CN114509151A - 自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器 - Google Patents
自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114509151A CN114509151A CN202210145188.3A CN202210145188A CN114509151A CN 114509151 A CN114509151 A CN 114509151A CN 202210145188 A CN202210145188 A CN 202210145188A CN 114509151 A CN114509151 A CN 114509151A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- prestress
- grating
- spring plunger
- optical fiber
- mass block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
- G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
- G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
- G01V1/18—Receiving elements, e.g. seismometer, geophone or torque detectors, for localised single point measurements
- G01V1/181—Geophones
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Geology (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geophysics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
一种自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器,传感器外壳内底部贯穿设有轨道,传感器外壳外两侧轨道上设有左预应力调节台和右预应力调节台,传感器外壳内中部轨道上通过滑块连有质量块,质量块上粘有光纤,光纤上刻写有第一光栅和第二光栅,光纤两端尾纤穿过传感器外壳分别固设在左预应力调节台和右预应力调节台上,左弹簧柱塞依次穿过左预应力调节台和传感器外壳,其端部的定位珠抵靠在质量块左侧壁上,左预应力调节台两侧左弹簧柱塞上螺纹连接有左外调节螺母和左内调节螺母,右弹簧柱塞依次穿过右预应力调节台和传感器外壳,其端部的定位珠抵靠在质量块右侧壁上,右预应力调节台两侧右弹簧柱塞上螺纹连接有右外调节螺母和右内调节螺母。
Description
技术领域
本发明属于光纤传感技术领域,具体涉及到一种自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器。
背景技术
在地震勘探过程中,通过人工方法使用震源激发出地震波,地震波经过地层岩石介质传播后,反射或透射的信号必须使用一种专门的仪器去接收,这种用于接收地震波的专用仪器就是地震检波器。随着井中地震(主要包括垂直地震剖面法和井间地震)勘探技术的迅速发展,对检波器的各项性能参数(如频率、动态范围、分辨率以及精度)要求也随之提高,目前地震勘探中普遍采用的还是传统的电磁式地震检波器。相对而言,它的级数少、检测灵敏度小、精度低、频率范围窄、易受电磁干扰、不耐高温,这些不足之处限制了井中地震勘探的发展,已不能满足高精度、高分辨率现代地震勘探的要求。因此,必须研制出高性能的地震检波器对井中地震波进行探测,以提高勘探质量。
光纤光栅传感器是利用如应力、应变、温度等外界物理量的变化引起光纤有效折射率或光栅周期等参数的变化,从而导致光栅反射中心波长的变化,通过检测光栅反射中心波长的变化来获得外界物理量的变化。与传统的电子类振动传感器相比,光纤Bragg光栅(FBG)振动传感器在工作过程中无需电源驱动,适宜在易燃易爆的场合中使用(比如油、气井),安全可靠;FBG具有良好的化学稳定性,可在各种腐蚀环境中正常工作;FBG振动传感过程中的光波频率比电磁波高很多,具有良好的抗电磁干扰特性;使用光纤传输信号,损耗小,可实现远距离控制测试;利用波分复用(DWDM)、时分复用(OTDM)等技术实现多点分布式测量。这些优势使得FBG振动传感器具有巨大的应用潜能和推广价值。
裸光纤光栅对温度和应变的响应灵敏度均很低,加之裸光纤光栅本身非常纤细,直接将其作为传感器无法满足各种测量范围不同的工程应用和粗放式的施工、安装。因此,对裸光纤光栅进行封装处理,实现对光纤光栅的保护和对温度、应变的响应增敏,满足大型工程结构的现场施工和传感器灵敏度要求。实际工程应用中,需要根据应用场合对光纤光栅进行不同封装,常用的封装方法是将光纤光栅用固化胶粘贴在弹性好的衬底材料表面或者嵌入其内部等,固化胶在固化过程中要发生收缩,若不给光纤光栅施加一定的预应力,则封装后的光纤光栅很容易出现啁啾现象,即使封装后不出现啁啾现象,也会在低温条件下,由于弹性衬底材料冷缩,带动光纤光栅轴向收缩产生啁啾现象,导致传感器的稳定性能和重复性能大大降低,也给解调带来了困难。为了避免封装后的光纤光栅出现啁啾现象,使封装后的光纤光栅保持张紧状态,需要给光纤光栅施加一定的预应力。
对于现有的光纤光栅类振动加速度传感器,如需对环境的振动信号进行长期的监测,就不能够忽略环境温度变化传感器的影响。因而在设计中,往往需要单独加入一根独立的、只对温度敏感光纤光栅来检测环境温度。
在现有的光纤光栅类振动传感器如何避免横向干扰一直是传感器应用中的主要问题。如何加强抗横向干扰是光纤光栅类传感器设计中必须要考虑的问题。
在现有的光纤光栅类振动传感器的封装过程中,均需要对光纤光栅进行施加预应力增敏封装,预应力有利于降低或避免由于聚合物的收缩凝固而引起光纤光栅的啁啾效应。以保证光纤光栅对于信号的耦合效果。但是在这类传感器的长期使用过程中,由于结构材料的腐蚀、老化、粘胶的失效等因素会导致光纤光栅的预应力降低乃至失效的现象产生,而普通的光纤光栅类振动传感器在封装施加预应力均是调节好预应力后通过粘胶一次性封装,这样无法处理后期的预应力失效问题,因而传感器使用后期对失效的预应力进行有效补偿必不可少。
在长期振动信号监测中,环境温度的变化对信号带来的影响不可忽视,传统设计中,往往需要单独加入一根独立的、只对温度敏感的光纤光栅来检测环境温度。这样无疑会增加结构的复杂性和传感器的体积。
发明内容
本发明所要解决的技术在于克服现有技术的缺点,提供一种设计合理、结构简单、灵敏度高、能有效抑制横向效应的自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器。
解决上述技术问题所采用的技术方案是:一种自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器,传感器外壳内底部贯穿设置有轨道,位于传感器外壳外两侧轨道上设置有左预应力调节台和右预应力调节台,位于传感器外壳内中部轨道上通过滑块连接有质量块,质量块上粘接有光纤,位于光纤与质量块粘接位置两侧光纤上对称刻写有相同的第一光栅和第二光栅,第一光栅和第二光栅呈悬空状态,光纤两端尾纤穿过传感器外壳分别固设在左预应力调节台和右预应力调节台上,左弹簧柱塞依次穿过左预应力调节台和传感器外壳并与传感器外壳螺纹连接,左弹簧柱塞的定位珠抵靠在质量块左侧壁上,位于左预应力调节台两侧左弹簧柱塞上螺纹连接有左外调节螺母和左内调节螺母,右弹簧柱塞依次穿过右预应力调节台和传感器外壳并与传感器外壳螺纹连接,右弹簧柱塞的定位珠抵靠在质量块右侧壁上,位于右预应力调节台两侧右弹簧柱塞上螺纹连接有右外调节螺母和右内调节螺母,左弹簧柱塞和右弹簧柱塞的结构相同。
作为一种优选的技术方案,所述质量块为安装块的中部设置有光纤支撑块,安装块与光纤支撑块连为一体。
作为一种优选的技术方案,所述左弹簧柱塞的定位珠与质量块左侧壁点接触;所述右弹簧柱塞的定位珠与质量块右侧壁点接触。
作为一种优选的技术方案,所述第一光栅的中心波长为1530~1565nm,所述第二光栅的中心波长与第一光栅的中心波长的差值为3~6nm。
作为一种优选的技术方案,所述传感器的灵敏度S为:
式中,pe为光纤的弹光系数,Ks为左弹簧柱塞的刚度,L为左预应力调节台和右预应力调节台之间光纤的有效长度,M为质量块的重量,λ1为第一光栅的中心波长。
本发明的有益效果如下:
1.本发明通过一维轨道式的结构的设计,从机械结构上屏蔽了其他方向的振动信号,滑块只能沿着轨道运动,这样限制了传感器只能感知沿着轨道8方向的振动信号,保证了传感器的方向性,大幅度增强了传感器抗横向干扰能力;
2.本发明的预应力补偿装置,解决了传感器因长期放置的预应力降低、失效的问题,保证了传感器的重复性;
3.采用一根光纤上刻写的双光栅,利用光纤光栅的轴向收缩来感知振动,这样的结构可以补偿温度的影响,使得温度不影响测量结果,使得传感器的长期测量得到保证,而且双光栅结构可以比单光栅结构的灵敏度提高了两倍;
4.本发明利用了弹簧柱塞来实现了三个功能:一是弹簧柱塞的定位珠和质量块点接触,相当于质量块两个移动方向都有弹簧的弹力来控制位置,保证振动后在弹簧柱塞的作用下能迅速回复到中央的平衡位置;二是两个弹簧柱塞可以限制质量块的运动幅度和位移,保证在振动过程中光纤不会被拉断,保证了传感器的正常工作,起到了限位保护作用;三是弹簧柱塞与调节螺母螺纹连接,使预应力调节补偿功能得以实现,通过调节同一弹簧柱塞上两个调节螺母的位置,相应的该弹簧柱塞上的预应力调节台得以微调平移,从而补偿光纤光栅的预应力。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是图1的俯视图。
图3是本发明质量块3的结构示意图。
图4是本发明左预应力调节台1的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步详细说明,但本发明不限于下述的实施方式。
在图1~4中,本实施例的自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器由左预应力调节台1、传感器外壳2、质量块3、第二光栅4、光纤5、右预应力调节台6、右弹簧柱塞7、轨道8、第一光栅9、左弹簧柱塞10、左外调节螺母11、左内调节螺母12、右内调节螺母13、右外调节螺母14连接构成。
传感器外壳2内底部贯穿安装有轨道8,轨道8与传感器外壳2通过胶固定粘接,位于传感器外壳2外两侧轨道8上套装有左预应力调节台1和右预应力调节台6,位于传感器外壳2内中部轨道8上通过滑块连接有质量块3,质量块3为安装块的中部设置有光纤支撑块,安装块与光纤支撑块连为一体,质量块3的安装块与滑块通过螺纹紧固件固定相连,质量块3的光纤支撑块上用胶粘接有光纤5,位于光纤5与质量块3粘接位置两侧光纤5上对称刻写有相同的第一光栅9和第二光栅4,第一光栅9和第二光栅4呈悬空状态,第一光栅9的中心波长为1558nm,栅区长度为5nm,第二光栅4的中心波长为1562nm,栅区长度为5nm,光纤5两端尾纤穿过传感器外壳2分别粘接在左预应力调节台1和右预应力调节台6上,左弹簧柱塞10依次穿过左预应力调节台1和传感器外壳2并与传感器外壳2螺纹连接,左弹簧柱塞10的定位珠抵靠在质量块3左侧壁上,位于左预应力调节台1两侧左弹簧柱塞10上螺纹连接有左外调节螺母11和左内调节螺母12,松开左外调节螺母11或左内调节螺母12,微平移左预应力调节台1,实现补偿光纤光栅的预应力,然后通过左外调节螺母11和左内调节螺母12固定左预应力调节台1,右弹簧柱塞7依次穿过右预应力调节台6和传感器外壳2并与传感器外壳2螺纹连接,右弹簧柱塞7的定位珠抵靠在质量块3右侧壁上,位于右预应力调节台6两侧右弹簧柱塞7上螺纹连接有右外调节螺母14和右内调节螺母13,左弹簧柱塞10和右弹簧柱塞7的结构相同均为螺纹式弹簧柱塞,左弹簧柱塞10的定位珠和右弹簧柱塞7的定位珠与质量块3点接触,相当于质量块3两个移动方向都有弹簧的弹力来控制位置,保证振动后在左弹簧柱塞10和右弹簧柱塞7的作用下能迅速回复到中央的平衡位置,左弹簧柱塞10和右弹簧柱塞7可以限制质量块3的运动幅度和位移,保证在振动过程中光纤5不会被拉断,保证了传感器的正常工作,起到了限位保护作用。
当外界有振动信号时,质量块3可沿着滑轨方向带动第一光栅9与第二光栅3左右移动。这样当一侧光栅受力拉伸时令一侧光栅受力压缩,并且拉伸或压缩所导致的光纤轴向位移变形量相同。
由力学知识,两根参数相同的弹簧柱塞可以等效为两根弹簧的并联结构,其等效刚度为2Ks,Ks是单个弹簧柱塞的刚度,本实施例自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器的固有频率为
式中,M为质量块的重量,M=9.3g,Ks=3.26N/mm;
当施加振动信号时,根据FBG传感原理,第一光栅9与第二光栅4的中心波长偏移和表示为
式中,pe为光纤5的弹光系数,αf为光纤5的热膨胀系数,ξf为光纤5的热光系数,λ1为第一光栅9的中心波长,λ2为第二光栅4的中心波长,Δλ1为第一光栅9的中心波长偏移量,Δλ2为第二光栅4的中心波长偏移量,Δε为光纤5的纵向应变;
根据(2)式可得
Δλ1-Δλ2=2Δε(1-pe)λ1 (3)
由式(3)可知,本实施例的自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器消除了温度得影响。
本实施例自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器的灵敏度S为:
式中,L为左预应力调节台1和右预应力调节台6之间光纤的有效长度,L=20mm,可得S=1733pm/G。
实施例2
在本实施例中,传感器外壳2内中部轨道8上通过滑块连接有质量块3,质量块3为安装块的中部设置有光纤支撑块,安装块与光纤支撑块连为一体,质量块3的安装块与滑块通过螺纹紧固件固定相连,质量块3的光纤支撑块上用胶粘接有光纤5,位于光纤5与质量块3粘接位置两侧光纤5上对称刻写有相同的第一光栅9和第二光栅4,第一光栅9和第二光栅4呈悬空状态,第一光栅9的中心波长为1530nm,栅区长度为5nm,第二光栅4的中心波长为1533nm,栅区长度为5nm。其他零部件及零部件的连接关系与实施例1相同。
实施例3
在本实施例中,传感器外壳2内中部轨道8上通过滑块连接有质量块3,质量块3为安装块的中部设置有光纤支撑块,安装块与光纤支撑块连为一体,质量块3的安装块与滑块通过螺纹紧固件固定相连,质量块3的光纤支撑块上用胶粘接有光纤5,位于光纤5与质量块3粘接位置两侧光纤5上对称刻写有相同的第一光栅9和第二光栅4,第一光栅9和第二光栅4呈悬空状态,第一光栅9的中心波长为1565nm,栅区长度为5nm,第二光栅4的中心波长为1571nm,栅区长度为5nm。其他零部件及零部件的连接关系与实施例1相同。
Claims (5)
1.一种自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器,其特征在于:传感器外壳(2)内底部贯穿设置有轨道(8),位于传感器外壳(2)外两侧轨道(8)上设置有左预应力调节台(1)和右预应力调节台(6),位于传感器外壳(2)内中部轨道(8)上通过滑块连接有质量块(3),质量块(3)上粘接有光纤(5),位于光纤(5)与质量块(3)粘接位置两侧光纤(5)上对称刻写有相同的第一光栅(9)和第二光栅(4),第一光栅(9)和第二光栅(4)呈悬空状态,光纤(5)两端尾纤穿过传感器外壳(2)分别固设在左预应力调节台(1)和右预应力调节台(6)上,左弹簧柱塞(10)依次穿过左预应力调节台(1)和传感器外壳(2)并与传感器外壳(2)螺纹连接,左弹簧柱塞(10)的定位珠抵靠在质量块(3)左侧壁上,位于左预应力调节台(1)两侧左弹簧柱塞(10)上螺纹连接有左外调节螺母(11)和左内调节螺母(12),右弹簧柱塞(7)依次穿过右预应力调节台(6)和传感器外壳(2)并与传感器外壳(2)螺纹连接,右弹簧柱塞(7)的定位珠抵靠在质量块(3)右侧壁上,位于右预应力调节台(6)两侧右弹簧柱塞(7)上螺纹连接有右外调节螺母(14)和右内调节螺母(13),左弹簧柱塞(10)和右弹簧柱塞(7)的结构相同。
2.根据权利要求1所述自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器,其特征在于:所述质量块(3)为安装块的中部设置有光纤支撑块,安装块与光纤支撑块连为一体。
3.根据权利要求1所述自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器,其特征在于:所述左弹簧柱塞(10)的定位珠与质量块(3)左侧壁点接触;所述右弹簧柱塞(7)的定位珠与质量块(3)右侧壁点接触。
4.根据权利要求1所述自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器,其特征在于:所述第一光栅(9)的中心波长为1530~1565nm,所述第二光栅(4)的中心波长与第一光栅(9)的中心波长的差值为3~6nm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210145188.3A CN114509151B (zh) | 2022-02-17 | 2022-02-17 | 自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210145188.3A CN114509151B (zh) | 2022-02-17 | 2022-02-17 | 自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114509151A true CN114509151A (zh) | 2022-05-17 |
CN114509151B CN114509151B (zh) | 2023-06-23 |
Family
ID=81552477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210145188.3A Active CN114509151B (zh) | 2022-02-17 | 2022-02-17 | 自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114509151B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115325954A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-11 | 重庆大学 | 一种用于高温应变测量的光纤光栅传感器 |
CN116499576A (zh) * | 2023-06-27 | 2023-07-28 | 山东省计算中心(国家超级计算济南中心) | 一种光纤光栅振动传感器及其测量方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1334920A (zh) * | 1998-12-04 | 2002-02-06 | 塞德拉公司 | 布拉格光栅压力传感器 |
CN102128952A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-07-20 | 南京航空航天大学 | 一种光纤光栅加速度传感器及其测试方法 |
WO2015127814A1 (zh) * | 2014-02-27 | 2015-09-03 | 同方威视技术股份有限公司 | 光纤光栅振动传感器 |
-
2022
- 2022-02-17 CN CN202210145188.3A patent/CN114509151B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1334920A (zh) * | 1998-12-04 | 2002-02-06 | 塞德拉公司 | 布拉格光栅压力传感器 |
CN102128952A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-07-20 | 南京航空航天大学 | 一种光纤光栅加速度传感器及其测试方法 |
WO2015127814A1 (zh) * | 2014-02-27 | 2015-09-03 | 同方威视技术股份有限公司 | 光纤光栅振动传感器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
郭永兴;张东生;李杰燕;朱方东;: "光纤光栅二维加速度传感器", 中国激光, no. 12 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115325954A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-11 | 重庆大学 | 一种用于高温应变测量的光纤光栅传感器 |
CN116499576A (zh) * | 2023-06-27 | 2023-07-28 | 山东省计算中心(国家超级计算济南中心) | 一种光纤光栅振动传感器及其测量方法 |
CN116499576B (zh) * | 2023-06-27 | 2023-09-12 | 山东省计算中心(国家超级计算济南中心) | 一种光纤光栅振动传感器及其测量方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114509151B (zh) | 2023-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN114509151B (zh) | 自带温度和预应力补偿的一维光纤光栅振动传感器 | |
AU777802B2 (en) | Highly sensitive accelerometer | |
US6891621B2 (en) | Highly sensitive cross axis accelerometer | |
CN101982740B (zh) | 双等强度悬臂梁光纤光栅振动传感器 | |
CN103471702A (zh) | 一种温度不敏感的阻尼可调谐高精度光纤光栅振动传感器 | |
AU2002229908A1 (en) | Highly sensitive cross axis accelerometer | |
CN103983806A (zh) | 一种基于柔性铰链的光纤光栅高频加速度传感器 | |
CN111879970B (zh) | 基于应变啁啾效应的温度不敏感fbg加速度传感器及方法 | |
CN1384341A (zh) | 一种压力与温度同时检测的光纤光栅传感器 | |
CN101464138B (zh) | 一种位移或加速度传感器 | |
Luo et al. | Fiber Bragg grating accelerometer based on symmetrical double flexure hinges | |
Li et al. | A diaphragm-type highly sensitive fiber Bragg grating force transducer with temperature compensation | |
Shao et al. | Medium and low frequency fiber Bragg grating acceleration sensor based on single-sided single-arc hinge | |
Pan et al. | Design and investigation of a high-sensitivity tilt sensor based on FBG | |
CN101387500B (zh) | 基于热应力机制的光纤光栅温度自补偿应变传感器 | |
Fan et al. | Low cross sensitivity and temperature compensation fiber Bragg grating accelerometer based on miniature slide rail | |
Tao et al. | A new type of fiber Bragg grating based seismic geophone | |
Li et al. | Low frequency fiber optic accelerometer based on lever amplification structure | |
Ren et al. | Development of tube-packaged FBG strain sensor and application in the vibration experiment of submarine pipeline model | |
Wang et al. | Resonant-Frequency-Adjustable Fiber Bragg Grating Accelerometer Based on Extra Transverse Force Loading | |
Guo et al. | High-Sensitivity Three-Axis FBG Accelerometer Based on Elliptical Spring | |
Levin | Durability of embedded fibre optic sensors in composites | |
CN114488278B (zh) | 一种光纤光栅地震波加速度矢量检波器 | |
Nguyen et al. | Shock accelerometer based on fiber Bragg grating sensor with a novel 3D printed structure for medium frequency measurement applications and high acceleration range | |
CN117419796A (zh) | 一种基于s型弹性体和增敏楔形梁的光纤光栅振动传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |