CN113702007A - 一种离轴光束轴差的标定装置及其标定方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种离轴光束轴差的标定装置及其标定方法,包括主凹反射镜组件、次凹反射镜组件、反射镜组件、二维倾角传感器、焦面组件、保护罩以及工控机;所述主凹反射镜组件、次凹反射镜组件、反射镜组件、二维倾角传感器、焦面组件以及工控机均相互间隔设置,且所述主凹反射镜组件与次凹反射镜组件相对,所述反射镜组件与焦面组件相邻设置,所述二维倾角传感器以及焦面组件与所述工控机电性连接,所述保护罩包裹主凹反射镜组件、次凹反射镜组件、反射镜组件、二维倾角传感器以及焦面组件,所述工控机位于所述保护罩外部。
Description
【技术领域】
本发明涉及光电设备技术领域,尤其涉及一种离轴光束轴差的标定装置及其标定方法。
【背景技术】
多路激光光束合成技术广泛应用于工业、军事、国防等领域。国内外针对多路激光光束合成的研究不断深入发展,通过对多路光束的合成,实现高能量激光输出。而对多路激光光束的轴差及光束质量进行检测也成为必要,通过实时数据检测能更真实有效的对合成激光的各项指标进行评价。
随着目前多路激光光束合成种类的增多,越来越需要一种能够满足大范围多种多路激光光束合成的光轴轴差标定装置。传统的多路激光光束合成,主要采取透射式、离轴一反、卡式、离轴两反、离轴三反的聚焦形式。其中透射式由于对材料的均匀性等要求比较高,要实现大口径的话,材料和加工比较困难;离轴一反可以实现大口径,没有色差,缺点是长度太长;卡式可以实现大口径,没有色差,缺点是有遮挡;离轴两反可以实现大口径,没有色差,缺点是次镜口径在300mm左右,凸面检测和加工有难度,成本比较高;离轴三反可以实现大口径,没有色差,缺点是装配难度大。
鉴于此,实有必要提供一种新型的离轴光束轴差的标定装置及其标定方法以克服上述缺陷。
【发明内容】
本发明的目的是提供一种离轴光束轴差的标定装置,能够解决大口径光束聚焦及标定的问题,且结构较为简单,装配难度低。
为了实现上述目的,本发明提供一种离轴光束轴差的标定装置,包括主凹反射镜组件、次凹反射镜组件、反射镜组件、二维倾角传感器、焦面组件、保护罩以及工控机;
所述主凹反射镜组件、次凹反射镜组件、反射镜组件、二维倾角传感器、焦面组件以及工控机均相互间隔设置,且所述主凹反射镜组件与次凹反射镜组件相对,所述反射镜组件与焦面组件相邻设置,所述二维倾角传感器以及焦面组件与所述工控机电性连接,所述保护罩包裹主凹反射镜组件、次凹反射镜组件、反射镜组件、二维倾角传感器以及焦面组件,所述工控机位于所述保护罩外部。
优选的,所述主凹反射镜组件包括主凹离轴反射镜、框架以及底座,所述主凹离轴反射镜可拆卸安装于所述框架上,所述框架转动连接于所述底座上。
优选的,所述主凹反射镜组件还包括连接轴,所述连接轴转动安装于所述框架上并穿过框架。
优选的,所述框架上设置有第一连接块组件以及第二连接块组件,所述第一连接块组件包括第一安装块以及第一旋动件,所述第一安装块位于所述主凹离轴反射镜的外围,所述第一旋动件转动安装于所述第一安装块上并与所述主凹离轴反射镜连接;所述第二连接块组件包括第二安装块以及第二旋动件,所述第二安装块安装于所述框架的底部并位于所述框架与底座之间,所述第二旋动件转动安装于所述第二安装块上。
优选的,所述框架上还设置有旋转调整组件,所述旋转调整组件转动安装于所述框架的顶部上并与其中一个第一连接块组件的第一旋动件连接。
优选的,所述底座上设置有基板,所述第二安装块安装于所述基板上并位于所述框架与基板之间。
优选的,所述次凹反射镜组件包括边框、次凹离轴反射镜以及安装座;所述边框安装于所述安装座上,所述次凹离轴反射镜安装于所述边框上。
优选的,所述安装座上开设有窗口,所述边框安装于所述窗口内。
优选的,所述安装座上设置有升降调节件,所述升降调节件转动安装于安装座的顶部并与所述边框连接。
优选的,所述焦面组件包括衰减片、激光探测卡、第一相机、激光器组件、镂空板、第二相机以及位移台;所述激光探测卡、第一相机、激光器组件、镂空板以及第二相机均安装于所述位移台上,所述衰减片与所述激光探测卡、第一相机、激光器组件、镂空板、第二相机以及位移台相邻设置。
优选的,所述焦面组件还包括支撑台,所述位移台安装于所述支撑台上,所述衰减片滑动安装于所述支撑台上并与所述激光探测卡、第一相机、激光器组件、镂空板、第二相机以及位移台相邻设置。
一种离轴光束轴差的标定装置的标定方法,包括如下步骤:
S1:通过调整主凹反射镜组件和次凹反射镜组件的前倾与后仰的角度,二维倾角传感器对主凹离轴反射镜的光轴与水平面夹角的进行实时检测,以便实现对待测激光的光束的远场稳定成像;
S2:打开激光光斑分析仪的软件操作界面,用来控制和采集光斑数据信息;
S3:将被测产品平稳安装在离轴光束轴差的标定装置的固定工装上,通过装置焦面组件上的激光器组件和镂空板调整被测产品的光轴,使被测产品的光轴与离轴光束轴差的标定装置的光轴一致;
S4:给被测产品上安装的激光器组件通电使被测产品上安装的激光器组件发出的激光发射出平行光束,发射出的平行光束通过离轴光束轴差的标定装置聚焦在焦面组件的第一相机上,通过选用不同衰减系数的衰减片对被测产品的激光进行衰减,再移动位移台切换到第二相机使第二相机对准衰减片探测激光光斑;
S5:被测产品的激光光斑汇聚在第二相机上,通过对工控机的操作界面进行控制实现对光斑进行采样和显示;
S6:第二相机获取聚焦后的光斑分布信息并上传至工控机,通过应用激光光斑分析仪实时计算光斑的大小、位置、稳定性的信息,计算待标定光束的指向偏差。
与现有技术相比,本发明提供的一种离轴光束轴差的标定装置,有益效果在于:1)能够解决大口径光束聚焦及标定的问题,且结构较为简单,装配难度低。
2)通过采取主凹反射镜组件和次凹反射镜组件,减小了整体的外形尺寸,且主凹反射镜组件与次凹反射镜组件之间无遮拦,具备实现多路子光束光轴指向检测标定的功能。
3)能够通过激光光斑分析仪,实时计算光斑的大小、位置、稳定性等信息,通过离轴光束轴差的标定装置的焦距计算待标定光束的指向偏差。
【附图说明】
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本发明的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明提供的离轴光束轴差的标定装置的立体图。
图2为图1所示的离轴光束轴差的标定装置的主凹反射镜组件的立体图。
图3为图1所示的离轴光束轴差的标定装置的次凹反射镜组件的立体图。
图4为图1所示的离轴光束轴差的标定装置的焦面组件的立体图。
附图标记:1、主凹反射镜组件;2、次凹反射镜组件;3、反射镜组件;4、二维倾角传感器;5、焦面组件;6、工控机;10、保护罩;11、主凹离轴反射镜;12、框架;13、底座;14、连接轴;121、第一连接块组件;122、第二连接块组件;1211、第一安装块;1212、第一旋动件;1221、第二安装块;1222、第二旋动件;123、旋转调整组件;131、基板;21、边框;22、次凹离轴反射镜;23、安装座;231、窗口;232、升降调节件;51、衰减片;52、激光探测卡;53、第一相机;54、激光器组件;55、镂空板;56、第二相机;57、位移台;58、支撑台。
【具体实施方式】
为了使本发明的目的、技术方案和有益技术效果更加清晰明白,以下结合附图和具体实施方式,对本发明进行进一步详细说明。应当理解的是,本说明书中描述的具体实施方式仅仅是为了解释本发明,并不是为了限定本发明。
需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况上述术语在本发明中的具体含义。
此外,术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”、的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。此外,“多个”、“若干”的含义是指两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
如图1所示,本发明提供一种离轴光束轴差的标定装置,包括主凹反射镜组件1、次凹反射镜组件2、反射镜组件3、二维倾角传感器4、焦面组件5、保护罩10以及工控机6;
所述主凹反射镜组件1、次凹反射镜组件2、反射镜组件3、二维倾角传感器4、焦面组件5以及工控机6均相互间隔设置,且所述主凹反射镜组件1与次凹反射镜组件2相对,所述反射镜组件3与焦面组件5相邻设置,所述二维倾角传感器4以及焦面组件5与所述工控机6电性连接,所述保护罩10包裹主凹反射镜组件1、次凹反射镜组件2、反射镜组件3、二维倾角传感器4以及焦面组件5,所述工控机6位于所述保护罩10外部;
所述主凹反射镜组件1、次凹反射镜组件2以及反射镜组件3组成一个汇聚光路系统,汇聚光路系统的汇聚点在所述焦面组件5上,所述焦面组件5用于获取激光能量衰减、聚焦后的光斑分布信息,并通过数据线缆传输给工控机6,所述二维倾角传感器4用于检测主凹反射镜光轴与水平面夹角的数据并将数据上传至工控机6;所述工控机6配合激光光斑分析仪实时计算光斑的大小、位置、稳定性等信息。
使用时,当被测产品上的激光发射器发射的激光经过保护罩10上开设的窗孔照射至主凹反射镜组件1上,所述主凹反射镜组件1将该激光反射至次凹反射镜组件2上,所述次凹反射镜组件2再将该激光反射至反射镜组件3上,所述反射镜组件3将该激光再反射至焦面组件5上。
请一同参阅图2至图4,进一步的,所述主凹反射镜组件1包括主凹离轴反射镜11、框架12以及底座13,所述主凹离轴反射镜11可拆卸安装于所述框架12上,所述框架12转动连接于所述底座13上。具体的,所述主凹离轴反射镜11为微晶玻璃制成,具有六维调节功能,可改善第一相机53和第二相机56的成像质量。
进一步的,所述主凹反射镜组件1还包括连接轴14,所述连接轴14转动安装于所述框架12上并穿过框架12,如此使得所述框架12在所述底座13上翻转运动,以便调整主凹离轴反射镜11前倾与后仰的角度。
进一步的,所述框架12上设置有第一连接块组件121以及第二连接块组件122,所述第一连接块组件121包括第一安装块1211以及第一旋动件1212,所述第一安装块1211位于所述主凹离轴反射镜11的外围,所述第一旋动件1212转动安装于所述第一安装块1211上并与所述主凹离轴反射镜11活动连接;所述第二连接块组件122包括第二安装块1221以及第二旋动件1222,所述第二安装块1221安装于所述框架12的底部并位于所述框架12与底座13之间,所述第二旋动件1222转动安装于所述第二安装块1221上,并与主凹离轴反射镜11连接。具体的,所述第一连接块组件121的数量为四个,且四个第一连接块组件121分别位于所述主凹离轴反射镜11的上、下、左、右侧。
当需要主凹离轴反射镜11前倾时,旋动第二连接块组件122的第二旋动件1222顺时针方向旋转带动主凹离轴反射镜11的下半部后退,使得主凹离轴反射镜11的上半部前倾。反之,当需要主凹离轴反射镜11后仰时,旋动第二连接块组件122的第二旋动件1222逆时针方向旋转带动主凹离轴反射镜11的下半部前进,使得主凹离轴反射镜11的上半部后仰。通过这样的设计,可实现微调主凹离轴反射镜11的前倾与后仰的角度。
进一步的,所述框架12上还设置有旋转调整组件123,所述旋转调整组件123转动安装于所述框架12的顶部上并与其中一个第一连接块组件121的第一旋动件1212连接。如此,通过转动所述旋转调整组件123可以微调主凹离轴反射镜11轴向偏摆的角度。
进一步的,所述底座13上设置有基板131,所述第二安装块1221安装于所述基板131上并位于所述框架12与基板131之间。
进一步的,所述次凹反射镜组件2包括边框21、次凹离轴反射镜22以及安装座23;所述边框21安装于所述安装座23上,所述次凹离轴反射镜22安装于所述边框21上。具体的,所述次凹离轴反射镜22为微晶玻璃制成。
进一步的,所述安装座23上开设有窗口231,所述边框21安装于所述窗口231内。
进一步的,所述安装座23上设置有升降调节件232,所述升降调节件232转动安装于安装座23的顶部并与所述边框21连接。如此,当旋转所述升降调节件232时,可通过旋转升降调节件232带动边框21升降运动。
例如,当旋转所述升降调节件232沿顺时针方向转动时,所述升降调节件232带动边框21下降运动,所述次凹离轴反射镜22随边框21下降运动;当旋转所述升降调节件232沿逆时针方向转动时,所述升降调节件232带动边框21上升运动,所述次凹离轴反射镜22随边框21上升运动。通过将所述次凹反射镜在边框21上摆动、翻转,可以实现微调主凹离轴反射镜11的前倾与后仰的角度和主凹离轴反射镜11轴向偏摆的角度。
进一步的,所述焦面组件5包括衰减片51、激光探测卡52、第一相机53、激光器组件54、镂空板55、第二相机56以及位移台57;所述激光探测卡52、第一相机53、激光器组件54、镂空板55以及第二相机56均安装于所述位移台57上,所述衰减片51与所述激光探测卡52、第一相机53、激光器组件54、镂空板55、第二相机56以及位移台57相邻设置。具体的,所述第一相机53为USB相机,所述第二相机56为面阵相机。
当被测产品上的激光发射器发射的激光经过保护罩10上开设的窗孔照射至主凹反射镜组件1的主凹离轴反射镜11上,所述主凹离轴反射镜11将该激光反射至次凹反射镜组件2的次凹离轴反射镜22上,所述次凹离轴反射镜22再将该激光反射至反射镜组件3上,所述反射镜组件3将该激光再反射至焦面组件5的衰减片51上,再通过移动位移台57切换第一相机53(USB相机)或第二相机56(面阵相机)与衰减片51对准探测被衰减的激光光斑。
通过所述激光探测卡52、第一相机53、激光器组件54、镂空板55和第二相机56解决调试和测量中的光轴指向问题。由于被测产品发出的1064nm激光经过折射后汇聚在焦面组件5处,人的肉眼对无法观测到1064nm激光,因此在初始调试过程中,需要激光探测卡52将1064nm激光光斑显现出来,便于初始调试;
要实现大范围内多路1064nm子光束光轴指向检测标定的问题,需要将在焦点位置汇聚大量的激光能量,激光有很强的光强,且光密度很大,具有很强的损伤能力,先使用第一相机53(USB相机)进行对准衰减片51探测被衰减的激光光斑,当激光能量衰减的很小的时候,移动位移台57切换到第二相机56(面阵相机)使衰减片51与第二相机56对准衰减片51探测被衰减的激光光斑,如此可以实现对第二相机56(面阵相机)进行有效保护,防止第二相机56损坏,减少经济损失;
镂空板55用于辅助激光器组件54找被测产品发出激光的光轴,有效提高被测产品的效率,以方便测量;第二相机56(面阵相机)用来获取激光能量衰减、聚焦后的光斑分布,并通过数据线缆传输给工控机6,再通过激光光斑分析仪,实时计算光斑的大小、位置、稳定性等信息,通过离轴光束轴差的标定装置的焦距计算待标定光束的指向偏差。
进一步的,所述焦面组件5还包括支撑台58,所述位移台57安装于所述支撑台58上,所述衰减片51滑动安装于所述支撑台58上并与所述激光探测卡52、第一相机53、激光器组件54、镂空板55、第二相机56以及位移台57相邻设置。
通过操作位移台57移动光探测卡、第一相机53、激光器组件54、镂空板55以及第二相机56,实现五个部件在产品发出的激光经折射后的激光焦点位置相互切换,精确标识上述五个部件的位置,保证各个部件与焦点位置偏差不大于0.05mm。
该离轴光束轴差的标定装置通过采取主凹反射镜组件1和次凹反射镜组件2,减小了整体的外形尺寸,且主凹反射镜组件1与次凹反射镜组件2之间无遮拦,具备实现多路子光束光轴指向检测标定的功能。
本发明提供一种离轴光束轴差的标定装置的标定方法,包括如下步骤:
S1:通过调整主凹反射镜组件1和次凹反射镜组件2的前倾与后仰的角度,二维倾角传感器4对主凹离轴反射镜光轴与水平面夹角的进行实时检测,以便实现对待测激光的光束的远场稳定成像;
S2:打开激光光斑分析仪的软件操作界面,用来控制和采集光斑数据信息;
S3:将被测产品平稳安装在离轴光束轴差的标定装置的固定工装上,通过装置焦面组件5上的激光器组件54和镂空板55调整被测产品的光轴,使被测产品的光轴与离轴光束轴差的标定装置的光轴一致;
S4:给被测产品上安装的激光器组件通电使被测产品上安装的激光器组件发出的激光发射出平行光束,发射出的平行光束通过离轴光束轴差的标定装置聚焦在焦面组件5的第一相机53上,通过选用不同衰减系数的衰减片对被测产品的激光进行衰减,一直衰减到第一相机53没有损坏的情况下,再移动位移台57切换到第二相机56使第二相机56对准衰减片51探测激光光斑;
S5:被测产品的激光光斑汇聚在第二相机56上,通过对工控机6的操作界面进行控制实现对光斑进行采样和显示;
S6:第二相机56获取聚焦后的光斑分布信息并上传至工控机6,通过应用激光光斑分析仪实时计算光斑的大小、位置、稳定性的信息,实现对激光的光束聚焦、光斑采样、光斑质心计算等功能,并通过离轴光束轴差的标定装置的焦距计算待标定光束的指向偏差。
本发明并不仅仅限于说明书和实施方式中所描述,因此对于熟悉领域的人员而言可容易地实现另外的优点和修改,故在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念的精神和范围的情况下,本发明并不限于特定的细节、代表性的设备和这里示出与描述的示例。
Claims (10)
1.一种离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,包括主凹反射镜组件(1)、次凹反射镜组件(2)、反射镜组件(3)、二维倾角传感器(4)、焦面组件(5)、保护罩(10)以及工控机(6);
所述主凹反射镜组件(1)、次凹反射镜组件(2)、反射镜组件(3)、二维倾角传感器(4)、焦面组件(5)以及工控机(6)均相互间隔设置,且所述主凹反射镜组件(1)与次凹反射镜组件(2)相对,所述反射镜组件(3)与焦面组件(5)相邻设置,所述二维倾角传感器(4)以及焦面组件(5)与所述工控机(6)电性连接,所述保护罩(10)包裹主凹反射镜组件(1)、次凹反射镜组件(2)、反射镜组件(3)、二维倾角传感器(4)以及焦面组件(5),所述工控机(6)位于所述保护罩(10)外部。
2.如权利要求1所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述主凹反射镜组件(1)包括主凹离轴反射镜(11)、框架(12)以及底座(13),所述主凹离轴反射镜(11)可拆卸安装于所述框架(12)上,所述框架(12)转动连接于所述底座(13)上。
3.如权利要求2所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述主凹反射镜组件(1)还包括连接轴(14),所述连接轴(14)转动安装于所述框架(12)上并穿过框架(12)。
4.如权利要求2所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述框架(12)上设置有第一连接块组件(121)以及第二连接块组件(122),所述第一连接块组件(121)包括第一安装块(1211)以及第一旋动件(1212),所述第一安装块(1211)位于所述主凹离轴反射镜(11)的外围,所述第一旋动件(1212)转动安装于所述第一安装块(1211)上并与所述主凹离轴反射镜(11)连接;所述第二连接块组件(122)包括第二安装块(1221)以及第二旋动件(1222),所述第二安装块(1221)安装于所述框架(12)的底部并位于所述框架(12)与底座(13)之间,所述第二旋动件(1222)转动安装于所述第二安装块(1221)上。
5.如权利要求4所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述框架(12)上还设置有旋转调整组件(123),所述旋转调整组件(123)转动安装于所述框架(12)的顶部上并与其中一个第一连接块组件(121)的第一旋动件(1212)连接。
6.如权利要求1所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述次凹反射镜组件(2)包括边框(21)、次凹离轴反射镜(22)以及安装座(23);所述边框(21)安装于所述安装座(23)上,所述次凹离轴反射镜(22)安装于所述边框(21)上。
7.如权利要求6所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述安装座(23)上设置有升降调节件(232),所述升降调节件(232)转动安装于安装座(23)的顶部并与所述边框(21)连接。
8.如权利要求1所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述焦面组件(5)包括衰减片(51)、激光探测卡(52)、第一相机(53)、激光器组件(54)、镂空板(55)、第二相机(56)以及位移台(57);所述激光探测卡(52)、第一相机(53)、激光器组件(54)、镂空板(55)以及第二相机(56)均安装于所述位移台(57)上,所述衰减片(51)与所述激光探测卡(52)、第一相机(53)、激光器组件(54)、镂空板(55)、第二相机(56)以及位移台(57)相邻设置。
9.如权利要求8所述的离轴光束轴差的标定装置,其特征在于,所述焦面组件(5)还包括支撑台(58),所述位移台(57)安装于所述支撑台(58)上,所述衰减片(51)滑动安装于所述支撑台(58)上并与所述激光探测卡(52)、第一相机(53)、激光器组件(54)、镂空板(55)、第二相机(56)以及位移台(57)相邻设置。
10.如权利1-9任意一项所述的一种离轴光束轴差的标定装置的标定方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:通过调整主凹反射镜组件(1)和次凹反射镜组件(2)的前倾与后仰的角度,二维倾角传感器(4)对主凹离轴反射镜的光轴与水平面夹角的进行实时检测,以便实现对待测激光的光束的远场稳定成像;
S2:打开激光光斑分析仪的软件操作界面,用来控制和采集光斑数据信息;
S3:将被测产品平稳安装在离轴光束轴差的标定装置的固定工装上,通过装置焦面组件(5)上的激光器组件(54)和镂空板(55)调整被测产品的光轴,使被测产品的光轴与离轴光束轴差的标定装置的光轴一致;
S4:给被测产品上安装的激光器组件通电使被测产品上安装的激光器组件发出的激光发射出平行光束,发射出的平行光束通过离轴光束轴差的标定装置聚焦在焦面组件(5)的第一相机(53)上,通过选用不同衰减系数的衰减片(51)对被测产品的激光进行衰减,再移动位移台(57)切换到第二相机(56)使第二相机(56)对准衰减片(51)探测激光光斑;
S5:被测产品的激光光斑汇聚在第二相机(56)上,通过对工控机(6)的操作界面进行控制实现对光斑进行采样和显示;
S6:第二相机(56)获取聚焦后的光斑分布信息并上传至工控机(6),通过应用激光光斑分析仪实时计算光斑的大小、位置、稳定性的信息,计算待标定光束的指向偏差。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116718358A (zh) * | 2023-08-11 | 2023-09-08 | 吉林省巨程智造光电技术有限公司 | 一种光轴偏移标定系统及方法 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5889626A (en) * | 1995-03-15 | 1999-03-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and device for focusing laser beam |
US20070165224A1 (en) * | 2006-01-13 | 2007-07-19 | Deck Francis J | Grating monochromator / spectrograph |
WO2008155241A2 (de) * | 2007-06-18 | 2008-12-24 | Scansonic Gmbh | Vorrichtung zum bearbeiten eines werkstücks mittels eines laserstrahls |
CN101782435A (zh) * | 2010-03-11 | 2010-07-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光参数综合测试系统 |
CN102854633A (zh) * | 2012-08-29 | 2013-01-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种用于多波段激光合束对准的装置 |
US20140085741A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Trumpf Laser-Und Systemtechnik Gmbh | Beam guide and method for adjusting the opening angle of a laser beam |
CN105467569A (zh) * | 2016-01-08 | 2016-04-06 | 苏州大学 | 一种离轴三反射镜前置光学系统 |
CN108168842A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种可控红外目标发生装置 |
CN109239897A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-01-18 | 中国电子科技集团公司第十研究所 | 一种离轴三反无焦光学系统 |
CN109443253A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-08 | 北京国泰蓝盾科技有限公司 | 一种激光同轴度检测装置及其方法 |
CN110186650A (zh) * | 2019-06-17 | 2019-08-30 | 哈尔滨工业大学 | 新型激光红外可见光三模复合目标模拟器 |
CN110849475A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-02-28 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 基于反射式光学系统的大功率光纤激光合成与采样装置 |
CN210774617U (zh) * | 2019-08-16 | 2020-06-16 | 深圳市捍卫者安全装备有限公司 | 一种光轴一致性检测装置 |
US20200319473A1 (en) * | 2019-04-03 | 2020-10-08 | Ii-Vi Delaware Inc. | Device and method for the generation of a double or multiple spot in laser material processing |
CN111912354A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-11-10 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种高功率激光集束远场组合焦斑测量方法及系统 |
CN111929879A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-11-13 | 上海卫星装备研究所 | 小f数斜轴大视场离轴三反系统及其装调方法 |
CN112068296A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-12-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大视场平行光管 |
-
2021
- 2021-09-02 CN CN202111025908.4A patent/CN113702007B/zh active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5889626A (en) * | 1995-03-15 | 1999-03-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method and device for focusing laser beam |
US20070165224A1 (en) * | 2006-01-13 | 2007-07-19 | Deck Francis J | Grating monochromator / spectrograph |
WO2008155241A2 (de) * | 2007-06-18 | 2008-12-24 | Scansonic Gmbh | Vorrichtung zum bearbeiten eines werkstücks mittels eines laserstrahls |
CN101782435A (zh) * | 2010-03-11 | 2010-07-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光参数综合测试系统 |
CN102854633A (zh) * | 2012-08-29 | 2013-01-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种用于多波段激光合束对准的装置 |
US20140085741A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Trumpf Laser-Und Systemtechnik Gmbh | Beam guide and method for adjusting the opening angle of a laser beam |
CN105467569A (zh) * | 2016-01-08 | 2016-04-06 | 苏州大学 | 一种离轴三反射镜前置光学系统 |
CN108168842A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种可控红外目标发生装置 |
CN109443253A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-08 | 北京国泰蓝盾科技有限公司 | 一种激光同轴度检测装置及其方法 |
CN109239897A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-01-18 | 中国电子科技集团公司第十研究所 | 一种离轴三反无焦光学系统 |
US20200319473A1 (en) * | 2019-04-03 | 2020-10-08 | Ii-Vi Delaware Inc. | Device and method for the generation of a double or multiple spot in laser material processing |
CN110186650A (zh) * | 2019-06-17 | 2019-08-30 | 哈尔滨工业大学 | 新型激光红外可见光三模复合目标模拟器 |
CN210774617U (zh) * | 2019-08-16 | 2020-06-16 | 深圳市捍卫者安全装备有限公司 | 一种光轴一致性检测装置 |
CN110849475A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-02-28 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 基于反射式光学系统的大功率光纤激光合成与采样装置 |
CN111912354A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-11-10 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种高功率激光集束远场组合焦斑测量方法及系统 |
CN111929879A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-11-13 | 上海卫星装备研究所 | 小f数斜轴大视场离轴三反系统及其装调方法 |
CN112068296A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-12-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大视场平行光管 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
徐先锋;马天宇;徐靓;孙玉婷;焦志勇;: "离轴角度精密监控的数字全息实验装置", 大学物理, no. 10, pages 34 - 37 * |
王若帆;张国玉;曹秒;王卉;吴畏;: "红外脉冲激光测距仪发收光轴一致性测试方法研究", 长春理工大学学报(自然科学版), no. 01, pages 60 - 62 * |
金伟其;王霞;张其扬;姜玉华;李雅灿;樊凡;范敬凡;王宁;: "多光轴一致性检测技术进展及其分析", 红外与激光工程, no. 03, pages 526 - 531 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116718358A (zh) * | 2023-08-11 | 2023-09-08 | 吉林省巨程智造光电技术有限公司 | 一种光轴偏移标定系统及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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