CN114620447A - 基片转移装置 - Google Patents

基片转移装置 Download PDF

Info

Publication number
CN114620447A
CN114620447A CN202210447818.2A CN202210447818A CN114620447A CN 114620447 A CN114620447 A CN 114620447A CN 202210447818 A CN202210447818 A CN 202210447818A CN 114620447 A CN114620447 A CN 114620447A
Authority
CN
China
Prior art keywords
driving
piece
vacuum
swing arm
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202210447818.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114620447B (zh
Inventor
边晓东
安稳鹏
刘凯文
李国森
王维桐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Original Assignee
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Semiconductor Equipment Institute filed Critical Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority to CN202210447818.2A priority Critical patent/CN114620447B/zh
Publication of CN114620447A publication Critical patent/CN114620447A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114620447B publication Critical patent/CN114620447B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/914—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/917—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers control arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种基片转移装置。所述基片转移装置包括：抓取件，形成有用于抓取基片的抓取部；驱动组件，包括升降组件和与所述升降组件连接的旋转组件，所述升降组件用于驱动所述旋转组件作升降运动；摆臂，所述摆臂的一端与所述旋转组件的驱动端连接；所述摆臂的另一端与所述抓取件连接；所述摆臂的长度方向与所述升降组件的驱动方向呈角度设置。本发明能够沿特定的运动轨迹将基片转移至指定位置且保证基片洁净度，满足基片传送于各个工位之间的运输要求。

Description

基片转移装置
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种基片转移装置。
背景技术
在半导体的基片制造工艺过程中，需要将基片转移输送至多个工位并对其进行加工处理，基片的整个加工过程以及转移输送过程均需要保证洁净的环境以避免基片被污染。采用人工转移基片的方式存在运输风险，且运输效率低、人工成本高。为了提高生产效率、节约人工成本，解决因人员接触而导致基片被污染的问题，逐渐地采用能够输送基片的自动化设备，但现有设备仍存在制备成本高、可靠性不足、设备体积庞大且运动复杂的缺陷，无法满足基片传送于各个工位之间的运输要求。
发明内容
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种基片转移装置，以解决在将基片转移输送的过程中，现有设备的运动复杂导致基片输送困难、可靠性低，无法满足基片传送于各个工位之间的需求的问题。
本发明提供了一种基片转移装置，其中，所述基片转移装置包括：
抓取件，形成有用于抓取基片的抓取部；
驱动组件，包括升降组件和与所述升降组件连接的旋转组件，所述升降组件用于驱动所述旋转组件作升降运动；
摆臂，所述摆臂的一端与所述旋转组件的驱动端连接；所述摆臂的另一端与所述抓取件连接；所述摆臂的长度方向与所述升降组件的驱动方向呈角度设置。
优选地，所述升降组件包括第一驱动件和第一连接件，所述第一驱动件用于驱动所述第一连接件作升降运动；
所述旋转组件包括第二驱动件和与所述摆臂连接的第二连接件，所述第二驱动件用于驱动所述第二连接件作旋转运动。
优选地，所述驱动组件还包括传动件和与所述第一连接件连接的螺杆，所述传动件形成为同步带结构；
所述传动件包括第一传动件和第二传动件；所述第一传动件的两个带轮分别与所述第一驱动件和所述螺杆连接，所述第二传动件的两个带轮分别与所述第二驱动件和所述第二连接件的外壁连接。
优选地，所述摆臂形成为壳体结构，所述第二连接件与所述摆臂的外壳连接；所述摆臂的壳内设置有第三驱动件；所述第三驱动件用于驱动所述抓取件相对所述摆臂转动。
优选地，所述基片转移装置还包括设置在所述抓取件的内部的真空管道，所述真空管道与所述抓取部连通，以使所述抓取部形成有用于抓取所述基片的吸力；
所述第二连接件形成为沿轴线贯穿的环状套筒结构，所述真空管道还包括设置在所述环状套筒内的第一真空轴和与所述抓取件连接的第二真空轴，所述第一真空轴和所述第二真空轴分别设置在所述摆臂的长度方向上的两端部；
所述第一真空轴的两端分别延伸出所述第二连接件的外部，所述第一真空轴形成在所述摆臂内的一端设置有第一真空接头，所述第一真空轴的另一端与真空设备连通，所述第一真空轴的外壁与所述升降组件连接；
所述第二真空轴的一端与所述抓取件连接，所述第二真空轴的另一端设置有第二真空接头，所述第一真空接头与所述第二真空接头连通。
优选地，所述第三驱动件形成为同步带结构，所述第三驱动件的主动带轮与所述第一真空轴连接，所述第一真空轴能够驱动所述主动带轮作升降运动；所述第三驱动件的从动带轮与所述第二真空轴连接，所述第三驱动件的传动带能够跟随所述摆臂以所述第二连接件为轴心转动，以使所述传动带驱动所述从动带轮转动。
优选地，所述基片转移装置还包括与所述第二连接件侧壁连接的检测件和设置在所述第二连接件侧方的感应件；所述检测件朝向所述第二连接件的侧部凸出，并跟随所述第二连接件转动；
所述感应件用于检测所述检测件的位置；多个所述感应件沿所述第二连接件的旋转周向分布。
优选地，所述基片转移装置还包括防护箱体，所述防护箱体形成为封闭的壳体结构，所述壳体结构的内部形成为驱动空间，所述驱动组件设置在所述驱动空间内；
所述旋转组件的驱动端伸出所述防护箱体的外部以连接所述摆臂。
优选地，所述抓取部形成有朝向所述基片延伸的凸起结构，以使所述基片与所述真空管道的端口分隔开。
优选地，所述驱动组件还包括用于调节所述传动件张紧力的张紧件，所述张紧件设置在所述传动件的两个带轮之间。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明的基片转移装置运动简单、操作方便、制备成本低，具有一定的可靠性和稳定性，能够沿特定的运动轨迹将基片转移至指定位置且保证基片洁净度，满足基片传送于各个工位之间的运输要求。此外，还能够减轻操作人员劳动强度、提高生产效率。
为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的实施例提供的基片转移装置的结构示意图；
图2为图1中A部分的放大示意图；
图3为本发明的实施例提供的基片转移装置在另一视角下的结构示意图；
图4为本发明的实施例提供的基片转移装置在又一视角下的结构示意图；
图5为本发明的实施例提供的基片转移装置的结构剖视图；
图6为本发明的实施例提供的基片转移装置在再一视角下的结构示意图。
图标：10-驱动组件；11-升降组件；111-第一驱动件；112-第一连接件；113-第一传动件；114-螺杆；115-升降导向件；116-连接板；117-丝杠轴承座；12-旋转组件；121-第二驱动件；122-第二连接件；123-第二传动件；13-张紧件；131-螺纹孔；20-抓取件；21-抓取部；22-凸起；30-摆臂；40-真空管道；41-第一真空轴；411-连接键；42-第二真空轴；43-第一真空接头；44-第二真空接头；50-第三驱动件；51-主动带轮；52-从动带轮；53-传动带；61-检测件；62-感应件；70-防护箱体；80-支撑组件；91-第一安装板；911-长条孔；92-第二安装板。
具体实施方式
提供以下具体实施方式以帮助读者获得对这里所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容之后，这里所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，这里所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于这里所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。
