CN1145053C - 调整光栅对平行的方法 - Google Patents

调整光栅对平行的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1145053C
CN1145053C CNB011265566A CN01126556A CN1145053C CN 1145053 C CN1145053 C CN 1145053C CN B011265566 A CNB011265566 A CN B011265566A CN 01126556 A CN01126556 A CN 01126556A CN 1145053 C CN1145053 C CN 1145053C
Authority
CN
China
Prior art keywords
grating
gratings
parallel
laser
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB011265566A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1334473A (zh
Inventor
朱鹏飞
林尊琪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority to CNB011265566A priority Critical patent/CN1145053C/zh
Publication of CN1334473A publication Critical patent/CN1334473A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1145053C publication Critical patent/CN1145053C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

一种调整光栅对平行的方法,主要适用于调整两块光栅相互平行的位置。它是利用光栅对不同波长光束的色散特性。首先选用产生两束不同波长激光束的第一激光器和第二激光器,使两束不同波长的激光束合为一束共线光束,再变细射到第一光栅上产生两束衍射光束后射到第二光栅上再产生两束衍射光束,然后被反射镜反射回去,再次经过第二光栅和第一光栅后射到带有刻度的标尺上。观察标尺上两光点的间距在远场与近场时的变化,间距无变化则表明两光栅相互平行;间距有变化,分别调整两光栅,直到两光点之间的间距在远场与近场时无变化为止。本发明的调整方法与在先技术相比,调整步骤简化,误差小,精度高,可靠性强。

Description

调整光栅对平行的方法
技术领域:
本发明是一种关于调整光栅对平行的方法,主要适用于调整两块光栅相互平行的位置。
背景技术:
在超短(飞秒量级)超强(大于1012瓦)激光的产生过程中,需要用一对相互平行的光栅压缩激光脉冲,精确地调整光栅对的平行度对保证输出光脉冲的波形质量、提高峰值功率有着重要的意义。在先技术中,Edward Miesak和Raluca Negres在文章“Alignment Procedure for a Dual Grating Pulse Compressor”(Optic andPhotonics News,1998,vol.9,No.8,P36-37之间的增页)中提供了一种调整方法,光路布置如图1所示。调整方法与步骤是:①首先使一束激光入射到半反半透镜1上,经过反射后穿过小孔光阑2入射到第一反射镜3上,调节第一反射镜3使激光gki射到第一光栅4的中心O1上,然后调整第一光栅4使它的衍射光束落在第二光栅6的中心O2上。②将第二反射镜5放到B位置,调节它的姿态使从第一反射镜3射来的激光束沿原路返回(以是否穿过小孔光阑2作为判断的依据)。③保持第二反射镜5的姿态不变,平移到C点,第二反射镜5将光束反射回第二光栅6,调节第二光栅6,使光束沿原路返回(以是否穿过小孔光阑2作为判断的依据),这样就可判断两光栅4与6的平行了。
上述在先技术中,调整的步骤与涉及的光学元件都很多,误差必然也多,而且两光栅的平行精度很难保证。
发明内容:
本发明调整光栅对平行的方法,是利用光栅对不同波长光束的色散特性,选用两束不同波长λ1≠λ2的激光束来进行调整。其光路的布置如图2所示。具体的调整步骤是:<1>首先选用产生两束不同波长λ1≠λ2激光束的第一激光器7和第二激光器8,并使两束不同波长λ1和λ2的激光束经过一半反半透镜1后混合为一束共线光束OA;<2>将上述共线光束OA通过一小孔光阑2射到第一光栅4上,产生两束第一光栅衍射光束AD和AE,使第一光栅衍射光束AD和AE入射到第二光栅6上,该第二光栅6产生两束第二光栅衍射光束DF和EG经反射镜5反射,再次通过第二光栅6和第一光栅4后射到带有刻度的标尺9上,形成两个光点;<3>移动标尺9,观察标尺9上两光点的间距在远场与近场时的变化。两光点的间距在远场与近场时无变化则表明第一光栅4与第二光栅6相互平行;两光点的间距在远场与近场时有变化,即两者不相等,则分别调整第一光栅4与第二光栅6,直到在远场与近场时,两光点的间距无变化为止,即两光栅相互平行为止。
上述本发明调整光栅对平行的方法,其光路布置如图2所示,具体调整步骤如上所述:①首先用一半反半透镜1将第一激光器7和第二激光器8发出的两束不同波长λ1和λ21≠λ2)的激光束混和为一束共线光束OA。即第一激光器7发射波长λ1的激光束透过半反半透镜1后与第二激光器8发射波长λ2的激光束经半反半透镜1反射后两激光束合为一共线光束OA。②把小孔光阑2放入光路,使共线光束OA经过小孔光阑2后尽可能地细。③共线光束OA入射到第一光栅4上,由于不同波长λ1和λ2光的衍射角不同,共线光束OA就会产生两束分开的第一光栅衍射光束AD和AE,它们入射到第二光栅6表面上后又衍射出相应的两束第二光栅衍射光束DF和EG。反射镜5将两束第二光栅衍射光束DF和EG反射回去,再次经过第二光栅6和第一光栅4,最后衍射出两光束LN和KM,在标尺9上形成两个光点。③将带有刻度的标尺9移近或移远,比较两光点的间距在近场和远场时是否改变。如果两光点的间距随标尺9的移近或移远而改变,则说明两光束LN和KM是发散的,相互不平行,也就是表明两光栅不平行。分别调整两光栅4与6,直至两光束LN和KM相互平行为止,此时就可判断两光栅已经调整为相互平行了。
与在先技术相比,本发明具有显著的特点是:①利用光栅对于不同波长光束的色散特性来判断两光栅的相互平行。在先技术中是用一束激光来校准光栅,而本发明用两束不同波长的激光束来校准,其调整精度高,可靠性强。如图2所示的光路布置,激光束在两光栅间来回衍射四次,最后将不同波长的激光束分离开。如果两光栅不平行,相对有一个角度,就会产生角度色散。角度色散会使最初平行的两束不同波长的平行光变为不平行。②本发明中要调整的元件少,则调整的误差小。同时调整步骤易于记忆和掌握。在先技术中除了必须要调整两光栅外,需要调整的辅助元件多,步骤也多,误差大。本发明在调整过程中只需调整两光栅即可,别的辅助元件一次性放好后不需要再重新调整,这样就简化了调整步骤,减少了误差。例如对反射镜5,在先技术中首先要在B位置将它的放置角度调整到与激光束相垂直,然后保持放置角度不变平移到C位置,平移的轨迹要与激光束相垂直。而本发明对反射镜5的放置角度与位置没有什么特别的要求,随意放置,只要它能满足反射功能即可,而且在随后的调整过程中不需要再调节它。
附图说明:
图1为在先技术调整光栅对平行的方法所采用的光路布置示意图。
图2为本发明调整光栅对平行的方法所采用的光路布置示意图。
具体实施方式:
应用如图2所示的光路布置。第一激光器7用的是波长λ1=632.8nm的氦氖激光器,第二激光器8用的是波长λ2=1060nm的半导体激光器。调节小孔光阑2的口径使光束尽可能地细,这有助于提高精度。反射镜5的放置角度与位置没有什么特别的要求,可随意放置,只要起到反射作用就可以。标尺9的最小刻度要达到毫米量级。用标尺9挡住最后出射的两光束LN和KM,会在标尺9的表面上看到两个光点,其中一个光点是波长为λ1的氦氖激光,另一个光点是波长为λ2的半导体激光。将标尺9移近和移远,比较两光点的间距在近场和远场时是否改变,以此作为判断两光栅是否平行的依据。如果两光点的间距有变化,分别调整两光栅4与6,直到间距不变为止。

Claims (1)

1.一种调整光栅对平行的方法,用激光器作光源,调整第一光栅(4)和第二光栅(6)相互平行,其特征在于具体调整步骤是:
<1>首先选用产生不同波长激光束的第一激光器(7)和第二激光器(8),并使两束不同波长的激光束经过一半反半透镜(1)混合为一束共线光束;
<2>将上述共线光束通过一小孔光阑(2)射到第一光栅(4)上,产生两束第一光栅衍射光束入射到第二光栅(6)上,该第二光栅(6)产生两束第二光栅衍射光束经反射镜(5)反射,再次通过第二光栅(6)和第一光栅(4)射到带有刻度的标尺(9)上,形成两个光点;
<3>移动标尺(9),观察标尺(9)上两光点在远场与近场时的间距变化,两光点的间距无变化则表明第一光栅(4)与第二光栅(6)相互平行;两光点的间距在远场与近场有变化,则分别调整第一光栅(4)与第二光栅(6),直到在远场与近场时,两光点的间距无变化为止。
CNB011265566A 2001-08-27 2001-08-27 调整光栅对平行的方法 Expired - Fee Related CN1145053C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB011265566A CN1145053C (zh) 2001-08-27 2001-08-27 调整光栅对平行的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB011265566A CN1145053C (zh) 2001-08-27 2001-08-27 调整光栅对平行的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1334473A CN1334473A (zh) 2002-02-06
CN1145053C true CN1145053C (zh) 2004-04-07

Family

ID=4666570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB011265566A Expired - Fee Related CN1145053C (zh) 2001-08-27 2001-08-27 调整光栅对平行的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1145053C (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100401133C (zh) * 2006-09-12 2008-07-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 平行光栅对的调节方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103017659B (zh) * 2012-12-29 2015-11-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 激光合束发射光路微小位差与角差同步检测系统
CN108363217B (zh) * 2018-04-20 2020-04-24 中国科学院物理研究所 利用自动安平激光标线仪调节及监测光栅对平行的方法及应用
CN109217076B (zh) * 2018-10-31 2019-10-25 中国科学院物理研究所 激光器调节方法和相应的装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100401133C (zh) * 2006-09-12 2008-07-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 平行光栅对的调节方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1334473A (zh) 2002-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100578876C (zh) 紫外激光装置以及使用该紫外激光装置的曝光装置和曝光方法
US7535631B2 (en) Method and apparatus for spectral-beam combining of fiber-amplified laser beams using high-efficiency dielectric diffractive gratings
US7199924B1 (en) Apparatus and method for spectral-beam combining of high-power fiber lasers
US7903326B2 (en) Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system
CN104793339B (zh) 一种基于自适应精密光程调节的光纤激光相干合成系统
CN101581866B (zh) 含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置
CN112421353A (zh) 抑制增益窄化并获得超短脉冲放大输出的装置及调节方法
EP4038702A1 (en) Optically monolithic beam shaper array with compact tiles
CN109314365A (zh) 激光系统
EP4038706A1 (en) Coherently combined fiber laser amplifier system including optically monolithic phased array with compact tiles
JP2007533962A (ja) レーザー光源を備える測地線装置
CN1145053C (zh) 调整光栅对平行的方法
US20080080585A1 (en) Volume bragg lasers based on high efficiency diffractive elements in photo-thermo-refractive glass
EP4038704A1 (en) Spectrally combined fiber laser amplifier system including optically monolithic beam shaper array with compact tiles
TW200501525A (en) Tunable laser source and wavelength selecting method thereof
CN104752947A (zh) 一种基于光谱色散原理调节激光相干长度的方法和装置
US8254015B2 (en) System and method for the spatial tailoring of laser light using temporal phase modulation
KR20130098843A (ko) 볼륨 브래그 격자들을 제조하기 위한 방법 및 장치
US20050094681A1 (en) Tunable laser source
Hengesbach et al. Design of a DFB/DBR diode laser module including spectral multiplexing based on VBGs
CN209860340U (zh) 一种窄线宽准分子激光系统
CN204720772U (zh) 一种基于光谱色散原理的激光相干长度调节设备
CN117277044B (zh) 一种基于dmd的矩形超短脉冲产生系统及方法
WO2023027104A1 (ja) 波面制御装置及び補償光学装置
US6873762B1 (en) Fabrication of fiber optic grating apparatus and method

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee