CN113965040A - 音圈电机 - Google Patents

音圈电机 Download PDF

Info

Publication number
CN113965040A
CN113965040A CN202011381313.8A CN202011381313A CN113965040A CN 113965040 A CN113965040 A CN 113965040A CN 202011381313 A CN202011381313 A CN 202011381313A CN 113965040 A CN113965040 A CN 113965040A
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic steel
inner base
voice coil
coil motor
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202011381313.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113965040B (zh
Inventor
胡兵
江旭初
吴火亮
蒋赟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Yinguan Semiconductor Technology Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Yinguan Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Yinguan Semiconductor Technology Co Ltd filed Critical Shanghai Yinguan Semiconductor Technology Co Ltd
Priority to CN202011381313.8A priority Critical patent/CN113965040B/zh
Publication of CN113965040A publication Critical patent/CN113965040A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113965040B publication Critical patent/CN113965040B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
    • H02K41/0352—Unipolar motors
    • H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
    • H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N15/00—Holding or levitation devices using magnetic attraction or repulsion, not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种音圈电机，所述音圈电机包括：内基磁钢，所述内基磁钢呈筒状；至少一个端部磁钢，所述至少一个端部磁钢呈筒状并位于所述内基磁钢的两轴向端中的至少一轴向端，且与所述内基磁钢的相应轴向端轴向间隔开，所述端部磁钢的中心线布置成与所述内基磁钢的中心线重合，且所述端部磁钢的内径不小于所述内基磁钢的内径；线圈，所述线圈呈筒状并位于所述内基磁钢内且与所述内基磁钢径向间隔开；两个中心磁钢，所述两个中心磁钢通过中心背铁彼此轴向间隔开并位于所述线圈内且与所述线圈径向间隔开。该音圈电机具有磁浮重力补偿功能，能够实现大行程高精度的线性运动。

Description

音圈电机
技术领域
本发明涉及电机领域，具体涉及一种音圈电机。
背景技术
近年来，随着大规模集成电路器件集成度不断提高，工件台的精度需求不断提高，尤其是其垂向模块的运动精度、运动行程随着工件台需求的提高而逐年提升，比如光刻设备，膜厚检测设备等。具有垂向重力补偿功能的音圈电机也在不断地迭代更新，对于大行程、小推力波动音圈电机的需求更是迫切。现阶段，音圈电机中的重力补偿结构普遍采用两种方案：机械弹簧和磁浮重力补偿结构。