这里所描述的特征可以以不同的形式实施，并且不应被解释为局限于这里所描述的示例。更确切地说，已经提供了这里所描述的示例仅用于示出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的实现这里描述的方法、设备和/或系统的诸多可行方式中的一些方式。
在整个说明书中，当元件(诸如，层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件、“结合到”另一元件、“在”另一元件“之上”或“覆盖”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件、“结合到”另一元件、“在”另一元件“之上”或“覆盖”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件、“直接结合到”另一元件、“直接在”另一元件“之上”或“直接覆盖”另一元件时，可不存在介于它们之间的其他元件。
如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。
尽管可在这里使用诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语来描述各个构件、组件、区域、层或部分，但是这些构件、组件、区域、层或部分不受这些术语所限制。更确切地说，这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分相区分。因此，在不脱离示例的教导的情况下，这里所描述的示例中所称的第一构件、组件、区域、层或部分也可被称为第二构件、组件、区域、层或部分。
为了易于描述，在这里可使用诸如“在……之上”、“上部”、“在……之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为相对于另一元件位于“之上”或“上部”的元件随后将相对于另一元件位于“之下”或“下部”。因此，术语“在……之上”根据装置的空间方位而包括“在……之上”和“在……之下”两种方位。所述装置还可以以其他方式定位(例如，旋转90度或处于其他方位)，并将对在这里使用的空间关系术语做出相应的解释。
在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。
由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。
这里所描述的示例的特征可按照在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本申请的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能的。
根据本发明提供一种基片转移装置，其包括驱动组件10、抓取件20、摆臂30以及真空管道40。
在下文中，将描述根据本实施例的基片转移装置的上述部件的具体结构。
在本实施例中，如图1至图6所示，用于驱动基片移动的动力源由驱动组件10提供，驱动组件10包括升降组件11和与升降组件11连接的旋转组件12，升降组件11用于驱动旋转组件12作升降运动，升降组件11和旋转组件12之间的配合运动使得基片被转移至指定位置。
需要说明的是，在优选的实施方式中，升降组件11驱动旋转组件12运动，能够有效地减小基片转移装置的占地空间；然而驱动组件10的连接方式并不限于此，也可以采用旋转组件12驱动升降组件11运动，相比于优选的实施方式，旋转组件12带动升降组件11整体作旋转运动，增大了基片转移装置的占地空间，且需要额外地增设驱动摆臂30或抓取件20转动的动力源。
在实施例中，如图1至图6所示，升降组件11包括第一驱动件111和第一连接件112，第一驱动件111用于驱动第一连接件112作升降运动，在优选的实施方式中，第一连接件112形成为套设于螺杆114的套筒结构，第一连接件112与螺杆114形成为螺纹连接(即第一连接件112与螺杆114形成为丝杠结构，螺杆114的两端还设置有丝杠轴承座117，其中，远离第一驱动件111的丝杠轴承117与下述的防护箱体70固定连接)；第一驱动件111用于驱动螺杆114转动，以使第一连接件112沿螺杆114的长度方向往复运动，第一驱动件111可以是旋转电机或旋转气缸等，只要能够驱动螺杆114转动并使得第一连接件112作往复的升降运动即可。
为了使得第一连接件112运动平稳，在实施例中，如图3和图5所示，升降组件11还包括与第一连接件112抵接的升降导向件115，升降导向件115可以形成为滑轨滑块结构，滑块与第一连接件112连接，滑轨与下述的支撑组件80连接，滑轨的长度方向与螺杆114的长度方向相适配，如此保证第一连接件112的运动平稳性。
此外，在实施例中，如图1至图6所示，旋转组件12包括第二驱动件121和与摆臂30连接的第二连接件122，第二驱动件121用于驱动第二连接件122作旋转运动，第二驱动件121可以是旋转电机或旋转气缸等，只要能够驱动第二连接件122转动并带动下述抓取部21运动即可。
需要说明的是，由于旋转组件12的整体质量较重，仅通过第一连接件112带动旋转组件12作升降运动，容易使得第一连接件112的连接侧部因负载过大无法平稳升降，因此，第一连接件112和旋转组件12之间可以设置连接板116，以提高升降组件11与旋转组件12之间的连接稳定性，从而保证基片转移装置运行可靠；连接板116可以形成为凹字形结构，凹字形结构的两端的凸出部分别与下述的第一真空轴41和旋转组件12连接，如图6所示，连接板116与第一真空轴41优选地采用连接键411固定连接，以固定第一真空轴41避免转动；连接板116也可以形成为L形板面结构或套筒结构，只要具备一定承载能力以提升连接稳定性即可。此外，还可根据实际需求在驱动组件10内设置连接板116等结构，以提高基片转移装置的稳定性和可靠性。
为了减小基片转移装置的占地空间，使得基片转移装置的布局更加紧凑，在实施例中，如图1至图6所示，驱动组件10还包括形成为同步带结构的传动件，同步带结构包括两个齿形带轮和分别与两个齿形带轮啮合的同步带，传动件包括第一传动件113和第二传动件123。
具体的，如图3至图5所示，第一传动件113的两个带轮分别与第一驱动件111和螺杆114连接，使得第一驱动件111无需与螺杆114直接连接，而是设置在螺杆114的侧部，从而减小升降组件11的长度，进而使得驱动组件10的布局更加紧凑；此外，如图3至图5所示，第二传动件123的两个带轮分别与第二驱动件121和第二连接件122的外壁连接，第二驱动件121和第二连接件122之间设置有第二传动件123使得旋转组件12形成为二级传动，如此增大了摆臂30的扭矩，且同步带结构还具有高效、稳定的传动优势。
此外，在实施例中，如图3至图6所示，驱动组件10还包括用于调节传动件张紧力的张紧件13，张紧件13设置在传动件的两个带轮之间，张紧件13可以设置在两个带轮之间的上方或下方(如图3所示，用于调节第一传动件113张紧力的张紧件13设置在第一传动件113的上方，用于调节第二传动件123张紧力的张紧件13设置在第二传动件123的下方)。
具体的，如图3和图6所示，升降组件11还包括与第一驱动件111连接的第一安装板91和与丝杠轴承座117连接的第二安装板92，第一安装板91形成有长条孔911，第一安装板91通过长条孔911与第二安装板92连接；调节第一传动件113的张紧件13与第二安装板92连接，张紧件13形成为条状或块状等结构，张紧件13和第一安装板91均设置在第二安装板92的同侧(如二者均设置在第二安装板92的下方)，张紧件13形成有朝向第一安装板91贯穿的螺纹孔131，采用带有螺纹的杆件(如顶丝件)旋入张紧件13的螺纹孔131内，并使得顶丝件的端部与第一安装板91的侧壁抵接，通过调节顶丝件旋入螺纹孔131内的深度来调节长条孔911在第二安装板92上的位置，如此实现微调第一安装板91与第二安装板92之间的距离，从而调节第一传动件113的两个带轮之间的距离，进而实现张紧作用。
需要说明的是，张紧件13调节第二传动件123的方式同理于第一传动件113。张紧件13也可以形成为其他结构，如张紧轮等，只要张紧件13具有能够调节传动件的张紧力的功能即可。
在本实施例中，如图1至图5所示，为了便于抓取或放置基片，基片转移装置包括抓取件20，抓取件20形成有用于抓取基片的抓取部21；真空管道40设置在抓取件20的内部且与抓取部21连通，以使抓取部21形成有用于抓取基片的吸力，如此采用吸附式的抓取方式实现抓取或放置基片，从而避免基片被污染且提升了基片转移装置的抓取稳定性和可靠性。在优选的实施方式中，抓取部21由陶瓷材料形成，如此最大程度地保证基片的洁净度。
在实施例中，如图1至图5所示，抓取件20优选地形成为长条的板状或杆状结构，以便于抓取件20在各个工位之间移动并抓取或放置；抓取部21优选地形成在抓取件20的端部，如此保证抓取件20抓取的准确性，且能够避免抓取件20上除抓取部21以外的部分结构对抓取基片的动作造成干涉。
此外，在实施例中，如图1至图5所示，抓取部21形成有朝向基片延伸的凸起22的结构，使得抓取件20在抓取基片的状态下，基片与真空管道40的端口之间形成一定距离，如此减小抓取部21与基片之间的接触面积，从而避免真空管道40的吸力对基片造成损坏。在实施例中，抓取部21上的凸起22可以形成为多个凸出的点状或条状等结构。
为了增大基片的移动范围且避免抓取件20过长，而导致基片转移装置的占地面积过大，在实施例中，如图1至图5所示，基片转移装置还包括设置在抓取件20和驱动组件10之间的摆臂30，摆臂30优选地形成为长条的板状或杆状结构，摆臂30的一端与旋转组件12的驱动端(即第二连接件122)连接，摆臂30的另一端与抓取件20连接。
在实施例中，如图1至图6所示，摆臂30形成为壳体结构，第二连接件122与摆臂30的外壳连接，第二连接件122形成为沿轴线贯穿的环状套筒结构，真空管道40包括设置在环状套筒内的第一真空轴41和与抓取件20连接的第二真空轴42，第一真空轴41和第二真空轴42均形成为空心的轴结构，以形成真空环境。
具体的，第一真空轴41和第二真空轴42分别设置在摆臂30的长度方向上的两端部；第一真空轴41的两端分别延伸出第二连接件122的外部，第一真空轴41形成在摆臂30内的一端设置有第一真空接头43，第一真空轴41的另一端与真空设备连通，第二真空轴42的一端与抓取件20连接，第二真空轴42的另一端设置有第二真空接头44，第一真空接头43与第二真空接头44采用软管或金属管等连通，如此使得真空设备启动后，从而避免真空管道40的管线跟随抓取件20一同运动造成的干涉或管线缠绕等情况出现。
此外，第一真空接头43与第二真空接头44之间设置有导向架，导向架可以形成为弯折的杆状结构，以使连接第一真空接头43与第二真空接头44之间的软管布设在导向架上，避免软管的位置对下述第三驱动件50的运动造成干涉。在实施例中，为了保证有效真空，还可以在真空管道40的连接处增设密封件，如密封圈。
需要说明的是，第一真空轴41的外壁与升降组件11连接，如此使得真空管道40与第一连接件112同步升降运动；第一真空轴41与第二连接件122为间隙配合连接，使得第一真空轴41仅跟随第一驱动件111作升降运动不会跟随第二驱动件121作旋转运动。此外，第一真空轴41与第二连接件122之间设置有轴承，以便于第二连接件122转动。
在本实施例中，如图1至图5所示，摆臂30的壳内设置有第三驱动件50；第三驱动件50用于驱动抓取件20相对摆臂30转动。第三驱动件50形成为同步带结构，如上所述，同步带结构包括两个齿形带轮和分别与两个齿形带轮啮合的同步带，第三驱动件50的主动带轮51与第一真空轴41连接，第一真空轴41能够驱动主动带轮51作升降运动；第三驱动件50的从动带轮52与第二真空轴42连接，第三驱动件50的传动带53(即同步带结构)能够跟随摆臂30以第二连接件122为轴心转动(主动带轮51与第一真空轴41均固定不动)，传动带53与齿形带轮的啮合作用使传动带53驱动从动带轮52转动。
需要说明的是，摆臂30的另一端优选地与抓取件20上远离抓取部21的一端连接，如此使得摆臂30与抓取件20的长度之和与抓取部21的最远运动距离相适配，从而扩大抓取部21的运动范围。
需要进一步说明的是，在本实施例中，第三驱动件50并非动力源(即第三驱动件50与第二驱动件121功能并不相同)，第三驱动件50仅为一种传动机构，当第二驱动件121不启动时，第三驱动件50是无法驱动抓取件20相对于摆臂30转动的，如此避免动力源过多导致负载过重影响摆臂30的灵活度，此外也降低了基片转移装置的制造成本和占地体积。
此外，摆臂30的长度方向与升降组件11的驱动方向呈角度设置，如此使得抓取部21能够沿特定的轨迹作往复运动；在优选的实施方式中，如图1至图5所示，摆臂30沿水平方向延伸；抓取部21形成为与摆臂30的长度方向平行设置的平面结构，如此便于调节控制抓取部21的运动轨迹且保证抓取部21运动平稳，从而提升基片转移装置的稳定性和可靠性。
为保证抓取部21的运动轨迹控制精准，在实施例中，如图1至图5所示，基片转移装置还包括与第二连接件122的侧壁连接的检测件61和设置在第二连接件122侧方的感应件62；检测件61朝向第二连接件122的侧部凸出并跟随第二连接件122转动，检测件61可以形成为条状或杆状等结构；感应件62用于检测检测件61的所在位置，通过检测第二连接件122的转动角度判断抓取部21的所在位置，从而检测抓取部21是否运动至指定位置并进行反馈；在优选的实施方式中，多个感应件62沿第二连接件122的旋转周向分布，从而实现对抓取部21的多个移动位置进行检测与反馈。在实施例中，感应件62可以采用光电开关或接近开关等元件。
为了保护驱动组件10，在实施例中，如图1至图5所示，基片转移装置还包括防护箱体70，防护箱体70形成为封闭的壳体结构，壳体结构的内部形成为驱动空间，驱动组件10设置在驱动空间内；驱动组件10安装在防护箱体70的内壁，以使防护箱体70给予驱动组件10一定支撑；第二连接件122伸出防护箱体70的外部以连接摆臂30；封闭式的防护箱体70能够防止药液进入到壳体内，对驱动组件10起到有效的保护。
