CN113218830A - 一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体设置有吸气口，传感器壳体内设置有探测腔室，传感器壳体的吸气口端设置有吸气泵，吸气泵与探测腔室之间设置有过滤器，探测腔室内设置有光电传感器，光电传感器连接有电路主板，电路主板连接有供电器。本发明在半导体晶圆检测车间对生产出的半导体晶圆进行微尘检测，确保表面结构和电子特性均达标的半导体晶圆产品流出生产线，同时保证半导体晶圆检测车间的整体整洁性，实时检测半导体晶圆车间微尘分布情况，避免因检测车间的微尘污染给半导体晶圆带来损坏，从而造成经济损失。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，属于传感器技术领域。
背景技术
随着科学的发展和社会的进步，半导体的研究和使用给人们的生活带来了巨大的变化。在半导体晶圆的制造过程中，半导体晶圆非常容易遭受空气中的粉尘颗粒、金属离子等外来污染物的污染和影响。这会给半导体晶圆的表面结构和电子特性带来无法弥补的损坏。这就要求半导体晶圆在制造的过程中拥有极度整洁的生产制造环境，不仅如此，在半导体晶圆的检测车间也要求其整洁度达到一定的标准，避免因为半导体晶圆在检测的过程中受到污染。
用于半导体晶圆的检测车间的洁净程度在半导体晶圆的生产过程中起着至关重要的作用。一旦检测车间的洁净程度掌控不好，也会导致半导体晶圆的损毁和报废，带来极大的经济损失。为了提高和保证半导体晶圆检测车间的洁净程度，提高半导体晶圆的成品率和高质量，研究和制造出一种高精度的微尘检测传感器是当下的首要任务。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其具体技术方案如下：
一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体设置有吸气口，所述传感器壳体内设置有探测腔室，所述传感器壳体的吸气口端设置有吸气泵，所述吸气泵与探测腔室之间设置有过滤器，所述探测腔室内设置有光电传感器，所述光电传感器连接有电路主板，所述电路主板连接有供电器。
进一步的，所述传感器壳体的吸气口端连接有吸气采样管网，所述吸气采样管网上开设有若干个吸气口。
进一步的，所述传感器壳体吸气口端一侧还设置有PM2.5检测探头。
进一步的，所述电路主板上设置有降噪电路。
进一步的，所述电路主板与供电器之间设置有滤波器。
进一步的，传感器壳体表面还设置有显示器和报警器，所述显示器和报警器均与探测腔室内的电路主板连接。
本发明的有益效果：
本发明在半导体晶圆检测车间对生产出的半导体晶圆进行微尘检测，确保表面结构和电子特性均达标的半导体晶圆产品流出生产线，同时保证半导体晶圆检测车间的整体整洁性，实时检测半导体晶圆车间微尘分布情况，避免因检测车间的微尘污染给半导体晶圆带来损坏，从而造成经济损失。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图，
图2是本发明的降噪电路示意图，
图中：1—传感器壳体，2—吸气泵，3—过滤器，4—报警器，5—探测腔室，6—显示器，7—供电器，8—滤波器，9—电路主板，10—光电传感器，11—PM2.5检测探头。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示，本发明的一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，包括传感器壳体1，传感器壳体1设置有吸气口，传感器壳体1的吸气口端连接有吸气采样管网，吸气采样管网上开设有若干个吸气口。传感器壳体1吸气口端一侧还设置有PM2.5检测探头11。传感器壳体1内设置有探测腔室5，传感器壳体1的吸气口端设置有吸气泵2，吸气泵2与探测腔室5之间设置有过滤器3，探测腔室5内设置有光电传感器10，光电传感器10连接有电路主板9，电路主板9上设置有降噪电路，电路主板9连接有供电器7。电路主板9与供电器7之间设置有滤波器8。传感器壳体1表面还设置有显示器6和报警器4，显示器6和报警器4均与探测腔室5内的电路主板9连接。
本发明用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，通过吸气泵2将半导体晶圆检测车间空气中和半导体晶圆产品上的微尘通过吸气采样网管的吸气口吸入。为避免非常规状态下使用本装置，如在一些洁净程度不高的室内或者室外，为防止空气中的污染物损坏传感器内部核心部件，本发明在探测腔室5和吸气泵2之间安装了过滤器3，防止大颗粒污染物进入探测腔室5，影响探测腔室5内电器元件的精度。微尘经吸气泵2进入探测腔室5，光电传感器10根据微尘颗粒的大小，将光信号转化为电信号输入电路主板9，电路主板9对电信号进行检测判断，将微尘颗粒的大小显示在显示器6上，当微尘颗粒的体积大于一定程度，传感器上的报警器4会报警提醒。为了在检测过程中对电路降噪，主板电路在检测判断前端连接了降噪电路，如图2所示，并在电路主板9和供电器7之间设置有滤波器8。通过降噪电路和滤波器8的双层保障下，确保检测的精度。
本发明用于高品质半导体行业，高纯晶圆检测环境中PM2.5的浓度探测，采用吸气式回路配合光电感应陶瓷，进行0.1-10微克/立方米阈值范围的微尘检测，通过二阶高斯滤波实现模拟电路去噪声，屏蔽电磁干扰和本底环境因素，精确反馈生产线微尘浓度，提高成品率。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其特征在于：包括传感器壳体（1），所述传感器壳体（1）设置有吸气口，所述传感器壳体（1）内设置有探测腔室（5），所述传感器壳体（1）的吸气口端设置有吸气泵（2），所述吸气泵（2）与探测腔室（5）之间设置有过滤器（3），所述探测腔室（5）内设置有光电传感器（10），所述光电传感器（10）连接有电路主板（9），所述电路主板（9）连接有供电器（7）。
2.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其特征在于：所述传感器壳体（1）的吸气口端连接有吸气采样管网，所述吸气采样管网上开设有若干个吸气口。
3.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其特征在于：所述传感器壳体（1）吸气口端一侧还设置有PM2.5检测探头（11）。
4.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其特征在于：所述电路主板（9）上设置有降噪电路。
5.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其特征在于：所述电路主板（9）与供电器（7）之间设置有滤波器（8）。
6.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，其特征在于：传感器壳体（1）表面还设置有显示器（6）和报警器（4），所述显示器（6）和报警器（4）均与探测腔室（5）内的电路主板（9）连接。
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