美国专利US9172291B2中的垂向音圈电机采用机械弹簧和磁浮补偿装置协同补偿重力。专利中将磁浮补偿装置当作一个磁弹簧，磁弹簧与机械弹簧轴向耦合，补偿运动机构的重力。但该装置在设计制造上有一定难度，机械弹簧的回复力与磁浮机构的回复力在轴向不易耦合，且音圈电机的行程较小，工程应用中存在一定局限性。
美国专利US2009066168A1中，垂向音圈电机采用磁浮补偿装置补偿动子轴的重力。音圈电机的线圈等距分布在定子磁钢内壁，通过磁浮补偿装置补偿掉运动机构的一部分重力，以降低音圈电机温升，提高音圈电机的推力密度。这种结构的行程虽然达到了10mm，但磁浮补偿装置的磁浮力幅值较小、波动过大，严重影响了垂向音圈电机的推力波动，限制了这种音圈电机的应用领域。
中国专利CN201410331239中，音圈电机采用磁浮重力补偿结构来补偿运动机构的部分重力，以降低音圈电机的温升，理论上该磁路结构可以实现重力补偿功能，但该音圈电机的行程较小、磁路结构较为复杂，不适用于大行程工况。
因此，现阶段需要一种具有大行程的音圈电机，既能克服传统带重力补偿功能音圈电机行程过小、结构复杂的缺点，其重力补偿结构又能产生与音圈电机匹配的大行程、小波动的磁浮力。
发明内容
本发明的目的是提供一种音圈电机，以解决上述现有技术中存在的问题。
为了解决上述问题，根据本发明的一个方面，提供了一种音圈电机，所述音圈电机包括：
内基磁钢，所述内基磁钢呈筒状；
至少一个端部磁钢，所述至少一个端部磁钢呈筒状并位于所述内基磁钢的两轴向端中的至少一轴向端，且与所述内基磁钢的相应轴向端轴向间隔开，所述端部磁钢的中心线布置成与所述内基磁钢的中心线重合，且所述端部磁钢的内径不小于所述内基磁钢的内径；
线圈，所述线圈呈筒状并位于所述内基磁钢内且与所述内基磁钢径向间隔开；
两个中心磁钢，所述两个中心磁钢通过中心背铁彼此轴向间隔开并位于所述线圈内且与所述线圈径向间隔开。
在一实施例中，所述两个中心磁钢呈筒状。
在一实施例中，所述两个中心磁钢呈柱状。
在一实施例中，所述内基磁钢、所述端部磁钢以及所述两个中心磁钢的充磁方向为轴向，其中所述内基磁钢与所述端部磁钢的充磁方向一致，所述两个中心磁钢的充磁方向彼此相反。
在一实施例中，还包括基座和动子轴，所述线圈和所述内基磁钢固定至所述基座，两个所述中心磁钢和所述中心背铁固定至所述动子轴，所述基座和所述动子轴能相对于彼此轴向运动。
在一实施例中，所述基座包括底座和垂直于所述底座轴向延伸且呈筒状的线圈支架，所述线圈支架支承所述线圈。
在一实施例中，所述内基磁钢的两端各设有一个端部磁钢。
在一实施例中，所述内基磁钢的至少一端设有两个以上端部磁钢。
在一实施例中，所述端部磁钢的内径不小于所述内基磁钢的内径，且所述端部磁钢的外径不大于所述内基磁钢的外径。
本发明还提供一种垂向移动台，所述垂向移动台包括移动台本体和基座，所述移动台本体下方设有凹腔，所述凹腔用于容纳前述音圈电机。
该音圈电机具有磁浮重力补偿功能，能够产生音圈电机匹配的大行程、小波动的磁浮力，从而实现大行程高精度的线性运动
附图说明
图1是本发明提出的一种音圈电机的剖视示意图。
图2是本发明提出的一种音圈电机的的磁钢充磁方向示意图。
图3是本发明提出的一种音圈电机的尺寸示意图。
图4是本发明提出的一种音圈电机的磁力线示意图。
图5是本发明提出的一种音圈电机的推力仿真波形图。
图6是本发明提出的实施例二中轴向端部磁钢为两块的截面示意图。
图7是本发明提出的实施例三中音圈电机单边行程结构。
图8是本发明提出的实施例四中音圈电机布局示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细说明，以便更清楚理解本发明的目的、特点和优点。应理解的是，附图所示的实施例并不是对本发明范围的限制，而只是为了说明本发明技术方案的实质精神。
在下文的描述中，出于说明各种公开的实施例的目的阐述了某些具体细节以提供对各种公开实施例的透彻理解。但是，相关领域技术人员将认识到可在无这些具体细节中的一个或多个细节的情况下来实践实施例。在其它情形下，与本申请相关联的熟知的装置、结构和技术可能并未详细地示出或描述从而避免不必要地混淆实施例的描述。
在整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的提及表示结合实施例所描述的特定特点、结构或特征包括于至少一个实施例中。因此，在整个说明书的各个位置“在一个实施例中”或“在一实施例”中的出现无需全都指相同实施例。另外，特定特点、结构或特征可在一个或多个实施例中以任何方式组合。
