CN114442256A - 反光镜柔性调节装置 - Google Patents

Abstract

本发明的反光镜柔性调节装置，属于集成电路装备的技术领域，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心点保持相对位置不变。

Description

反光镜柔性调节装置

技术领域

本发明属于集成电路装备的技术领域，尤其涉及一种反光镜柔性调节装置。

背景技术

高精密光学镜头的加工和制造过程非常复杂，随着对光学系统成像质量要求的增高，光路和光学元件变的越来越复杂，对光学元件的定位精度的要求也越来越高，要求定位精度微米级甚至是亚微米级。在折反射型镜头中，其反光镜需要保持其中心在光轴上，且尽可能的保证光轴中心位置不变。

本发明的发明人发现现有技术的安装方式至少存在如下缺点：

1)组件轴向刚度差：该结构缺少光轴方向的刚度，反光镜的镜片中心易变动，造成光学关联像差的变化；

2)组件较多，装配难度较大：在柔性件装配过程中对装配件的精度和装配力大小要求较高，现有工艺调整难度较大，亦导致组件在装配过程中发生变形。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的目的在于提供一种反光镜柔性调节装置，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。本案的技术方案有诸多技术有益效果，见下文介绍：

提供一种反光镜柔性调节装置，高精密光学设备中反光镜角度的调节，包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：

所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心保持相对位置不变。

与现有技术相比，本发明提供的技术方案包括以下有益效果：

本案所提供的装置，通过设置柔性铰链结构将顶板和底板柔性连接，在顶板绕驱动件转动时，顶板在竖直方向的不产生位移，柔性铰链结构能够抵消驱动件产生的扭矩，致使反光镜的中心保持相对位置不变。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的示意图；

图2为本发明的侧视图；

图3为本发明的俯视图；

其中：

1、调节环；2、反光镜；3、驱动件；4、弹簧；5、柔性铰链结构；6、顶板；7底板。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本发明，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践方面。为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1所示的反光镜柔性调节装置，适用于高精密光学设备中反光镜2角度的调节，包括顶板6、底板、柔性铰链结构5和驱动件3，顶板6的顶面嵌入有反光镜2；近邻反光镜2位置处安装驱动件3，且，驱动件3一端穿过顶板6并与底板接触，另一端伸出顶板6留有伸出段，柔性铰链结构5的两端分别与顶板6和底板7连接。反光镜2优选的安装方式，通过在顶板6中央区域开孔以嵌入反光镜2，其中：

驱动件3转动时，带动顶板6绕驱动件3转动，在柔性铰链结构5的作用下，反光镜2的中心保持相对位置不变。

在顶板6绕驱动件3转动时，顶板6在竖直方向的不产生位移，柔性铰链结构5能够抵消驱动件3产生的扭矩，从而致使反光镜2的中心保持相对位置不变。

柔性铰链结构5在扭转载荷下，绕其回转中心在有限角度范围内产生回转运动，优选的为圆弧型柔性铰链或自由脑曲式柔性铰链，且以对称的方式安装在顶板6和底板7的边沿位置处，或是与顶板6和底板一体式结构设置，其中：

在驱动件3转动时，顶板6在竖直相向上不产生位移，且，在绕驱动件3转动时，两个柔性铰链结构5相对反向转动抵消扭矩，致使反光镜2的镜片中心点位置不变。

作为本案所提供的具体实施方式，顶板6和底板需要满足一定的预紧力，还包括弹簧4，弹簧4两端分别抵制在顶板6和底板之间，在顶板6和底板之间产生预紧力，如，弹簧4两端的两端在对应位置分别伸出顶板6和底板，并分别安装有调节环1，转动调节环1能够调整顶板6和底板之间预紧力的大小。

作为本案所提供的具体实施方式，驱动件3为螺栓并与顶板6螺纹连接，如，螺栓顶面设置螺纹结构，底部以半球结构设置，4个弹簧4位于反光镜2的四周且对称设置，近邻顶板6边沿位置安装驱动件3，驱动件3与近邻的弹簧4错开设置。

以上提供的多个实施可组合使用，现有镜片调整机构多由球铰、弹簧等多个元件进行连接限位，在调整过程中，需各个元件协调进行，对每个元件的精度、装配要求较多，且难度较大。优选的，柔性铰链结构以顶板和底板一体式结构设置，在保持反光镜中心点位置不变化时，可降低机构的加工精度和减少装配需求，即为，用轴向刚度较大的柔性铰链来限位并控制镜片机构的旋转，有以下优点：

1)一体式设计，装配元件少，可大大降低对加工精度的要求；

2)一体式的机构设计不需要考虑更多的装配公差，定位更精准，能保证其高分辨率的要求；

3)柔性铰链位置轴向刚度较大，可保证反光镜在调整过程中的轴向位移不变；

4)柔性铰链机构的设计不仅能提供导向旋转又能提供足够的弹力，可以提高调整镜片的效率。

以上对本发明所提供的产品进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离发明创造原理的前提下，还可以对发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入发明权利要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种反光镜柔性调节装置，适用于高精密光学设备中反光镜角度的调节，其特征在于，包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：

所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心点位置保持相对位置不变。

2.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述反光镜安装在所述顶板中央区域。

3.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述柔性铰链结构为圆弧型柔性铰链或自由挠曲式柔性铰链。

4.根据权利要求3所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述柔性铰链结构以对称的方式安装在所述顶板和底板的边沿位置处，或是一体式结构设置，其中：

在所述驱动件转动时，所述顶板在竖直相向上不产生位移，且，在绕所述驱动件转动时，反光镜的镜片中心点位置不变。

5.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，还包括弹簧，所述弹簧两端分别抵制在所述顶板和底板之间，在所述顶板和底板之间产生预紧力。

6.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述弹簧两端的两端在对应位置分别伸出所述顶板和底板，并分别安装有调节环，转动所述调节环能够调整所述顶板和底板之间预紧力的大小。

7.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述驱动件为螺栓并所述顶板螺纹连接。

Images