CN113840627A - 面罩和包括该面罩的皮肤护理装置 - Google Patents

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Abstract

根据实施方式的面罩包括：设置在第一基础层上的第一基材；设置在第一基材上的第一导线；设置在第一导线上的压电元件；设置在压电元件上的第二导线；设置在第二导线上的第二基材；设置在第二基材上的第二基础层；以及设置在第一基础层与压电元件之间的腔，其中，腔设置在沿竖直方向与压电元件交叠的区域中。

Description

面罩和包括该面罩的皮肤护理装置
技术领域
实施方式涉及面罩和皮肤护理装置。
背景技术
人类皮肤可能取决于诸如环境污染、紫外线、应力等的外部因素而受到损害或受到污染，并且可能由于诸如衰老、激素变化等的内部因素而出现皱纹。近来，随着对皮肤的关注增加，已经开发了用于皮肤治疗、美容和抗衰老的各种装置。
详细地，已经开发了能够向皮肤施加热能的装置，例如，能够通过施加红外能量来提高皮肤弹性的装置。另外，已经开发了使用声波或光线的装置，以将化妆品或药物有效地注入皮肤中。例如，已经开发了以下装置：该装置能够形成使用超声波导入法(sonophoresis)和激光穿孔(laserporation)将化妆品或药物注入皮肤中的路径。另外，已经开发了使用电推进力的装置，以将化妆品或药物有效地注入皮肤中。例如，已经开发了能够使用离子导入法(iontophoresis)、电穿孔(electroporation)和电渗透(electroosmosis)将化妆品或药物中包含的离子物质有效地注入皮肤中的装置。即，已经开发了能够通过向皮肤提供光能、微电流、振动等来护理或治疗用户的皮肤的各种装置。
通常，上述装置可以以可与皮肤分离的贴片的形式提供，并且所述装置附着至特定的皮肤区域，以护理或治疗所附着的区域的皮肤。另外，上述装置以片装面膜的形式提供，该片装面膜被设置成覆盖整个用户的面部以护理或治疗面部皮肤。
然而，该装置具有难以有效地粘附至弯曲的皮肤表面例如双颊、鼻子等的问题。详细地，由于装置的材料和可变特性，可能难以有效地粘附至用户的皮肤。因此，该装置可能在该装置未完全粘附至用户的皮肤的状态下操作，并且该装置可能由于在其操作期间用户的移动或装置的振动而与用户的皮肤分离。
因此，该装置可能在其未完全粘附至用户的皮肤的状态下操作，并且可能在操作期间由于用户的移动和装置的振动而与用户的皮肤间隔开。因此，存在难以通过该装置有效地获得护理或治疗的效果的问题。
因此，需要能够解决上述问题的新面罩。
发明内容
技术问题
实施方式是提供具有可变性和提高的可靠性的面罩和皮肤护理装置。
另外，实施方式是提供能够有效地粘附至用户的皮肤的面罩和皮肤护理装置。
另外，实施方式是提供能够向用户的皮肤提供均匀超声能量的面罩和皮肤护理装置。
另外，实施方式是提供能够减小总厚度和重量的面罩和皮肤护理装置。
另外，实施方式是提供能够使操作期间生成的超声能量的损耗最小化的面罩和皮肤护理装置。
技术方案
根据实施方式的面罩包括：设置在第一基础层上第一基材；设置在第一基材上的第一导线；设置在第一导线上的压电元件；设置在压电元件上的第二导线；设置在第二导线上的第二基材；设置在第二基材上的第二基础层；以及设置在第一基础层与压电元件之间的腔，其中腔设置在沿竖直方向与压电元件交叠的区域中。
另外，根据实施方式的皮肤护理装置包括：主体，主体的一侧是开口的，并且在开口区域内形成容纳空间；以及面罩，面罩设置在开口区域中并且连接至主体。
有益效果
根据实施方式的面罩可以通过具有可变材料的基材、第一基础层、第二基础层等根据用户的弯曲皮肤的形状而变化。因此，面罩可以有效地粘附至用户的皮肤。
另外，根据实施方式的面罩可以包括多个压电元件，并且压电元件可以在面罩的整个区域中生成超声能量。因此，可以向佩戴面罩的用户提供具有均匀强度的超声能量。
另外，根据实施方式的压电元件可以根据用户的面部形状以不同的间隔设置。例如，设置在诸如鼻子、脸颊等的相对弯曲区域和诸如用户前额的平坦区域中的压电元件以彼此不同的间隔设置，并且因此，可以向用户面部的弯曲区域提供具有均匀强度的超声能量。
另外，根据该实施方式的面罩可以包括腔，并且可以通过该腔有效地反射超声能量。因此，可以使在压电元件的操作期间生成的超声能量的损耗最小化。另外，由于可以减小第一基础层的所需厚度，因此可以减小面罩的总厚度和重量。
附图说明
图1是根据实施方式的面罩的前视图。
图2是图1中的区域A1的分解立体图。
图3是图1中的区域A1的俯视图。
图4是图1中的区域A1的另一俯视图。
图5是沿图4的线A-A'截取的截面图。
图6是图5中的区域A2的放大视图。
图7至图9是用于描述根据实施方式的面罩中的腔的布置位置的视图。
图10是图5的区域A2的另一放大视图。
图11是沿图4的线A-A'截取的另一截面图。
图12是图11中的区域A3的放大视图。
图13是图11中的区域A3的另一放大视图。
图14至图16是示出根据实施方式的设置在面罩上的指示器和突起的示例的视图。
图17是示出用户佩戴根据实施方式的面罩的视图。
图18是示出应用根据实施方式的面罩的皮肤护理装置的视图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图详细描述本发明的实施方式。
然而，本发明的要旨和范围不限于所描述的实施方式的一部分，并且可以以各种其他形式来实现，并且在本发明的要旨和范围内，可以将实施方式的元件中的一个或更多个选择性地组合和替换。
另外，除非明确地另外定义和描述，否则本发明的实施方式中使用的术语(包括技术术语和科学术语)可以解释为与本发明所属领域中的普通技术人员通常理解的含义相同的含义，并且诸如在常用词典中定义的那些术语之类的术语可以解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义。
另外，本发明的实施方式中使用的术语用于描述实施方式，并且不旨在限制本发明。在本说明书中，除非在短语中特别地说明，否则单数形式也可以包括复数形式，并且当描述为“A(和)、B和C中的至少之一(或更多个)”时，可以包括可以以A、B和C进行组合的所有组合中的至少一个。
另外，在描述本发明的实施方式的元件时，可以使用诸如第一、第二、A、B、(a)和(b)的术语。这些术语仅用于将元件与其他元件区分开，并且术语不限制元件的本质、顺序或次序。另外，当元件被描述为“连接”、“耦接”或“联接”至另一元件时，不但可以包括该元件直接“连接”至、“耦接”至或“联接”至其他元件的情况，而且还可以包括通过另一元件“连接”、“耦接”或“联接”在该元件与其他元件之间的情况。
此外，当被描述为形成或设置在每个元件的“上方(以上)”或“下方(以下)”时，“上方(以上)”或“下方(以下)”不仅可以包括两个元件彼此直接连接的情况，而且还可以包括在两个元件之间形成或设置一个或更多个其他元件的情况。此外，当被表达为“上方(以上)”或“下方(以下)”时，不但可以包括基于一个元件的上方向，而且可以包括下方向。
另外，在描述本发明的实施方式之前，第一方向可以指附图中所示的x轴方向，并且第二方向可以是与第一方向不同的方向。作为示例，第二方向可以是指附图中所示的与第一方向垂直的方向上的y轴方向。另外，水平方向可以指第一方向和第二方向，而竖直方向可以指与第一方向和第二方向中的至少一个垂直的方向。例如，水平方向可以指附图的x轴方向和y轴方向，而竖直方向可以是附图的z轴方向以及与x轴方向和y轴方向垂直的方向。
图1是根据实施方式的面罩的前视图，并且图2是图1中的区域A1的分解立体图。另外，图3是图1中的区域A1的俯视图，并且图4是图1中的区域A1的另一俯视图。另外，图5是沿图4的线A-A'截取的截面图，并且图6是图5中的区域A2的放大视图。
参照图1至图6，根据实施方式的面罩1000可以以预定的尺寸提供以覆盖用户的面部，并且具有预定的弹性以紧密地粘附至用户的面部。面罩1000可以包括与用户的皮肤接触的一个表面和与该一个表面相对的另一表面，并且面罩1000的该一个表面可以由对人体无害的材料制成，使得尽管与用户的皮肤长时间接触其也是无害的。
面罩1000可以包括开口1010和切口部分1020中的至少一个。详细地，开口1010可以形成在与用户的眼睛或嘴对应的部分中。开口1010是贯穿面向用户皮肤的面罩1000的一个表面和另一表面的区域，并且当用户佩戴面罩1000时，用户的眼睛和嘴可以插入到开口1010中，并且除了开口1010之外的区域可以紧密地粘附至用户的面部。另外，切口部分1020可以形成在与相对弯曲的脸颊线、下巴等对应的部分中，以提高面罩1000与皮肤之间的粘附性。切口部分1020可以具有以下形式：面罩1000的一个表面和另一表面被部分切割。
根据实施方式的面罩1000中除了开口1010之外的区域可以包括：第一基材110、第一导线210、压电元件300、第二导线220、第二基材120、第一基础层510、第二基础层520和腔410。
第一基材110可以是透明的，并且包括考虑到防潮性、热稳定性等而选的材料。另外，第一基材110可以包括具有柔性并且根据用户的弯曲皮肤的形状而变化的材料。作为示例，第一基材110可以包括树脂材料，例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚酰亚胺(PI)。第一基材110可以以膜的形式提供。
第一基材110可以具有约0.5μm至约5μm或更小的厚度。当第一基材110的厚度小于约0.5μm时，可能存在以下问题：第一基材110的与部件交叠的区域受设置在第一基材110上的部件(例如，压电元件300)的重量触击。因此，第一基材110的可靠性会劣化，并且会出现设置在第一基材110上的部件的对准问题。另外，当第一基材110的厚度超过约5μm时，会增加面罩1000的总厚度。因此，存在面罩1000可能不能根据用户皮肤的形状有效地变化并且因此面罩1000不能有效地粘附至用户的皮肤的问题。优选地，第一基材110可以具有约0.5μm至约3μm的厚度。当第一基材110的厚度满足上述范围时，第一基材110可以以与用户的皮肤对应的形式高效地变化，并且面罩1000的总厚度和重量可以减小，同时保持可靠性和对准特性。
第一导线210可以设置在第一基材110上。第一导线210可以电连接至压电元件300。第一导线210可以包括导电材料。作为示例，第一导线210可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铬(Cr)、镍(Ni)、钼(Mo)、钛(Ti)及其合金。另外，第一导线210可以包括诸如碳等的非金属。
第一导线210可以设置在第一基材110的面向压电元件300的一个表面上。第一导线210可以与第一基材110的一个表面直接接触并且在第一方向上延伸。第一导线210可以通过诸如沉积或印刷的工艺形成在第一基材110的一个表面上。
第一导线210可以包括设置在第一基材110上的多个第一子导线211。多个第一子导线211可以在第一方向上延伸并且可以设置成在与第一方向不同的第二方向上彼此间隔开。多个第一子导线211可以彼此电连接。此处，例如，第二方向可以是与第一方向不同的方向，并且可以是竖直方向，但是实施方式不限于此。
第一子导线211的厚度可以为约2μm至约50μm。详细地，第一子导线211的厚度可以为约2μm至约40μm。当第一子导线211的厚度小于约2μm时，电特性会劣化，并且可能难以均匀地形成。另外，当第一子导线211的厚度超过约50μm时，面罩1000的总厚度会增加，并且第一导线210的制造时间会增加。另外，第一子导线211的厚度太厚，并且因此可拉伸特性会劣化。优选地，考虑到水平方向上的可拉伸特性、可靠性和工艺效率，第一子导线211的厚度可以为约5μm至约35μm或更小。
另外，第一子导线211的线宽可以大于第一子导线211的厚度。第一子导线211的线宽可以为约50μm至约500μm。详细地，第一子导线211的线宽可以为约100μm至约450μm。当第一子导线211的线宽小于约50μm时，可靠性会劣化，并且当第一子导线211的线宽超过约500μm时，伸长率会降低并且可拉伸特性会劣化。优选地，考虑到可拉伸特性，第一子导线211的线宽可以为约100μm至约400μm。
第一导线210可以具有各种形状。例如，如图3所示，当在平面中观看时，多个第一子导线211中的每一个可以具有在第一方向上延伸的形状。详细地，多个第一子导线211可以具有与相邻第一子导线211相等的间隔，并且可以具有在第一方向上延伸的线性形状。
替选地，当在平面中观看时，多个第一子导线211中的每一个可以具有在第一方向上延伸的弯曲形状。例如，多个第一子导线211中的每一个可以以重复的波形图案的形式提供。在这种情况下，第一子导线211可以具有约3R至约20R(mm)的曲率图案。因此，当面罩1000在一个方向上被拉伸或收缩时，第一导线210可以具有可拉伸特性并且不会断开。优选地，第一子导线211可以具有约5R至约15R(mm)的曲率图案。另外，第一子导线211可以具有约10％至约50％的伸长率。因此，第一导线210可以具有更加提高的可拉伸特性，从而提高可靠性并且改善对用户皮肤的粘附性。
仍然替选地，尽管附图中未示出，但是当在平面中观看时，多个第一子导线211中的每一个可以具有以下形状：在第一方向上延伸的直线和曲线相混合的图案进行重复。例如，当从平面观看时，位于与用户面部的相对弯曲区域(鼻子、脸颊等)交叠的区域中的第一子导线211可以设置成弯曲形状，并且位于与相对平坦区域(前额等)交叠的区域中的第一子导线211可以设置成直线。因此，当面罩1000附着至用户的面部时，可以解决由于面罩1000的变形而损坏第一导线210的问题。另外，可以以直线和曲线混合的形式提供第一子导线211，以保持电特性，并且同时降低第一导线210所占的比例，从而降低总制造成本。
压电元件300可以设置在第一基材110上。详细地，压电元件300可以设置在第一导线210上并且电连接至第一导线210。压电元件300可以包括陶瓷材料。作为示例，压电元件300可以包括以下中的至少一个：ZnO、AlN、LiNbO4、锡酸锑铅、钽酸镁铅、钽酸镍铅、钛酸盐、钨酸盐、锆酸盐或包含锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)]的铅、锆钛酸镧铅(PLZT)、锆钛酸铌铅(PNZT)、BaTiO3、SrTiO3、铌镁酸铅、铌镍酸铅、铌锰酸铅、铌锌酸铅、包含钛酸铅的铅、钡、铋或铌酸锶盐。
可以将多个压电元件300设置在第一导线210上。详细地，可以将多个压电元件300设置成在第一子导线211上彼此间隔开。例如，多个压电元件300可以设置在一个第一子导线211上，并且多个压电元件300可以在第一子导线211上以相等的间隔间隔开。另外，设置在一个第一子导线211上的压电元件300与设置在第一子导线211上的在第二方向上最接近该一个第一子导线211的压电元件300可以交叠或不交叠。
另外，压电元件300中的一些可以以相等的间隔隔开，而其余的压电元件300可以以不相等的间隔设置。例如，压电元件300之间的空间可以以相等的间隔设置在与用户的面部表面的相对平坦的区域交叠的区域中。然而，压电元件300之间的空间可以不以相等的间隔设置在与相对弯曲的皮肤区域交叠的区域中。即，压电元件300之间的空间可以根据皮肤表面的弯曲程度而相对窄或大。作为示例，设置在与弯曲区域例如用户的鼻子和脸颊交叠的区域中的压电元件300之间的空间可以相对窄。因此，根据实施方式的面罩1000甚至可以向弯曲的皮肤有效地提供超声能量。
根据实施方式的压电元件300可以以预定间隔设置在面罩1000的整个区域上，并且可以在面罩1000的整个区域中均匀地生成超声能量。
压电元件300可以与第一子导线211交叠。详细地，压电元件300的下表面可以在竖直方向上与第一子导线211交叠。
压电元件300可以通过施加的电流生成波能量。例如，压电元件300可以通过施加的电流生成超声能量。详细地，压电元件300可以生成约1MHz或更小的超声能量。更详细地，压电元件300可以生成约10KHz至约1MHz的超声能量。更详细地，压电元件300可以生成约100KHz至约800KHz的超声能量。由压电元件300生成的超声能量可以在面罩1000的一个表面的方向上移动，并且可以传递到用户的皮肤以按摩用户的皮肤。
压电元件300的厚度可以为约1500μm或更小。详细地，压电元件300的厚度可以为约1200μm或更小。优选的是，压电元件300的厚度可以为约1000μm或更小。优选的是，考虑到面罩1000的总厚度和可变特性，压电元件300的厚度满足上述范围。
压电元件300可以具有各种形状。例如，压电元件300可以具有多边形柱形形状，其中下表面和上表面是多边形的并且下表面和上表面可以具有圆柱形形状。另外，压电元件300的下表面和上表面中的一个表面可以是多边形，而另一表面可以具有柱形形状。作为示例，压电元件300的下表面和上表面中的至少一个的面积可以为约100mm2或更小。
如上所述，压电元件300可以具有各种柱形形状，并且可以控制根据柱形形状生成的超声能量的强度和振荡方向。另外，可以根据压电元件300的尺寸、布置间隔、布置密度等来调整传输至用户皮肤的超声能量的强度。
压电元件300可以生成各种波。作为示例，压电元件300可以生成横波和纵波中的至少一种波，在横波中，波的行进方向与介质的振动方向垂直，在纵波中，波的行进方向与介质的振动方向相同。另外，压电元件300可以多重谐振。例如，压电元件300可以包括至少一个通孔，并且可以通过形成的通孔多重谐振。在这种情况下，为了多重谐振，通孔的上部面积可以是压电元件300的上表面的面积的约10％至约45％。另外，当压电元件300通过通孔多重谐振时，多重谐振频率区域的数目可以对应于通孔的数目。即，当通孔的数目在通孔的设定数目范围内增加时，压电元件300可以发射各种频率范围的波长，例如超声能量。
实施方式可以包括设置在压电元件300上的第一金属层350。详细地，实施方式还可以包括设置在压电元件300的上表面上的第一金属层350，以改进压电元件300的振动特性。即，第一金属层350可以是振动板。
第一金属层350可以包括金属材料并且可以电连接至压电元件300。作为示例，第一金属层350可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、锌(Zn)、铁(Fe)镍(Ni)、铬(Cr)、银(Ag)、金(Pt)、不锈钢(SUS)及其合金。
第一金属层350可以具有与压电元件300对应的形状。例如，第一金属层350可以具有与压电元件300的上表面对应的平面形状。另外，第一金属层350可以具有水平方向上的与压电元件300的上表面对应的宽度。
第一金属层350的厚度可以为约1500μm或更小。详细地，第一金属层350的厚度可以为约1200μm或更小。优选地，第一金属层350的厚度可以为约1000μm或更小。优选的是，考虑到面罩1000的可变特性和压电元件300的振动特性，第一金属层350的厚度满足上述范围。
第二基材120可以设置在压电元件300上。第二基材120可以设置在第一金属层350上。第二基材120可以是透明的，并且包括考虑防潮特性、热稳定性等而选的材料。另外，第二基材120可以包括具有柔性并且根据用户的弯曲皮肤的形状而变化的材料。作为示例，第二基材120可以包括树脂材料，例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚酰亚胺(PI)。可以以膜的形式提供第二基材120。第二基材120可以具有与第一基材110相同的材料和相同的形状，但是实施方式不限于此。
第二基材120可以具有约0.5μm至约5μm的厚度。当第二基材120的厚度小于约0.5μm时，可能存在以下问题：第二基材120的与部件交叠的区域受设置在第二基材120上的部件(例如，压电元件300)的重量撞击。因此，第二基材120的可靠性会劣化，并且会出现设置在第二基材120上的部件的对准问题。另外，当第二基材120的厚度超过约5μm时，会增加面罩1000的总厚度。因此，存在面罩1000可能不能根据用户皮肤的形状高效地变化并且因此面罩1000不能有效地粘附至用户的皮肤的问题。优选地，第二基材120可以具有约0.5μm至约3μm的厚度。当第二基材120的厚度满足上述范围时，第二基材120可以以与用户的皮肤对应的形式高效地变化，并且可以减小面罩1000的总厚度和重量，同时保持可靠性和对准特性。第二基材120可以具有与第一基材110相同的厚度，但是实施方式不限于此。
第二导线220可以设置在第二基材120下方。第二导线220可以电连接至压电元件300。第二导线220可以电连接至第一金属层350。第二导线220可以包括导电材料。作为示例，第二导线220可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铬(Cr)、镍(Ni)、钼(Mo)、钛(Ti)及其合金。另外，第二导线220可以包括诸如碳等的非金属。第二导线220可以包括与第一导线210相同的材料。
第二导线220可以设置在第二基材120的面向压电元件300的一个表面上。即，第二导线220可以设置在与第二基材120的面向用户的皮肤的另一表面相对的一个表面上。第二导线220可以与第二基材120的一个表面直接接触，并且可以在与第一导线210不同的方向上延伸。例如，第二导线220可以在与第一导线210延伸的第一方向垂直的第二方向上延伸。第二导线220可以通过诸如沉积或印刷的工艺形成在第二基材120的一个表面上。
第二导线220可以包括设置在第二基材120上的多个第二子导线221。多个第二子导线221可以在第二方向上延伸并且可以在第一方向上彼此间隔开。多个第二子导线221可以彼此电连接。
第二子导线221可以与压电元件300交叠。详细地，第二子导线221可以在竖直方向上与压电元件300的上表面交叠。
第一导线210和第二导线220可以设置成彼此交叉。详细地，当在如图3所示的平面中观看时，第一子导线211和第二子导线221可以设置成以网格形状彼此交叉，并且可以在子导线211与221之间形成其中未设置电极210和220的开口区域OA。
第二子导线221的厚度可以为约2μm至约50μm。详细地，第二子导线221的厚度可以为约2μm至约40μm。当第二子导线221的厚度小于约2μm时，电特性会劣化，并且其可能难以均匀地形成。另外，当第二子导线221的厚度超过约50μm时，面罩1000的总厚度会增加，并且第二导线220的制造时间会增加。另外，第二子导线221的厚度太厚，并且因此可拉伸特性会劣化。优选地，考虑到水平方向上的可拉伸特性、可靠性和工艺效率，第二子导线221的厚度可以为约30μm或更小。第二子导线221的厚度设置成与第一子导线211的厚度相等，使得可以提高工艺效率。
另外，第二子导线221的线宽可以大于第二子导线221的厚度。例如，第二子导线221的线宽可以为约50μm至约500μm。详细地，第二子导线221的线宽可以为约100μm至约450μm。当第二子导线221的线宽小于约50μm时，可靠性会劣化，并且当第二子导线221的线宽超过约500μm时，伸长率会降低并且可拉伸特性会劣化。优选地，考虑到可拉伸特性，第二子导线221的线宽可以为约100μm至约400μm。第二子导线221的线宽设置成与第一子导线211的线宽相等，使得可以提高工艺效率。
第二导线220可以具有各种形状。例如，如图3所示，当在平面中观看时，多个第二子导线221中的每一个可以具有在第二方向上延伸的形状。详细地，多个第二子导线221可以具有与相邻第二子导线221相等的间隔，并且可以具有在第二方向上延伸的线性形状。
替选地，当在平面中观看时，多个第二子导线221中的每一个可以具有在第二方向上延伸的弯曲形状。例如，可以以重复的波形图案的形式提供多个第二子导线221中的每一个。在这种情况下，第二子导线221可以具有约3R至约20R(mm)的曲率图案。因此，当面罩1000在一个方向上拉伸或收缩时，第二导线220可以具有可拉伸特性并且不会断开。优选地，第二子导线221可以具有约5R至约15R(mm)的曲率图案。另外，第二子导线221可以具有约10％至约50％的伸长率。因此，第二导线220可以具有更加提高的可拉伸特性，从而提高可靠性并且提高对用户皮肤的粘附性。
仍然替选地，尽管附图中未示出，但是当在平面中观看时，多个第二子导线221中的每一个可以具有以下形状：在第二方向上延伸的直线和曲线相混合的图案进行重复。例如，当在平面中观看时，位于与用户面部的相对弯曲区域(鼻子、脸颊等)交叠的区域中的第二子导线221可以设置成弯曲形状，并且位于与相对平坦区域(前额等)交叠的区域中的第二子导线221可以设置成直线。因此，当面罩1000附着至用户的面部时，可以解决由于面罩1000的变形而损坏第二导线220的问题。另外，可以以直线和曲线混合的形式提供第二子导线221，以保持电特性，并且同时降低第二导线220所占的比例，从而降低总制造成本。
优选的是，考虑到面罩1000的可拉伸特性，第二导线220具有与第一导线210相同的形状。即，优选的是，设置在相同区域中的第一导线210和第二导线220具有彼此相同的形状。
另外，尽管附图中未示出，但是第二导线220可以与第一导线210沿相同的方向在第二基材120上延伸。即，第二导线220可以与第一导线210沿相同的第一方向延伸。
根据实施方式的面罩1000可以包括第一基础层510。第一基础层510可以设置在第一基材110下方。第一基础层510可以设置在与第一基材110的一个表面相对的另一表面上。第一基础层510可以设置成与第一基材110的另一表面直接接触。
第一基础层510可以包括对人体无害的材料。另外，第一基础层510可以包括柔软且有弹性的材料。例如，第一基础层510可以包括以下中的至少一种材料：硅树脂、热塑性树脂、热塑性硅树脂、热塑性弹性体、聚氨酯弹性体、乙烯醋酸乙烯酯(EVA)、添加了无害的增塑剂和稳定剂的聚氯乙烯(PVC)。优选地，第一基础层510可以包括其中相对轻的硅树脂弹性体，其可以使与用户的皮肤接触时的刺激最小化，并且具有预定弹性。
第一基础层510可以设置成覆盖第一基材110的另一表面的整个区域。即，当在平面中观看时，第一基础层510的平面面积可以对应于第一基材110的另一表面的面积。另外，第一基础层510的平面面积可以大于第一基材110的另一表面的面积。因此，第一基础层510可以设置成围绕第一基材110的侧表面。第一基础层510可以防止第一基材110的另一表面暴露于外部。
另外，第一基础层510可以向面罩1000的一个表面的方向反射从压电元件300发射的波长。即，第一基础层510可以是反射层。为此，第一基础层510的厚度可以等于或小于稍后将描述的第二基础层520的厚度。详细地，第一基础层510的厚度可以等于或小于第二基础层520的厚度，以将从压电元件300朝向第一基材110发射的波长反射到第一基础层510。
第一基础层510的厚度可以为约50μm至约1mm。当第一基础层510的厚度小于约50μm时，第一基础层510的厚度相对小，从而不能有效地保护第一基材110。另外，当第一基础层510的厚度超过约1mm时，整个面罩1000的厚度会增加，并且从压电元件300沿第一基材110的方向发射的大部分波长穿过第一基础层510并且被第一基础层510反射，使得沿面罩1000的一个表面的方向的反射的量会是小的。另外，可以增加第二基础层520的厚度以获得沿面罩1000的一个表面的方向反射，并且从压电元件300生成的波长的区域对于反射而言是高的，并且因此其可能不适合用于面罩1000中。因此，优选的是，第一基础层510的厚度满足上述范围，以预防上述问题。更优选地，第一基础层510的厚度可以为约100μm至约700μm。即，优选的是，考虑到可靠性、反射特性和要制造的面罩1000的厚度和重量，第一基础层510具有约100μm至约700μm的厚度范围。
另外，第一基础层510可以具有形成在其中的孔等，以有效地反射从压电元件300生成的波长，但是实施方式不限于此。
根据实施方式的面罩1000可以包括第二基础层520。第二基础层520可以设置在第二基材120上。第二基础层520可以设置在与第二基材120的一个表面相对的另一表面上。第二基础层520可以设置成与第二基材120的另一表面直接接触。
第二基础层520是当面向用户的皮肤时可以与皮肤接触的部分，并且可以包括对人体无害的材料。另外，第二基础层520可以包括柔软且有弹性的材料。例如，第二基础层520可以包括以下中的至少一种材料：硅树脂、热塑性树脂、热塑性硅树脂、热塑性弹性体、聚氨酯弹性体、乙烯醋酸乙烯酯(EVA)、添加了无害的增塑剂和稳定剂的聚氯乙烯(PVC)。优选地，第二基础层520可以包括其中相对轻的硅树脂弹性体，其可以使与用户的皮肤接触时的刺激最小化，并且具有预定弹性。即，第一基础层510可以设置有与第二基础层520相同的材料。
第二基础层520可以被设置成覆盖第二基材120的另一表面的整个区域。即，当在平面中观看时，第二基础层520的平面面积可以对应于第二基材120的另一表面的面积。另外，第二基础层520的平面面积可以大于第二基材120的另一表面的面积。因此，第二基础层520可以设置成围绕第二基材120的侧表面。第二基础层520可以防止第二基材120的另一表面暴露于外部。
另外，第二基础层520可以使从压电元件300沿面罩1000的一个表面的方向发射的波长通过，以使波长传输至用户的皮肤。即，第二基础层520是传输层，并且可以是匹配层。为此，第二基础层520的厚度可以根据第二基础层520的阻抗和压电元件300的驱动频率而变化。另外，第二基础层520的厚度可以等于或大于第一基础层510的厚度。
作为示例，当压电元件300的驱动频率为约1MHz或更低时，第二基础层520的厚度可为约50μm至约1mm。当第二基础层520的厚度小于约50μm时，第二基础层520的厚度相对小，从而不能有效地保护第二基材120。另外，当第二基础层520的厚度超过约1mm时，整个面罩1000的厚度会增加。优选的是，第二基础层520的厚度满足上述范围，以使从压电元件300发射的波长有效地通过。优选地，考虑到可靠性、传输特性以及要制造的面罩1000的厚度和重量，第二基础层520的厚度可以具有100μm至约700μm的厚度范围。
因此，从压电元件300发射的波能量可以被第一基础层510反射以朝向第二基础层520移动，并且波能量可以穿过第二基材120和第二基础层520有效地传输至用户的皮肤。
根据实施方式的面罩1000可以包括第一保护层551。第一保护层551可以设置在第一基材110与第二基材120之间。第一保护层551可以设置成与第一基材110的一个表面和第二基材120的一个表面直接接触。
第一保护层551可以包括具有柔性和弹性的材料。例如，第一保护层551可以包括以下中的至少一种材料：硅树脂、热塑性树脂、热塑性硅树脂、热塑性弹性体、聚氨酯弹性体、乙烯醋酸乙烯酯(EVA)、添加了无害的增塑剂和稳定剂的聚氯乙烯(PVC)。第一保护层551可以优选地包括其中相对轻的硅树脂弹性体，其可以使与用户皮肤接触时的刺激最小化，并且具有预定弹性。
第一保护层551可以设置在第一基材110与第二基材120之间以保护压电元件300。详细地，第一保护层551可以设置在基材110与基材120之间以围绕压电元件300和导线210与导线220，从而保护部件。另外，第一保护层551可以连接至第一基础层510和第二基础层520。例如，第一钝化层551可以在面罩1000的端部区域中连接至第一基础层510和第二基础层520。即，第一基础层510、第二基础层520和第一保护层551可以一体地形成以物理地连接并且支承设置在其中的部件。第一保护层551可以包括与第一基础层510和第二基础层520相同的材料。即，由于第一基础层510、第二基础层520和第一钝化层551包括相同种类的材料，因此它们可以具有改进的接合力。
另外，参照图6，压电元件300可以包括设置在其下表面上的第一电极310。考虑到电特性，第一电极310可以设置在压电元件300的下表面的整个面积的约80％或更多的面积中。第一电极310可以设置在压电元件300的下表面的整个面积的约90％的面积中。另外，第一电极310可以设置在压电元件300的下表面的整个区域上。
第一电极310可以包括导电材料。作为示例，第一电极310可以包括金属材料。详细地，第一电极310可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铬(Cr)、镍(Ni)、钼(Mo)、钛(Ti)及其合金。
第一电极310可以设置成面向第一导线210并且可以电连接至第一导线210。详细地，第一接合层251可以设置在第一电极310与第一导线210之间，并且第一电极310和第一导线210可以通过第一接合层251物理地且电气地连接。在这种情况下，考虑到物理和电连接特性，第一接合层251与第一导线210之间的交叠比率可以为约20％或更大。
第一接合层251可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铬(Cr)、镍(Ni)、钼(Mo)、钛(Ti)及其合金。
第一接合层251的厚度可以为约100μm或更小。详细地，第一接合层251的厚度可以为约20μm至约80μm。优选地，第一接合层251的厚度可以为约30μm至约60μm。
第一接合层251可以设置在第一电极310与第一导线210之间，以用作导电粘合剂。作为示例，第一接合层251可以以糊剂的形式施加在第一导线210上，并且包括第一电极310的压电元件300可以设置在第一接合层251上。因此，压电元件300可以物理地且电气地连接至第一导线210。
另外，压电元件300可以包括设置在其上表面上的第二电极320。考虑到电特性，第二电极320可以设置在压电元件300的上表面的整个面积的约80％或更多的面积中。详细地，第二电极320可以设置在压电元件300的上表面的整个面积的约90％的面积中。另外，第二电极320可以设置在压电元件300的下表面的整个区域上。
第二电极320可以包括导电材料。作为示例，第二电极320可以包括金属材料。详细地，第二电极320可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铬(Cr)、镍(Ni)、钼(Mo)、钛(Ti)及其合金。
第二电极320可以设置成面向第二导线220，并且可以电连接至第二导线220。详细地，电连接至第二电极320的第一金属层350可以设置在第二电极320上。第二接合层252可以设置在第一金属层350与第二导线220之间，并且第二电极320和第二导线220可以通过第二接合层252电连接。考虑到物理和电连接特性，第二接合层252与第二导线220之间的交叠比率可以为约20％或更大。
第二接合层252可以包括以下中的至少一种金属：铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铬(Cr)、镍(Ni)、钼(Mo)、钛(Ti)及其合金。
第二接合层252的厚度可以为约100μm或更小。详细地，第二接合层252的厚度可以为约20μm至约80μm。优选地，第二结合层252的厚度可以为约30μm至约60μm。
第二接合层252可以设置在第二电极320与第二导线220之间，以用作导电粘合剂。详细地，第二接合层252可以设置在第一金属层350与第二导线220之间，以用作导电粘合剂。作为示例，第二接合层252可以以糊剂的形式施加在第二导线220上，并且设置有第一金属层350的压电元件300可以设置在第二接合层252上。因此，压电元件300可以电连接至第二导线220，并且第一基材110和第二基材120可以以预定间隔彼此间隔开。
在这种情况下，第一接合层251可以设置有与第二接合层252相同的厚度，以提高面罩1000的可变性。另外，第一接合层251的厚度可以与第二接合层252的厚度不同。详细地，第一接合层251的厚度可以大于第二接合层252的厚度。因此，从压电元件300朝向第一基材110发射的波长可以被第一接合层251反射以朝向第二基材120移动。
此后，如上所述，可以将第一保护层551填充在第一基材110与第二基材120之间的空间中。第一保护层551可以设置成围绕压电元件300、第一导线210、第二导线220、第一接合层251、第二接合层252、第一电极310和第二电极320，并且可以防止部件暴露于外部。
根据实施方式的面罩1000可以包括腔410。腔410可以设置在与压电元件300对应的区域中。详细地，腔410可以设置在沿竖直方向与压电元件300交叠的区域中。
腔410可以是由空气组成的气隙。腔410可以将从压电元件300朝向第一基础层510发射的超声能量朝向第二基础层520反射。
腔410可以具有各种形状。例如，腔410的平面形状可以是圆形或多边形，但是实施方式不限于此。另外，腔410可以具有与压电元件300对应的平面形状，但是实施方式不限于此。
腔410可以设置在第一基础层510与压电元件300之间。腔410可以设置在第一基材110与压电元件300之间。详细地，腔410可以设置在第一电极310与第一基材110之间。腔410可以设置在与第一导线210交叠的区域中。例如，腔410可以设置在与第一接合层251和第一子导线211的一部分交叠的区域中。另外，第一保护层551可以设置在腔410周围。
腔410的厚度可以为约200μm或更小。详细地，腔410的厚度可以为约150μm或更小。例如，腔410的厚度可以与第一接合层251和第一导线210的厚度之和对应。将参照稍后描述的附图更详细地描述腔410的形状。
图7至图9是用于描述根据实施方式的面罩中的腔的布置位置的视图。将参照图7至图9更详细地描述根据实施方式的腔410的布置关系、形状等。
首先，参照图7，腔410可以设置在与第一导线210交叠的区域中。详细地，腔410可以设置在沿竖直方向与第一导线210交叠的区域中。详细地，腔410可以设置在与第一子导线211的与压电元件300交叠的部分交叠的区域中。
腔410可以设置在腔410的中心与压电元件300的中心交叠的区域中。腔410可以设置在压电元件300的中心区域，以有效地反射从压电元件300发射的波能量。
腔410在水平方向上的宽度可以与压电元件300在水平方向上的宽度不同。例如，当压电元件300和腔410中的每一个的平面形状是圆形时，腔410的半径d1可以小于压电元件300的半径d2。详细地，腔410的半径d1可以在压电元件300的半径d2的约40％或更大的范围内小于压电元件300的半径d2。更详细地，腔410的半径d1可以在压电元件300的半径d2的约45％或更大的范围内小于压电元件300的半径d2。当腔410的半径d1小于压电元件300的半径d2的约40％时，在气隙中反射的波的反射率会降低。因此，期望腔410的半径d1满足上述范围。另外，优选的是，腔410的半径d1为压电元件300的半径d2的约50％或更大，以使损耗最小化并且有效地反射。
另外，参照图8，腔410可以在竖直方向上与压电元件300交叠，并且可以在竖直方向上与第一导线210不交叠。即，腔410可以与第一导线210间隔开。
另外，参照图9，在第一基材110与压电元件300之间可以形成至少一个腔410。作为示例，当存在多个腔410时，多个腔410可以在水平方向上间隔开。多个腔410中的一些可以在竖直方向上与第一导线210交叠，而另一些可以在竖直方向上与第一导线210不交叠。在这种情况下，多个腔410中的每一个的直径可以小于压电元件300的直径。另外，多个腔410可以具有彼此相同的直径。替选地，考虑到反射率，多个腔410可以具有不同的直径。作为示例，与压电元件300的中心交叠的腔410的直径可以大于与压电元件300的边缘交叠的腔410的直径。
即，根据实施方式的面罩1000可以由腔410有效地向上反射从压电元件300发射的波能量。另外，由于面罩1000包括腔410，因此可以减小第一基础层510的厚度。因此，根据实施方式的面罩1000可以具有更薄的形状并且可以以更轻的重量实现。
图10是图5的区域A2的另一放大视图。参照图10，根据实施方式的面罩1000可以包括第三基材421。第三基材421可以设置在第一基材110与压电元件300之间。详细地，第三基材421可以设置在压电元件300与腔410之间。更详细地，第三基材421可以在面向腔410的情况下与第一电极310直接接触，并且可以覆盖第一电极310。
第三基材421可以包括基于硅树脂的材料和基于聚合物的材料。另外，第三基材421可以具有与腔410对应的形状。作为示例，第三基材421的平面形状可以与腔410的平面形状相同。因此，第三基材421可以保护压电元件300。详细地，第三基材421可以被设置成覆盖第一电极310，并且可以防止第一电极310被腔410暴露。
第三基材421的厚度可以小于腔410的厚度。例如，第三基材421可以具有约150μm或更小的厚度。详细地，第三基材421可以具有约120μm或更小的厚度。更详细地，第三基材421可以具有约100μm或更小的厚度。优选的是，第三基材421的厚度满足上述范围，以通过腔410有效地反射波能量。
图11是沿图4的线A-A'截取的另一截面图，并且图12是图11中的区域A3的放大视图。另外，图13是图11中的区域A3的另一放大视图。在图11至图13的描述中，省略了对与上述面罩的配置相同或相似的配置的描述，并且将相同的附图标记分配给相同或相似的配置。
参照图11和12，根据实施方式的腔410可以设置在第一基础层510与第一基材110之间。腔410可以设置在第一基础层510的面向压电元件300的一个表面上。详细地，腔410可以具有从第一基础层510的一个表面朝向与该一个表面相对的另一表面的凹形形状。
腔410可以设置在与压电元件300对应的区域中。腔410可以在竖直方向上与压电元件300交叠。详细地，腔410的中心可以与压电元件300的中心交叠。
腔410的厚度可以为约200μm或更小。详细地，腔410的厚度可以为约150μm或更小。另外，腔410在水平方向上的宽度可以与压电元件300在水平方向上的宽度不同或相同。例如，当压电元件300和腔410中的每一个的平面形状是圆形时，腔410的直径d3可以是压电元件300的直径的约40％至约160％。详细地，腔410的直径d3可以是压电元件直径的约50％至约150％。当腔410的直径d3满足上述范围时，压电元件300的波能量可以有效地向上反射，例如,朝向第二基材120。另外，可以通过腔410使第一基础层510的厚度减小。因此，根据本实施方式的面罩1000可以具有更薄的形状。
另外，参照图13，根据实施方式的面罩1000可以包括第四基材422。第四基材422可以设置在第一基材110与腔410之间。详细地，第四基材422可以设置在第一基材110的面向腔410的一个表面上。第四基材422可以被设置成与第一基材110的一个表面直接接触。
第四基材422可以包括基于硅树脂的材料和基于聚合物的材料。另外，第四基材422可以具有与腔410对应的形状。作为示例，第四基材422的平面形状可以与腔410的平面形状相同。另外，第四基材422的厚度可以小于腔410的厚度。例如，第四基材422可以具有约150μm或更小的厚度。详细地，第四基材422可以具有约120μm或更小的厚度。更详细地，第四基材422可以具有约100μm或更小的厚度。优选的是，第四基材422的厚度满足上述范围，以有效地反射波能量通过腔410。
图14至图16是示出其中在根据实施方式的面罩上设置指示器和突起的示例的视图。
参照图14，面罩1000可以包括指示器610。指示器610可以包括可以向用户传输视觉或听觉信息的构件中的至少一个，例如LED、显示器、蜂鸣器等。
指示器610可以设置在面罩1000的外部，以显示面罩1000的操作状态。作为示例，指示器610可以通过从蜂鸣器生成的听觉信息来提供关于面罩1000的操作开始的信息、通知操作正在进行的信息以及关于操作完成的信息。另外，指示器610可以根据LED的发光颜色来显示操作状态。另外，指示器可以通过显示器显示关于操作频域的信息。
另外，参照图15和16，面罩1000可以包括设置在其外表面上的突起620。详细地，突起620可以设置在第二基础层520的面向用户皮肤的一个表面上。
突起620可以包括对人体无害的材料，并且可以设置成从第二基础层520的一个表面朝向用户的皮肤突出。突起620可以以彼此间隔开的多个点的形式设置在第二基础层520的一个表面上。另外，突起620可以以彼此间隔开的多个直线或曲线的形式设置在第二基础层520的一个表面上。另外，突起620可以以单个螺旋形状设置在第二基础层520的一个表面上。
当用户佩戴面罩1000时，突起620可以在面罩1000与用户的皮肤之间形成预定空间。因此，可以防止在佩戴面罩1000时生成的压力和/或从压电元件300生成的超声能量将面罩1000与皮肤之间的化妆品或药物推出到面罩1000的边缘区域。即，突起620可以用作防止化妆品或药物从面罩1000中流出的分隔壁。因此，用户可以使用面罩1000将化妆品或药物有效地注入皮肤中。
图17是示出用户佩戴根据实施方式的面罩的视图，并且图18是示出应用根据实施方式的面罩的皮肤护理装置的视图。
参照图17，用户50可以佩戴面罩1000。面罩1000可以包括上述开口1010，并且用户50可以通过开口1010确保视野。另外，面罩1000可以包括上述切口部分1020，并且面罩1000可以通过切口部分1020有效地紧密粘附至弯曲皮肤。在这种情况下，第二基础层520的一个表面可以与用户50的皮肤直接接触。另外，药物或化妆品可以设置在第二基础层520与用户50的皮肤之间，使得基础层520可以与用户50的皮肤直接或间接接触。
面罩1000可以通过经由连接至面罩1000的外部电源接收电力来操作。另外，面罩1000可以通过经由设置在面罩1000外部(例如，在第一基础层510的下表面上)的供电单元(未示出)接收电力来操作。
另外，参照图18，面罩1000可以应用于皮肤护理装置1以进行操作。详细地，参照图18，皮肤护理装置1可以包括主体10，其中主体10的一侧是开口的，并且在其中包括容纳空间11。
主体10可以包括可以是轻质的并且预防外部冲击或接触造成的损坏的材料。作为示例，主体10可以包括塑料或陶瓷材料，可以具有相对于外部环境的提高的可靠性，并且可以保护设置在容纳空间11内部的面罩1000。另外，主体10可以包括在与用户眼睛对应的位置处形成的观察部分13。观察部分13形成在与面罩1000的开口1010对应的区域中，并且用户可以通过观察部分13确保外部视野。
面罩1000可以设置在主体10的容纳空间11中。面罩1000可以设置在主体10与用户的皮肤之间。详细地，面罩1000的第一基础层510可以设置成面向主体10的容纳空间11，并且面罩1000的第二基础层520可以被设置成面向用户的皮肤。
面罩1000可以耦接至主体10。例如，面罩1000可以通过紧固构件(未示出)固定至容纳空间11的设定位置，并且可以具有从主体10可拆卸的结构。
可以通过设置在面罩1000外部(例如，第一基础层510的下表面上)的供电单元(未示出)向面罩1000供电。替选地，面罩1000可以连接至主体10，以通过设置在主体10上的供电单元(未示出)向面罩1000供电。
面罩1000可以包括设置在第一基础层510的下表面上的可变形构件(未示出)。可变形构件可以与第一基础层510直接接触并且可以被设置成面向主体10的容纳空间11。即，可变形构件可以设置在主体10与面罩1000的第一基础层510之间。
可变形构件可以包括其形状因外部压力而改变的材料。例如，可变形构件可以包括诸如气隙或海绵的材料，但是实施方式不限于此，并且可以包括其形状因外部压力而改变的各种材料。因此，当用户戴上皮肤护理装置1时，可变形构件可以变形为与用户面部的形状对应的形状。因此，超声面罩1000和用户的皮肤可以有效地紧密粘附至彼此。另外，当多个用户戴上皮肤护理装置1时，可变形构件变形以对应于每个面部形状，使得用户的皮肤和面罩1000可以有效地紧密粘附至彼此。
在上述实施方式中描述的特性、结构、效果等包括在本发明的至少一个实施方式中，但是不限于仅一个实施方式。此外，每个实施方式中示出的特性、结构和效果可以由本领域技术人员针对其他实施方式进行组合或修改。因此，应当理解的是，与这样的组合和修改相关的内容被包括在本发明的范围内。
另外，以上描述已经集中在实施方式上，但是其仅是说明性的并且不限制本发明。实施方式所属领域的技术人员可以理解，在不脱离实施方式的基本特征的情况下，以上未示出的各种修改和应用是可能的。例如，可以修改和实现在实施方式中特别表示的每个部件。另外，应当理解的是，与这样的修改和应用相关的差异被包括在所附权利要求书中限定的本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种面罩，包括：
设置在第一基础层上的第一基材；
设置在所述第一基材上的第一导线；
设置在所述第一导线上的压电元件；
设置在所述压电元件上的第二导线；
设置在所述第二导线上的第二基材；
设置在所述第二基材上的第二基础层；以及
设置在所述第一基础层与所述压电元件之间的腔，
其中，所述腔设置在沿竖直方向与所述压电元件交叠的区域中。
2.根据权利要求1所述的面罩，其中，所述腔设置在所述第一基材与所述压电元件之间，并且
所述腔在水平方向上的宽度是所述压电元件在水平方向上的宽度的40％或更大。
3.根据权利要求2所述的面罩，其中，所述压电元件沿竖直方向与所述第一导线交叠。
4.根据权利要求3所述的面罩，其中，至少一个腔设置在所述第一基材与所述压电元件之间的腔中。
5.根据权利要求2所述的面罩，包括：
设置在所述压电元件与所述腔之间的第三基材，
其中，所述第三基材包括基于硅树脂的材料和基于聚合物的材料。
6.根据权利要求1所述的面罩，其中，所述腔设置在所述第一基础层与所述第一基材之间。
7.根据权利要求6所述的面罩，其中，所述腔在水平方向上的宽度是所述压电元件在水平方向上的宽度的40％至160％。
8.根据权利要求7所述的面罩，包括：
设置在所述第一基材与所述腔之间的第四基材，
其中，所述第四基材包括基于硅树脂的材料和基于聚合物的材料。
9.根据权利要求1所述的面罩，包括：
保护层，所述保护层设置在所述第一基材与所述第二基材之间以围绕所述压电元件，
其中，所述保护层包括与所述第一基础层和第二基础层中的至少一个的材料相同的材料。
10.一种皮肤护理装置，包括：
主体，所述主体的一侧是开口的，并且在开口区域内部形成容纳空间；以及
设置在所述开口区域中并且连接至所述主体的面罩，
其中，所述面罩是根据权利要求1至9中任一项所述的面罩。
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