CN113419158A - 测试防护装置及具有其的测试设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种测试防护装置及具有其的测试设备。该测试防护装置包括防霜罩,防霜罩用于与测试设备的面板连接,以与面板配合围成用于容纳测试板的密封腔,密封腔用于容纳干燥气,以控制密封腔内的露点。该测试防护装置可以防止凝露。
Description
技术领域
本发明涉及测试设备领域,特别是涉及一种测试防护装置及具有其的测试设备。
背景技术
随着集成电路技术的快速发展,大多数电子设备被用于不同温度环境中。为模拟电子元件在高低温环境的设备性能,需将电子元件放置于相应的温度环境中进行性能测试,以区分出不良品。
在低温测试过程中,若测试设备及被测电子元件温度低于露点温度,与大气接触就会产生结露现象。露水化成水后渗入电路板,容易造成短路,损毁被测电子元件或电路板等。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种本发明提供一种测试防护装置及具有其的测试设备,以解决现有的低温测试容易结露而容易损坏被测电子元件或电路板的问题。
本发明提供的一种测试防护装置,其包括防霜罩,防霜罩用于与测试设备的面板连接,以与面板配合围成用于容纳测试板的密封腔,密封腔用于容纳干燥气,以控制密封腔内的露点。
如此设置,该防霜罩与测试设备的面板连接从而与面板配合构成密封腔,以使测试板能够放置在密封腔内,以使测试板和外部空气相对隔绝,通过将干燥气充入密封腔内,可以控制密封腔内的露点,例如将露点降低,并进一步隔绝测试板和外部空气,从而防止在低温环境下凝露而导致水进入测试板内造成测试板的电路板和电子元件等的损坏,由此保证测试的安全性和可靠性。
在其他实施方式中,防霜罩的高度可调节。
如此设置,可以使得防霜罩的高度根据测试板的高度进行调节,可以提升适应性。而且可以提升操作的便捷性,避免频繁更换防霜罩。
在其他实施方式中,防霜罩包括上防霜罩板和下防霜罩板,上防霜罩板用于与面板连接,下防霜罩板可移动地连接在上防霜罩板。
如此设置,可以使调整更加方便。不仅确保防霜罩的高度可以调节,而且加工、生产较为方便、从而降低加工和生产成本,同时通过简化结构,减少零部件数量,进而降低零部件损坏的概率,以提升结构可靠性。此外,防霜罩的密封腔的高度越小,意味着需要干燥的空间越小,则对干燥气的需求越低,也就越节能,因此这种可调节的防霜罩可以在适应测试板的情况下尽量减少需要干燥的空间的体积,从而减少对干燥气体的需求以实现节省能源的目的。
在其他实施方式中,测试防护装置还包括干燥气体产生器和吹气块,吹气块设置在防霜罩内,干燥气体产生器与吹气块连接,并向密封腔内输送干燥气。
如此设置,能够可靠地向密封腔内输送气体,并使得干燥气可以在防霜罩内均匀分布,保证对测试板与外部空气隔离的效果。
在其他实施方式中,测试防护装置还包括监测器和控制器,监测器设置在防霜罩内,并检测防霜罩内的露点值,控制器分别与监测器和干燥气体产生器连接,根据露点值和设定的目标值控制干燥气体产生器输出的干燥气量。
如此设置,可以可靠地控制输送干燥气量,既保证机台稳定运行,且实现节能目的。
在其他实施方式中,测试防护装置还包括底部防霜罩板,底部防霜罩板可拆卸地与下防霜罩板连接。
如此设置,可以使调整更加方便,根据测试板高度给定合理的防霜罩空间。此外,还可以方便地实现测试板的装入和卸除,提升测试效率,降低操作的复杂程度。
在其他实施方式中,测试防护装置还包括搭扣,搭扣连接于底部防霜罩板和下防霜罩板,以使底部防霜罩板与下防霜罩板可拆卸地连接。
如此设置,可以使得底部防霜罩板拆卸更加方便,而且可以使得底部防霜罩板和下防霜罩板快速、可靠、方便地连接和拆卸,而且可以提升连接的可靠性,避免两者脱离。
在其他实施方式中,底部防霜罩板和下防霜罩板之间设置有柔性密封层,柔性密封层能够填充底部防霜罩板和下防霜罩板之间的间隙。