在以下描述中，为了清楚展示本发明的结构及工作方式，将借助诸多方向性词语进行描述，但是应当将“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“内”、“向外”、“向内”、“上”、“下”等词语理解为方便用语，而不应当理解为限定性词语。
本发明的目的是克服传统音圈电机行程过小的缺点，提供一种大行程、波动小的音圈电机，从而能够应用于需要高精度垂向运动的设备。下面结合图1-图8对本发明的音圈电机进行说明。
图1是本实施例的音圈电机100的剖视示意图。如图1所示，音圈电机100包括：内基磁钢102、端部磁钢103a和103b、线圈106以及两个中心磁钢109a和109b。内基磁钢102、端部磁钢103a和103b、线圈106以及两个中心磁钢109a和109b均呈圆筒状并同心设置。端部磁钢103a和103b分别位于内基磁钢102的两个轴向端并与内基磁钢102轴向间隔开一定间隙。该间隙一方面，用于调节动子磁场；另一方面，便于磁钢的固定及装配。在图示实施例中，端部磁钢103a和103b的内径与内基磁钢102的内径相同，但应理解，端部磁钢103a和103b的内径不小于内基磁钢102即可。线圈106位于内基磁钢102内且与内基磁钢102径向间隔开。两个中心磁钢109a和109b位于线圈106内并与线圈106径向间隔开。两个中心磁钢109a和109b通过中心背铁110彼此轴向间隔开。在所示实施例中，两个中心磁钢109a和109b为两个相同的圆筒状磁体，但应理解，两个中心磁钢109a和109b也可以是两个圆柱状磁体。在图示实施例中，内基磁钢102、端部磁钢103a和103b以及线圈106相对于定子基座101固定，可作为音圈电机的定子；而两个中心磁钢109a和109b与中心背铁110固定至动子轴107，可用作音圈电机的动子。此外，内基磁钢102和端部磁钢103a、103b之间留有一定间隙，便于调节动子磁场和磁钢的固定及装配。其中，间隙值δ的选取随行程大小而定，通常情况下，间隙值优选为0.1mm到1.0mm之间。
由于电流的磁效应，电圈106通电后产生磁场，通过作为定子的内基磁钢102、端部磁钢103a和103b的定子磁场、线圈106的电枢磁场与作为动子两个中心磁钢109a和109b与中心背铁110的动子磁场之间的相互磁场作用，可产生使动子轴107能够相对于基座轴向运动的推力，调节线圈106中电流的幅值和方向可调节音圈电机轴向推力的幅值。该装置可实施为定子固定，动子相对于定子运动，也可以实施为动子固定，定子相对于动子运动，或者定子和动子均沿轴向运动，仅两者相对位置随位移量而变化。该装置中的定子磁钢(内基磁钢102、端部磁钢103a和103b)与动子磁钢(中心磁钢109a和109b与中心背铁110)组成重力补偿机构，通过定子磁场和动子磁场的相互作用，可产生垂向向上、大行程小波动的磁浮力。
在所示实施例中，动子轴107呈大体圆柱形，两个中心磁钢109a和109b与中心背铁110嵌设在动子轴107的外周表面内。为了便于中心磁钢109a和109b的安装，在动子轴107的底部设有动子螺栓108。动子轴107的下段外径相对于上段缩进，从而形成用于套设中心磁钢109a和109b以及中心背铁110的空间。而该动子螺栓108的径向尺寸大于动子轴107下段的径向尺寸并能够通过螺纹连接固定至动子轴107。在中心磁钢109a和109b以及中心背铁110套设在动子轴107上之后，动子螺栓108通过螺纹连接固定至动子轴107的下端，从而能够将中心磁钢109a和109b保持在动子轴107上。但应理解，动子轴107可设置成其他方式，只要中心磁钢109a和109b以及中心背铁110能够相对于彼此同轴固定即可。该实施例中，中心背铁110与中心磁钢109的内径和外径均相等，且中心磁钢109和中心背铁110的内径与动子轴107上段的外径相等。中心背铁110为高导磁率的合金钢，可作为虚磁钢使用。
较佳地，如图1所示，还设有固定至动子轴107的动子密封罩111，用于覆盖动子轴107下段以及动子螺栓108的外周表面和动子螺栓108的下表面，中心磁钢109和中心背铁110的外径与动子密封罩111内径相等，从而将中心磁钢109a和109b以及中心背铁110更可靠地保持在动子轴107上。
