CN113284814A - 一种深腔焊楔形劈刀及其生产方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种深腔焊楔形劈刀,所述劈刀为一体型结构,包括刀柄、刀头,刀柄内部沿中轴线设有直引线孔,直引线孔的入口端呈喇叭口形状;刀头呈楔形状,刀头包括刀头端面、以及自刀头端面斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔,斜引线孔为圆孔或者方孔。还提供了一种上述的深腔焊楔形劈刀的生产方法,采用粉末注射成形工艺实现了铁铬合金、碳化钨、碳化钛或陶瓷材料的带微纳内孔和喇叭口的楔形劈刀棒坯预成型。本发明提供了一种所述楔形劈刀的高精度、高效率、低成本、更清洁的生产方法,突破了硬质材料Φ0.1mm级微纳内孔的加工成形难题,显著降低了硬质材料Φ0.2mm级微纳内孔的加工成本,其键合质量好、使用寿命长。
Description
技术领域
本发明涉及微电子工具领域,具体涉及一种深腔焊楔形劈刀及其生产方法。
背景技术
楔形劈刀是制备各种微波器件工艺环节中引线键合工艺所用的重要工具,主要适用于45度平面键合的斜孔式楔形劈刀和适用于90度深腔键合的90度孔-斜孔楔形劈刀等。随着集成电路的不断发展,引线键合的焊盘间距不断减小,键合线材和带材的尺寸规格越来越小,对楔形劈刀的引线孔要求越来越高。尤其是对于窄间距、高密度、深腔多腔的楔形焊,独特结构的90度直引线孔楔形劈刀具有不可替代的关键作用。
当前,楔形劈刀直引线孔的孔径范围一般为0.25-1.0mm,主要通过微纳穿孔技术实现,其加工成本十分昂贵,尤其是Φ0.2mm级及以下微纳内孔的穿孔工艺存在成本高、加工成品率低等问题,极大地限制了新型高端楔形劈刀的发展和应用。
发明内容
针对上述已有技术存在的不足,本发明提供一种深腔焊楔形劈刀及其生产方法。
本发明是通过以下技术方案实现的。
一种深腔焊楔形劈刀,其特征在于,所述劈刀为一体型结构,包括刀柄(1)、刀头(2),所述刀柄(1)包括第一柄部(3)和第二柄部(4),第一柄部(3)、第二柄部(4)、刀头(2)依次连接;所述刀柄(1)内部沿中轴线设有直引线孔(5),所述直引线孔(5)的入口端呈喇叭口形状;所述刀头(2)呈楔形状,所述刀头(2)包括刀头端面(6)、以及自刀头端面(6)斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔(7),所述斜引线孔(7)为圆孔或者方孔。
进一步地,所述第一柄部(3)为带有平缺面的类圆柱体,所述第二柄部(4)为带有平缺面的台阶状结构,所述第一柄部(3)的平缺面、第二柄部(4)的平缺面连接。
进一步地,所述直引线孔(5)的孔径为0.1-0.25mm;所述直引线孔(5)的直线度≤0.01mm、同轴度≤0.01mm、真圆度≤0.005mm;所述直引线孔(5)的入口端呈夹角为40-120°、深度为0.1-1mm的喇叭口形状。
进一步地,所述楔形劈刀的材质为铁铬合金、碳化钨、碳化钛或陶瓷。
一种上述的深腔焊楔形劈刀的生产方法,其特征在于,所述方法步骤包括:
1)将铁铬粉、碳化钨粉、碳化钛粉、陶瓷粉中的任意一种与成型剂进行混炼,制成喂料;
2)将喂料注射成形中心轴为预制丝状聚合物的成形圆棒;
3)将成形圆棒进行溶剂脱脂-热脱脂,得到脱脂圆棒;
4)将脱脂圆棒烧结,得到带微纳内孔的烧结圆棒;
5)将烧结圆棒进行内孔研磨、外圆磨削,得到劈刀毛坯棒;
6)将劈刀毛坯棒机加工得到楔形劈刀。
进一步地,所述步骤1)中的铁铬粉、碳化钨粉、碳化钛粉或陶瓷粉的激光粒度D50为0.3-3.5μm。
进一步地,所述步骤1)中的成型剂为石蜡、微晶蜡、聚甲醇、聚丙烯、聚乙烯、乙烯丙烯酸共聚物、硬脂酸、植物油、邻苯二甲酸二辛脂中的一种或几种混合物,成型剂含量为30-53vol%(体积百分比)。
进一步地,所述步骤2)中的成形圆棒是通过2-10个分布于成形圆棒端面圆环上的圆孔形或环状浇注口充模成形。
进一步地,所述步骤2)中的丝状聚合物是通过挤出或注塑方法制备,所述丝状聚合物为聚乙烯、聚丙烯、天然橡胶、乙烯-醋酸乙烯共聚物中的一种或者几种混合物,其直径为0.07-0.22mm,尺寸精度为±0.010mm。
进一步地,所述步骤4)当脱脂圆棒为铁铬合金脱脂圆棒时的烧结温度为1000-1350℃;当脱脂圆棒为碳化钨脱脂圆棒时的烧结温度为1350-2000℃;当脱脂圆棒为碳化钛脱脂圆棒时的烧结温度为1300-1750℃;当脱脂圆棒为陶瓷脱脂圆棒时的烧结温度为1400-1950℃。
进一步地,所述步骤4)带微纳内孔的烧结圆棒的内孔的直线度≤0.03mm、同轴度≤0.03mm、真圆度≤0.01mm。
进一步地,所述步骤5)中的内孔研磨是通过微细铁丝或不锈钢丝带动金刚石微粒进行研磨实现的,所述微细铁丝或不锈钢丝的直径为0.05-0.15mm,所述金刚石微粒的费氏粒度10-50μm;外圆磨削是将烧结圆棒的两端用钢针固定后,采用金刚石砂轮进行磨削,所述钢针的直径为0.5mm,所述钢针的一端为圆锥尖端,圆锥尖端的最小直径为0.04mm。
进一步地,所述步骤6)中的将劈刀毛坯棒机加工是采用五轴数控加工中心、高精密磨床或光学曲面磨床加工出平缺面、台阶状结构以及刀头,采用高精度电火花设备、飞秒激光或皮秒激光器加工出刀头端面和斜引线孔。
本发明的有益技术效果:
1)本发明提供了一种独特结构的楔形劈刀,尤其是其直引线孔孔径为0.1-0.25mm,尤其适用于线材丝径25mm以下或带材宽度小于50mm的引线键合,为窄间距、高密度、深腔多腔的超细丝材/超细带材(金、银、铜、铝等)楔形焊提供了引线键合工具保障。
2)本发明提供了一种深腔楔形焊劈刀的高精度、高效率、低成本、更清洁的生产方法,以批量化、个性化、近净成形的粉末注射成形方法制备出带微纳内孔的劈刀毛坯棒,实现了硬质材料微纳内孔和喇叭口的预成型,不仅突破了硬质材料Φ0.1mm级微纳内孔的加工成形难题,还显著降低了硬质材料Φ0.2mm级微纳内孔的加工成本。
3)本发明提供的楔形劈刀的键合质量好、使用寿命长,不仅可以提高金属引线与基板焊盘焊合质量,有效保证芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通,同时可以提高引线键合效率,提高了微组装用楔形焊质量和效率。
附图说明
图1为本发明制备的适用于丝材的碳化钨楔形劈刀的结构示意图。
图2为本发明制备的适用于丝材的碳化钨楔形劈刀的刀头的结构示意图
图3为本发明制备的适用于丝材的碳化钨楔形劈刀的平面结构示意图。
图4为本发明制备的适用于丝材的碳化钨楔形劈刀的刀头的剖面图。
图5为本发明制备的适用于丝材的碳化钨楔形劈刀的刀头的侧视图。
图6为带微纳内孔的劈刀毛坯棒的结构示意图。
图7为带微纳内孔的劈刀毛坯棒的剖面图。
图8为本发明制备的适用于带材的陶瓷楔形劈刀的结构示意图。
图9为本发明制备的适用于带材的陶瓷楔形劈刀的刀头的结构示意图。
图10为本发明制备的适用于带材的陶瓷楔形劈刀的平面结构图。
图11为本发明制备的适用于带材的陶瓷楔形劈刀的刀头的剖面图。
图12为本发明制备的适用于带材的陶瓷楔形劈刀的刀头的侧视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
如图1-12所示,一种深腔焊楔形劈刀,劈刀为一体型结构,包括:刀柄1、刀头2,刀柄1包括第一柄部3和第二柄部4,第一柄部3为带有平缺面的类圆柱体,即将外圆直径为1.35-3mm的圆柱体的一部分进行平面切削,端面形成平缺口,缺口直径为1.15-2.8mm,第二柄部4为带有平缺面的台阶状结构,平缺面位于台阶状结构的背面,即将台阶状结构的背面进行平面切削,形成平缺面,第一柄部3的平缺面、第二柄部4的平缺面连接,形成平面;第一柄部3、第二柄部4、刀头2依次连接;
刀柄1内部设有沿中轴线并贯穿的直引线孔5,直引线孔5的入口端(位于第一柄部3的端部)呈夹角为40-120°、深度为0.1-1mm的喇叭口形状,直引线孔5的孔径为0.1-0.25mm,直引线孔5的直线度≤0.01mm、同轴度≤0.01mm、真圆度≤0.005mm。
刀头2呈楔形状,刀头2包括刀头端面6、以及自刀头端面6斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔7,斜引线孔7与刀柄1中心线的夹角为15-75°,斜引线孔7为圆孔或者方孔,其中圆孔用于丝材键合,方孔用于带材键合。
楔形劈刀的材质为铁铬合金、碳化钨、碳化钛或陶瓷,是通过带微纳内孔圆棒加工而成的。
实施例1
如图1-7所示,一种深腔焊楔形劈刀,劈刀为一体型结构,包括刀柄1和刀头2,刀柄1包括第一柄部3和第二柄部4,第一柄部3为带有平缺面的类圆柱体,即将外圆直径为1.586mm的圆柱体的一部分进行平面切削,形成平缺面,缺口直径为1.5mm;第二柄部4为带有平缺面的台阶状结构,第一柄部3、第二柄部4、刀头2依次连接,第一柄部3和第二柄部4的平缺面连接;刀柄1内部设有沿中轴线的并贯穿的直引线孔5,直引线孔5的入口端(位于第一柄部3的端部)呈夹角为60°、深度为0.5mm的喇叭口形状,直引线孔5的孔径为0.15mm,直引线孔5的直线度0.01mm、同轴度0.01mm、真圆度0.005mm。刀头2呈楔形状,刀头2包括刀头端面6、以及自刀头端面6斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔7,斜引线孔7与刀柄1中心线的夹角为45°,斜引线孔7为圆孔。
楔形劈刀的材质为碳化钨,是通过带微纳内孔圆棒加工而成的;带微纳内孔圆棒是通过粉末注射成形工艺制备而成,其长度为19.05mm,外圆直径为1.6mm,内孔直径为0.12mm。带微纳内孔圆棒的内孔的直线度0.03mm、同轴度0.03mm、真圆度0.01mm。
该劈刀的生产方法,包括以下步骤:1)在真空捏合机中加入激光粒度D50为1.0μm的碳化钨粉和成型剂(包括石蜡、聚丙烯、乙烯丙烯酸共聚物、硬脂酸、植物油)进行混炼,并采用挤出机制成喂料,成型剂含量为50vol%;2)将喂料在注射成型机上通过6个分布于毛坯圆棒端面圆环上的圆孔形浇注口注射成形出中心轴为直径0.12mm、尺寸精度±0.010mm的预制丝状聚丙烯的成形毛坯(即圆棒),将伸出成形毛坯两端的聚丙烯剪除,得到碳化钨成形圆棒;3)将碳化钨成形圆棒进行溶剂脱脂-热脱脂,将成型剂脱除,得到脱脂圆棒;4)将碳化钨脱脂圆棒在压力烧结炉或热等静压炉中烧结,烧结温度为1950℃,得到带微纳内孔的碳化钨烧结圆棒;5)将碳化钨烧结圆棒通过直径为0.08mm的微细铁丝带动费氏粒度为30μm的金刚石微粒进行内孔研磨,两端采用钢针固定后用金刚石砂轮进行外圆磨削,其中钢针的直径为0.5mm、尖端的最小直径为0.04mm,得到带微纳内孔(即成品的直引线孔)的劈刀毛坯棒;6)将劈刀毛坯棒采用五轴数控加工中心加工出平缺面、台阶状结构、刀头,采用高精度电火花设备加工出刀头端面和斜引线孔。
实施例2
如图1-7所示,一种深腔焊楔形劈刀,劈刀为一体型结构,包括刀柄1和刀头2,刀柄1包括第一柄部3和第二柄部4,第一柄部3为带有平缺面的类圆柱体,即将外圆直径为1.35mm的圆柱体的一部分进行平面切削,形成平缺面,缺口直径为1.15mm,第二柄部4为带有平缺面的台阶状结构,第一柄部3、第二柄部4、刀头2依次连接,第一柄部3和第二柄部4的平缺面连接;刀柄1内部设有沿中轴线的并贯穿的直引线孔5,直引线孔5的入口端(位于第一柄部3的端部)呈夹角为120°、深度为0.1mm的喇叭口形状,直引线孔5的孔径为0.1mm,直引线孔5的直线度0.005mm、同轴度0.005mm、真圆度0.004mm。刀头2呈楔形状,刀头2包括刀头端面6、以及自刀头端面6斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔7,斜引线孔7与刀柄1中心线的夹角为15°,斜引线孔7为圆孔。
楔形劈刀的材质为铁铬合金,是通过带微纳内孔圆棒加工而成的;带微纳内孔圆棒是通过粉末注射成形工艺制备而成,其长度为5mm,外圆直径为1.38mm,内孔直径为0.08mm。带微纳内孔圆棒的内孔的直线度0.02mm、同轴度≤0.02mm、真圆度0.008mm。
该劈刀的生产方法,包括以下步骤:1)在真空捏合机中加入激光粒度D50为3.5μm的铁铬粉和成型剂(包括微晶蜡、聚甲醇、乙烯丙烯酸共聚物、邻苯二甲酸二辛脂)进行混炼,并采用挤出机制成喂料,成型剂含量为30vol%;2)将喂料在注射成型机上通过10个分布于毛坯圆棒端面圆环上的圆孔形浇注口注射成形出中心轴为直径0.07mm、尺寸精度±0.010mm的预制丝状聚丙烯的成形毛坯(即圆棒),将伸出成形毛坯两端的聚丙烯剪除,得到铁铬合金成形圆棒;3)将铁铬成形圆棒进行溶剂脱脂-热脱脂,将成型剂脱除,得到脱脂圆棒;4)将铁铬合金脱脂圆棒在压力烧结炉或热等静压炉中烧结,烧结温度为1350℃,得到带微纳内孔的铁铬合金烧结圆棒;5)将铁铬合金烧结圆棒通过直径为0.05mm的微细铁丝带动费氏粒度为10μm的金刚石微粒进行内孔研磨,两端采用钢针固定后采用金刚石砂轮进行外圆磨削,其中钢针的直径为0.5mm、尖端最小直径为0.04mm,得到带微纳内孔的劈刀毛坯棒;6)将劈刀毛坯棒采用高精密磨床加工出平缺面、台阶状结构、刀头,采用飞秒激光器加工出刀头端面和斜引线孔。
实施例3
如图8-12所示,一种深腔焊楔形劈刀,材质为陶瓷包括刀柄1和刀头2,刀柄1包括第一柄部3和第二柄部4,第一柄部3为带有平缺面的类圆柱体,即将外圆直径为3mm的圆柱体的一部分进行平面切削,形成平缺面,缺口直径为2.8mm;第二柄部4为带有平缺面的台阶状结构,第一柄部3、第二柄部4、刀头2依次连接,第一柄部3和第二柄部4的平缺面连接;刀柄1内部中心设有沿中轴线的并贯穿的直引线孔5,直引线孔5的入口端(位于第一柄部3的端部)呈夹角为40°、深度为1mm的喇叭口形状,直引线孔5的孔径为0.25mm,直引线孔5的直线度≤0.01mm、同轴度≤0.01mm、真圆度≤0.005mm。刀头2呈楔形状,刀头2包括刀头端面6、以及自刀头端面6斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔7,斜引线孔7与刀柄1中心线的夹角为75°,斜引线孔7为方孔。
楔形劈刀的材质为陶瓷,是通过带微纳内孔圆棒加工而成的;带微纳内孔圆棒是通过粉末注射成形工艺制备而成,其长度为40mm,外圆直径为3.05mm,内孔直径为0.22mm。带微纳内孔圆棒的内孔的直线度0.03mm、同轴度0.03mm、真圆度0.01mm。
该楔形劈刀的生产方法,包括以下步骤:1)在真空捏合机中加入激光粒度D50为0.3μm的陶瓷粉和成型剂(包括微晶蜡、聚丙烯、乙烯丙烯酸共聚物、硬脂酸、邻苯二甲酸二辛脂)进行混炼,并采用挤出机制成球粒,成型剂含量为53vol%;2)将球粒在注射成形机上通过圆环状浇注口注射出中心轴为直径0.22mm、尺寸精度±0.010mm的预制丝状乙烯-醋酸乙烯共聚物的成形毛坯,将伸出成形圆棒两端的乙烯-醋酸乙烯共聚物剪除,得到陶瓷成形圆棒;3)将陶瓷成形圆棒进行溶剂脱脂-热脱脂,将成型剂脱除,得到脱脂圆棒;4)将陶瓷脱脂圆棒在压力烧结炉或热等静压炉中烧结,烧结温度为1850℃,得到带微纳内孔的陶瓷烧结圆棒;5)将陶瓷烧结圆棒通过直径为0.15mm的微细铁丝带动费氏粒度为50μm的金刚石微粒进行内孔研磨,两端采用钢针固定后采用金刚石砂轮进行外圆磨削,其中钢针的直径为0.5mm、尖端最小直径为0.04mm,得到带微纳内孔的劈刀毛坯棒;6)将劈刀毛坯棒采用光学曲面磨床加工出平缺面、台阶状结构、刀头,采用皮秒激光器加工出刀头端面和斜引线孔。
实施例4
同实施例1,其中楔形劈刀的材质为碳化钛,烧结温度为1500℃。
以上所述的仅是本发明的较佳实施例,并不局限发明。应当指出对于本领域的普通技术人员来说,在本发明所提供的技术启示下,还可以做出其它等同改进,均可以实现本发明的目的,都应视为本发明的保护范围。
Claims (13)
1.一种深腔焊楔形劈刀,其特征在于,所述劈刀为一体型结构,包括刀柄(1)、刀头(2),所述刀柄(1)包括第一柄部(3)和第二柄部(4),第一柄部(3)、第二柄部(4)、刀头(2)依次连接;所述刀柄(1)内部沿中轴线设有直引线孔(5),所述直引线孔(5)的入口端呈喇叭口形状;所述刀头(2)呈楔形状,所述刀头(2)包括刀头端面(6)、以及自刀头端面(6)斜向贯穿至刀头侧面的斜引线孔(7),所述斜引线孔(7)为圆孔或者方孔。
2.根据权利要求1所述的劈刀,其特征在于,所述第一柄部(3)为带有平缺面的类圆柱体,所述第二柄部(4)为带有平缺面的台阶状结构,所述第一柄部(3)的平缺面、第二柄部(4)的平缺面连接。
3.根据权利要求1所述的劈刀,其特征在于,所述直引线孔(5)的孔径为0.1-0.25mm;所述直引线孔(5)的直线度≤0.01mm、同轴度≤0.01mm、真圆度≤0.005mm;所述直引线孔(5)的入口端呈夹角为40-120°、深度为0.1-1mm的喇叭口形状。
4.根据权利要求1所述的劈刀,其特征在于,所述楔形劈刀的材质为铁铬合金、碳化钨、碳化钛或陶瓷。
5.一种如权利要求1-4任一所述的深腔焊楔形劈刀的生产方法,其特征在于,所述方法步骤包括:
1)将铁铬粉、碳化钨粉、碳化钛粉、陶瓷粉中的任意一种与成型剂进行混炼,制成喂料;
2)将喂料注射成形中心轴为预制丝状聚合物的成形圆棒;
3)将成形圆棒进行溶剂脱脂-热脱脂,得到脱脂圆棒;
4)将脱脂圆棒烧结,得到带微纳内孔的烧结圆棒;
5)将烧结圆棒进行内孔研磨、外圆磨削,得到劈刀毛坯棒;
6)将劈刀毛坯棒机加工得到楔形劈刀。
6.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤1)中的铁铬粉、碳化钨粉、碳化钛粉或陶瓷粉的激光粒度D50为0.3-3.5μm。
7.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤1)中的成型剂为石蜡、微晶蜡、聚甲醇、聚丙烯、聚乙烯、乙烯丙烯酸共聚物、硬脂酸、植物油、邻苯二甲酸二辛脂中的一种或几种混合物,成型剂含量为30-53vol%。
8.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤2)中的成形圆棒是通过2-10个分布于成形圆棒端面圆环上的圆孔形或环状浇注口充模成形。
9.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤2)中的丝状聚合物是通过挤出或注塑方法制备,所述丝状聚合物为聚乙烯、聚丙烯、天然橡胶、乙烯-醋酸乙烯共聚物中的一种或者几种混合物,其直径为0.07-0.22mm,尺寸精度为±0.010mm。
10.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤4)当脱脂圆棒为铁铬合金脱脂圆棒时的烧结温度为1000-1350℃;当脱脂圆棒为碳化钨脱脂圆棒时的烧结温度为1350-2000℃;当脱脂圆棒为碳化钛脱脂圆棒时的烧结温度为1300-1750℃;当脱脂圆棒为陶瓷脱脂圆棒时的烧结温度为1400-1950℃。
11.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤4)带微纳内孔的烧结圆棒的内孔的直线度≤0.03mm、同轴度≤0.03mm、真圆度≤0.01mm。
12.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤5)中的内孔研磨是通过微细铁丝或不锈钢丝带动金刚石微粒进行研磨实现的,所述微细铁丝或不锈钢丝的直径为0.05-0.15mm,所述金刚石微粒的费氏粒度10-50μm;外圆磨削是将烧结圆棒的两端用钢针固定后,采用金刚石砂轮进行磨削,所述钢针的直径为0.5mm,所述钢针的一端为圆锥尖端,圆锥尖端的最小直径为0.04mm。
13.根据权利要求5所述的生产方法,其特征在于,所述步骤6)中的将劈刀毛坯棒机加工是采用五轴数控加工中心、高精密磨床或光学曲面磨床加工出平缺面、台阶状结构以及刀头,采用高精度电火花设备、飞秒激光或皮秒激光器加工出刀头端面和斜引线孔。
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2021
- 2021-04-20 CN CN202110422334.8A patent/CN113284814A/zh active Pending
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