如此设置,可以提升密封性。此外,柔性密封层可以增加底部防霜罩板和下防霜罩板之间的距离,从而使得搭扣被拉伸的更紧,进而提升了底部防霜罩板和下防霜罩板之间连接的紧固程度和可靠性。
在其他实施方式中,底部防霜罩板上设置有开口,开口上安装有钣金件和柔性密封件,钣金件将柔性密封件抵接在底部防霜罩板上,柔性密封件上设置有供线材通过的划口。
如此设置,钣金件可以对柔性密封件进行可靠固定,而柔性密封件上的划口可以供线缆通过从而实现方便地走线。此外,柔性密封件自身的形变能力能够很好地适应线缆的形状,从而包围线缆,实现密封,防止空气进入防霜罩内。
根据本申请的另一方面,提供一种测试设备,测试设备包括上述的测试防护装置。
如此设置,可以提升测试设备的可靠性,使得在测试过程中,通过干燥气体产生器为整个测试设备提供所需的干燥气。通过防霜罩覆盖测试板,并在防霜罩的密封腔内通入干燥气,经过监测器实时检测反馈露点值,给芯片测试提供一个干燥的测试环境,防止测试区周围机构在低温测试条件下结霜结露。
附图说明
图1为根据本发明的实施例的测试设备的结构示意图;
图2为根据本发明的实施例的测试设备的测试区的局部示意图;
图3为根据本发明的实施例的防护罩的结构示意图;
图4为根据本发明的实施例的防护罩的第一视角立体结构示意图;
图5为根据本发明的实施例的防护罩的第二视角的立体结构示意图。
附图标记说明:
1、干燥气体产生器;2、搭扣;3、上防霜罩板;4、测试区;5、测试板;6、下防霜罩板;7、透明罩体;8、柔性密封层;9、监测器;10、下压装置;11、面板;12、测试座;13、钣金件;14、柔性密封件;15、底部防霜罩板;16、吹气块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施方式中的附图,对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本发明保护的范围。
需要说明的是,当组件被称为“装设于”另一个组件,它可以直接装设在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件,它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参阅图1-图4,本实施例提供一种测试防护装置,其包括防霜罩,防霜罩用于与测试设备的面板11连接,以与面板11配合围成用于容纳测试板5的密封腔,密封腔用于容纳干燥气,以控制密封腔内的露点。
该防霜罩与测试设备的面板11连接从而与面板11配合构成密封腔,以使测试板5能够放置在密封腔内,以使测试板5和外部空气相对隔绝,通过将干燥气充入密封腔内,可以控制密封腔内的露点,如将露点降低,并进一步隔绝测试板5和外部空气,从而防止在低温环境下凝露而导致水进入测试板5内造成测试板5的电路板和电子元件等的损坏,由此保证测试的安全性和可靠性。
可选地,为了适应不同高度的测试板5,防霜罩的高度可调节,以对不同的测试板5进行测试时可以根据需要对防霜罩的高度可调节,从而使得测试更加方便,操作更加快速。
在一示例中,为了确保防霜罩的高度可以调节,而且加工、生产较为方便、从而降低加工和生产成本,同时通过简化结构,减少零部件数量,进而降低零部件损坏的概率,以提升结构可靠性,防霜罩包括上防霜罩板3和下防霜罩板6,上防霜罩板3用于与面板11连接,下防霜罩板6可移动地连接在上防霜罩板3。这样通过上防霜罩板3和下防霜罩板6的配合可以形成密封腔,以容纳干燥气。而且此种结构的防霜罩还使得防霜罩的加工和装配更加方便,可以有效降低生产成本和装配成本。此外,上防霜罩板3和下防霜罩板6之间能够相对移动,因此使得防霜罩的高度调整更加方便可靠。
在本实施例中,依据测试板5尺寸确定上防霜罩板3的尺寸,以在将上防霜罩板3固定在面板11下方时可以罩设测试板5。上防霜罩板3可以由材质较轻的隔热材料制作。
上防霜罩板3的具体形状和材质等可以根据需要确定,本实施例对此不作限制。
下防霜罩板6可以通过螺丝、螺栓、铆钉等紧固件固定在上防霜罩板3上,并使得下防霜罩板6能够相对上防霜罩板3移动。可根据测试板5的高度调节下防霜罩板6的位置,保证测试板5置于防霜罩内即可。从节约能源及操作便捷性角度考虑,防霜罩的密封腔的高度越小,意味着需要干燥的空间越小,则对干燥气的需求越低,也就越节能,因此这种可调节的防霜罩可以在适应测试板5的情况下尽量减少需要干燥的空间的体积,从而减少对干燥气体的需求以实现节省能源的目的。
下防霜罩板6的具体形状和材质等也可以根据需要确定,其可以与上防霜罩板3的形状和材质相同,也可以不同,本实施例对此不作限制。
在本实施例中,为了便于观察测试板5的状态,下防霜罩板6可以设置为透明罩板,通过透明罩板一方面可以保证密封性,另一方面便于观察防霜罩内的情况。
可选地,测试防护装置还包括底部防霜罩板15,底部防霜罩板15可拆卸地与下防霜罩板6连接。通过设置底部防霜罩板15和下防霜罩板6配合,可以更加方便地将底部防霜罩板15与下防霜罩板6进行分离,从而可以在不拆卸上防霜罩板3和下防霜罩板6的情况下使测试板5能够更加方便地装入防霜罩内或者从防霜罩内拆卸下来,如此提升了测试的便捷性。
在一可行方式中,可以将下防霜罩板6设置为不透明的材料,而将设置在下防霜罩板6的底部防霜罩板15的至少部分设置为透明的。例如,在底部防霜罩板15上连接透明罩板,以使底部防霜罩板15的至少部分为透明,以便于通过透明罩板进行观察。
当然,本实施例中只是例举了一种可行的方式,但并不限于此,在其他实施例中,可以采用其他的方式和位置设置透明罩板,只要能够实现对防霜罩内的观察即可。
可选地,测试防护装置还包括搭扣2,搭扣2连接于底部防霜罩板15和下防霜罩板6,以使底部防霜罩板15与下防霜罩板6可拆卸地连接。搭扣2的材质可以根据需要确定。通过设置搭扣2可以使得底部防霜罩板15和下防霜罩板6快速、可靠、方便地连接和拆卸,而且可以提升连接的可靠性,避免两者脱离。
可选地,为了提升密封性,底部防霜罩板15和下防霜罩板6之间设置有柔性密封层8,柔性密封层8能够填充底部防霜罩板15和下防霜罩板6之间的间隙。通过设置柔性密封层8对间隙进行密封,可以有效提升防霜罩整体的密封性,进而避免干燥气泄漏,也能够提升测试板5与外部空气的隔绝性能。
柔性密封层8可以是橡胶密封层、海绵密封层等等任何适当材质的密封层,只要其具有一定的形变能力,能够填充底部防霜罩板15和下防霜罩板6之间的间隙即可。
可选地,为了便于走线,底部防霜罩板15上设置有开口,开口上安装有钣金件13和柔性密封件14,钣金件13将柔性密封件14抵接在底部防霜罩板15上,例如,钣金件13和柔性密封件14固定在透明罩体7上,透明罩体7固定在底部防霜罩板15上,柔性密封件14上设置有供线材通过的划口。通过设置柔性密封件14一方面可以覆盖开口,以实现隔绝外部空气的作用;另一方面柔性密封件14上的划口能够供线材通过,且柔性密封件14在划口处也能够适应线材的外形,有效地密封线材的外周,从而提升密封性,尽量避免外部空气进行到防护罩内,从而防止凝露。
在一种可行方式中,柔性密封件14可以是变形海绵,这样就可以提升密封性,且有效降低生产成本,且具有较好的形变能力,可以满足密封需求。钣金件13可以是任何适当的钣金件,其材质和形状可以根据需要确定,本实施例对此不作限制。
可选地,测试防护装置还包括干燥气体产生器1和吹气块16,吹气块16设置在防霜罩内,干燥气体产生器1与吹气块16连接,并向密封腔内输送干燥气。通过干燥气体产生器1可以产生需要的干燥气,从而通过吹气块16通入密封腔内,由此满足通入干燥气的需求。
干燥气体产生器1可以根据需要选择适当的产生器,只要能够满足供气量需求即可。优选地,由于不同高度的测试板5对应的防霜罩的高度不同,导致腔体的空间大小不同,需要充入的气量不同,因此需要干燥气体产生器1具有一定的气量调节能力,或者其最大输出量能够满足最大需求量。
吹气块16在防霜罩内的设置位置可以根据需要确定,例如,若防霜罩为矩形壳体,则吹气块16可以设置在防霜罩的顶角位置处。优选地,吹气块16的数量为至少两个,且分别设置在防暑罩的一个对角线的两端,这样分布的吹气块16能够保证干燥气可以快速地、均匀地充满防霜罩,从而保证对露点的控制效果。
两个吹气块16的吹气方向可以相同,也可以不同。当然,在其他实施例中,可以采用其他的方式分布设置吹气块16,只要能够满足通气需求即可。
可选地,为了保证可靠性,且降低能源消耗,测试防护装置还包括监测器9和控制器,监测器9设置在防霜罩内,并检测防霜罩内的露点值,控制器分别与监测器9和干燥气体产生器1连接,根据露点值和设定的目标值控制干燥气体产生器1输出的干燥气量。通过监测器9可以实时监测,以使控制器能够根据密封腔内实时的露点值与设定的目标值之间的差值对干燥气体产生器1进行控制,这样既可以保证密封腔内的露点值,而且不会造成资源浪费。
通过设置监测器9实现了对露点值的实时监测,进而提升了智能化程度和实时性,既保证了使用效果,又避免了资源浪费。
在本实施例中,为了保证线缆能够通过,将变形海绵裁剪成比钣金件13略小尺寸,在中间划开一个划口,并使变形海绵与钣金件13一同固定在透明罩板上,划口保证线缆插头可通过即可。
将固定好变形海绵和钣金件13的透明罩板固定在底部防霜罩板15上,形成一个整体,底部防霜罩板15通过搭扣2与下防霜罩板6连接使得两者更加方便拆卸。在底部防霜罩板15上方粘贴一层海绵胶带(即柔性密封层8),起到密封的作用。且由于海绵胶带的厚度会使搭扣2内弹簧变形,导致固定作用力变大,因而使得搭扣2固定效果更好,底部防霜罩板15与下防霜罩板6的连接更加可靠、且紧固性更好。
由于要根据测试需求更换测试板5,因此采用搭扣2的设计方式使得底部防霜罩板15和下防霜罩板6之间更加便于拆装,进而使得测试板5的更换更加方便、省力。
透明罩板可以采用无色透明玻璃制作,或者采用其他适当的材料制作。通过设置透明罩板使得便于观察测试板5状态。测试机上的线缆通过变形海绵(即柔性密封件14)上的划口连接到测试板5。变形海绵的变形能力能够较好填补由于线缆安装留下的间隙,防止空气进入防霜罩内。
干燥气从干燥气体产生器1产生流经面板11下方,到达防霜罩内,通过吹气块16吹到防霜罩内。监测器9(可以是露点传感器)置于防霜罩内靠近面板11处,较好地监测测试板5附近的露点值,并将监测到的露点值反馈到控制器,控制器通过反馈露点值与目标值(例如生产温度)进行比对,输出适当的干燥气体流量,起到防结露的同时,避免能源浪费。
根据本申请的另一方面,提供一种测试设备,测试设备包括上述的测试防护装置。
具有该测试防护装置的测试设备由于搭扣2结构,因此能够满足测试需求需经常更换基体(base)和测试板5的需求。此外,在底部防霜罩板15与下防霜罩板6接触的地方粘贴一层海绵胶带,不仅填充了两个零件接触的缝隙,形成一个较好的密封腔体,且使搭扣2内侧的压簧被拉长,固定作用力更大,固定效果更好。
用变形海绵覆盖钣金件13上的开口,不仅保证了走线的可行性,且能够较好地防止空气进去防霜罩内,通过安装无色透明玻璃制作的透明罩板,便于观察测试板5状态。
在使用时,通过干燥气体产生器1为整个测试设备提供所需的干燥气。通过防霜罩覆盖测试板5,并在防霜罩的密封腔内通入干燥气,经过监测器9实时检测反馈露点值,给芯片测试提供一个干燥的测试环境,防止测试区4周围机构在低温测试条件下结霜结露。
该测试装置在测试板5四周围设一个密封腔,往密封腔内通入干燥气,降低露点来防止测试板5在低温测试环境中结霜结露,其适用于电子元件低温测试领域,尤其是模拟电子元件低温测试环境的领域。
该测试装置的密封腔内设置监测器9可以对密封腔内的露点进行监测和反馈,可以实时判断测试区4露点是否满足测试需求,可以自动调节气量,节能环保。
防霜罩可以罩设整个测试板5,因此其对结构配合要求低,可以实现与测试板5无干涉,从而使得装配和测试效率更高,操作也更加简单方便,有效提升了测试效率,降低了测试成本。防霜罩具有上下调节功能,能够适配不同高度的测试板5,这样不仅使得在测试不同高度的测试板5时不需要频繁地更换防霜罩,也不需要制作处多种不同高度的防霜罩,降低了生产成本和测试时更换防霜罩的时间成本,而且当测试板5的高度较低的情况下,可以通过向上调节防霜罩能够使腔体变小,从而使得需要充入的干燥气气量减小,由此使得加工的干燥气的气量减少,从而实现减少能耗、达到节能的目的。
该测试设备的测试区4内设置有测试座12和下压装置10,测试时,电子元器件放置于测试座12,通过下压装置10对电子元器件进行压抵测试。利用该测试设备进行测试,提升了测试过程中的安全性,也提升了测试的准确性,尤其是避免了在低温测试时,由于温度过低导致凝露,使得电路板和电子元件等由于短路而被损坏的问题。
以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
本技术领域的普通技术人员应当认识到,以上的实施方式仅是用来说明本发明,而并非用作为对本发明的限定,只要在本发明的实质精神范围内,对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围内。
Claims (10)
1.一种测试防护装置,其特征在于,包括防霜罩,所述防霜罩用于与测试设备的面板连接,以与面板配合围成用于容纳测试板的密封腔,所述密封腔用于容纳干燥气,以控制所述密封腔内的露点。
2.根据权利要求1所述的测试防护装置,其特征在于,所述防霜罩的高度可调节。
3.根据权利要求2所述的测试防护装置,其特征在于,所述防霜罩包括上防霜罩板和下防霜罩板,所述上防霜罩板用于与所述面板连接,所述下防霜罩板可移动地连接在所述上防霜罩板。
4.根据权利要求1所述的测试防护装置,其特征在于,所述测试防护装置还包括干燥气体产生器和吹气块,所述吹气块设置在所述防霜罩内,所述干燥气体产生器与所述吹气块连接,并向所述密封腔内输送干燥气。
5.根据权利要求4所述的测试防护装置,其特征在于,所述测试防护装置还包括监测器和控制器,所述监测器设置在所述防霜罩内,并检测所述防霜罩内的露点值,所述控制器分别与所述监测器和所述干燥气体产生器连接,根据所述露点值和设定的目标值控制所述干燥气体产生器输出的干燥气量。
6.根据权利要求3所述的测试防护装置,其特征在于,所述测试防护装置还包括底部防霜罩板,所述底部防霜罩板可拆卸地与所述下防霜罩板连接。
7.根据权利要求6所述的测试防护装置,其特征在于,所述测试防护装置还包括搭扣,所述搭扣连接于所述底部防霜罩板和所述下防霜罩板,以使所述底部防霜罩板与所述下防霜罩板可拆卸地连接。
8.根据权利要求6或7所述的测试防护装置,其特征在于,所述底部防霜罩板和所述下防霜罩板之间设置有柔性密封层,所述柔性密封层能够填充所述底部防霜罩板和所述下防霜罩板之间的间隙。
9.根据权利要求6所述的测试防护装置,其特征在于,所述底部防霜罩板上设置有开口,所述开口上安装有钣金件和柔性密封件,所述钣金件将所述柔性密封件抵接在所述底部防霜罩板上,所述柔性密封件上设置有供线材通过的划口。
10.一种测试设备,其特征在于,所述测试设备包括权利要求1-9中任一项所述的测试防护装置。
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CN110546748A (zh) * | 2017-04-24 | 2019-12-06 | 东京毅力科创株式会社 | 晶圆检查装置 |
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