CN114070125A - 一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法，属于精密加工技术领域。包括底座、棱条、外磁轭、弧形永磁体、宏动线圈、宏动线圈架、内磁轭、导磁环、宏微结合架、后直线轴承、输出杆、输出轴套、外支架、前直线轴承、隔磁筒、碟簧、导磁块、GMM棒、微动线圈架、微动磁轭套筒、微动线圈、后顶杆、后端盖、底盘卡座、运动平台连接器、运动平台、导轨、光栅位移传感器。通过调节宏动线圈的电流大小，改变其所受的安培力，实现工作台在轴向上的高速运动。通过调节微动线圈的电流大小，改变作用于GMM棒的激励磁场大小，控制GMM棒的形变，补偿运动误差，实现高速精密定位。
Description
技术领域
本发明属于精密加工技术领域，具体涉及一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法。
背景技术
随着现代工业技术的高速发展，先进的制造技术成为了一个国家工业的支撑力量，在精密加工领域如微机械、国防装备、医疗生物技术、激光技术、IC制造等方面发挥着重要的作用。现如今传统的加工技术已无法满足微米级乃至纳米级定位精度的要求，所以高精度的定位驱动装置和控制方法成为现代制造技术研发的重心，而具备大行程、高精度和高速运动的驱动器及其控制技术成为更加关键的研究技术之一。
综上，发明一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台对我国在先进制造技术领域有着重大的现实意义。
发明内容
本发明的目的在于提供一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台，以用于在精密制造中解决定位问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台，包括底座、棱条、外磁轭、弧形永磁体、宏动线圈、宏动线圈架、内磁轭、导磁环、宏微结合架、后直线轴承、输出杆、输出轴套、外支架、前直线轴承、隔磁筒、碟簧、导磁块、GMM棒、微动线圈架、微动磁轭套筒、微动线圈、后顶杆、后端盖、底盘卡座、上底盘卡座、运动平台连接器、运动平台、导轨、光栅位移传感器，其特征在于底座前端面6个环形通孔与内磁轭上6个螺纹孔通过螺钉联接固定并保证同轴度，形状为工字形的宏动线圈架套置在内磁轭上，宏动线圈绕制在宏动线圈架上，宏动线圈架端面上的6个螺纹孔与宏微结合架上6个螺纹孔固定，输出轴套上螺纹孔与形状为阶梯圆柱状的宏微结合架固定，宏微结合架底部制作有环形凹槽，用作与隔磁筒的端口相嵌，外支架的小端端口的螺纹孔与前直线轴承的螺纹孔固定联接，输出杆由前直线轴承引出再与运动平台连接器通过运动平台连接器上2个侧方通孔用螺钉固定，外支架的大端端口上的通孔与外磁轭上的螺纹孔固定，底盘卡座通过其上6个螺纹孔与底座上6个螺纹孔固定，底盘卡座上方4个螺纹孔与上底盘卡座的4个沉头孔固定，外支架的小端端口被固定在上底盘卡座和底盘卡座之间，运动平台连接器的4个螺纹孔与运动平台上4个沉头孔固定，运动平台与底盘卡座间联接了一对导轨来减小运动平台运动时产生的摩擦力，导轨通过一列通孔和一列沉头孔分别与运动平台上3个螺纹孔和底盘卡座上3个螺纹孔固定，底盘卡座上安装了光栅位移传感器。
所述一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台的宏动部分包括棱条、外磁轭、弧形永磁体、宏动线圈、宏动线圈架、内磁轭、导磁环、宏微结合架，外磁轭上环状对称分布了6列通孔用来与6个尼龙材质的棱条上的通孔用销固定，6个棱条之间固定了6个弧形永磁体来提供恒定的径向磁场，外磁轭与内磁轭焊接为一体保证了同轴度，宏动线圈架安装在内磁轭与外磁轭之间，保证其轴向运动时宏动部分可以带动微动部分一起运动，内磁轭底端端口与后端盖的底部嵌套，后端盖的头部穿过底座上的通孔，底座上环状分布的6个螺纹孔与后端盖上对应的6个螺纹孔和内磁轭上6个螺纹孔固定，后端盖的头部上的螺纹孔与后直线轴承上的螺纹孔固定，所述微动结构安装在内磁轭内，包括导磁环、输出杆、输出轴套、隔磁筒、碟簧、导磁块、GMM棒、微动线圈架、微动磁轭套筒、微动线圈、后顶杆，内磁轭内安装着隔磁筒来减小宏微磁路相互造成的干扰，隔磁筒内嵌套着微动磁轭套筒，微动磁轭套筒内嵌套着形状为工字形的微动线圈架，上面绕制着微动线圈，GMM棒两端分别联接了一个导磁块，导磁块呈有圆弧缺口的圆柱状，GMM棒两端通过导磁块和后顶杆、输出杆保持同轴联接，其中输出杆的键轴嵌入导磁环的阶梯孔中，碟簧安装在输出杆的键轴和导磁环之间用来吸收载荷，使运动更加平稳，后顶杆通过后直线轴承被引出，宏动线圈架上的弧形缺口、导磁环上的通孔、后端盖上的弧形缺口、微动线圈架上的弧形缺口和微动磁轭套筒上的通孔都是为了引出内部的控制线路。
一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台的控制方法，其特征包括以下步骤：
S1：针对宏动的大行程驱动，基于宏动部分的动态特性，设计最佳运动参数；
S2：得出理想的宏动线圈电流(Imacro)、速度(Vmacro)和位置(Xmacro)随时间的变化曲线Ima(t)、Vma(t)、和Xma(t)；
S3：针对微动的高精度补偿，比较现代常用的非线性逆模型的建模算法，建立宏微复合驱动工作台的非线性逆模型；
S4：结合现代控制理论和反馈控制策略，制定前馈-反馈控制系统框图，形成宏动和微动输出位移的驱动控制策略；
S5：根据驱动控制要求，采用基于现场可编程门阵列(FPGA)开发的高效精密驱动电源(简称为基于FPGA驱动电源)为宏微复合驱动工作台提供电流源，采用高速数字信号处理器TMS320F28335芯片为程序运行载体，编写并调试驱动控制策略的运行代码；
S6：用上位机的Labview程序和TMS320F28335芯片的串行通信接口(SCIA)通过RS232串口线建立通信，TMS320F28335芯片上的串行通信接口(SCIB)通过RS232串口线给基于FPGA驱动电源发送指令控制基于FPGA驱动电源输出到宏微复合驱动工作台中的电流；
S7：通过光栅传感器实时监控宏微复合驱动工作台的实际位移X，将实际位移与理想位移进行比较，并将位移反馈信号通过信号转换电路输出到TMS320F28335芯片的AD采样模块，再对输入到宏微复合驱动工作台的电流进行反馈调控，完成宏微复合定位。
本发明一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法具有的优点有：提出了一种将宏微复合驱动工作台的宏动及微动部分同轴集成的方法，其结构简单，可同时满足高精度和大行程的定位要求，并且响应迅速。
附图说明：
图1为本发明同轴集成式宏微复合驱动工作台的剖视图；
图2为底座的结构示意图；
图3为内磁轭结构示意图；
图4为内外磁轭的装配示意图；
图5为宏动线圈架及线圈的装配示意图；
图6为永磁体与棱条的装配示意图；
图7为导磁环的结构示意图；
图8为宏微结合架的结构示意图；
图9为前(后)直线轴承的结构示意图；
图10为输出杆的结构示意图；
图11为输出轴套的结构示意图；
图12为外支架的结构示意图；
图13为隔磁筒的结构示意图；
图14为微动线圈架及微动线圈的装配示意图；
图15后端盖的结构示意图；
图16为底盘卡座及光栅位移传感器的结构示意图；
图17为上底盘卡座的结构示意图；
图18为运动平台连接器的结构示意图；
图19为运动平台的结构示意图；
图20为导轨的结构示意图；
图21为导磁块的结构示意图；
图22为GMM棒的结构示意图；
图23为微动磁轭套筒的结构示意图；
图24为宏微复合驱动工作台的前馈-反馈控制系统框图；
图25为宏微复合驱动工作台的通信框图。
图中：1-底座；2-棱条；3-外磁轭；4-弧形永磁体；5-宏动线圈；6-宏动线圈架；7-内磁轭；8-导磁环；9-宏微结合架；10-后直线轴承；11-输出杆；12-输出轴套；13-外支架；14-前直线轴承；15-隔磁筒；16-碟簧；17-导磁块；18-GMM棒；19-微动线圈架；20-微动磁轭套筒；21-微动线圈；22-后顶杆；23-后端盖；24-底盘卡座；25-上底盘卡座；26-运动平台连接器；27-运动平台；28-导轨；29-光栅位移传感器；101-通孔A；102-螺纹孔A；103-螺纹孔B；104-通孔B；201-通孔C；301-螺纹孔C；302-通孔D；601-螺纹孔D；602-弧形缺口A；701-螺纹孔E；702-端口A；703-螺纹孔F；801-阶梯孔；802-通孔E；901-螺纹孔G；902-环形凹槽；903-弧形缺口B；1001(1401)-螺纹孔H；1101-键轴；1201-螺纹孔I；1301-端口B；1302-螺纹孔J；1303-端口C；1304-螺纹孔K；1501-端口D；1901-弧形缺口C；2001-通孔F；2301-端口E；2302-端口F；2303-螺纹孔L；2401-螺纹孔M；2402-螺纹孔N；2403-螺纹孔O；2501-沉头孔A；2601-通孔G；2602-螺纹孔P；2701-沉头孔B；2702-螺纹孔Q；2801-通孔H；2802-螺纹孔R；
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性脑力劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-23，本发明提供一种技术方案：一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台，包括底座1、棱条2、外磁轭3、弧形永磁体4、宏动线圈5、宏动线圈架6、内磁轭7、导磁环8、宏微结合架9、后直线轴承10、输出杆11、输出轴套12、外支架13、前直线轴承14、隔磁筒15、碟簧16、导磁块17、GMM棒18、微动线圈架19、微动磁轭套筒20、微动线圈21、后顶杆22、后端盖23、底盘卡座24、上底盘卡座25、运动平台连接器26、运动平台27、导轨28、光栅位移传感器29，其特征在于底座前端面6个环形通孔101与内磁轭7上6个螺纹孔701通过螺钉联接固定并保证同轴度，形状为工字形的宏动线圈架6套置在内磁轭7上，宏动线圈5绕制在宏动线圈架6上，宏动线圈架6端面上的6个螺纹孔601与宏微结合架9上6个螺纹孔901固定，输出轴套12上螺纹孔1201与形状为阶梯圆柱状的宏微结合架9固定，宏微结合架9底部制作有环形凹槽902，用做与隔磁筒15的端口1501相嵌，外支架13的小端端口1301的螺纹孔1302与前直线轴承14的螺纹孔1401固定联接，输出杆11由前直线轴承14引出再与运动平台连接器26通过运动平台连接器26上两个侧方通孔2601用螺钉固定，外支架13的大端端口1303上的通孔1304与外磁轭3上的螺纹孔303固定，底盘卡座24通过其上6个螺纹孔2401与底座1上6个螺纹孔102固定，底盘卡座24上方4个螺纹孔2402与上底盘卡座25的四个沉头孔2501固定，外支架13的小端端口1301被固定在上底盘卡座25和底盘卡座24之间，运动平台连接器26的四个螺纹孔2602与运动平台27上4个沉头孔2701固定，运动平台27与底盘卡座24间联接了一对导轨28来减小运动平台运动时产生的摩擦力，导轨28通过一列通孔2801和一列沉头孔2802分别与运动平台27上3个螺纹孔2702和底盘卡座24上3个螺纹孔2403固定，底盘卡座24上安装了光栅位移传感器29。
所述一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台的宏动部分包括棱条2、外磁轭3、弧形永磁体4、宏动线圈5、宏动线圈架6、内磁轭7、导磁环8、宏微结合架9，外磁轭3上环状对称分布了6列通孔302用来与6个尼龙材质的棱条2上的通孔201用销固定，6个棱条2之间固定了6个弧形永磁体4来提供恒定的径向磁场，外磁轭3与内磁轭6焊接为一体保证了同轴度，宏动线圈架6安装在内磁轭7与外磁轭3之间，保证其轴向运动时宏动部分可以带动微动部分一起运动，内磁轭7底端端口702与后端盖23的底部2301嵌套，后端盖23的头部2302穿过底座1上的通孔104，底座1上环状分布的6个螺纹孔103与后端盖23上对应的六个螺纹孔2303和内磁轭7上6个螺纹孔703固定，后端盖23的头部2302上的螺纹孔2304与后直线轴承10上的螺纹孔1001固定，所述微动结构安装在内磁轭7内，包括导磁环8、输出杆11、输出轴套12、隔磁筒15、碟簧16、导磁块17、GMM棒18、微动线圈架19、微动磁轭套筒20、微动线圈21、后顶杆22，内磁轭7内安装着隔磁筒15来减小宏微磁路相互造成的干扰，隔磁筒15内嵌套着微动磁轭套筒20，微动磁轭套筒20内嵌套着形状为工字形的微动线圈架19，上面绕制着微动线圈21，GMM棒18两端分别联接了一个导磁块17，导磁块17呈有圆弧缺口的圆柱状，GMM棒18两端通过导磁块17和后顶杆22、输出杆11保持同轴联接，其中输出杆11的键轴1101嵌入导磁环8的阶梯孔801中，碟簧16安装在输出杆11的键轴1101和导磁环8之间用来吸收载荷，使运动更加平稳，后顶杆22通过后直线轴承10被引出，宏动线圈架6上的弧形缺口602、导磁环8上的通孔802、后端盖9上的弧形缺口903、微动线圈架19上的弧形缺口1901和微动磁轭套筒20上的通孔2001都是为了引出内部的控制线路。
实施过程：
(1)：针对宏动的大行程驱动，基于宏动部分的动态特性，设计最佳运动参数；
(2)：得出理想的宏动线圈5电流(Imacro)、速度(Vmacro)和位置(Xmacro)随时间的变化曲线Ima(t)、Vma(t)、和Xma(t)；
(3)：针对微动的高精度补偿，比较现代常用的非线性逆模型的建模算法，建立宏微复合驱动工作台3006的非线性逆模型；
(4)：请参阅图25，结合现代控制理论和反馈控制策略，制定前馈-反馈控制系统框图，形成宏动和微动输出位移的驱动控制策略；
(5)：请参阅图24，根据驱动控制要求，采用现场可编程门阵列(PFGA)开发的高效精密驱动电源3005(简称为基于FPGA驱动电源)为宏微复合驱动工作台3006提供电流源，采用高速数字信号处理器MS320F28335芯片3003为程序运行载体，编写并调试驱动控制策略的运行代码；
(6)：用上位机3001的Labview程序和TMS320F28335芯片3003的串行通信接口(SCIA)3003a通过RS232串口线3002建立通信，TMS320F28335芯片上的串行通信接口(SCIB)3003b通过RS232串口线3004给基于FPGA驱动电源3005发送指令控制基于FPGA驱动电源3005输出到宏微复合驱动工作台3006中的电流；
(7)：通过光栅位移传感器29实时监控宏微复合驱动工作台3006的实际位移X，将实际位移X与理想位移进行比较，并将位移反馈信号3007通过信号转换电路3008输出到TMS320F28335芯片3003的AD采样模块3003c，再对输入到宏微复合驱动工作台3006的电流进行反馈调控，完成宏微复合定位。
工作原理：
宏动部分的工作原理类似于音圈电机，6个环形阵列分布的永磁体4和一体化的内磁轭7、外磁轭3形成闭合磁路并形成了恒定的径向磁场B，当宏动线圈5被通入电流Imacro后，宏动线圈5受到大小为BImacroL的安培力FB，在该安培力的驱动下，宏动线圈5带动宏动线圈架6和微动部分一起轴向运动，而如果改变电流Imacro的方向，根据左手定则可以判断出会产生相反的安培力FB，此时的运动方向也相反，FA和FB的大小由输入电流Imacro来决定，所以可以通过调节Imacro大小来达到控制宏动线圈5位移的目的，当宏动线圈5受到的的安培力和外负载达到平衡时，宏动定位阶段完成。
微动部分工作原理为当宏动定位阶段结束后，微动线圈21输入电流Imicro，GMM棒18周围产生强磁场H，方向沿着微动线圈21轴向，由于磁致伸缩效应GMM棒18发生形变，产生了轴向蠕动推动输出杆11产生位移，如果调节Imicro大小可以控制GMM棒的形变位移量，达到微动定位的目的，在宏微复合驱动下可以达到高精度、大行程的驱动目标。
以上虽然已经给出和描述了本发明的实施方法，但是对于本领域的技术人员来说，可以轻易的在不付出创新性的脑力劳动情况下对上述实施方法进行各种变化、修改、微调，所以本发明的保护范围以权力要求书所限定的保护范围为准。
Claims (3)
1.一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台，包括底座(1)、棱条(2)、外磁轭(3)、弧形永磁体(4)、宏动线圈(5)、宏动线圈架(6)、内磁轭(7)、导磁环(8)、宏微结合架(9)、后直线轴承(10)、输出杆(11)、输出轴套(12)、外支架(13)、前直线轴承(14)、隔磁筒(15)、碟簧(16)、导磁块(17)、GMM棒(18)、微动线圈架(19)、微动磁轭套筒(20)、微动线圈(21)、后顶杆(22)、后端盖(23)、底盘卡座(24)、上底盘卡座(25)、运动平台连接器(26)、运动平台(27)、导轨(28)、光栅位移传感器(29)，其特征在于底座(1)前端面6个环形通孔(101)与内磁轭(7)上6个螺纹孔(701)通过螺钉联接固定并保证同轴度，形状为工字形的宏动线圈架(6)套置在内磁轭(7)上，宏动线圈(5)绕制在宏动线圈架(6)上，宏动线圈架(6)端面上的6个螺纹孔(601)与宏微结合架(9)上6个螺纹孔(901)固定，输出轴套(12)上螺纹孔(1201)与形状为阶梯圆柱状的宏微结合架(9)固定，宏微结合架(9)底部制作有环形凹槽(902)，用作与隔磁筒(15)的端口(1501)相嵌，外支架(13)的小端端口(1301)的螺纹孔(1302)与前直线轴承(14)的螺纹孔(1401)固定联接，输出杆(11)由前直线轴承(14)引出再与运动平台连接器(26)通过运动平台连接器(26)上2个侧方通孔(2601)用螺钉固定，外支架(13)大端端口(1303)上的通孔(1304)与外磁轭(3)上的螺纹孔(303)固定，底盘卡座(24)通过其上6个螺纹孔(2401)与底座(1)上6个螺纹孔(102)固定，底盘卡座(24)上方4个螺纹孔(2402)与上底盘卡座(25)的4个沉头孔(2501)固定，外支架(13)的小端端口(1301)被固定在上底盘卡座(25)和底盘卡座(24)之间，运动平台连接器(26)的4个螺纹孔(2602)与运动平台(27)上4个沉头孔(2701)固定，运动平台(27)与底盘卡座(24)间联接了一对导轨(28)来减小运动平台运动时产生的摩擦力，导轨(28)通过一列通孔(2801)和一列沉头孔(2802)分别与运动平台(27)上3个螺纹孔(2702)和底盘卡座(24)上3个螺纹孔(2403)固定，底盘卡座(24)上安装了光栅位移传感器(29)。
2.根据权利要求1所述一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台，其特征在于：所述宏动部分包括棱条(2)、外磁轭(3)、弧形永磁体(4)、宏动线圈(5)、宏动线圈架(6)、内磁轭(7)、导磁环(8)、宏微结合架(9)，外磁轭(3)上环状对称分布了6列通孔(302)用来与6个尼龙材质的棱条(2)上的通孔(201)用销固定，6个棱条(2)之间固定了6个弧形永磁体(4)来提供恒定的径向磁场，外磁轭(3)与内磁轭(6)焊接为一体保证了同轴度，宏动线圈架(6)安装在内磁轭(7)与外磁轭(3)之间，保证其轴向运动时宏动部分可以带动微动部分一起运动，内磁轭(7)底端端口(702)与后端盖(23)的底部(2301)嵌套，后端盖(23)的头部(2302)穿过底座(1)上的通孔(104)，底座(1)上环状分布的6个螺纹孔(103)与后端盖(23)上对应的6个螺纹孔(2303)和内磁轭(7)上6个螺纹孔(703)固定，后端盖(23)的头部(2302)上的螺纹孔(2304)与后直线轴承(10)上的螺纹孔(1001)固定；所述微动结构安装在内磁轭(7)内，包括导磁环(8)、输出杆(11)、输出轴套(12)、隔磁筒(15)、碟簧(16)、导磁块(17)、GMM棒(18)、微动线圈架(19)、微动磁轭套筒(20)、微动线圈(21)、后顶杆(22)，内磁轭(7)内安装着隔磁筒(15)来减小宏微磁路相互造成的干扰，隔磁筒(15)内嵌套着微动磁轭套筒(20)，微动磁轭套筒(20)内嵌套着形状为工字形的微动线圈架(19)，上面绕制着微动线圈(21)，GMM棒(18)两端分别联接了一个导磁块(17)，导磁块(17)呈有圆弧缺口的圆柱状，GMM棒(18)两端通过导磁块(17)和后顶杆(22)、输出杆(11)保持同轴联接，其中输出杆(11)的键轴(1101)嵌入导磁环(8)的阶梯孔(801)中，碟簧(16)安装在输出杆(11)的键轴(1101)和导磁环(8)之间用来吸收载荷，使运动更加平稳，后顶杆(22)通过后直线轴承(10)被引出，宏动线圈架(6)上的弧形缺口(602)、导磁环(8)上的通孔(802)、后端盖(9)上的弧形缺口(903)、微动线圈架(19)上的弧形缺口(1901)和微动磁轭套筒(20)上的通孔(2001)都是为了引出内部的控制线路。
3.一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台的控制方法，其特征在于包括以下步骤：
S1：针对宏动的大行程驱动，基于宏动部分的动态特性，设计最佳运动参数；
S2：得出理想的宏动线圈(5)电流(Imacro)、速度(Vmacro)和位置(Xmacro)随时间的变化曲线Ima(t)、Vma(t)、和Xma(t)；
S3：针对微动的高精度补偿，比较现代常用的非线性逆模型的建模算法，建立宏微复合驱动工作台(3006)的非线性逆模型；
S4：结合现代控制理论和反馈控制策略，制定前馈-反馈控制系统框图，形成宏动和微动输出位移的驱动控制策略；
S5：根据驱动控制要求，采用基于现场可编程门阵列(FPGA)开发的高效精密驱动电源(3005)(简称为基于FPGA驱动电源)为宏微复合驱动工作台(3006)提供电流源，采用高速数字信号处理器TMS320F28335芯片(3003)为程序运行载体，编写并调试驱动控制策略的运行代码；
S6：用上位机(3001)的Labview程序和TMS320F28335(3003)芯片的串行通信接口SCIA(3003a)通过RS232串口线(3002)建立通信，TMS320F28335芯片(3003)上的串行通信接口SCIB(3003b)通过RS232串口线(3004)给基于FPGA驱动电源(3005)发送指令控制基于FPGA驱动电源(3005)输出到宏微复合驱动工作台(3006)中的电流；
S7：通过光栅位移传感器(29)实时监控宏微复合驱动工作台(3006)的实际位移X，将实际位移与理想位移进行比较，并将位移反馈信号(3007)通过信号转换电路(3008)输出到TMS320F28335芯片(3003)的AD采样模块(3003c)，再对输入到宏微复合驱动工作台(3006)的电流进行反馈调控，完成宏微复合定位。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111553040.5A CN114070125A (zh) | 2021-12-17 | 2021-12-17 | 一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111553040.5A CN114070125A (zh) | 2021-12-17 | 2021-12-17 | 一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114070125A true CN114070125A (zh) | 2022-02-18 |
Family
ID=80229755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111553040.5A Pending CN114070125A (zh) | 2021-12-17 | 2021-12-17 | 一种面向高速精密定位的同轴集成式宏微复合驱动工作台及其控制方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN114070125A (zh) |
-
2021
- 2021-12-17 CN CN202111553040.5A patent/CN114070125A/zh active Pending
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