CN114485463A - 一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法 - Google Patents

一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法 Download PDF

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Abstract

本发明的一个实施例公开了一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法，所述装置包括干涉仪和高真空低冷环境模拟舱，其中，所述干涉仪用于测试镀膜光学反射镜的面型并判断光学反射镜的膜层是否正常；所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。从而解决了无法在常温下测试无法验证镀膜光学反射镜在高真空低温情况下性能的问题，具有广泛的应用前景。

Description

一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法
技术领域
本发明涉及测试装置领域。更具体地，涉及一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法。
背景技术
目前，随着电子产品的飞速发展，光学镀膜镜片被大量地应用在相机、DV、扫描、投影、手机等镜头产品，在使用之前，需要对镀膜光学反射镜的光学面型性能进行测试，同时对于镀膜光学反射镜在低温环境中是否出现膜层开裂或者脱膜的现象，也要进行检查。
发明内容
有鉴于此，本发明的第一个实施例提供一种镀膜光学反射镜的测试装置，包括：
干涉仪和高真空低冷环境模拟舱，其中，
所述干涉仪用于测试镀膜光学反射镜的面型并判断光学反射镜的膜层是否正常；
所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。
在一个具体实施例中，所述装置还包括安装在高真空低冷环境模拟舱的舱壁上的光学窗口、热沉液氮制冷系统、液氮制冷管和液氮冷阱，其中，
所述光学窗口用于使干涉仪发出的光束入射到待测镀膜光学反射镜上，
所述热沉液氮制冷系统用于为高真空低冷环境模拟舱制冷，并为液氮冷阱提供液氮，
所述液氮制冷管用于为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，
所述液氮冷阱用于为所述液氮制冷管提供液氮。
在一个具体实施例中，在所述真空低冷环境模拟舱的舱壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与所述光学窗口对应设置的光学窗口挡板，以及在所述热沉液氮制冷系统的侧壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与光学窗口挡板对应设置的热沉开孔挡板，
所述光学窗口挡板用于防止光学窗口结霜结露，
所述热沉开孔挡板用于保证低温环境均匀性。
在一个具体实施例中，所述液氮制冷管盘绕在待测镀膜光学反射镜背面，且与液氮冷阱连接，
在一个具体实施例中，所述光学窗口挡板在对所述待测镀膜光学反射镜进行测试时打开。
在一个具体实施例中，所述热沉开孔挡板在对所述待测镀膜光学反射镜进行测试时打开。
本发明的第二个实施例提供一种镀膜光学反射镜的测试方法，包括：
干涉仪发出的光束入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上，
经过所述待测镀膜光学反射镜反射后，形成干涉条纹并被干涉仪接收，
通过测量所述形成的干涉条纹，得到所述待测镀膜光学反射镜的面型参数，并判断所述待测镀膜光学反射镜的反射膜层是否出现开裂或者脱模。
在一个具体实施例中，所述热沉液氮制冷系统为高真空低冷环境模拟舱制冷，
所述液氮制冷管为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，
所述液氮冷阱为所述液氮制冷管提供液氮。
在一个具体实施例中，在对所述镀膜光学反射镜进行测试时，光学窗口挡板和热沉开孔挡板打开，以使得干涉仪发出的光束通过光学窗口入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上。
本发明的有益效果如下：
本发明提供一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法，通过干涉仪发出的光束入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上，测量经过所述待测镀膜光学反射镜反射后形成的干涉条纹，从而得到所述待测镀膜光学反射镜的面型参数，并判断所述待测镀膜光学反射镜的反射膜层是否出现开裂或者脱模，从而解决了无法在常温下测试无法验证镀膜光学反射镜在高真空低温情况下性能的问题，具有广泛的应用前景。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出根据本发明一个实施例的镀膜光学反射镜的测试装置的结构示意图；
图2示出根据本发明一个实施例的镀膜光学反射镜的制冷示意图；
图3示出根据本发明一个实施例的镀膜光学反射镜的测试方法流程示意图。
具体实施方式
为使本发明的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
如图1所示，本发明的一个实施例提供一种镀膜光学反射镜的测试装置，包括：
干涉仪和高真空低冷环境模拟舱，其中，
所述干涉仪安装在高真空低冷环境模拟舱外，
所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。
其中，当模拟舱内部气体分子被抽得很稀薄，压强低于一个大气压以下时的状态叫真空。气体的稀薄的程度叫真空度，当真空度低于1.333×10-1～1.333×10-6Pa时称为高真空。
本发明涉及的低温环境是液氮制冷使得反射镜达到100K(即-173°)的工作环境，该低温环境主要用于空间光学测试与研究。
在一个具体实施例中，所述装置还包括安装在高真空低冷环境模拟舱的舱壁上的光学窗口、热沉液氮制冷系统、液氮制冷管和液氮冷阱，其中，
所述光学窗口用于使干涉仪发出的光束入射到待测镀膜光学反射镜上，同时保证舱外的光学能够透射进来。
所述热沉液氮制冷系统用于为高真空低冷环境模拟舱制冷，并为液氮冷阱提供液氮，热沉液氮制冷系统5在对应光学窗口3的位置上留有开孔，保证舱内的光学能够透射出来，舱外的光学能够透射进来。
所述液氮制冷管用于为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，如图2所示，所述液氮制冷管盘绕在待测镀膜光学反射镜背面，且与液氮冷阱连接。
所述液氮冷阱用于为所述液氮制冷管提供液氮，液氮冷阱一端与热沉液氮制冷系统联接，另一端与液氮制冷管联接，热沉液氮制冷系统中的液氮流入到液氮冷阱，再从液氮冷阱流入到液氮制冷管，为镀膜光学反射镜制冷。
在所述真空低冷环境模拟舱的舱壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与所述光学窗口对应设置的光学窗口挡板，以及在所述热沉液氮制冷系统的侧壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与光学窗口挡板对应设置的热沉开孔挡板，
所述光学窗口挡板用于防止光学窗口结霜结露，由于高真空低冷环境模拟舱2内外温差大，容易在光学窗口3出现结霜结露，因此光学窗口挡板4只在测试时打开，用于通光，平时是关闭的，保证光学窗口3附近的温度场的均匀性，避免出现光学窗口3结霜结露。
所述热沉开孔挡板用于在保证低温环境均匀性的同时，能够通光，只在测试时打开，保证舱内的光学能够透射出来，舱外的光学能够透射进来。
在本实施例中，干涉仪工作时，光学窗口挡板和热沉开孔挡板都处于打开通光状态，干涉仪发出的光束通过光学窗口入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上，再经过反射后，形成的干涉条纹并被干涉仪接收，测量条纹即可得到待测镀膜光学反射镜的面型参数，并判断待测镀膜光学反射镜的反射膜层是否出现开裂或者脱模。
与上述实施例提供的测试装置相对应，如图3所示，本发明的一个实施例还提供一种镀膜光学反射镜的测试方法，包括：
干涉仪发出的光束入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上，
经过所述待测镀膜光学反射镜反射后，形成干涉条纹并被干涉仪接收，
通过测量所述形成的干涉条纹，得到所述待测镀膜光学反射镜的面型参数，并判断所述待测镀膜光学反射镜的反射膜层是否出现开裂或者脱模。
在一个可选的实施例中，所述热沉液氮制冷系统为高真空低冷环境模拟舱制冷，
所述液氮制冷管为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，
所述液氮冷阱为所述液氮制冷管提供液氮。
在一个可选的实施例中，在对所述镀膜光学反射镜进行测试时，光学窗口挡板和热沉开孔挡板打开，以使得干涉仪发出的光束通过光学窗口入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上。
由于本申请实施例提供的镀膜光学反射镜的测试方法与上述几种实施例提供的测试装置相对应，因此在前实施方式也适用于本实施例提供的镀膜光学反射镜的测试方法，在本实施例中不再详细描述。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

Claims (9)

1.一种镀膜光学反射镜的测试装置，其特征在于，包括：
干涉仪和高真空低冷环境模拟舱，其中，
所述干涉仪用于测试镀膜光学反射镜的面型并判断光学反射镜的膜层是否正常；
所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括安装在高真空低冷环境模拟舱的舱壁上的光学窗口、热沉液氮制冷系统、液氮制冷管和液氮冷阱，其中，
所述光学窗口用于使干涉仪发出的光束入射到待测镀膜光学反射镜上，
所述热沉液氮制冷系统用于为高真空低冷环境模拟舱制冷，并为液氮冷阱提供液氮，
所述液氮制冷管用于为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，
所述液氮冷阱用于为所述液氮制冷管提供液氮。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，在所述真空低冷环境模拟舱的舱壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与所述光学窗口对应设置的光学窗口挡板，以及在所述热沉液氮制冷系统的侧壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与光学窗口挡板对应设置的热沉开孔挡板，
所述光学窗口挡板用于防止光学窗口结霜结露，
所述热沉开孔挡板用于保证低温环境均匀性。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述液氮制冷管盘绕在待测镀膜光学反射镜背面，且与液氮冷阱连接。
5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述光学窗口挡板在对所述待测镀膜光学反射镜进行测试时打开。
6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述热沉开孔挡板在对所述待测镀膜光学反射镜进行测试时打开。
7.一种镀膜光学反射镜的测试方法，其特征在于，包括：
干涉仪发出的光束入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上，
经过所述待测镀膜光学反射镜反射后，形成干涉条纹并被干涉仪接收，
通过测量所述形成的干涉条纹，得到所述待测镀膜光学反射镜的面型参数，并判断所述待测镀膜光学反射镜的反射膜层是否出现开裂或者脱模。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述热沉液氮制冷系统为高真空低冷环境模拟舱制冷，
所述液氮制冷管为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，
所述液氮冷阱为所述液氮制冷管提供液氮。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在对所述镀膜光学反射镜进行测试时，光学窗口挡板和热沉开孔挡板打开，以使得干涉仪发出的光束通过光学窗口入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上。
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