765300B (zh) 塗佈頭組件及塗佈機
JP2012071990A (ja) 搬送装置及び描画装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination