CN114563089A - 基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光辐射测量领域,公开了一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,本发明将黑体辐射源的辐射光谱作为红外光源来替代传统的激光光源,并结合红外精密光学光路设计,发明了一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器光谱响应率定标系统,能够实现0.7μm‑22μm红外波段不确定度优于3%的高精度定标。
Description
技术领域
本发明涉及光辐射测量领域,具体涉及一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统。
背景技术
光辐射定标技术是客观评价光辐射测量仪器及有关器件的重要途径,是光学信息定量化的关键技术之一。在计量学领域中,依据经典模型的溯源于辐射源方法建立的光辐射标准和标准传递方法,所确定下来的测量精度已经不能满足实际工作的需求。其主要原因是:由于作为辐射传递标准源的黑体等效辐射温度测量等因素的不确定度较高,限制了次级工作标准和标准传递的精度。随着超导、低温和真空技术在光电探测器研制领域的广泛运用,绝对低温辐射计对光辐射功率测量不确定度达到了0.005%的水平,得到了国际公认的最高精度。为此,溯源于绝对低温辐射计标准已逐步替代传统的基于辐射源标准,从而成为光辐射定标的新基准。
图3所示为在绝对低温辐射计和新型的光电探测器发展基础上建立来的新的高精度辐射标准和辐射标准传递链,包括一些国际标准化组织以这种传递链为基础进行的辐射标准传递研究过程中所实现的各级工作标准的不确定度。可以看出,这种新的辐射标准的建立和传递有效的降低了各级工作标准的不确定度。
红外探测器是光辐射测量仪器的一种,目前被广泛应用在与环境和工业监测有关的辐射测量工作中,如化学/光谱分析、医疗诊断、卫星遥感、国土安全等。光谱响应和噪声等效功率(NEP)是红外探测器的基本特性,其光谱响应率定标有助于在应用中准确选择经济有效的探测器。红外探测器的定标包括光谱功率、光谱辐照度响应度和NEP定标。现有定标方法采用制冷型InSb探测器和HgCdTe探测器作为标准传递探测器。由于InSb探测器和HgCdTe探测器为光子型探测器,其光谱响应度随波长变化很大,在传递绝对低温辐射计的热红外基准时,只能通过红外激光器传递的几个固定波长点的响应,其余光谱波长点响应则必须通过数学上的插值计算和拟合来实现,带来了一定误差。因此需一种新的定标系统,在红外波段实现图3中绝对低温辐射计向标准传递探测器的高精度标准传递。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于,包括:黑体辐射源,向光栅单色仪内发射红外光;
光栅单色仪,具有多个光栅和反射镜,使入射至光栅单色仪内的红外光形成照射到功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计的第一光路,或者形成照射到照度标准传递红外探测器和第二绝对低温辐射计的第二光路;
标准传递红外探测器,包括功率标准传递红外探测器和照度标准传递红外探测器;在1.1μm-2.6μm光谱波段,标准传递红外探测器使用InGaAs探测器;在1.9μm-5.5μm光谱波段,标准传递红外探测器使用InSb探测器;在3μm-12.5μm光谱波段,标准传递红外探测器使用HgCdTe探测器;在0.7μm-22μm光谱波段,标准传递红外探测器使用腔式热探测器;照度标准传递红外探测器使用时需要在入光口前端安装精密孔径;
第一绝对低温辐射计和第二绝对低温辐射计,对光辐射功率测量不确定度应达到0.005%的水平,并具有国际公认的最高精度;
光学斩波器,设置在黑体辐射源到光栅单色仪光路上,且用于对黑体辐射源发射的红外光进行斩波调制;
光栅单色仪内多个光栅的光谱范围至少能够覆盖0.7μm至22.6μm,使标准传递红外探测器定标系统能够实现0.7μm到22μm红外波段且不确定度优于3%的定标。
即在不同的光谱波段内,功率标准传递红外探测器和照度标准传递红外探测器使用的探测器类型相同,但标准传递红外探测器作为照度标准传递红外探测器使用时需要在入光口前端安装精密孔径。
进一步地,包括红外光学仓;所述光栅单色仪设置在红外光学仓内;所述黑体辐射源、功率标准传递红外探测器、第一绝对低温辐射计、照度标准传递红外探测器、第二绝对低温辐射计均设置在红外光学仓外。
进一步地,包括位于红外光学仓内的离轴抛物面镜、平面反射镜、设置在光栅单色仪上的单色仪入射狭缝;所述黑体辐射源发射的红外光依次经离轴抛物面镜的汇聚、平面反射镜的反射以及所述光学斩波器后,聚焦于单色仪入射狭缝上;其中,单色仪入射狭缝安装在离轴抛物面镜的焦点上。单色仪入射狭缝的狭缝宽度可手动调节,便于设定定标时的红外光功率和带宽。
进一步地,包括位于红外光学仓内的消多级光滤片组、离轴抛物面镜组、设置在光栅单色仪上的单色仪出射狭缝、设置在红外光学仓上的功率出射狭缝;第一光路中的红外光依次经单色仪出射狭缝、消多级光滤片组、离轴抛物面镜组、功率出射狭缝,聚焦至功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计的光敏面上。其中,消多级光滤片组的作用是滤除光栅单色仪内部的光栅衍射中存在的多级光,使得光谱更加纯净;离轴抛物面镜组能够将聚焦在功率出射狭缝上的红外光,汇聚于功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计的光敏面上。
进一步地,包括开设在光学仓上的进气口、出气口;为了消除定标测试环境中的水蒸气影响和温度波动,采取将光栅单色仪及其附属光学元件(离轴抛物面镜、平面反射镜、光学斩波器、消多级光滤片组、离轴抛物面镜组)封装于红外光学仓中;在该系统通电使用前,通过进气口注入干燥空气,并通过出气口将残留空气排出红外光学仓外。
进一步地,包括能够进行空间平移的三维平移台、二维平移台;所述功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计安装在三维平移台上;照度标准传递红外探测器和第二绝对低温辐射计安装在二维平移台上。对三维平移台和二维平移台可以进行移动,使功率标准传递红外探测器、第一绝对低温辐射计、照度标准传递红外探测器、第二绝对低温辐射计能够准确接收到红外光信号。
与现有技术相比,本发明的有益技术效果是:
本发明针对性地解决目前在溯源于绝对低温辐射计的标准传递红外探测器光谱响应率定标中,由于激光光源和标准传递红外探测器受限,造成定标精度不高的难题;本发明将黑体辐射源的辐射光谱作为红外光源来替代传统的激光光源,并结合红外精密光学光路设计,发明了一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器光谱响应率定标系统,能够实现0.7μm-22μm红外波段不确定度优于3%的高精度定标。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为利用本发明进行的标准传递链路示意图;
图3为现有技术中基于绝对低温辐射计的遥感器辐射定标标准传递链示意图。
图中:1、黑体辐射源;2、离轴抛物面镜;3、平面反射镜;4、光学斩波器;5、单色仪入射狭缝;6、光栅单色仪;7、消多级光滤片组;8、单色仪出射狭缝;9、离轴抛物面镜组;10、功率出射狭缝;11、功率标准传递红外探测器;12、第一绝对低温辐射计;13、三维平移台;14、进气口;15、出气口;16、工控计算机;17、照度出射狭缝;18、红外积分球;19、第二绝对低温辐射计;20、照度标准传递红外探测器;21、二维平移台;22、红外光学仓;23、控制电机。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的一种优选实施方式作详细的说明。
标准传递红外探测器光谱响应率R(λ)的定标是在同一定标系统下,标准传递红外探测器的输出电压U(λ)和绝对低温辐射计所测得的功率P(λ)的比较,即:R(λ)=U(λ)/P(λ)。其中,λ为定标波长。因此,用于定标红外探测器光谱响应率的系统需要一个高稳定的、可覆盖定标红外波长范围的光源。现有红外定标系统中的光源都是采用波长可调谐激光器或若干固定点的激光器,虽然光源单色性得到了保证,但红外波长范围受限,限制了定标精度的提高。
如图1所示,本发明提供一种标准传递红外探测器光谱响应率定标系统,其使用了辐射温度室温-1000℃、出光口径50mm、发射率98%的黑体辐射源1和光栅单色仪6作为可覆盖定标波长范围的单色光源。光栅单色仪6的光学参数为F/4,其内部使用了两组共六个衍射光栅。其中,一号光栅光谱范围为0.7μm到2.5μm,二号光栅光谱范围为2.2μm到5.1μm,三号光栅光谱范围为4.7μm到7.2μm,四号光栅光谱范围为7.8μm到11.5μm,五号光栅光谱范围为10.2μm到15.5μm,六号光栅光谱范围为15.1μm到22.6μm。因此,本发明所用单色光源的光谱范围覆盖0.7μm到22.6μm,在保证红外光谱功率和光谱照度的条件下,可对功率标准传递红外探测器11、照度标准传递红外探测器20进行0.7μm到22μm光谱范围的定标。
在该系统中,红外光线的传输流程如下:
(1)使用镀金的离轴抛物面镜2对黑体辐射源1发出的红外光进行汇聚,汇聚的红外光依次经过平面反射镜3和光学斩波器4后,聚焦于单色仪入射狭缝5上。其中,单色仪入射狭缝5安装在离轴抛物面镜2的焦点上;表面镀金的平面反射镜3的作用是折转光路,减小装置体积;光学斩波器4的作用是对入射的红外光进行一定频率的斩波调制,以消除红外背景噪声影响;单色仪入射狭缝5的狭缝宽度可手动调节,从而设定定标中的红外光功率和带宽。
(2)在功率定标模式下,由单色仪入射狭缝5进入光栅单色仪6的光通过其内部的光栅组和反射镜进行分光和汇聚后,聚焦在单色仪出射狭缝8上,而后再经过消多级光滤片组7、离轴抛物面镜组9后,聚焦于三维平移台13上的功率标准传递红外探测器11和第一绝对低温辐射计12的光敏面上。其中,消多级光滤片组7的作用是滤除光栅单色仪6内部的光栅衍射中存在的多级光,使得光谱更加纯净;离轴抛物面镜组9的作用是将聚焦在单色仪出射狭缝8上的红外光,汇聚于功率标准传递红外探测器11和第一绝对低温辐射计12的光敏面上。
(3)在照度定标模式下,由单色仪入射狭缝5进入光栅单色仪6的光通过其内部的光栅组和反射镜进行分光和汇聚后,聚焦在光栅单色仪6的照度出射狭缝17上,而后再经过红外积分球18发生漫反射,照射在二维平移台21上的照度标准传递红外探测器20和第二绝对低温辐射计19的光敏面上。
本发明中,通过在光栅单色仪6内部设置转换开关,使得黑体辐射源1的红外光不可同时从功率出射狭缝10和照度出射狭缝17中出射,即只能在功率出射狭缝10和照度出射狭缝17中二选一。
本发明中,为了消除定标测试环境中的水蒸气影响和温度波动,采取将光栅单色仪6及其附属光学元件(离轴抛物面镜2、平面反射镜3、光学斩波器4、消多级光滤片组7、离轴抛物面镜组9)封装于红外光学仓22中。在该系统通电使用前,通过进气口14注入干燥空气,并通过出气口15将潮湿空气排出红外光学仓22外。
工控计算机16的作用是对光栅单色仪6、功率标准传递红外探测器11、第一绝对低温辐射计12、照度标准传递红外探测器20、第二绝对低温辐射计19、三维平移台13、二维平移台21进行数据采集和控制。其内部安装的软件包括:光栅单色仪6控制软件、平移台控制软件、绝对低温辐射计数据采集软件、标准传递红外探测器电压信号采集软件、不确定度分析软件。
这些软件可实现以下功能:
①通过控制电机23,设定光栅单色仪6的工作波长;
②实时采集功率标准传递红外探测器11、第一绝对低温辐射计12、照度标准传递红外探测器20、第二绝对低温辐射计19的输出信号;
③对三维平移台13和二维平移台21进行运动控制,使得功率标准传递红外探测器11、第一绝对低温辐射计12、照度标准传递红外探测器20、第二绝对低温辐射计19能够准确接收到红外光信号。
本发明具备两种工作模式:光谱功率定标模式和光谱照度定标模式。
在光谱功率定标模式下,黑体辐射源1输入的光束经离轴抛物面镜2、平面反射镜3、光栅单色仪6、消多级光滤片组7等部件后,进入离轴抛物面镜组9,最后汇聚至待测探测器或红外标准传递探测器的光敏面上。离轴抛物面镜组9中的两个镜片具有不同的焦距,可减小红外光束在探测器上的图像尺寸,其产生的光束直径约为3mm,其能量轮廓接近于高斯形状,该光束直径决定了可被定标的红外探测器光敏面最小直径。
当红外光线照射在标准传递红外探测器的光敏面上时,这些探测器接收到的总功率P可表示为:
P=∫SP(S)dS=π∫RP(R)R2dR
其中P(S)是光束在标准传递红外探测器中的径向功率分布,R是探测器光敏面的半径。
由上式可见,由于红外探测器接收到的总功率与光束相对功率分布、光敏面直径有关。因此,本发明需在测量入射到探测器上的光束相对功率与探测器光敏面直径关系的情况下,决定其可被定标的红外探测器光敏面最小直径。
本发明在使用过程中,如待测探测器或红外标准传递探测器相对于入射光束没有中心对准,可能会导致信号的丢失,从而影响定标的精度。为了减少误差,每个探测器的位置通过三维平移台13进行微调,以保证光束中心点的位置落在红外探测器光敏面中心位置处。
在调整中,如果探测器Δx或Δy(水平方向轴)不超过±0.5mm,信号下降小于最大值的0.25%,探测器z轴(高度方向轴)定位对响应度测量的影响很小,在光谱功率定标模式中无需微调。所有的定位误差都包含在响应度定标不确定度评估的计算中。由于光束直径的减小可通过减小功率出射狭缝10来实现,因此在定标中需根据待测红外探测器光敏面的大小来调整功率出射狭缝10的宽度。
在光谱照度定标模式下,直接将光栅单色仪6出射的红外光束照射到直径为100mm的内表面镀金的红外积分球18,该球体随后照亮整个待测的照度标准传递红外探测器20和第二绝对低温辐射计19的光敏面。
在该发明系统使用中,标准传递红外探测器和绝对低温辐射计始终放置在三维平移台13或二维平移台21上,这些平移台可提供探测器与光束位置的精确定位,其定位精度达到几个微米。标准传递红外探测器输出电压值为光栅单色仪6输出波长的函数,并记录在工控计算机16内的数据文件中。与探测器输出电压值有关的不确定性由可光学斩波器4执行的预设单次测量值的标准偏差计算得到。在该系统中,为了保证标准传递红外探测器输出光谱响应度定标条件的一致性,可设定光学斩波器4以10.5Hz的调制频率运行。
该发明系统中光栅单色仪6的波长校准是通过氦氖激光器进行,并通过二阶多项式多点拟合方法得到光栅的波长校准曲线,即可校准波长控制电机23中解码器位置与波长设置值的一一对应关系。
利用本发明系统,可在0.7μm至22μm光谱范围内,将绝对低温辐射计的光谱功率标准传递至各个红外标准传递探测器的光谱功率标准和光谱照度标准。
如图2所示,在标准传递链路中,初始标准为绝对低温辐射计,它具有国际公认的最高精度。通过本发明,可将0.7-22μm光谱波段的绝对低温辐射计功率标准传递至两类标准传递红外探测器:光子探测器和热探测器。
光子探测器的传递链路如下:①在1.1-2.6μm光谱波段,绝对低温辐射计的光谱功率标准先传递至InGaAs探测器,而后再传递至光谱照度标准,光谱照度由带精密孔径的InGaAs探测器传递;②在1.9-5.5μm光谱波段,绝对低温辐射计的光谱功率标准先传递至InSb探测器,而后再传递至光谱照度标准,光谱照度由带精密孔径的InSb探测器传递;③在3-12.5μm光谱波段,绝对低温辐射计的光谱功率标准传递至HgCdTe探测器,而后再传递至光谱照度标准,光谱照度由带精密孔径的HgCdTe探测器传递。
在0.7-22μm光谱波段热探测器的传递链路为:绝对低温辐射计的光谱功率标准先传递至腔式热探测器,而后再传递至光谱照度标准,光谱照度由带精密孔径的腔式热探测器传递。
此外,由于随时间的推移,红外标准传递探测器会出现响应度偏移,因此,可利用各个标准传递红外探测器的重叠光谱波段进行光谱响应度的相互校准。
在本发明使用中,首先由根据选择的光谱范围,由图2确定相应的功率/照度标准传递红外探测器类型。而后,利用本发明系统进行以下操作。
(一)利用本发明对功率标准传递红外探测器11定标的操作方法:
(1)对第一绝对低温辐射计12进行通电、制冷等操作,并使之能够稳定工作24小时以上;
(2)使用干燥空气通过进气口14对红外光学仓22进行冲洗,冲洗10分钟后,关闭进气口14和出气口15;
(3)打开黑体辐射源1的电源,通过黑体辐射源1的机身按钮,设定好其辐射温度;
(4)待黑体辐射源1出光后,打开光栅单色仪6电源及工控计算机16中的单色仪控制软件。此时,光栅单色仪6开始出光;
(5)利用红外热像仪观测功率出射狭缝10,同时手动调整离轴抛物面镜2、平面反射镜3和离轴抛物面镜组9的位置,使得红外热像仪中的光斑最亮时停止调整;
(6)启动工控计算机16中的平移台控制软件,调整三维平移台13各个方向,使得从功率出射狭缝10中出射的红外光落在第一绝对低温辐射计12的光敏面上;
(7)通过单色仪控制软件设定光栅单色仪6的扫描波长范围,选定消多级光滤光片组中的滤光片,通过工控计算机16上的绝对低温辐射计数据采集软件得到绝对低温辐射计所接收到的红外光功率P(λ),其中λ为光栅单色仪6设置的红外光波长;
(8)使用工控计算机16中的平移台控制软件,调整三维平移台13各个方向,使得从功率出射狭缝10中出射的红外光落在功率标准传递红外探测器11的光敏面上,通过工控计算机16上的探测器电压信号采集软件得到功率标准传递红外探测器11的输出电压U(λ);
(9)计算出功率标准传递红外探测器11的光谱功率响应度R(λ)=U(λ)/P(λ),并利用不确定度分析软件得到其定标不确定度。
(二)利用本发明对照度标准传递红外探测器20定标的操作方法:
(1)对第二绝对低温辐射计19进行通电、制冷等操作,并加装与待定标的照度标准传递红外探测器20进光孔半径r相同的精密孔径,使之能够稳定工作24小时以上;
(2)使用干燥空气通过进气口14对红外光学仓22进行冲洗,冲洗10分钟后,关闭进气口14和出气口15;
(3)打开黑体辐射源1电源,通过黑体辐射源1机身按钮,设定好其辐射温度;
(4)待黑体辐射源1出光后,打开光栅单色仪6的电源及工控计算机16中的单色仪控制软件。此时,光栅单色仪6开始出光;
(5)利用红外热像仪观测红外积分球18的出射光,同时手动调整离轴抛物面镜2、平面反射镜3位置,使得红外热像仪上光斑图像最亮时停止调整;
(6)启动工控计算机16中的平移台控制软件,调整二维平移台21各个方向,使得第二绝对低温辐射计19前端的精密孔径中心对准红外积分球18的出射孔径中心;
(7)通过单色仪控制软件设定光栅单色仪6的扫描波长范围,通过工控计算机16上的绝对低温辐射计数据采集软件得到绝对低温辐射计所接收到的红外光功率P(λ),其中λ为光栅单色仪6设置的红外光波长;
(8)使用工控计算机16中的平移台控制软件,调整二维平移台21各个方向,使得度标准传递红外探测器前端的精密孔径中心对准红外积分球18的出射孔径中心,通过工控计算机16上的探测器电压信号采集软件得到照度标准传递红外探测器20的输出电压U(λ);
(9)首先计算第二绝对低温辐射计19的照度I(λ)=P(λ)/πr2,而后得到待定标的照度标准传递红外探测器20的光谱照度响应度RI(λ)=U(λ)/I(λ),并利用不确定度分析软件得到其定标不确定度。
(三)本发明系统定标中的不确定度评估方法
使用本发明时,功率标准传递红外探测器11、照度标准传递红外探测器20定标的合成不确定度为:
相对合成不确定度为:
其中,PL为入射红外光功率;U为空间响应均匀性因子;L为线性度;p为偏振非敏感性因子;Vo为输出电压;
在定标每个传递标准红外探测器的前后,各用绝对低温辐射计测量一次红外光功率P1和P2,传递标准红外探测器所接收的入射红外光功率为这两个功率的均值,即:
根据不确定度的传递定律:
相对不确定度为:
本发明系统中的不确定度分析软件即根据上述方法设计。
本发明不仅可提高遥感卫星在红外波段获取数据的定量化水平,而且有助于在与环境和工业监测有关的红外辐射测量工作中(如化学/光谱分析、医疗诊断、卫星遥感、国土安全等),对红外探测器进行准确经济的选择和有效的性能评估。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内,不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为了清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于,包括:黑体辐射源,向光栅单色仪内发射红外光;
光栅单色仪,具有多个光栅和反射镜,使入射至光栅单色仪内的红外光形成照射到功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计的第一光路,或者形成照射到照度标准传递红外探测器和第二绝对低温辐射计的第二光路;
标准传递红外探测器,包括功率标准传递红外探测器和照度标准传递红外探测器;在1.1μm-2.6μm光谱波段,标准传递红外探测器使用InGaAs探测器;在1.9μm-5.5μm光谱波段,标准传递红外探测器使用InSb探测器;在3μm-12.5μm光谱波段,标准传递红外探测器使用HgCdTe探测器;在0.7μm-22μm光谱波段,标准传递红外探测器使用腔式热探测器;标准传递红外探测器作为照度标准传递红外探测器使用时需要在入光口前端安装精密孔径;
第一绝对低温辐射计和第二绝对低温辐射计,对光辐射功率测量不确定度应达到0.005%的水平;
光学斩波器,设置在黑体辐射源到光栅单色仪光路上,且用于对黑体辐射源发射的红外光进行斩波调制;
光栅单色仪内多个光栅的光谱范围至少能够覆盖0.7μm至22.6μm,使标准传递红外探测器定标系统能够实现0.7μm到22μm红外波段且不确定度优于3%的定标。
2.根据权利要求1所述基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于:包括红外光学仓;所述光栅单色仪设置在红外光学仓内;所述黑体辐射源、功率标准传递红外探测器、第一绝对低温辐射计、照度标准传递红外探测器、第二绝对低温辐射计均设置在红外光学仓外。
3.根据权利要求2所述基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于:包括位于红外光学仓内的离轴抛物面镜、平面反射镜、设置在光栅单色仪上的单色仪入射狭缝;所述黑体辐射源发射的红外光依次经离轴抛物面镜的汇聚、平面反射镜的反射以及所述光学斩波器后,聚焦于单色仪入射狭缝上;其中,单色仪入射狭缝安装在离轴抛物面镜的焦点上。
4.根据权利要求2所述基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于:包括位于红外光学仓内的消多级光滤片组、离轴抛物面镜组、设置在光栅单色仪上的单色仪出射狭缝、设置在红外光学仓上的功率出射狭缝;第一光路中的红外光依次经单色仪出射狭缝、消多级光滤片组、离轴抛物面镜组、功率出射狭缝,聚焦至功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计的光敏面上。
5.根据权利要求2所述基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于:包括开设在红外光学仓上的进气口、出气口。
6.根据权利要求1所述基于黑体辐射光谱的标准传递红外探测器定标系统,其特征在于:包括能够进行空间平移的三维平移台、二维平移台;所述功率标准传递红外探测器和第一绝对低温辐射计安装在三维平移台上;照度标准传递红外探测器和第二绝对低温辐射计安装在二维平移台上。
Priority Applications (1)
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