此外，防护箱体70的底部开设有走线孔，以使防护箱体70内部的构件的线缆连接至外围设备。防护箱体70可以是矩形体或圆柱体等结构，只要使得防护箱体70能够将驱动组件10封闭包围即可。
为了保证驱动组件10安装稳定，在本实施例中，如图1至图6所示，基片转移装置还包括设置在驱动空间内的支撑组件80，支撑组件80分别与升降组件11和防护箱体70的内壁连接。支撑组件80可以是对称地设置升降组件11两侧的板状结构和/或设置在第一驱动件111和螺杆114之间的板状结构，只要保证驱动组件10与防护箱体70连接稳定、可靠即可。
需要说明的是，根据实际生产需求，可以设置多个基片转移装置互相配合，共同完成基片的移载工作，如此增强基片转移装置的可扩展性。
基片转移装置的运输基片的过程为：基片转移装置在竖直方向上的运动通过升降组件11控制，具体的，开启第一驱动件111使得第一连接件112沿螺杆114的长度方向往复运动，进而带动与第一连接件112连接的旋转组件12往复运动，如此调节摆臂30和抓取件20的位置高度，从而使得抓取部21能够对位于预定高度范围内的基片进行抓取或将基片放置至某一高度的位置；基片转移装置在水平方向上的运动通过旋转组件12控制，具体的，开启第二驱动件121使得第二连接件122转动，第二连接件122与摆臂30的壳体部连接从而带动摆臂30跟随第二连接件122一同转动，摆臂30的壳体内设置有同步带结构的第三驱动件50，主动带轮51与第一真空轴41连接且仅随第一连接件112作升降运动而不会跟随第二连接件122转动，由于第三驱动件50设置在摆臂30的壳体内，在转动的摆臂30的作用下，传动带53会围绕主动带轮51转动，因同步带结构的传动带53与从动带轮52形成为齿状的啮合连接，传动带53转动时便会带动从动带轮52转动，进而带动与从动带轮52连接的抓取件20转动，如此形成旋转组件12驱动摆臂30相对于防护箱体70产生转动角度，传动带53驱动抓取件20相对于摆臂30产生转动角度；即通过旋转组件12和升降组件11的配合运动(即控制驱动组件10)实现基片转移装置在预定范围的空间内的运动，从而使得抓取部21运动至抓取或放置基片所需的指定位置。
基片转移装置的抓取或放置基片的过程为：开启真空设备，使真空管道40形成真空环境，如此使得抓取部21能够以吸附的方式抓取基片并输送，当抓取部21运动至指定位置时，关闭真空设备便可使得抓取部21与基片之间的吸附力消失，从而实现放置基片。
根据本发明的基片转移装置的运动简单、占地空间小、操作方便、制备成本低，具有一定的可靠性和稳定性，能够沿特定的运动轨迹将基片转移至指定位置且保证基片洁净度，满足基片传送于各个工位之间的运输要求。此外，还能够减轻操作人员劳动强度、提高生产效率。
最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本申请的具体实施方式，用以说明本申请的技术方案，而非对其限制，本申请的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基片转移装置，其特征在于，所述基片转移装置包括：
抓取件，形成有用于抓取基片的抓取部；
驱动组件，包括升降组件和与所述升降组件连接的旋转组件，所述升降组件用于驱动所述旋转组件作升降运动；
摆臂，所述摆臂的一端与所述旋转组件的驱动端连接；所述摆臂的另一端与所述抓取件连接；所述摆臂的长度方向与所述升降组件的驱动方向呈角度设置。
2.根据权利要求1所述的基片转移装置，其特征在于，所述升降组件包括第一驱动件和第一连接件，所述第一驱动件用于驱动所述第一连接件作升降运动；
所述旋转组件包括第二驱动件和与所述摆臂连接的第二连接件，所述第二驱动件用于驱动所述第二连接件作旋转运动。
3.根据权利要求2所述的基片转移装置，其特征在于，所述驱动组件还包括传动件和与所述第一连接件连接的螺杆，所述传动件形成为同步带结构；
所述传动件包括第一传动件和第二传动件；所述第一传动件的两个带轮分别与所述第一驱动件和所述螺杆连接，所述第二传动件的两个带轮分别与所述第二驱动件和所述第二连接件的外壁连接。
4.根据权利要求2所述的基片转移装置，其特征在于，所述摆臂形成为壳体结构，所述第二连接件与所述摆臂的外壳连接；所述摆臂的壳内设置有第三驱动件；所述第三驱动件用于驱动所述抓取件相对所述摆臂转动。
5.根据权利要求4所述的基片转移装置，其特征在于，所述基片转移装置还包括设置在所述抓取件的内部的真空管道，所述真空管道与所述抓取部连通，以使所述抓取部形成有用于抓取所述基片的吸力；
所述第二连接件形成为沿轴线贯穿的环状套筒结构，所述真空管道还包括设置在所述环状套筒内的第一真空轴和与所述抓取件连接的第二真空轴，所述第一真空轴和所述第二真空轴分别设置在所述摆臂的长度方向上的两端部；
所述第一真空轴的两端分别延伸出所述第二连接件的外部，所述第一真空轴形成在所述摆臂内的一端设置有第一真空接头，所述第一真空轴的另一端与真空设备连通，所述第一真空轴的外壁与所述升降组件连接；
所述第二真空轴的一端与所述抓取件连接，所述第二真空轴的另一端设置有第二真空接头，所述第一真空接头与所述第二真空接头连通。
6.根据权利要求5所述的基片转移装置，其特征在于，所述第三驱动件形成为同步带结构，所述第三驱动件的主动带轮与所述第一真空轴连接，所述第一真空轴能够驱动所述主动带轮作升降运动；所述第三驱动件的从动带轮与所述第二真空轴连接，所述第三驱动件的传动带能够跟随所述摆臂以所述第二连接件为轴心转动，以使所述传动带驱动所述从动带轮转动。
7.根据权利要求2所述的基片转移装置，其特征在于，所述基片转移装置还包括与所述第二连接件侧壁连接的检测件和设置在所述第二连接件侧方的感应件；所述检测件朝向所述第二连接件的侧部凸出，并跟随所述第二连接件转动；
所述感应件用于检测所述检测件的位置；多个所述感应件沿所述第二连接件的旋转周向分布。
8.根据权利要求1所述的基片转移装置，其特征在于，所述基片转移装置还包括防护箱体，所述防护箱体形成为封闭的壳体结构，所述壳体结构的内部形成为驱动空间，所述驱动组件设置在所述驱动空间内；
所述旋转组件的驱动端伸出所述防护箱体的外部以连接所述摆臂。
9.根据权利要求5所述的基片转移装置，其特征在于，所述抓取部形成有朝向所述基片延伸的凸起结构，以使所述基片与所述真空管道的端口分隔开。
10.根据权利要求3所述的基片转移装置，其特征在于，所述驱动组件还包括用于调节所述传动件张紧力的张紧件，所述张紧件设置在所述传动件的两个带轮之间。
CN202210447818.2A 2022-04-26 2022-04-26 基片转移装置 Active CN114620447B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210447818.2A CN114620447B (zh) 2022-04-26 2022-04-26 基片转移装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210447818.2A CN114620447B (zh) 2022-04-26 2022-04-26 基片转移装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114620447A true CN114620447A (zh) 2022-06-14
CN114620447B CN114620447B (zh) 2024-01-26

Family

ID=81906368

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210447818.2A Active CN114620447B (zh) 2022-04-26 2022-04-26 基片转移装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114620447B (zh)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4728252A (en) * 1986-08-22 1988-03-01 Lam Research Corporation Wafer transport mechanism
JP2002283271A (ja) * 2001-03-23 2002-10-03 Daihen Corp ワーク搬送用ロボット
CN101262986A (zh) * 2005-07-11 2008-09-10 布鲁克斯自动化公司 不等连杆scara臂
CN103811385A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种用于运送晶圆的机械手机构
CN204322070U (zh) * 2014-11-13 2015-05-13 深圳大宇精雕科技有限公司 平行关节机器人
CN104723332A (zh) * 2015-03-19 2015-06-24 北京工业大学 一种直驱式可翻转晶圆传输机器人
CN106409740A (zh) * 2016-10-21 2017-02-15 山东大学 一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法
CN113601234A (zh) * 2021-08-12 2021-11-05 安妥驰(张家港)汽车零部件再制造有限公司 用于先进汽车发动机端盖生产的自动化铣床上料装置
CN113602803A (zh) * 2021-09-09 2021-11-05 优爱宝智能机器人技术(浙江)有限公司 一种基于多关节的快速理料机器人

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4728252A (en) * 1986-08-22 1988-03-01 Lam Research Corporation Wafer transport mechanism
JP2002283271A (ja) * 2001-03-23 2002-10-03 Daihen Corp ワーク搬送用ロボット
CN101262986A (zh) * 2005-07-11 2008-09-10 布鲁克斯自动化公司 不等连杆scara臂
CN103811385A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种用于运送晶圆的机械手机构
CN204322070U (zh) * 2014-11-13 2015-05-13 深圳大宇精雕科技有限公司 平行关节机器人
CN104723332A (zh) * 2015-03-19 2015-06-24 北京工业大学 一种直驱式可翻转晶圆传输机器人
CN106409740A (zh) * 2016-10-21 2017-02-15 山东大学 一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法
CN113601234A (zh) * 2021-08-12 2021-11-05 安妥驰(张家港)汽车零部件再制造有限公司 用于先进汽车发动机端盖生产的自动化铣床上料装置
CN113602803A (zh) * 2021-09-09 2021-11-05 优爱宝智能机器人技术(浙江)有限公司 一种基于多关节的快速理料机器人

Also Published As

Publication number Publication date
CN114620447B (zh) 2024-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10903104B2 (en) Dual scara arm
JP4950745B2 (ja) 搬送装置
US6494666B2 (en) Simplified and enhanced SCARA arm
US7578649B2 (en) Dual arm substrate transport apparatus
KR101443457B1 (ko) 반송 로봇
JP3722598B2 (ja) ２アーム方式の搬送用ロボット装置
CN109414821A (zh) 包括间隔上臂与交错腕部的双机器人以及包括该双机器人的系统和方法
KR20130116371A (ko) 불균등 링크 스카라 아암
JP2009028847A (ja) 搬送装置
JP2005212943A (ja) ガラス基板の搬送システム
TW201145430A (en) Conveyance arm and conveyance robot with same
JPH07142552A (ja) 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置
CN114620447A (zh) 基片转移装置
KR101544252B1 (ko) 로봇, 로봇의 설치 방법 및 제조 장치
KR100288085B1 (ko) 기판 반송용 스칼라형 로보트
JP2006245079A (ja) アライナー装置
JP6630162B2 (ja) 産業用ロボット
JP3488393B2 (ja) 多関節ロボット装置
JPH1187456A (ja) 基板処理装置
TW201328838A (zh) 機器人及機器人安裝方法
KR102509722B1 (ko) 산업용 로봇의 핸드, 산업용 로봇
CN101465308B (zh) 旋转式晶圆自动传输装置
JP5474328B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP5309324B2 (ja) 基板搬送システム
KR20220044653A (ko) 산업용 로봇의 핸드, 산업용 로봇

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant