CN113311313A - 一种集成电路测试机的自诊断电路及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及测量电变量技术领域，具体地说是一种集成电路测试机的自诊断电路及方法。包括集成电路测试机，集成电路测试机内设有数字通道模块、精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块、多功能继电器模块，其特征在于：所述的集成电路测试机上设有若干ODD‑EVEN载具板、Utility Diag载具板，ODD‑EVEN载具板一端连接数字通道模块，ODD‑EVEN载具板另一端分别连接精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块，Utility Diag载具板连接多功能继电器模块；同现有技术相比，充分利用了集成电路测试机本身的资源，无需使用额外的测试设备，大大节省了设备成本。采用互联互测方案，对相同的测试项，可以并发性测试，奇数和偶数通道各测一次即可，节省了时间成本。
Description
技术领域
本发明涉及测量电变量技术领域，具体地说是一种集成电路测试机的自诊断电路及方法。
背景技术
集成电路测试机内设有数字通道模块、精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块、多功能继电器模块，最多有1152 数字通道，72 个测量单元通道，72个供电通道、72个高压数字通道。由于测试资源较多，用外用设备手工量测已经为不现实，并且依赖于外部设备对集成电路测试机的测试资源进行检测，会增加测试成本。
目前集成电路测试机有几种自诊断方法，一是选取典型芯片，制作专用诊断电路测试板，基于该芯片完成测试。该方法的优点是能够模拟测试环境完成自诊断功能，缺点是为了完成芯片外围电路测试，制作完整的电路，制作成本高，同时受芯片功能限制，可能不能覆盖集成电路测试机的所有资源通道。二是采用外接测量仪器，通过专用电路板切换通道，并且将外接仪器的测量结果读回。该方法的优点是第三方仪器与测试机独立，能够准确定位诊断。缺点是，此类第三方测试仪器价格昂贵，而且不可能每个测试通道挂一个仪器，因此集成电路测试机的多通道只能串行测量，造成测量时间太长，动辄几个小时。
发明内容
本发明为克服现有技术的不足，设计一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，利用ODD-EVEN载具板与Utility Diag载具板，充分利用集成电路测试机自身资源，将被测量资源和测量资源成对捆绑进行自诊断，不依赖外部设备进行测试，降低了测试成本，节约了测试时间。
为实现上述目的，设计一种集成电路测试机的自诊断电路，包括集成电路测试机，集成电路测试机内设有数字通道模块、精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块、多功能继电器模块，其特征在于：所述的集成电路测试机上设有若干ODD-EVEN载具板、Utility Diag载具板，ODD-EVEN载具板一端连接数字通道模块，ODD-EVEN载具板另一端分别连接精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块，Utility Diag载具板连接多功能继电器模块；
其自诊断方法具体包括如下步骤：
S1，在集成电路测试机上安装ODD-EVEN载具板；
S2，分别对数字通道模块、精密测量单元模块、供电模块进行自诊断；
S3，对高压数字通道模块进行自诊断；
S4，在集成电路测试机上安装Utility Diag载具板；
S5，对多功能继电器模块进行自诊断；
所述的步骤S2中对数字通道模块进行自诊断的方法具体包括如下步骤：S21-1，选择要诊断的数字通道模块；
S21-2，数字通道模块上所有奇数数字通道输出VIH电压，偶数数字通道的测量单元测量对应的奇数数字通道的输出电压值；
S21-3，比较步骤S21-2中偶数数字通道测量电压值与奇数数字通道的输出电压值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-4，数字通道模块上所有偶数数字通道输出VIL电压，奇数数字通道的测量单元测量对应的偶数数字通道的输出电压值；
S21-5，比较步骤S21-4中奇数数字通道测量电压值与偶数数字通道的输出电压值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-6，数字通道模块上所有奇数数字通道选择不同的电流范围，并输出电流，偶数数字通道选择与对应的奇数数字通道相同的电流范围，并测量对应的奇数数字通道的输出电流值；
S21-7，比较步骤S21-6中偶数数字通道测量电流值与奇数数字通道的输出电流值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-8，数字通道模块上所有偶数数字通道选择不同的电流范围，并输出电流，奇数数字通道选择与对应的偶数数字通道相同的电流范围，并测量对应的偶数数字通道的输出电流值；