还如图1所示，在定子基座101上分别设有大致呈圆筒状的线圈支架105和内基磁钢支架1011。线圈支架105和内基磁钢支架1011从基座轴向延伸并彼此径向间隔开。在图示实施例中，线圈支架105与定子基座101分开制成并通过螺栓彼此固定连接，但应理解，二者也可一体制成。如图1所示，线圈106内嵌在线圈支架105的外周表面内，但应理解，线圈106也可内嵌在线圈支架105的内周表面内或位于线圈支架105的径向厚度内。如图中所示，内基磁钢支架1011一体形成在定子基座101上，但应理解，二者也可分开形成并彼此连接。内基磁钢102以及端部磁钢103a和103b设置在内基磁钢支架1011上。在图1所示实施例中，还设有定子密封罩104，用于覆盖内基磁钢102以及端部磁钢103a和103b的顶部和外周。但应理解，定子密封罩104也可与内基磁钢支架1011一体形成。
图2中示出了图1所示实施例中各磁钢充磁方向的示意图，图中的箭头方向代表磁钢的充磁方向。其中两个中心磁钢109a和109b的充磁方向为轴向，且充磁方向朝向中心背铁110，即中心磁钢109a的充磁方向为轴向向下，而中心磁钢109b的充磁方向为轴向向上。而内基磁钢102以及端部磁钢103a和103b的充磁方向一致，均为轴向向下。同理，相对应地，也可以设置成两个中心磁钢109a和109b的充磁方向为轴向且背离中心背铁110，而中心磁钢102和轴向端部磁钢103a、103b的充磁方向均沿轴向向上。
图4中示出了音圈电机100的磁力线示意图。根据磁力线的分布轨迹和磁极同性相斥的原理，可推断出对线圈106通电后，固定至定子基座的内基磁钢102、端部磁钢103a和103b以及线圈106对中心磁钢109a、109b产生的径向推力为一组等幅值、方向垂直于与外圆周相切平面，且沿圆周均布的力，因此动子轴107可一直通过磁浮力浮在音圈电机中央。其中，内基磁钢102、端部磁钢103a和103b与中心磁钢105之间的相互作用补偿动子轴107及其承载物以及中心磁钢109a、109b的重力。线圈106与中心磁钢109a、109b之间的相互作用能够推动动子轴107轴向运动，调节线圈中电流的幅值和方向可调节音圈电机垂向推力的幅值。通过电磁仿真，可得出中心磁钢磁场和定子磁钢磁场相互作用产生的磁浮力曲线，图中磁浮力在25mm的行程范围内，音圈电机的轴向推力幅值在40N左右，重力补偿结构的轴向推力幅值在80N左右，整个装置所能的轴向推力幅值在120N左右，其中整个装置推力的波动在1.5％左右，基本接近于传统带有重力补偿结构的音圈电机在±2mm行程范围内的波动程度。
图3示出音圈电机100的尺寸示意图。如图3所示，图中中心磁钢105、中心背铁110、内基磁钢102和端部磁钢103a、103b均为圆筒形结构，且端部磁钢103a、103b形状和尺寸相同，两中心磁钢109a和109b的形状和尺寸相同。如图4所示，线圈106的轴向长度为L1，两个中心磁钢109a、109b和中心背铁110所占据的总轴向长度为L2，内基磁钢102和端部磁钢103a和103b所占据的总轴向长度为L3。其中内基磁钢102的轴向长度为L31，中心背铁110的轴向长度为L21，中心磁钢109a、109b的轴向长度均为L22，端部磁钢103a与内基磁钢102之间的间隙为Lgap，内基磁钢102和端部磁钢103a、103b的内径均为D31，端部磁钢103a、103b的外径为D32，内基磁钢102的外径为D33。
推力的幅值与各部件尺寸大小密切相关，通过调整尺寸大小可分别改变音圈电机和重力补偿结构输出推力的幅值。
图5中示出了音圈电机的推力仿真波形图。图中示出了推力随着音圈电机垂向位移的变化。从图中可以看出，重力补偿装置磁浮力、音圈电机推力随着行程变化基本保持平稳，而两者形成的音圈电机合力也随着行程变化基本保持平稳。根据磁力线的分布轨迹和磁极同性相斥的原理，可推断出动子的重量由重力补偿机构的动子磁场、定子磁场相互作用产生的磁浮力补偿，通过调节通入线圈电流的幅值和方向可改变音圈电机的轴向推力，且重力补偿结构产生的径向推力为一组等幅值、方向垂直于与外圆周相切平面，且沿圆周均布的力，因此动子始终与定子保持同心，进而保证音圈电机中线圈的周向气隙均匀。通过电磁仿真，得出图5所示的音圈电机的输出推力、重力补偿结构的输出推力和整个装置所能提供推力的曲线。
