CN114227623A - 一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台 - Google Patents

一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台 Download PDF

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卢晓晖
宁鹏
程廷海
孙雨杉
胡胜雨
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Abstract

一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,旨在解决当前压电驱动运动不平稳、负载能力弱等技术问题。本发明由移动平台、导轨组件、导轨固定座、燕尾型定子组件、定子固定座、螺纹加载器和底座组成,其中,移动平台与导轨组件螺纹连接,导轨组件与导轨固定座螺钉连接,导轨固定座与底座滑动接触配合,燕尾型定子组件与定子固定座螺纹连接,定子固定座与底座螺纹连接,螺纹加载器胶粘在底座上。本发明提供的一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,以增大“粘”运动过程中的摩擦力为主,提高驱动器的负载能力,同时减小位移回退,从而提高整个驱动平台的输出性能;同时,本发明的仿生燕尾设计,也将为仿生思想融入到压电驱动领域提供进一步的参考,在精密仪器加工制造及微纳精密驱动领域中具有良好的应用前景。

Description

一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台
技术领域
本发明涉及一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,属于微纳精密制造与控制技术领域。
背景技术
随着现代科学技术的快速发展,超精密驱动技术在精密加工制造、材料科学、生物医学航空航天等技术领域显得愈加重要,压电驱动技术也受到越来越多领域的关注及应用。
压电粘滑驱动技术是利用压电材料的逆压电效应,将电能转化为机械能的一种驱动方式,主要是给压电元件通入一种非对称激励电信号,使定子产生快慢交替的运动变形,在“粘”和“滑”两种状态之间相互转换,从而实现连续向前的步进运动。压电驱动器在体积、响应速度、输出力及定位精度方面有着良好的综合性能,利用粘滑驱动原理制作的压电驱动器则具有结构简单、易于控制以及高分辨率等优点。然而,由于在“粘滑”阶段摩擦力的作用不同,具体表现为“粘”阶段是摩擦驱动力,“滑”阶段是摩擦阻力,这种阻力将产生一种位移回退现象,这会导致驱动过程不平稳,也会减弱驱动器的负载能力,从而降低了驱动器的整体输出性能,限制了粘滑压电驱动器的应用与发展。
鉴于上述问题,创设一种具有增压作用、大负载的压电驱动平台显得至关重要。
发明内容
为解决当前压电驱动运动不平稳、负载能力弱等技术问题,本发明公开了一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台。
本发明所采用的技术方案:
为达到上述目的,本发明提供一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,该压电定位平台由移动平台、导轨组件、导轨固定座、燕尾型定子组件、定子固定座、螺纹加载器和底座组成,其中,所述移动平台与导轨组件螺纹连接,所述导轨组件与导轨固定座通过螺钉连接,所述导轨固定座与底座滑动接触配合,所述燕尾型定子组件与定子固定座螺纹连接,所述定子固定座与底座螺纹连接,从而将定子固定座及燕尾型定子组件固定安装在底座上,所述螺纹加载器胶粘在底座上,从而连接底座与导轨组件。
所述移动平台设有移动平台面、平台侧壁、柱形沉头孔和固定螺栓,移动平台面起承载作用,平台侧壁起封装作用,柱形沉头孔经阵列及镜像设置在移动平台上,柱形沉头孔内安装固定螺栓,从而连接动导轨。
所述导轨组件包含静导轨、载台螺孔、动导轨、限位螺钉、导轨固定孔、固定螺钉和交叉滚子,其中,所述静导轨与导轨固定座螺纹连接,与交叉滚子滑动连接,所述载台螺孔阵列设置在动导轨上,所述动导轨与交叉滚子滑动连接,所述动导轨与移动平台螺纹连接,所述限位螺钉安装于静导轨和动导轨的两侧,所述导轨固定孔阵列设置在静导轨上,内部安装固定螺钉,从而将静导轨固定在导轨固定座上。
所述导轨固定座设置有静导轨上表面、导轨固定孔、静导轨侧面和导轨固定槽,所述静导轨上表面与静导轨接触,所述导轨固定孔阵列设置在导轨固定座上,所述静导轨侧面与螺纹加载器的加载面接触,所述导轨固定槽对称设置于导轨固定座两端,与底座固定滑道配合,从而将导轨固定座安装在底座上。
所述燕尾型定子组件包含燕尾型定子、安装螺钉、基米螺钉、垫片和压电堆叠,所述燕尾型定子与定子固定座由安装螺钉螺纹连接,所述基米螺钉通过螺纹连接在燕尾型定子上,从而与垫片接触,所述垫片置于压电堆叠和基米螺钉之间,起缓冲保护作用,所述压电堆叠为驱动源。
所述燕尾型定子可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料,为中心对称结构,设有直圆柔性铰链、连接梁、驱动足、横梁、竖梁、安装螺孔和定子固定平台,所述直圆柔性铰链两端分别与竖梁和连接梁刚性连接,所述驱动足两端与连接梁刚性连接,所述竖梁和定子固定平台刚性连接,所述安装螺孔通过安装螺钉将定子固定平台固定在定子固定座上。
所述定子固定座设置有定子固定面、安装螺钉、安装螺孔,所述定子固定面与定子固定平台接触,所述安装螺钉用于固定连接定子固定座和底座,所述安装螺孔三孔同轴,用于安装安装螺钉,从而使燕尾型定子、定子固定座及底座固定连接。
所述螺纹加载器设置有加载螺柱、一字加载口、固定螺母、限位面、固定面、加载面,所述加载螺柱通过旋进使加载面与静导轨侧面接触,从而控制预紧力的大小,所述一字加载口是为通过利用外部工具一字螺丝刀,方便加载螺柱旋进设置,所述固定螺母安装在加载螺柱上,用于锁定加载螺柱,所述限位面用于限制固定螺母的旋进,所述固定面通过胶粘的方式与加载孔连接。
所述底座设置有底座侧壁、加载孔、安装螺孔、底座平面、底座固定滑道,所述底座侧壁与平台侧壁相配合从而对结构外观进行封装,所述加载孔与固定面通过胶粘连接,所述安装螺孔用于安装安装螺钉和安装螺孔,从而使燕尾型定子及定子固定座与底座固定,所述底座平面与导轨固定座及定子固定座接触,所述底座固定滑道与导轨固定槽相配合,从而使导轨固定座只保持有沿滑道滑动这一个自由度。
本发明的有益效果:
本发明采用燕尾型定子,仿照燕尾所设计,其主要通过燕尾两端的两个驱动足,在压电堆叠缓慢伸长阶段驱动动子导轨前进一大步,同时增加了驱动足与动子导轨之间的静摩擦力;在堆叠快速恢复阶段,由于驱动足与动子导轨间的滑动摩擦力也快速减小,动子导轨只向后回退一小步,重复上述过程,从而实现连续步进运动。本发明提供的一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,以增大“粘”运动过程中的摩擦力为主,提高驱动器的负载能力,同时减小位移回退,从而提高整个驱动平台的输出性能;同时,本发明的仿生燕尾设计,也将为仿生思想融入到压电驱动领域提供进一步的参考,在精密仪器加工制造及微纳精密驱动领域中具有良好的应用前景。
附图说明
图1所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的整体结构示意图;
图2所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的移动平台结构示意图;
图3所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的导轨组件结构示意图;
图4所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的导轨固定座结构示意图;
图5所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的燕尾型定子组件结构示意图;
图6所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的燕尾型定子结构示意图;
图7所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的定子固定座结构示意图;
图8所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的螺纹加载器结构示意图;
图9所示为一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的底座结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一:结合图1~图9说明本实施方式,本实施方式提供了一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台的具体实施方式,其具体实施方式表述如下:
所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台由移动平台1、导轨组件2、导轨固定座3、燕尾型定子组件4、定子固定座5、螺纹加载器6和底座7组成,其中,所述移动平台1与导轨组件2螺纹连接,所述导轨组件2与导轨固定座3通过螺钉连接,所述导轨固定座3与底座7滑动接触配合,所述燕尾型定子组件4与定子固定座5螺纹连接,所述定子固定座5与底座7螺纹连接,从而将定子固定座5及燕尾型定子组件4固定安装在底座7上,所述螺纹加载器6胶粘在底座7上,从而连接底座7与导轨组件2。
所述移动平台1设有移动平台面1-1、平台侧壁1-2、柱形沉头孔1-3和固定螺栓1-4,移动平台面1-1起承载作用,平台侧壁1-2起封装作用,柱形沉头孔1-3经阵列及镜像设置在移动平台1上,柱形沉头孔1-3内安装固定螺栓1-4,从而连接动导轨2-3。
所述导轨组件2包含静导轨2-1、载台螺孔2-2、动导轨2-3、限位螺钉2-4、导轨固定孔Ⅰ2-5、固定螺钉2-6和交叉滚子2-7,其中,所述静导轨2-1与导轨固定座3螺纹连接,与交叉滚子2-7滑动连接,所述载台螺孔2-2阵列设置在动导轨2-3上,所述动导轨2-3与交叉滚子2-7滑动连接,所述动导轨2-3与移动平台1螺纹连接,所述限位螺钉2-4安装于静导轨2-1和动导轨2-3的两侧,所述导轨固定孔Ⅰ2-5阵列设置在静导轨2-1上,内部安装固定螺钉2-6,从而将静导轨2-1固定在导轨固定座3上。
所述导轨固定座3设置有静导轨上表面3-1、导轨固定孔Ⅱ3-2、静导轨侧面3-3和导轨固定槽3-4,所述静导轨上表面3-1与静导轨2-1接触,所述导轨固定孔Ⅱ3-2阵列设置在导轨固定座3上,所述静导轨侧面3-3与螺纹加载器6的加载面6-6接触,所述导轨固定槽3-4对称设置于导轨固定座3两端,与底座固定滑道7-5配合,从而将导轨固定座3安装在底座7上。
所述燕尾型定子组件4包含燕尾型定子4-1、安装螺钉Ⅰ4-2、基米螺钉4-3、垫片4-4和压电堆叠4-5,所述燕尾型定子4-1与定子固定座5由安装螺钉Ⅰ4-2螺纹连接,所述基米螺钉4-3通过螺纹连接在燕尾型定子4-1上,从而与垫片4-4接触,所述垫片4-4置于压电堆叠4-5和基米螺钉4-3之间,起缓冲保护作用,所述压电堆叠4-5为驱动源。
所述燕尾型定子4-1可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料,为中心对称结构,设有直圆柔性铰链Ⅰ4-1-1、连接梁Ⅰ4-1-2、驱动足4-1-3、连接梁Ⅱ4-1-4、直圆柔性铰链Ⅱ4-1-5、横梁4-1-6、竖梁4-1-7、安装螺孔Ⅰ4-1-8和定子固定平台4-1-9,所述直圆柔性铰链Ⅰ4-1-1两端分别与竖梁4-1-7和连接梁Ⅰ4-1-2刚性连接,所述驱动足4-1-3分别与连接梁Ⅰ4-1-2和连接梁Ⅱ4-1-4刚性连接,连接梁Ⅰ4-1-2和连接梁Ⅱ4-1-4夹角为α,α的取值范围为10°~ 45°,所述连接梁Ⅱ4-1-4通过直圆柔性铰链Ⅱ4-1-5与横梁4-1-6刚性连接,连接梁Ⅱ4-1-4和横梁4-1-6夹角为β,β的取值范围为115°~145°,所述竖梁4-1-7和定子固定平台4-1-9刚性连接,所述安装螺孔Ⅰ4-1-8通过安装螺钉Ⅰ4-2将定子固定平台4-1-9固定在定子固定座5上。
所述定子固定座5设置有定子固定面5-1、安装螺钉Ⅱ5-2、安装螺孔Ⅱ5-3,所述定子固定面5-1与定子固定平台4-1-9接触,所述安装螺钉Ⅱ5-2用于固定连接定子固定座5和底座7,所述安装螺孔Ⅱ5-3与安装螺孔Ⅰ4-2、安装螺孔Ⅲ7-3同轴,用于安装安装螺钉Ⅰ,从而使燕尾型定子4-1、定子固定座5及底座7固定连接。
所述螺纹加载器6设置有加载螺柱6-1、一字加载口6-2、固定螺母6-3、限位面6-4、固定面6-5、加载面6-6,所述加载螺柱6-1通过旋进使加载面6-6与静导轨侧面3-3接触,从而控制预紧力的大小,所述一字加载口6-2是为通过利用外部工具一字螺丝刀,方便加载螺柱6-1旋进设置,所述固定螺母6-3安装在加载螺柱6-1上,用于锁定加载螺柱6-1,所述限位面6-4用于限制固定螺母6-3的旋进,所述固定面6-5通过胶粘的方式与加载孔7-2连接。
所述底座7设置有底座侧壁7-1、加载孔7-2、安装螺孔Ⅲ7-3、底座平面7-4、底座固定滑道7-5,所述底座侧壁7-1与平台侧壁1-2相配合从而对结构外观进行封装,所述加载孔7-2与固定面6-5通过胶粘连接,所述安装螺孔Ⅲ7-3用于安装安装螺钉Ⅰ4-2和安装螺孔Ⅱ5-2,从而使燕尾型定子4-1及定子固定座5与底座7固定,所述底座平面7-4与导轨固定座3及定子固定座5接触,所述底座固定滑道7-5与导轨固定槽3-4相配合,从而使导轨固定座3只保持有沿滑道滑动这一个自由度。
工作原理:
本发明所述的一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台采用直圆柔性铰链燕尾型定子,其中,采用d33模式的压电叠堆通入高对称性的锯齿波信号,压电堆叠先缓慢伸长,后快速缩短,通过螺纹加载器6调节导轨固定座5的滑动进而调节预紧力的大小。在压电堆叠缓慢伸长阶段,燕尾型定子4-1的驱动足4-1-3与动导轨2-3之间的摩擦力逐渐增大且产生缓慢的“粘”运动,此时动导轨带动与其连接的移动平台向前移动一大步;在压电堆叠带动燕尾型定子快速恢复阶段,燕尾型定子的驱动足与动导轨间的动摩擦力变小且产生快速的“滑”运动,此时燕尾型定子恢复到原始位置状态,动导轨带动移动品台仅仅回退一小步,重复上述步骤达到燕尾型定子驱动导轨,从而带动移动平台实现连续直线步进运动。
综上所述,本发明采用燕尾型定子,仿照燕尾所设计,以增大“粘”运动过程中的摩擦力为主,提高驱动器的负载能力,在一定程度上抑制位移回退,提高驱动平台的输出性能;同时,本发明的仿生燕尾设计,也将为仿生思想融入到压电驱动领域提供进一步的参考。

Claims (9)

1.一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,该增压式压电定位平台由移动平台(1)、导轨组件(2)、导轨固定座(3)、燕尾型定子组件(4)、定子固定座(5)、螺纹加载器(6)和底座(7)组成,其中,所述移动平台(1)与导轨组件(2)螺纹连接,所述导轨组件(2)与导轨固定座(3)通过螺钉连接,所述导轨固定座(3)与底座(7)滑动接触配合,所述燕尾型定子组件(4)与定子固定座(5)螺纹连接,所述定子固定座(5)与底座(7)螺纹连接,从而将定子固定座(5)及燕尾型定子组件(4)固定安装在底座(7)上,所述螺纹加载器(6)胶粘在底座(7)上,从而连接底座(7)与导轨组件(2)。
2.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述移动平台(1)设有移动平台面(1-1)、平台侧壁(1-2)、柱形沉头孔(1-3)和固定螺栓(1-4),移动平台面1-1起承载作用,平台侧壁1-2起封装作用,柱形沉头孔(1-3)经阵列及镜像设置在移动平台(1)上,柱形沉头孔(1-3)内安装固定螺栓(1-4)。
3.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述导轨组件(2)包含静导轨(2-1)、载台螺孔(2-2)、动导轨(2-3)、限位螺钉(2-4)、导轨固定孔Ⅰ(2-5)、固定螺钉(2-6)和交叉滚子(2-7),其中,所述静导轨(2-1)与导轨固定座(3)螺纹连接,与交叉滚子(2-7)滑动连接,所述载台螺孔(2-2)阵列设置在动导轨(2-3)上,所述动导轨(2-3)与交叉滚子(2-7)滑动连接,所述动导轨(2-3)与移动平台(1)螺纹连接,所述限位螺钉(2-4)安装于静导轨(2-1)和动导轨(2-3)的两侧,所述导轨固定孔Ⅰ(2-5)阵列设置在静导轨(2-1)上,内部安装固定螺钉(2-6),从而将静导轨(2-1)固定在导轨固定座(3)上。
4.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述导轨固定座(3)设置有静导轨上表面(3-1)、导轨固定孔Ⅱ(3-2)、静导轨侧面(3-3)和导轨固定槽(3-4),所述静导轨上表面(3-1)与静导轨(2-1)接触,所述导轨固定孔Ⅱ(3-2)阵列设置在导轨固定座(3)上,所述静导轨侧面(3-3)与螺纹加载器(6)的加载面(6-6)接触,所述导轨固定槽(3-4)对称设置于导轨固定座(3)两端,与底座固定滑道(7-5)配合,从而将导轨固定座(3)安装在底座(7)上。
5.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述燕尾型定子组件(4)包含燕尾型定子(4-1)、安装螺钉Ⅰ(4-2)、基米螺钉(4-3)、垫片(4-4)和压电堆叠(4-5),所述燕尾型定子(4-1)与定子固定座(5)由安装螺钉Ⅰ(4-2)螺纹连接,所述基米螺钉(4-3)通过螺纹连接在燕尾型定子(4-1)上,用于锁紧垫片(4-4),从而保护压电堆叠(4-5)。
6.根据权利要求5所述燕尾型定子组件,其特征在于,所述燕尾型定子(4-1)可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料,为中心对称结构,设有直圆柔性铰链Ⅰ(4-1-1)、连接梁Ⅰ(4-1-2)、驱动足(4-1-3)、连接梁Ⅱ(4-1-4)、直圆柔性铰链Ⅱ(4-1-5)、横梁(4-1-6)、竖梁(4-1-7)、安装螺孔Ⅰ(4-1-8)和定子固定平台(4-1-9),所述直圆柔性铰链Ⅰ(4-1-1)两端分别与竖梁(4-1-7)和连接梁Ⅰ(4-1-2)刚性连接,所述驱动足(4-1-3)分别与连接梁Ⅰ(4-1-2)和连接梁Ⅱ(4-1-4)刚性连接,连接梁Ⅰ(4-1-2)和连接梁Ⅱ(4-1-4)夹角为α,α的取值范围为10°~ 45°,所述连接梁Ⅱ(4-1-4)通过直圆柔性铰链Ⅱ(4-1-5)与横梁(4-1-6)刚性连接,连接梁Ⅱ(4-1-4)和横梁(4-1-6)夹角为β,β的取值范围为115°~145°,所述竖梁(4-1-7)和定子固定平台(4-1-9)刚性连接,所述安装螺孔Ⅰ(4-1-8)通过安装螺钉Ⅰ(4-2)将定子固定平台(4-1-9)固定在定子固定座(5)上。
7.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述定子固定座(5)设置有定子固定面(5-1)、安装螺钉Ⅱ(5-2)、安装螺孔Ⅱ(5-3),所述定子固定面(5-1)与定子固定平台(4-1-9)接触,所述安装螺钉Ⅱ(5-2)用于固定连接定子固定座(5)和底座(7),所述安装螺孔Ⅱ(5-3)与安装螺孔Ⅰ(4-2)、安装螺孔Ⅲ(7-3)同轴,用于安装安装螺钉Ⅰ,从而使燕尾型定子(4-1)、定子固定座(5)及底座(7)固定连接。
8.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述螺纹加载器(6)设置有加载螺柱(6-1)、一字加载口(6-2)、固定螺母(6-3)、限位面(6-4)、固定面(6-5)、加载面(6-6),所述加载螺柱(6-1)通过旋进使加载面(6-6)与静导轨侧面(3-3)接触,从而控制预紧力的大小,所述一字加载口(6-2)用于方便加载螺柱(6-1)旋进设置,所述固定螺母(6-3)安装在加载螺柱(6-1)上,用于锁定加载螺柱(6-1),所述限位面(6-4)用于限制固定螺母(6-3)的旋进,所述固定面(6-5)通过胶粘的方式与加载孔(7-2)连接。
9.根据权利要求1所述一种仿生燕尾设计的增压式压电定位平台,其特征在于,所述底座(7)设置有底座侧壁(7-1)、加载孔(7-2)、安装螺孔Ⅲ(7-3)、底座平面(7-4)、底座固定滑道(7-5),所述底座侧壁(7-1)与平台侧壁(1-2)相配合从而对结构外观进行封装,所述加载孔(7-2)与固定面(6-5)通过胶粘连接,所述安装螺孔Ⅲ(7-3)用于安装安装螺钉Ⅰ(4-2)和安装螺孔Ⅱ(5-2),从而使燕尾型定子(4-1)及定子固定座(5)与底座(7)固定,所述底座平面(7-4)与导轨固定座(3)及定子固定座(5)接触,所述底座固定滑道(7-5)与导轨固定槽(3-4)相配合,从而使导轨固定座(3)只保持有沿滑道滑动这一个自由度。
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103295651A (zh) * 2013-05-10 2013-09-11 上海大学 基于柔性放大原理的压电驱动尺蠖式定位工作台
CN205754055U (zh) * 2016-06-14 2016-11-30 长春工业大学 具有菱形铰链拨片式运动转换器的压电粘滑直线驱动装置
CN205883083U (zh) * 2016-06-14 2017-01-11 长春工业大学 一种采用斜梯形运动转换的精密压电粘滑直线式驱动装置
CN108062968A (zh) * 2018-01-12 2018-05-22 长春工业大学 长行程高精度压电位移台及其驱动方法
CN108092549A (zh) * 2018-01-12 2018-05-29 长春工业大学 紧凑型精密压电粘滑升降平台及其驱动方法
CN108173453A (zh) * 2018-01-29 2018-06-15 长春工业大学 并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法
CN108199615A (zh) * 2018-01-29 2018-06-22 长春工业大学 正交双驱动式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法
CN109545274A (zh) * 2018-12-26 2019-03-29 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 超高真空用大行程精密压电位移台及其安装方法
CN110474563A (zh) * 2019-09-27 2019-11-19 长春工业大学 一种双向互锁式压电粘滑驱动装置及其激励方法
CN111408749A (zh) * 2020-05-14 2020-07-14 吉林大学 一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103295651A (zh) * 2013-05-10 2013-09-11 上海大学 基于柔性放大原理的压电驱动尺蠖式定位工作台
CN205754055U (zh) * 2016-06-14 2016-11-30 长春工业大学 具有菱形铰链拨片式运动转换器的压电粘滑直线驱动装置
CN205883083U (zh) * 2016-06-14 2017-01-11 长春工业大学 一种采用斜梯形运动转换的精密压电粘滑直线式驱动装置
CN108062968A (zh) * 2018-01-12 2018-05-22 长春工业大学 长行程高精度压电位移台及其驱动方法
CN108092549A (zh) * 2018-01-12 2018-05-29 长春工业大学 紧凑型精密压电粘滑升降平台及其驱动方法
CN108173453A (zh) * 2018-01-29 2018-06-15 长春工业大学 并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法
CN108199615A (zh) * 2018-01-29 2018-06-22 长春工业大学 正交双驱动式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法
CN109545274A (zh) * 2018-12-26 2019-03-29 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 超高真空用大行程精密压电位移台及其安装方法
CN110474563A (zh) * 2019-09-27 2019-11-19 长春工业大学 一种双向互锁式压电粘滑驱动装置及其激励方法
CN111408749A (zh) * 2020-05-14 2020-07-14 吉林大学 一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置

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