S21-9，比较步骤S21-8中奇数数字通道测量电流值与偶数数字通道的输出电流值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-10，结束；
所述的步骤S2中对精密测量单元模块、供电模块进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S22-1，关闭高压数字通道模块的通道，选择要诊断的精密测量单元模块和供电模块；
S22-2，所有供电模块通道输出电压；
S22-3，精密测量单元模块通道测量对应的供电模块的输出电压值；
S22-4，比较精密测量单元模块通道的测量电压值与供电模块通道的输出电压值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S22-5，所有精密测量单元模块通道选择电流范围，并输出电流；
S22-6，供电模块通道选择与对应的精密测量单元模块通道相同的电流范围，并测量对应的精密单元模块通道的输出电流值；
S22-7，比较供电模块通道的测量电流值与精密测量单元模块通道的输出电流值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S22-8，结束；
所述的步骤S3中对高压数字通道模块进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S31，关闭供电模块通道，将待自诊断的高压数字通道模块与精密测量单元模块连接；
S32，高压数字通道模块中各通道输出电压；
S33，精密测量单元模块测量分压电压值Vm；
S34，通过计算得出测量电压值Vh；
S35，比较测量电压值Vh与高压数字通道模块各通道的输出电压值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S36，结束；
所述的步骤S5中对进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S51，多功能继电器模块通电；
S52，所有多功能继电器模块通道设为断路；
S53，判断Utility Diag载具板上的发光二极管是否全灭，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S54，所有多功能继电器模块通道设为通路；
S55，判断Utility Diag载具板上的发光二极管是否全亮，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S56，所有多功能继电器模块通道依次设为通路、断路的状态；
S57，判断Utility Diag载具板上发光二极管是否依次为亮、灭状态，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S58，所有多功能继电器模块通道依次设为断路、通路的状态；
S59，判断Utility Diag载具板上发光二极管是否依次为灭、亮状态，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S510，多功能继电器模块断电，结束。
所述的ODD-EVEN载具板的数量为9个，Utility Diag载具板的数量为1个。
所述的ODD-EVEN载具板上设有四组相同的数字通道模块自诊断电路，数字通道模块的自诊断电路包括第一端口至第三十二端口，第一端口至第三十二端口依次两两连接。
所述的ODD-EVEN载具板上设有两组相同的精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路，精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路包括DPS_F0端口至DPS_F3端口、DPS_S0端口至DPS_S3端口、DPS_R0端口至DPS_R3端口、DPS_RS0端口至DPS_RS3端口、PMU_F0端口至PMU_F3端口、PMU_S0端口至PMU_S3端口、PMU_R0端口至PMU_R3端口、PMU_RS0端口至PMU_RS3端口，HV0端口至HV3端口，第一近地电阻至第四近地电阻，第一分压电阻至第四分压电阻，接地电阻；
第一近地电阻、第二近地电阻、第三近地电阻及第四近地电阻的一端合并接地；
第一近地电阻的另一端分别连接第一分压电阻的一端、DPS_F0端口、DPS_S0端口、PMU_F0端口及PMU_S0端口，第一分压电阻的另一端连接HV0端口；
第二近地电阻的另一端分别连接第二分压电阻的一端、DPS_F1端口、DPS_S1端口、PMU_F1端口及PMU_S1端口，第二分压电阻的另一端连接HV1端口；
第三近地电阻的另一端分别连接第三分压电阻的一端、DPS_F2端口、DPS_S2端口、PMU_F2端口及PMU_S2端口，第三分压电阻的另一端连接HV2端口；
第四近地电阻的另一端分别连接第四分压电阻的一端、DPS_F3端口、DPS_S3端口、PMU_F3端口及PMU_S3端口，第四分压电阻的另一端连接HV3端口；
DPS_R0端口、DPS_RS0端口、DPS_R1端口、DPS_RS1端口、DPS_R2端口、DPS_RS2端口、DPS_R3端口、DPS_RS3端口、PMU_R0端口、PMU_RS0端口、PMU_R1端口、PMU_RS1端口、PMU_R2端口、PMU_RS2端口、PMU_R3端口、PMU_RS3端口合并连接接地电阻的一端，接地电阻的另一端接地。
所述的Utility Diag载具板上设有七组相同的多功能继电器模块自诊断电路，多功能继电器模块的自诊断电路包括第一电阻至第四十电阻、第一发光二极管至第四十发光二极管，第一电阻至第四十电阻的一端均连接5V电压，第一电阻至第四十电阻的另一端分别连接第一发光二极管至第四十发光二极管的一端，第一发光二极管至第四十发光二极管的另一端分别连接集成电路测试机的多功能继电器模块。
所述的步骤S34中Vh的计算公式为Vh=Vm*/RF，其中RF为分压电阻，RD为近地电阻。
本发明同现有技术相比，具有以下有益效果：
1.充分利用了集成电路测试机本身的资源，让一部分通道去输出，另一部分通道去测量，无需使用额外的测试设备，大大节省了设备成本。
2.本发明采用互联互测方案，由于各个电路相对独立运行，对相同的测试项，可以并发性测试，奇数和偶数通道各测一次即可，整个自诊断测试可以在半小时以内完成诊断，节省了时间成本。
附图说明
图1为集成电路测试机内ODD-EVEN载具板、Utility Diag载具板的分布示意图。
图2为本发明集成电路测试机内ODD-EVEN载具板的连接示意图。
图3为本发明集成电路测试机内Utility Diag载具板的连接示意图。
图4为本发明自诊断的流程图。
图5为本发明数字通道模块自诊断的流程图。
图6为本发明精密测量单元模块与供电模块自诊断的流程图。
图7为本发明高压数字通道模块自诊断的流程图。
图8为本发明多功能继电器模块自诊断的流程图。
图9为本发明ODD-EVEN载具板上的电路示意图。
图10为本发明数字通道模块的自诊断电路图。
图11为本发明精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块的自诊断电路图。
图12为本发明Utility Diag载具板上的电路示意图。
图13为本发明多功能继电器模块的自诊断电路图。
具体实施方式
下面根据附图对本发明做进一步的说明。
实施例一：
本实施例是一种集成电路测试机的自诊断电路，集成电路测试机UT上设有若干ODD-EVEN载具板OE、Utility Diag载具板U，ODD-EVEN载具板OE一端连接数字通道模块PE，ODD-EVEN载具板OE另一端分别连接精密测量单元模块PMU、供电模块DPS、高压数字通道模块HV，Utility Diag载具板U连接多功能继电器模块UR。
本实施例中ODD-EVEN载具板OE的数量为9个，Utility Diag载具板U的数量为1个。
如图4所示，集成电路测试机的自诊断方法具体包括如下步骤：
S1，在集成电路测试机UT上安装ODD-EVEN载具板OE；
S2，分别对数字通道模块PE、精密测量单元模块PMU、供电模块DPS进行自诊断；
S3，对高压数字通道模块HV进行自诊断；
S4，在集成电路测试机UT上安装Utility Diag载具板U；
S5，对多功能继电器模块UR进行自诊断。
如图5所示，步骤S2中对数字通道模块PE进行自诊断的方法具体包括如下步骤：S21-1，选择要诊断的数字通道模块PE；
S21-2，数字通道模块PE上所有奇数数字通道输出VIH电压，偶数数字通道的测量单元测量对应的奇数数字通道的输出电压值；
S21-3，比较步骤S21-2中偶数数字通道测量电压值与奇数数字通道的输出电压值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-4，数字通道模块PE上所有偶数数字通道输出VIL电压，奇数数字通道的测量单元测量对应的偶数数字通道的输出电压值；
S21-5，比较步骤S21-4中奇数数字通道测量电压值与偶数数字通道的输出电压值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-6，数字通道模块PE上所有奇数数字通道选择不同的电流范围，并输出电流，偶数数字通道选择与对应的奇数数字通道相同的电流范围，并测量对应的奇数数字通道的输出电流值；
S21-7，比较步骤S21-6中偶数数字通道测量电流值与奇数数字通道的输出电流值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-8，数字通道模块PE上所有偶数数字通道选择不同的电流范围，并输出电流，奇数数字通道选择与对应的偶数数字通道相同的电流范围，并测量对应的偶数数字通道的输出电流值；
S21-9，比较步骤S21-8中奇数数字通道测量电流值与偶数数字通道的输出电流值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-10，结束。
如图8、图9所示，ODD-EVEN载具板OE上设有四组相同的数字通道模块自诊断电路OEC，数字通道模块自诊断电路OEC包括第一端口P0至第三十二端口P31，第一端口P0至第三十二端口P31的一端分别依次连接数字通道模块PE的奇数通道、偶数通道，第一端口P0至第三十二端口P31的另一端依次两两连接。
本实施例中共有9个数字通道模块PE、9块ODD-EVEN载具板OE。9个数字通道模块PE内共有9*128=1152个数字通道，通过9块ODD-EVEN载具板OE上的数字通道模块自诊断电路OEC，将9个数字通道模块PE内的奇数通道、偶数通道互相连接，利用奇数通道对偶数通道进行诊断，利用偶数通道对奇数通道进行诊断，从而完成数字通道模块PE的自诊断。
一块ODD-EVEN载具板OE上设有四组相同的数字通道模块自诊断电路OEC，其中一组上设有第一端口P0至第三十二端口P31，共32个连接端口，用于数字通道模块PE的16个奇数通道、16个偶数通道分别进行自诊断。
如图6所示，步骤S2中对精密测量单元模块PMU、供电模块DPS进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S22-1，关闭高压数字通道模块HV通道，选择要诊断的精密测量单元模块PMU和供电模块DPS；
S22-2，所有供电模块DPS通道输出电压；
S22-3，精密测量单元模块PMU通道测量对应的供电模块DPS的输出电压值；
S22-4，比较精密测量单元模块PMU通道的测量电压值与供电模块DPS通道的输出电压值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S22-5，所有精密测量单元模块PMU通道选择电流范围，并输出电流；
S22-6，供电模块DPS通道选择与对应的精密测量单元模块PMU通道相同的电流范围，并测量对应的精密单元模块通道的输出电流值；
S22-7，比较供电模块DPS通道的测量电流值与精密测量单元模块PMU通道的输出电流值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S22-8，结束。
步骤S21-2、步骤S21-4中VIH电压值、VIL电压值为-2V、-1V、0V、3V、6V、5V中的任意一个，步骤S21-6、步骤S21-8中电流范围为40mA、2mA、20μA、5μA，输出电流值为+/-电流范围最大值、电流范围最大值的二分之一、0A中的任意一个。
步骤S22-2中输出电压值为-3、-3.5V、0V、4V、8V中的任意一个；步骤S22-5中电流范围为300 mA、25 mA、2 mA、200μA、20μA、5μA，输出电流值为+/-电流范围最大值、电流范围最大值的二分之一、0A中的任意一个。
如图7所示，所述的步骤S3中对高压数字通道模块HV进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S31，关闭供电模块DPS通道，将待自诊断的高压数字通道模块HV与精密测量单元模块PMU连接；
S32，高压数字通道模块HV中各通道输出电压；
S33，精密测量单元模块PMU测量分压电压值Vm；
S34，通过计算得出测量电压值Vh；
S35，比较测量电压值Vh与高压数字通道模块HV各通道的输出电压值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S36，结束。
步骤S32中输出电压为13V、10V、5V中的任意一个。
如图10至图11所示，所述的ODD-EVEN载具板OE上设有两组相同的精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路DCM，精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路DCM包括DPS_F0端口至DPS_F3端口、DPS_S0端口至DPS_S3端口、DPS_R0端口至DPS_R3端口、DPS_RS0端口至DPS_RS3端口、PMU_F0端口至PMU_F3端口、PMU_S0端口至PMU_S3端口、PMU_R0端口至PMU_R3端口、PMU_RS0端口至PMU_RS3端口，HV0端口至HV3端口，第一近地电阻RD1至第四近地电阻RD4，第一分压电阻RF1至第四分压电阻RF4，接地电阻R0；
第一近地电阻RD1、第二近地电阻RD2、第三近地电阻RD3及第四近地电阻RD4的一端合并接地；
第一近地电阻RD1的另一端分别连接第一分压电阻RF1的一端、DPS_F0端口、DPS_S0端口、PMU_F0端口及PMU_S0端口，第一分压电阻RF1的另一端连接HV0端口；
第二近地电阻RD2的另一端分别连接第二分压电阻RF2的一端、DPS_F1端口、DPS_S1端口、PMU_F1端口及PMU_S1端口，第二分压电阻RF2的另一端连接HV1端口；
第三近地电阻RD3的另一端分别连接第三分压电阻RF3的一端、DPS_F2端口、DPS_S2端口、PMU_F2端口及PMU_S2端口，第三分压电阻RF3的另一端连接HV2端口；
第四近地电阻RD4的另一端分别连接第四分压电阻RF4的一端、DPS_F3端口、DPS_S3端口、PMU_F3端口及PMU_S3端口，第四分压电阻RF4的另一端连接HV3端口；
DPS_R0端口、DPS_RS0端口、DPS_R1端口、DPS_RS1端口、DPS_R2端口、DPS_RS2端口、DPS_R3端口、DPS_RS3端口、PMU_R0端口、PMU_RS0端口、PMU_R1端口、PMU_RS1端口、PMU_R2端口、PMU_RS2端口、PMU_R3端口、PMU_RS3端口合并连接接地电阻R0的一端，接地电阻R0的另一端接地。
DPS_F0端口至DPS_F3端口、DPS_S0端口至DPS_S3端口、DPS_R0端口至DPS_R3端口、DPS_RS0端口至DPS_RS3端口的一端通过线路与集成电路测试机内供电模块DPS内各通道连接。
PMU_F0端口至PMU_F3端口、PMU_S0端口至PMU_S3端口、PMU_R0端口至PMU_R3端口、PMU_RS0端口至PMU_RS3端口的一端通过线路与集成电路测试机内精密测量单元模块PMU内各通道连接。
HV0端口至HV3端口的一端通过线路与集成电路测试机内高压数字通道模块HV内各通道连接。
DPS_F0端口至DPS_F3端口、DPS_S0端口至DPS_S3端口、DPS_R0端口至DPS_R3端口、DPS_RS0端口至DPS_RS3端口、PMU_F0端口至PMU_F3端口、PMU_S0端口至PMU_S3端口、PMU_R0端口至PMU_R3端口、PMU_RS0端口至PMU_RS3端口，HV0端口至HV3端口的另一端直接插入ODD-EVEN载具板OE上相对应的焊盘孔内。精密测量单元模块PMU、供电模块DPS、高压数字通道模块HV则与ODD-EVEN载具板OE连接，这样集成电路测试机内的精密测量单元模块PMU、供电模块DPS、高压数字通道模块HV之间进行互联。
本实施例中共有9个精密测量单元模块PMU、9个供电模块DPS、9个高压数字通道模块HV、9块ODD-EVEN载具板OE。9个精密测量单元模块PMU内共设有9*8=72个精密测量通道，9个供电模块DPS内共设有9*8=72个供电通道、9个高压数字通道模块HV内共设有9*8=72个高压数字通道，通过9块ODD-EVEN载具板OE上的精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路DCM，将9个精密测量单元模块PMU内各通道与9个供电模块DPS内各通道、9个高压数字通道模块HV内各通道互相连接，利用精密测量单元模块PMU对供电模块DPS进行自诊断，利用供电模块DPS对精密测量单元模块PMU进行自诊断，利用精密测量单元模块PMU对高压数字通道模块HV进行自诊断。
精密测量单元模块PMU与供电模块DPS的自诊断中，由于供电模块DPS工作模式的限制，无法对接奇数、偶数通道进行测量，因此本实施例通过ODD-EVEN载具板OE将供电模块DPS通道与精密测量单元模块PMU互相连接进行测量，从而完成对精密测量单元模块PMU与供电模块DPS的自诊断。
高压数字通道模块HV的自诊断中，由于普通的数字通道只有6.5V电压，在精密测量单元模块PMU的测试范围之内。而高压数字通道模块HV的最大13V电压，超出精密测量单元模块PMU的最大测量范围8Ｖ，因此本实施例采用近地电阻、分压电阻组成的精密电阻分压网络，降低精密测量单元模块PMU测得的分压电压值Vm，再通过计算公式Vh=Vm*（RF+RD）/RF，其中RF为分压电阻，RD为近地电阻，计算得出高压数字通道模块HV各通道的测量电压值Vh，从而对高压数字通道模块HV进行自诊断。
本实施例中，高压数字通道模块HV内第n通道的测量电压值Vhn=Vmn*（RFn+RDn）/RFn。
本实施例中，为了获得更好的精度，精密测量单元模块PMU采用四线kelvin测量，即Force（F），Sense（S），Return（R），Return Sense（RS）, 将精密测量单元模块PMU内各通道的Force &Sense端拉出来连接ODD-EVEN载具板OE上的PMU_F0端口至PMU_F3端口、PMU_S0端口至PMU_S3端口，Return和Return Sense连接ODD-EVEN载具板OE上的PMU_R0端口至PMU_R3端口、PMU_RS0端口至PMU_RS3端口。供电模块DPS也采用四线kelvin测量，供电模块DPS内各通道的Force &Sense端拉出来连接ODD-EVEN载具板OE上的DPS_F0端口至DPS_F3端口、DPS_S0端口至DPS_S3端口，Return和Return Sense连接ODD-EVEN载具板OE上的DPS_R0端口至DPS_R3端口、DPS_RS0端口至DPS_RS3端口。
精密测量单元模块PMU与供电模块DPS的自诊断、高压数字通道模块HV的自诊断均通过精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路DCM完成。当在进行精密测量单元模块PMU与供电模块DPS的自诊断时，将高压数字通道模块HV断开，当高压数字通道模块HV自诊断时，将供电模块DPS断开。
如图8所示，步骤S5中对进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S51，多功能继电器模块UR通电；
S52，所有多功能继电器模块UR通道设为断路；
S53，判断Utility Diag载具板U上的发光二极管是否全灭，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S54，所有多功能继电器模块UR通道设为通路；
S55，判断Utility Diag载具板U上的发光二极管是否全亮，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S56，所有多功能继电器模块UR通道依次设为通路、断路的状态；
S57，判断Utility Diag载具板U上发光二极管是否依次为亮、灭状态，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S58，所有多功能继电器模块UR通道依次设为断路、通路的状态；
S59，判断Utility Diag载具板U上发光二极管是否依次为灭、亮状态，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S510，多功能继电器模块UR断电，结束。
如图12至图13所示，Utility Diag载具板U上设有七组相同的多功能继电器模块自诊断电路UD，多功能继电器模块自诊断电路UD包括第一电阻R1至第四十电阻R40、第一发光二极管D1至第四十发光二极管D40，第一电阻R1至第四十电阻R40的一端均连接5V电压，第一电阻R1至第四十电阻R40的另一端分别连接第一发光二极管D1至第四十发光二极管D40的一端，第一发光二极管D1至第四十发光二极管D40的另一端分别连接集成电路测试机UT的多功能继电器模块UR内各通道。
多功能继电器模块UR使用时，多功能继电器模块UR内280个通道分别连接280个继电器。本实施例对多功能继电器模块UR自诊断时，280个通道分别通过七组相同的多功能继电器模块自诊断电路UD直观地对多功能继电器模块UR内各通道进行自诊断。
如图13所示，多功能继电器模块UR自诊断时，可以通过观察发光二极管的亮、灭状态判断多功能继电器模块UR内各通道是否正常工作。电阻用于限制测试时的电流，可以保护控制电路。
本发明充分利用了集成电路测试机本身的资源，让一部分通道去输出，另一部分通道去测量，无需使用额外的测试设备，大大节省了设备成本。并且本发明采用互联互测方案，由于各个电路相对独立运行，对相同的测试项，可以并发性测试，奇数和偶数通道各测一次即可，整个自诊断测试可以在半小时以内完成诊断，节省了时间成本。
Claims (9)
1.一种集成电路测试机的自诊断电路，包括集成电路测试机，集成电路测试机内设有数字通道模块、精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块、多功能继电器模块，其特征在于：所述的集成电路测试机（UT）上设有若干ODD-EVEN载具板（OE）、Utility Diag载具板（U），ODD-EVEN载具板（OE）一端连接数字通道模块（PE），ODD-EVEN载具板（OE）另一端分别连接精密测量单元模块（PMU）、供电模块（DPS）、高压数字通道模块（HV），Utility Diag载具板（U）连接多功能继电器模块（UR）；
其自诊断方法具体包括如下步骤：
S1，在集成电路测试机（UT）上安装ODD-EVEN载具板（OE）；
S2，分别对数字通道模块（PE）、精密测量单元模块（PMU）、供电模块（DPS）进行自诊断；
S3，对高压数字通道模块（HV）进行自诊断；
S4，在集成电路测试机（UT）上安装Utility Diag载具板（U）；
S5，对多功能继电器模块（UR）进行自诊断；
所述的步骤S2中对数字通道模块（PE）进行自诊断的方法具体包括如下步骤：S21-1，选择要诊断的数字通道模块（PE）；
S21-2，数字通道模块（PE）上所有奇数数字通道输出VIH电压，偶数数字通道的测量单元测量对应的奇数数字通道的输出电压值；
S21-3，比较步骤S21-2中偶数数字通道测量电压值与奇数数字通道的输出电压值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-4，数字通道模块（PE）上所有偶数数字通道输出VIL电压，奇数数字通道的测量单元测量对应的偶数数字通道的输出电压值；
S21-5，比较步骤S21-4中奇数数字通道测量电压值与偶数数字通道的输出电压值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-6，数字通道模块（PE）上所有奇数数字通道选择不同的电流范围，并输出电流，偶数数字通道选择与对应的奇数数字通道相同的电流范围，并测量对应的奇数数字通道的输出电流值；
S21-7，比较步骤S21-6中偶数数字通道测量电流值与奇数数字通道的输出电流值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-8，数字通道模块（PE）上所有偶数数字通道选择不同的电流范围，并输出电流，奇数数字通道选择与对应的偶数数字通道相同的电流范围，并测量对应的偶数数字通道的输出电流值；
S21-9，比较步骤S21-8中奇数数字通道测量电流值与偶数数字通道的输出电流值是否在+/-5%内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S21-10，结束；
所述的步骤S2中对精密测量单元模块（PMU）、供电模块（DPS）进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S22-1，关闭高压数字通道模块（HV）的通道，选择要诊断的精密测量单元模块（PMU）和供电模块（DPS）；
S22-2，所有供电模块（DPS）通道输出电压；
S22-3，精密测量单元模块（PMU）通道测量对应的供电模块（DPS）的输出电压值；
S22-4，比较精密测量单元模块（PMU）通道的测量电压值与供电模块（DPS）通道的输出电压值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S22-5，所有精密测量单元模块（PMU）通道选择电流范围，并输出电流；
S22-6，供电模块（DPS）通道选择与对应的精密测量单元模块（PMU）通道相同的电流范围，并测量对应的精密单元模块通道的输出电流值；
S22-7，比较供电模块（DPS）通道的测量电流值与精密测量单元模块（PMU）通道的输出电流值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S22-8，结束；
所述的步骤S3中对高压数字通道模块（HV）进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S31，关闭供电模块（DPS）通道，将待自诊断的高压数字通道模块（HV）与精密测量单元模块（PMU）连接；
S32，高压数字通道模块（HV）中各通道输出电压；
S33，精密测量单元模块（PMU）测量分压电压值Vm；
S34，通过计算得出测量电压值Vh；
S35，比较测量电压值Vh与高压数字通道模块（HV）各通道的输出电压值是否在+/-5%以内，若在，则输出pass，若不在，则给出报警提示；
S36，结束；
所述的步骤S5中对进行自诊断的方法具体包括如下步骤：
S51，多功能继电器模块（UR）通电；
S52，所有多功能继电器模块（UR）通道设为断路；
S53，判断Utility Diag载具板（U）上的发光二极管是否全灭，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S54，所有多功能继电器模块（UR）通道设为通路；
S55，判断Utility Diag载具板（U）上的发光二极管是否全亮，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S56，所有多功能继电器模块（UR）通道依次设为通路、断路的状态；
S57，判断Utility Diag载具板（U）上发光二极管是否依次为亮、灭状态，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S58，所有多功能继电器模块（UR）通道依次设为断路、通路的状态；
S59，判断Utility Diag载具板（U）上发光二极管是否依次为灭、亮状态，若是，则输出pass，若不是，则给出报警提示；
S510，多功能继电器模块（UR）断电，结束。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的ODD-EVEN载具板（OE）的数量为9个，Utility Diag载具板（U）的数量为1个。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的ODD-EVEN载具板（OE）上设有四组相同的数字通道模块自诊断电路（OEC），数字通道模块（PE）的自诊断电路（OEC）包括第一端口（P0）至第三十二端口（P31），第一端口（P0）至第三十二端口（P31）依次两两连接。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的ODD-EVEN载具板（OE）上设有两组相同的精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路（DCM），精密测量单元模块、供电模块、高压数字通道模块自诊断电路（DCM）包括DPS_F0端口至DPS_F3端口、DPS_S0端口至DPS_S3端口、DPS_R0端口至DPS_R3端口、DPS_RS0端口至DPS_RS3端口、PMU_F0端口至PMU_F3端口、PMU_S0端口至PMU_S3端口、PMU_R0端口至PMU_R3端口、PMU_RS0端口至PMU_RS3端口，HV0端口至HV3端口，第一近地电阻（RD1）至第四近地电阻（RD4），第一分压电阻（RF1）至第四分压电阻（RF4），接地电阻（R0）；
第一近地电阻（RD1）、第二近地电阻（RD2）、第三近地电阻（RD3）及第四近地电阻（RD4）的一端合并接地；
第一近地电阻（RD1）的另一端分别连接第一分压电阻（RF1）的一端、DPS_F0端口、DPS_S0端口、PMU_F0端口及PMU_S0端口，第一分压电阻（RF1）的另一端连接HV0端口；
第二近地电阻（RD2）的另一端分别连接第二分压电阻（RF2）的一端、DPS_F1端口、DPS_S1端口、PMU_F1端口及PMU_S1端口，第二分压电阻（RF2）的另一端连接HV1端口；
第三近地电阻（RD3）的另一端分别连接第三分压电阻（RF3）的一端、DPS_F2端口、DPS_S2端口、PMU_F2端口及PMU_S2端口，第三分压电阻（RF3）的另一端连接HV2端口；
第四近地电阻（RD4）的另一端分别连接第四分压电阻（RF4）的一端、DPS_F3端口、DPS_S3端口、PMU_F3端口及PMU_S3端口，第四分压电阻（RF4）的另一端连接HV3端口；
DPS_R0端口、DPS_RS0端口、DPS_R1端口、DPS_RS1端口、DPS_R2端口、DPS_RS2端口、DPS_R3端口、DPS_RS3端口、PMU_R0端口、PMU_RS0端口、PMU_R1端口、PMU_RS1端口、PMU_R2端口、PMU_RS2端口、PMU_R3端口、PMU_RS3端口合并连接接地电阻（R0）的一端，接地电阻（R0）的另一端接地。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的Utility Diag载具板（U）上设有七组相同的多功能继电器模块自诊断电路（UD），多功能继电器模块（UR）的自诊断电路（UD）包括第一电阻（R1）至第四十电阻（R40）、第一发光二极管（D1）至第四十发光二极管（D40），第一电阻（R1）至第四十电阻（R40）的一端均连接5V电压，第一电阻（R1）至第四十电阻（R40）的另一端分别连接第一发光二极管（D1）至第四十发光二极管（D40）的一端，第一发光二极管（D1）至第四十发光二极管（D40）的另一端分别连接集成电路测试机（UT）的多功能继电器模块（UR）。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的步骤S34中Vh的计算公式为Vh=Vm*（RF+RD）/RF，其中RF为分压电阻，RD为近地电阻。
7.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的步骤S21-2、步骤S21-4中VIH电压值、VIL电压值为-2V、-1V、0V、3V、6V、5V中的任意一个，步骤S21-6、步骤S21-8中电流范围为40mA、2mA、20μA、5μA，输出电流值为+/-电流范围最大值、电流范围最大值的二分之一、0A中的任意一个。
8.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的步骤S22-2中输出电压值为-3、-3.5V、0V、4V、8V中的任意一个；步骤S22-5中电流范围为300 mA、25 mA、2 mA、200μA、20μA、5μA，输出电流值为+/-电流范围最大值、电流范围最大值的二分之一、0A中的任意一个。
9.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机的自诊断电路及方法，其特征在于：所述的步骤S32中输出电压为13V、10V、5V中的任意一个。
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| CN202110577647.0A CN113311313A (zh) | 2021-05-26 | 2021-05-26 | 一种集成电路测试机的自诊断电路及方法 |
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|---|---|---|---|---|
| CN113777463A (zh) * | 2021-11-15 | 2021-12-10 | 伟恩测试技术(武汉)有限公司 | 一种集成化参数测量装置 |
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