图6中示出了根据本发明的音圈电机的第二实施例200的结构示意图。该音圈电机200包括中心磁钢209a和209b、线圈206、内基磁钢202和端部磁钢203a、203b、203c和203d。两中心磁钢209a和209b通过中心背铁210彼此间隔开。线圈206围绕中心磁钢209a和209b并与中心磁钢209a和209b径向间隔开，内基磁钢202围绕线圈206设置并与线圈206径向间隔开。端部磁钢203a和203c设置在内基磁钢202的上端且沿轴向彼此间隔开，端部磁钢203b和203d设置在内基磁钢202的下端且沿轴向彼此间隔开。即，内基磁钢202轴向端的端部磁钢沿轴向分块。可根据音圈电机行程及磁浮力波动大小进行调整单边分块数Nt，在前述各实施例中，Nt＝1，但Nt不局限于1，也可大于1。一般情况下，端部磁钢的单边分块数Nt越多，内基磁钢202和端部磁钢所提供磁场的分布越均匀，进而磁浮力的曲线越平稳，磁力波动越小。在本实施例中，示出轴向端部磁钢的分块数Nt＝2的方案。此外，该实施例中，端部磁钢203a、203b、203c、203d内径与内基磁钢202内径相等，端部磁钢203a、203b、203c、203d外径与内基磁钢202外径不相等。但应理解，在内基磁钢202的两轴向端部也可分别设置单块端部磁钢和轴向分块的端部磁钢。203a、203b、203c、203d端部磁钢与内基磁钢202也可采用其他径向位置关系而不偏离本发明的范围。在本实施例中，轴向端部磁钢203a和203c，以及203b和203d分别分布在内基磁钢202两端，且两组轴向端部磁钢的尺寸完全一致，单侧的两块轴向端部磁钢间隙值与图1所示实施例中的间隙相等。
图7中示出了根据本发明的音圈电机的第三实施例300的结构示意图。该音圈电机300包括中心磁钢309a和309b、线圈306、内基磁钢302和端部磁钢303。两中心磁钢309a和309b通过中心背铁310彼此间隔开。线圈306围绕中心磁钢309a和309b并与中心磁钢309a和309b径向间隔开，内基磁钢302围绕线圈306设置并与线圈306径向间隔开。端部磁钢303设置在内基磁钢302的上端且沿轴向彼此间隔开。在该实施例中，Nt＝1，但Nt不局限于1，也可大于1。一般情况下，端部磁钢的单边分块数Nt越多，内基磁钢302和端部磁钢所提供磁场的分布越均匀，进而磁浮力的曲线越平稳。此外，该实施例中，端部磁钢303内径与内基磁钢302内径相等，端部磁钢303外径与内基磁钢302外径不相等。但应理解，端部磁钢303也可仅设置在内基磁钢302的下端。端部磁钢与内基磁钢302也可采用其他径向位置关系而不偏离本发明的范围。上述实施例中，根据不同工况的应用需求，如果所述音圈电机在行程范围内只在区间I和II需要提供平稳推力，在区间III和IV运动状态不受推力波动影响，则其重力补偿机构的中心磁钢结构变式如图7所示。图中，轴向端部磁钢303仅在内基磁钢302的单侧，且内基磁钢302和轴向端部磁钢303的尺寸关系及位置关系均与实施例1一致。
图8示出了使用根据本发明的音圈电机的工作台的布局图。在工作台的下方设有凹腔，用于容纳根据本发明的音圈电机。其中工作台下方的凹腔可以是一个，如图8所示，也可以是呈例如正三角形布置的三个以形成三点布局，或者是呈正方形布置的四个以形成四点布局。
以上已详细描述了本发明的较佳实施例，但应理解到，若需要，能修改实施例的方面来采用各种专利、申请和出版物的方面、特征和构思来提供另外的实施例。
考虑到上文的详细描述，能对实施例做出这些和其它变化。一般而言，在权利要求中，所用的术语不应被认为限制在说明书和权利要求中公开的具体实施例，而是应被理解为包括所有可能的实施例连同这些权利要求所享有的全部等同范围。

Claims (10)

1.一种音圈电机，其特征在于，所述音圈电机包括：
内基磁钢，所述内基磁钢呈筒状；
至少一个端部磁钢，所述至少一个端部磁钢呈筒状并位于所述内基磁钢的两轴向端中的至少一轴向端，且与所述内基磁钢的相应轴向端轴向间隔开，所述端部磁钢的中心线布置成与所述内基磁钢的中心线重合，且所述端部磁钢的内径不小于所述内基磁钢的内径；
线圈，所述线圈呈筒状并位于所述内基磁钢内且与所述内基磁钢径向间隔开；
两个中心磁钢，所述两个中心磁钢通过中心背铁彼此轴向间隔开并位于所述线圈内且与所述线圈径向间隔开。
2.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述两个中心磁钢呈筒状。
3.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述两个中心磁钢呈柱状。
4.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述内基磁钢、所述端部磁钢以及所述两个中心磁钢的充磁方向为轴向，其中所述内基磁钢与所述端部磁钢的充磁方向一致，所述两个中心磁钢的充磁方向彼此相反。
5.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，还包括基座和动子轴，所述线圈和所述内基磁钢固定至所述基座，两个所述中心磁钢和所述中心背铁固定至所述动子轴，所述基座和所述动子轴能相对于彼此轴向运动。
6.根据权利要求5所述的音圈电机，其特征在于，所述基座包括底座和垂直于所述底座轴向延伸且呈筒状的线圈支架，所述线圈支架支承所述线圈。
7.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述内基磁钢的两端各设有一个端部磁钢。
8.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述内基磁钢的至少一端设有两个以上端部磁钢。
9.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述端部磁钢的内径不小于所述内基磁钢的内径，且所述端部磁钢的外径不大于所述内基磁钢的外径。
10.一种垂向移动台，其特征在于，所述垂向移动台包括移动台本体和基座，所述移动台本体下方设有凹腔，所述凹腔用于容纳根据权利要求1-9中任一项所述的音圈电机。
CN202011381313.8A 2020-12-01 2020-12-01 音圈电机 Active CN113965040B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011381313.8A CN113965040B (zh) 2020-12-01 2020-12-01 音圈电机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011381313.8A CN113965040B (zh) 2020-12-01 2020-12-01 音圈电机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113965040A true CN113965040A (zh) 2022-01-21
CN113965040B CN113965040B (zh) 2022-12-30

Family

ID=79460111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011381313.8A Active CN113965040B (zh) 2020-12-01 2020-12-01 音圈电机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113965040B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115342158A (zh) * 2022-08-01 2022-11-15 哈尔滨工业大学 一种出力可调节的磁浮重力补偿器及工作方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060091733A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-04 Nikon Corporation High Efficiency Voice Coil Motor
CN101252304A (zh) * 2007-02-23 2008-08-27 株式会社东芝 直线运动执行机构及利用其的部件保持装置、芯片焊接装置
EP2034593A2 (de) * 2007-09-10 2009-03-11 Etel S.A. Senkrechter Stellantrieb mit Mitteln für die Kompensation der Schwerkraft
CN101917143A (zh) * 2010-07-21 2010-12-15 华中科技大学 一种具有磁浮重力平衡功能的音圈电机
EP2501023A1 (de) * 2011-03-15 2012-09-19 Etel S. A.. Vertikaler Stellantrieb mit Schwerkraftkompensation
CN105281531A (zh) * 2014-07-11 2016-01-27 上海微电子装备有限公司 具有重力补偿功能的音圈电机
CN210819425U (zh) * 2019-04-30 2020-06-23 上海隐冠半导体技术有限公司 工作台及其磁浮重力补偿装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060091733A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-04 Nikon Corporation High Efficiency Voice Coil Motor
CN101252304A (zh) * 2007-02-23 2008-08-27 株式会社东芝 直线运动执行机构及利用其的部件保持装置、芯片焊接装置
EP2034593A2 (de) * 2007-09-10 2009-03-11 Etel S.A. Senkrechter Stellantrieb mit Mitteln für die Kompensation der Schwerkraft
CN101917143A (zh) * 2010-07-21 2010-12-15 华中科技大学 一种具有磁浮重力平衡功能的音圈电机
EP2501023A1 (de) * 2011-03-15 2012-09-19 Etel S. A.. Vertikaler Stellantrieb mit Schwerkraftkompensation
CN105281531A (zh) * 2014-07-11 2016-01-27 上海微电子装备有限公司 具有重力补偿功能的音圈电机
CN210819425U (zh) * 2019-04-30 2020-06-23 上海隐冠半导体技术有限公司 工作台及其磁浮重力补偿装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115342158A (zh) * 2022-08-01 2022-11-15 哈尔滨工业大学 一种出力可调节的磁浮重力补偿器及工作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN113965040B (zh) 2022-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7329267B2 (ja) 磁気浮上式重力補償装置及びそれを用いた作業台
CN109039004B (zh) 一种基于Halbach阵列的磁悬浮装置
CN103291832B (zh) 磁悬浮隔振平台
CN110855118A (zh) 一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件
CN111828524B (zh) 一种具有高径向稳定性的新型电磁负刚度隔振器
CN101737425B (zh) 一种低功耗单稳态零重力作用径向磁轴承
CN101158815A (zh) 气浮磁控精密运动平台
CN109120185A (zh) 基于特性相消原理的低刚度磁悬浮重力补偿器
CN113965040B (zh) 音圈电机
CN111473079A (zh) 磁悬浮隔振器
CN201097109Y (zh) 一种精密运动平台
CN102570767A (zh) 一种小行程节能音圈电机
CN113471112A (zh) 磁浮重力补偿装置和微动台
WO2021087743A1 (zh) 一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件
CN111102293A (zh) 主被动磁气混合轴承
CN211209558U (zh) 一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件
CN111810757A (zh) 一种适用于管路减振的主动吊架装置
CN212572354U (zh) 一种可变刚性的磁性重力补偿器的音圈电机
CN110017329A (zh) 一种e型结构电磁型径向磁轴承
WO2021258428A1 (zh) 一种可变刚性的磁性重力补偿器的音圈电机
CN1104730A (zh) 环类磁悬浮轴承
CN113745138B (zh) 磁浮装置和微动台
CN209892623U (zh) 一种轴向径向电磁型磁轴承
CN113965041A (zh) 音圈电机
CN113991967B (zh) 一种非接触式永磁支撑装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant