CN113091074A - 可燃气体处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，可燃气体处理装置包括燃烧腔室和吸收存储腔室，其中，燃烧腔室用于连通工艺腔室和吸收存储腔室；燃烧腔室内设有高温燃烧组件，高温燃烧组件用于使排放至燃烧腔室中的工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的工艺废气进入吸收存储腔室中；吸收存储腔室的制作材料能够吸收并存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体，且吸收存储腔室上设置有第一排气结构，第一排气结构用于将未经吸收存储的工艺废气排放。本发明提供的可燃气体处理装置，能够降低可燃气体排放到外界的量，降低工艺污染，提高工艺安全性。

Description

可燃气体处理装置
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种可燃气体处理装置。
背景技术
半导体工艺排放的工艺废气中不可避免的会含有例如氢气等可燃气体，若可燃气体不经处理直接排放，不仅会产生污染，还会带来很大的安全隐患，因此，通常会设置可燃气体处理装置对工艺废气中的可燃气体进行处理，现有的可燃气体处理装置通常是通过高温使可燃气体燃烧，以避免高浓度的可燃气体直接排放，但是，现有的可燃气体处理装置在对可燃气体处理后，仍然会有可燃气体排放，从而产生污染，并造成安全隐患。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种可燃气体处理装置，其能够降低可燃气体排放的浓度，降低工艺污染，提高工艺安全性。
为实现本发明的目的而提供一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，所述可燃气体处理装置包括燃烧腔室和吸收存储腔室，其中，所述燃烧腔室用于连通所述工艺腔室和所述吸收存储腔室；
所述燃烧腔室内设有高温燃烧组件，所述高温燃烧组件用于使排放至所述燃烧腔室中的所述工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的所述工艺废气进入所述吸收存储腔室中；
所述吸收存储腔室的制作材料能够吸收并存储燃烧后的所述工艺废气中的所述可燃气体，且所述吸收存储腔室上设置有第一排气结构，所述第一排气结构用于将未经吸收存储的所述工艺废气排放。
可选的，所述吸收存储腔室的制作材料包括能够吸收并存储所述可燃气体的金属化合物。
可选的，所述金属化合物包括镁镍合金。
可选的，所述可燃气体处理装置还包括稀释气体管件，所述稀释气体管件与所述吸收存储腔室连通，并能够与稀释气体源连通，用于通过将所述稀释气体源提供的稀释气体引流至所述吸收存储腔室中，对进入所述吸收存储腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体进行稀释。
可选的，所述高温燃烧组件包括高温燃烧腔室和高温部件，其中，所述高温燃烧腔室设置在所述燃烧腔室中，并能够与所述工艺腔室连通，使所述工艺废气排放至所述高温燃烧腔室中，且与所述燃烧腔室连通，使燃烧后的所述工艺废气通过所述燃烧腔室进入所述吸收存储腔室中；
所述高温部件设置在所述高温燃烧腔室中，用于产生高温使排放至所述高温燃烧腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体燃烧。
可选的，所述可燃气体处理装置还包括助燃组件，所述助燃组件用于向所述高温燃烧腔室中通入与所述可燃气体相同的气体，以提高所述工艺废气中的所述可燃气体的含量。
可选的，所述助燃组件包括助燃腔室、助燃气体管件和第二排气结构，其中，所述助燃腔室设置在所述高温燃烧腔室中，并能够与所述工艺腔室连通，使所述工艺废气排放至所述助燃腔室中；
所述助燃气体管件与所述助燃腔室连通，并能够与助燃气体源连通，将所述助燃气体源提供的所述助燃气体引流至所述助燃腔室中，与进入所述助燃腔室中的所述工艺废气混合；
所述第二排气结构设置在所述助燃腔室上，并与所述高温部件对应设置，将混合后的所述工艺废气和所述助燃气体排放至所述高温部件。
可选的，所述可燃气体处理装置还包括燃烧检测部件，所述燃烧检测部件用于对排放至所述高温燃烧腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体燃烧产生的火焰进行检测。
可选的，所述燃烧腔室设置有导流结构，所述导流结构用于将燃烧后的所述工艺废气导流向所述燃烧腔室与所述吸收存储腔室的连通处。
可选的，所述导流结构包括导流板，所述导流板的一侧连接于所述燃烧腔室与所述吸收存储腔室连通的侧壁，另一侧与所述侧壁相邻的邻侧壁连接，并相对于所述侧壁和所述邻侧壁倾斜设置，使燃烧后的所述工艺废气沿其流向所述侧壁。
可选的，所述可燃气体处理装置还包括第一冷却组件、第二冷却组件和第三冷却组件中的一个或多个，其中，所述第一冷却组件设置在所述吸收存储腔室中，用于对进入所述吸收存储腔室中的燃烧后的所述工艺废气进行冷却；
所述第二冷却组件设置在所述高温燃烧腔室中，用于对进入所述高温燃烧腔室中，并经过高温燃烧后的所述工艺废气进行冷却；
所述第三冷却组件设置在所述燃烧腔室中，并设置在所述导流板上，用于对沿所述导流板流动的燃烧后的所述工艺废气进行冷却。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的可燃气体处理装置，先借助设置在燃烧腔室中的高温燃烧组件，使排放至燃烧腔室中的工艺废气中的可燃气体燃烧，以降低工艺废气中的可燃气体的浓度，再借助制作材料能够吸收存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体的吸收存储腔室，将进入吸收存储腔室中的燃烧后的工艺废气中的可燃气体吸收并存储，以进一步降低工艺废气中的可燃气体的浓度，这样就可以使得通过设置在吸收存储腔室上的第一排气结构排放的工艺废气中的可燃气体的浓度得到降低，从而降低可燃气体排放的浓度，降低工艺污染，提高工艺安全性。
附图说明
图1为本发明实施例提供的可燃气体处理装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的可燃气体处理装置的局部结构示意图；
附图标记说明：
11-吸收存储腔室；12-第一排气结构；13-第一冷却主体；14-第一冷却管件；15-第一通断部件；16-第一控温部件；17-第一流量控制部件；18-稀释气体管件；19-排液结构；21-燃烧腔室；22-高温部件；23-高温燃烧腔室；24-第二冷却主体；25-第二冷却管件；26-助燃腔室；27-助燃气体管件；28-第二排气结构；29-燃烧检测部件；31-测温部件；32-导流结构；33-第三冷却主体；34-第三冷却管件；35-第二通断部件；36-第二控温部件；37-第二流量控制部件；38-连通管件；39-进气管件；41-第一排气管件。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的可燃气体处理装置进行详细描述。
本实施例提供一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室(图中未示出)排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，可燃气体处理装置包括燃烧腔室21和吸收存储腔室11，其中，燃烧腔室21用于连通工艺腔室和吸收存储腔室11；燃烧腔室21内设有高温燃烧组件，高温燃烧组件用于使排放至燃烧腔室21中的工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的工艺废气进入吸收存储腔室11中；吸收存储腔室11的制作材料能够吸收并存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体，且吸收存储腔室11上设置有第一排气结构，第一排气结构用于将未经吸收存储的工艺废气排放。
本实施例提供的可燃气体处理装置，先借助设置在燃烧腔室21中的高温燃烧组件，使排放至燃烧腔室21中的工艺废气中的可燃气体燃烧，以降低工艺废气中的可燃气体的浓度，再借助制作材料能够吸收存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体的吸收存储腔室11，将进入吸收存储腔室11中的燃烧后的工艺废气中的可燃气体吸收并存储，以进一步降低工艺废气中的可燃气体的浓度，这样就可以使得通过设置在吸收存储腔室11上的第一排气结构排放的工艺废气中的可燃气体的浓度得到降低，从而降低可燃气体排放的浓度，降低工艺污染，提高工艺安全性。
为了便于对本实施例提供的可燃气体处理装置处理工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行描述，下面均以工艺废气包括氧气和氢气，工艺废气中的可燃气体包括氢气为例对本实施例提供的可燃气体处理装置处理工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行描述，但是，本实施例提供的可燃气体处理装置并不限于对包括氧气和氢气的工艺废气，包括氢气的工艺废气中的可燃气体进行处理。
本实施例提供的可燃气体处理装置的燃烧腔室21连通工艺腔室和吸收存储腔室11，可以使工艺腔室排放的工艺废气能够排放至燃烧腔室21中，并使排放至燃烧腔室21中，并经过高温燃烧组件燃烧后的工艺废气能够排放至吸收存储腔室11中，高温燃烧组件设置在燃烧腔室21中，用于使排放至燃烧腔室21中的工艺废气中的可燃气体燃烧，以降低工艺废气中的可燃气体的浓度，即，使工艺腔室排放的混合在一起的氧气和氢气中的氢气在高温下与氧气燃烧发生氧化反应产生水蒸气，以将低氧气和氢气中氢气的浓度，吸收存储腔室11的制作材料能够吸收并存储燃烧后的工艺废气中的可燃气体，以能够将进入吸收存储腔室11中的工艺废气中的可燃气体吸收并存储，因此，若进入吸收存储腔室11中的工艺废气中仍然含有可燃气体，则吸收存储腔室11能够将在经过高温燃烧组件燃烧后仍然存留在工艺废气中的可燃气体吸收并存储，以进一步降低工艺废气中的可燃气体的浓度，即，若有氢气进入吸收存储腔室11中，则吸收存储腔室11能够将这些氢气吸收并存储，以进一步降低氧气和氢气中氢气的浓度，这样就可以使得通过设置在吸收存储腔室11上的第一排气结构12排放的工艺废气中的可燃气体的浓度得到降低，从而降低可燃气体排放的浓度，降低工艺污染，提高工艺安全性。
如图1所示，第一排气结构12可以包括排气口，排气口设置在吸收存储腔室11上。
在本发明一优选实施例中，吸收存储腔室11的制作材料可以包括能够吸收并存储可燃气体的金属化合物。
例如，LaNi5等稀土系合金可以吸收存储氢气，MgZn2、MgCu2等Laves相系合金可以吸收存储氢气，Mg2Cu、Mg2Ca、Mg2Ni等镁系合金可以吸收存储氢气，FeTi等Fe-Ti系合金，Cr(AlH6)2、Co(AlH6)3、Ti(AlH4)4、Sc(AlH6)、Mg(AlH4)2、Fe(AlH4)2、Sn(AlH4)4、LiBH4、NaBH4、Li3N等金属配位氢化物可以吸收存储氢气。
在本发明一优选实施例中，金属化合物可以包括镁镍合金。例如，Mg2Ni等镁镍合金可以吸收存储氢气，镁镍合金吸收存储氢量可达3.8％，并且由于镁资源丰富，使其成本较低。
可选的，金属化合物可以包括Mg2Ni。
在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括稀释气体管件18，稀释气体管件18与吸收存储腔室11连通，并能够与稀释气体源(图中未示出)连通，用于通过将稀释气体源提供的稀释气体引流至吸收存储腔室11中，对进入吸收存储腔室11中的工艺废气中的可燃气体进行稀释。这样可以进一步降低工艺废气中的可燃气体的浓度，从而进一步降低可燃气体排放的浓度，进一步降低工艺污染，进一步提高工艺安全性。
稀释气体管件18与吸收存储腔室11连通，并能够与稀释气体源连通，以使稀释气体源提供的稀释气体能够流经稀释气体管件进入吸收存储腔室11中，即，稀释气体管件18将稀释气体源提供的稀释气体引流至吸收存储腔室11中，通过将稀释气体引流至吸收存储腔室11中，可以使稀释气体与吸收存储腔室11中的工艺废气混合，从而降低吸收存储腔室11中的工艺废气中的可燃气体的浓度，对吸收存储腔室11中的工艺废气中的可燃气体进行稀释。
可选的，稀释气体可以包括氮气。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，高温燃烧组件可以包括高温燃烧腔室23和高温部件22，其中，高温燃烧腔室23设置在燃烧腔室21中，并能够与工艺腔室连通，使工艺废气排放至高温燃烧腔室23中，且与燃烧腔室21连通，使燃烧后的工艺废气通过燃烧腔室21进入吸收存储腔室11中；高温部件22设置在高温燃烧腔室23中，用于产生高温使排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体燃烧。
高温燃烧腔室23与工艺腔室连通，使工艺腔室排放的工艺废气能够进入高温燃烧腔室23中，高温部件22设置在高温燃烧腔室23中，用于产生高温使排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体燃烧，例如，高温部件22产生的高温可以使氧气和氢气中的氢气与氧气燃烧发生氧化反应产生水蒸气，高温燃烧腔室23与燃烧腔室21连通，使在高温燃烧腔室23中燃烧后的，从高温燃烧腔室23中排放出的工艺废气能够先进入燃烧腔室21，再经过燃烧腔室21进入吸收存储腔室11中。
如图1和图2所示，高温部件22可以包括高温管件，高温管件贯穿燃烧腔室21和高温燃烧腔室23伸入至高温燃烧腔室23内。
在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括助燃组件，助燃组件用于向高温燃烧腔室23中通入与可燃气体相同的气体，以提高工艺废气中的可燃气体的含量。
借助助燃组件向高温燃烧腔室23中通入与可燃气体相同的气体，提高工艺废气中的可燃气体的含量，可以对排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体的燃烧进行助燃，使工艺废气中的更多的可燃气体燃烧，以进一步降低工艺废气中的可燃气体的浓度，从而进一步降低可燃气体排放的浓度，降低工艺污染，提高工艺安全性。
如图1和图2所示，在本发明一优选实施例中，助燃组件可以包括助燃腔室26、助燃气体管件27和第二排气结构28，其中，助燃腔室26设置在高温燃烧腔室23中，并能够与工艺腔室连通，使工艺废气排放至助燃腔室26中；助燃气体管件27与助燃腔室26连通，并能够与助燃气体源(图中未示出)连通，将助燃气体源提供的助燃气体引流至助燃腔室26中，与进入助燃腔室26中的工艺废气混合；第二排气结构28设置在助燃腔室26上，并与高温部件22对应设置，将混合后的工艺废气和助燃气体排放至高温部件22。
助燃腔室26设置在高温燃烧腔室23中，并能够与工艺腔室连通，使工艺腔室排放的工艺废气能够进入助燃腔室26中，助燃气体管件27贯穿燃烧腔室21和高温燃烧腔室23伸入至高温燃烧腔室23中与助燃腔室26连通，并能够与助燃气体源连通，以使助燃气体源提供的助燃气体能够流经助燃气体管件27进入助燃腔室26中，即，助燃气体管件27将助燃气体源提供的助燃气体引流至助燃腔室26中，助燃气体在进入助燃腔室26后，会与进入助燃腔室26中的工艺废气混合，第二排气结构28设置在助燃腔室26上，并与高温部件22对应设置，以使助燃腔室26中混合后的助燃气体和工艺废气能够从助燃腔室26中排出，并将混合后的助燃气体和工艺废气排放至高温部件22，以利用高温部件22的高温使混合后的助燃气体和工艺废气的可燃气体燃烧。
如图1和图2所示，第二排气结构28可以包括第二排气管件，第二排气管件的一端与助燃腔室26连通，另一端与高温部件22的一端对应设置，以经过第二排气管件排放出的混合后的助燃气体和工艺废气能够与高温部件22接触。
在本发明一优选实施例中，助燃气体可以包括氢气。这是由于若工艺废气中的氢气的浓度低于4％时，则氢气很难与氧气在高温下燃烧发生氧化反应，因此，通过向助燃腔室26中通入氢气，使氢气与包括氢气和氧气的工艺废气混合，可以提高工艺废气中氢气的浓度，以使氢气能够容易的与氧气在高温下燃烧发生氧化反应，从而提高工艺废气中氢气燃烧的量，以进一步降低工艺废气中的可燃气体的浓度，进而进一步降低可燃气体排放的浓度，进一步降低工艺污染，进一步提高工艺安全性。
如图1和图2所示，在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括燃烧检测部件29，燃烧检测部件29用于对排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体燃烧产生的火焰进行检测。
借助燃烧检测部件29对排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体燃烧产生的火焰进行检测，可以获知当前排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体是否燃烧，即，当燃烧检测部件29检测到火焰时，则排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体燃烧，若燃烧检测部件29未检测到火焰时，则排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体未燃烧，这样就可以在可燃气体未燃烧时，及时的停止向助燃腔室26中通入助燃气体，并使工艺腔室停止向高温燃烧腔室23中排放工艺废气，且使高温燃烧腔室23停止向燃烧腔室21和吸收存储腔室11排放工艺废气，以避免工艺废气中的可燃气体在未燃烧的情况下就排放至吸收存储腔室11，以避免高浓度的可燃气体从吸收存储腔室11排放，从而提高可燃气体处理装置的使用稳定性。
如图1和图2所示，燃烧检测部件29可以设置在高温燃烧腔室21腔室中。
如图1和图2所示，在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括测温部件31，测温部件31用于对高温部件22的温度进行检测。这样可以避免由于高温部件22的温度过低导致工艺废气中的可燃气体燃烧不充分，从而提高可燃气体处理装置的使用稳定性。
在本发明一优选实施例中，燃烧腔室21可以设置有导流结构32，导流结构32用于将燃烧后的工艺废气导流向燃烧腔室21与吸收存储腔室11的连通处。这样可以便于使燃烧后的工艺废气快速的从燃烧腔室21中排放至吸收存储腔室11中，避免工艺废气在燃烧腔室21中堆积，导致燃烧腔室21中的可燃气体的浓度增加，从而提高可燃气体处理装置的使用安全性，并且，可以提高工艺废气的排放顺畅度。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，导流结构32可以包括导流板，导流板的一侧连接于燃烧腔室21与吸收存储腔室11连通的侧壁，另一侧与侧壁相邻的邻侧壁连接，并相对于侧壁和邻侧壁倾斜设置，使燃烧后的工艺废气沿其流向侧壁。
这样可以使燃烧腔室21与吸收存储腔室11连通的侧壁的尺寸减小，使侧壁和邻侧壁之间的空间减小，从而使燃烧后的工艺废气能够快速的从燃烧腔室21中排放，并且，由于导流板相对于侧壁和邻侧壁倾斜设置，可以避免燃烧后的工艺废气在流动至燃烧腔室21与吸收存储腔室11连通的侧壁时，受到侧壁的阻挡，以使燃烧后的工艺废气能够顺畅的从燃烧腔室21中排放，从而便于使燃烧后的工艺废气快速的从燃烧腔室21中排放。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括第一冷却组件、第二冷却组件和第三冷却组件中的一个或多个，其中，第一冷却组件设置在吸收存储腔室11中，用于对进入吸收存储腔室11中的燃烧后的工艺废气进行冷却；第二冷却组件设置在高温燃烧腔室23中，用于对进入高温燃烧腔室23中，并经过高温燃烧后的工艺废气进行冷却；第三冷却组件设置在燃烧腔室21中，并设置在导流板上，用于对沿导流板流动的燃烧后的工艺废气进行冷却。
借助第一冷却组件对吸收存储腔室11进行冷却，可以降低工艺废气从吸收存储腔室11中排出时的温度，以避免工艺废气在从吸收存储腔室11中排出后发生燃烧，从而进一步提高工艺安全性。并且，由于能够吸收并存储可燃气体的金属化合物吸收并存储可燃气体的能力会随其自身的温度升高而降低，随其自身的温度降低而升高，并且根据金属化合物种类的不同，在其自身的温度过高时，还会将其吸收并存储的可燃气体从其中释放出来，而由于进入吸收存储腔室11中的工艺废气是燃烧后，导致进入吸收存储腔室11中的工艺废气的温度较高，使得吸收存储腔室11的温度也会升高，因此，借助第一冷却组件对吸收存储腔室11进行冷却，可以降低吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度，以提高吸收存储腔室11吸收并存储可燃气体的能力，并避免吸收存储腔室11将吸收并存储的可燃气体从其中释放出来，从而提高可燃气体处理装置的使用稳定性。
借助第二冷却组件对高温燃烧腔室23中的燃烧后的工艺废气进行冷却，可以降低工艺废气从高温燃烧腔室23中排出时的温度，以避免工艺废气在从高温燃烧腔室23中排出后发生燃烧，从而进一步提高工艺安全性。并且，由于吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物吸收并存储可燃气体的能力会随其自身的温度升高而降低，随其自身的温度降低而升高，并且根据金属化合物种类的不同，在其自身的温度过高时，还会将其吸收并存储的可燃气体从其中释放出来，借助第二冷却组件对高温燃烧腔室23中的燃烧后的工艺废气进行冷却，可以使燃烧后的工艺废气进入吸收存储腔室11时的温度得到降低，避免吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度受到燃烧后的工艺气体的影响而升高，以提高吸收存储腔室11吸收并存储可燃气体的能力，并避免吸收存储腔室11将吸收并存储的可燃气体从其中释放出来，从而提高可燃气体处理装置的使用稳定性。
借助第三冷却组件对沿导流板流动的燃烧后的工艺废气进行冷却，可以降低工艺废气从高温燃烧腔室23中排出时的温度，以避免工艺废气在从高温燃烧腔室23中排出后发生燃烧，从而进一步提高工艺安全性。并且，由于吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物吸收并存储可燃气体的能力会随其自身的温度升高而降低，随其自身的温度降低而升高，并且根据金属化合物种类的不同，在其自身的温度过高时，还会将其吸收并存储的可燃气体从其中释放出来，借助第三冷却组件对高温燃烧腔室23中的燃烧后的工艺废气进行冷却，可以使燃烧后的工艺废气进入吸收存储腔室11时的温度得到降低，避免吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度受到燃烧后的工艺气体的影响而升高，以提高吸收存储腔室11吸收并存储可燃气体的能力，并避免吸收存储腔室11将吸收并存储的可燃气体从其中释放出来，从而提高可燃气体处理装置的使用稳定性。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第一冷却组件可以包括第一冷却主体13、第一冷却管件14和第一通断部件15，其中，第一冷却主体13设置在吸收存储腔室11中；第一冷却管件14与第一冷却主体13连通，并能够与冷却介质源(图中未示出)连通，将冷却介质源提供的冷却介质引流至第一冷却主体13中，对进入吸收存储腔室11中的工艺废气进行冷却；第一通断部件15设置在第一冷却管件14上，用于控制第一冷却管件14的通断。
第一冷却管件14与第一冷却主体13连通，并能够与冷却介质源连通，以使冷却介质源提供的冷却介质能够流经第一冷却管件14进入第一冷却主体13中，即，第一冷却管件14将冷却介质源提供的冷却介质引流至第一冷却主体13中，第一冷却主体13设置在吸收存储腔室11中，当第一冷却主体13中有冷却介质流入时，其可以对吸收存储腔室11进行冷却，第一通断部件15设置在第一冷却管件14上，用于控制第一冷却管件14的通断，借助第一通断部件15控制第一冷却管件14的连通，可以使冷却介质源提供的冷却介质能够通过第一冷却管件14流至第一冷却主体13中，借助第一通断部件15控制第一冷却管件14将的断开，可以使冷却介质源提供的冷却介质无法通过第一冷却管件14流至第一冷却主体13中，这样就可以提高第一冷却组件的使用灵活性。
可选的，第一冷却主体13可以包括蛇形水冷管，以提高第一冷却主体13在吸收存储腔室11中的面积，从而提高对吸收存储腔室11的冷却效果。
可选的，冷却介质可以包括冷却液。
可选的，第一通断部件15可以包括第一通断阀。第一通断阀设置在第一冷却管件14上，通过控制第一通断阀的开闭，以控制第一冷却管件14的通断，即，若控制第一通断阀开启，则第一冷却管件14连通，若控制第一通断阀闭合，则第一冷却管件14断开。
可选的，第一通断阀可以包括球阀。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第一冷却组件可以还包括第一控温部件16，第一控温部件16设置在吸收存储腔室11上，并与第一通断部件15通信连接，用于对吸收存储腔室11的温度进行检测，并根据检测到的吸收存储腔室11的温度控制第一通断部件15的开闭。
例如，当第一控温部件16检测到吸收存储腔室11的温度升高至吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度达到将要释放其吸收并存储的可燃气体时，第一控温部件16可以控制第一通断部件15打开，使第一冷却管件14连通，以使冷却介质源提供的冷却介质能够通过第一冷却管件14流至第一冷却主体13中，对吸收存储腔室11进行冷却，以降低吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度，从而在避免吸收存储腔室11将吸收并存储的可燃气体从其中释放出来的同时，还可以减少冷却介质的使用，从而降低可燃气体处理装置的使用成本。
例如，当第一控温部件16检测到吸收存储腔室11的温度升高至吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度难以吸收并存储可燃气体时，第一控温部件16可以控制第一通断部件15打开，使第一冷却管件14连通，以使冷却介质源提供的冷却介质能够通过第一冷却管件14流至第一冷却主体13中，对吸收存储腔室11进行冷却，以降低吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的温度，从而提高吸收存储腔室11吸收并存储可燃气体的能力。
第一控温部件16控制第一通断部件15开闭的温度，可以根据吸收存储腔室11的能够吸收并存储可燃气体的金属化合物的种类而调整。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第一冷却组件可以还包括第一流量控制部件17，第一流量控制部件17设置在第一冷却管件14上，用于控制流经第一冷却管件14的冷却介质的流量。
借助第一流量控制部件17控制流经第一冷却管件14的冷却介质的流量增大，可以使流经第一冷却管件14的冷却介质的流量增大，以使流入第一冷却主体13中的冷却介质的流量增大，从而增加第一冷却主体13对吸收存储腔室11的冷却效果，借助第一流量控制部件17控制流经第一冷却管件14的冷却介质的流量减小，可以使流经第一冷却管件14的冷却介质的流量减小，以使流入第一冷却主体13中的冷却介质的流量减小，从而降低第一冷却主体13对吸收存储腔室11的冷却效果，进而提高第一冷却组件的使用灵活性。
可选的，第一流量控制部件17可以包括第一流量控制阀。第一流量控制阀设置在第一冷却管件14上，通过控制第一流量控制阀的开度，以控制能够流经第一冷却管件14的冷却介质的流量，即，若控制第一流量控制阀的开度增大，则能够流经第一冷却管件14的冷却介质的流量增大，若控制第一流量控制阀的开度减小，则能够流经第一冷却管件14的冷却介质的流量减小。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第二冷却组件可以包括第二冷却主体24和第二冷却管件25，其中，第二冷却主体24设置在高温燃烧腔室23中，并相对于高温部件22远离高温燃烧腔室23与工艺腔室的连通处；第二冷却管件25贯穿燃烧腔室21和高温燃烧腔室23，并能够与冷却介质源(图中未示出)连通，将冷却介质源提供的冷却介质引流至第二冷却主体24中，对高温燃烧腔室23中的燃烧后的工艺废气进行冷却。
高温燃烧腔室23与工艺腔室连通，使工艺腔室排放的工艺废气能够进入高温燃烧腔室23中，高温部件22贯穿高温燃烧腔室23伸入至高温燃烧腔室23中，以利用自身的高温使排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体燃烧，第二冷却管件25与第二冷却主体24连通，并能够与冷却介质源连通，以使冷却介质源提供的冷却介质能够流经第二冷却管件25进入第二冷却主体24中，即，第二冷却管件25将冷却介质源提供的冷却介质引流至第二冷却主体24中，第二冷却主体24设置在高温燃烧腔室23中，当第二冷却主体24中有冷却介质流入时，其可以对排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气进行冷却，第二冷却主体24相对于高温部件22远离高温燃烧腔室23与工艺腔室的连通处，以使排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气中的可燃气体先受到高温部件22的高温而燃烧，再受到第二冷却主体24的冷却，最后从高温燃烧腔室23中排放至燃烧腔室21中。
可选的，第二冷却主体24可以包括蛇形水冷管，以提高第二冷却主体24在高温燃烧腔室23中的面积，从而提高对排放至高温燃烧腔室23中的工艺废气的冷却效果。
可选的，冷却介质可以包括冷却液。
可选的，第二冷却管件25与第一冷却管件14所连通的冷却介质源可以相同也可以不相同。
可选的，高温燃烧腔室23与燃烧腔室21连通的方式，可以是在高温燃烧腔室23上设置排气口，也可以是设置第一排气管件41，使第一排气管件41贯穿高温燃烧腔室23，一端位于高温燃烧腔室23中与高温燃烧腔室23连通，另一端位于燃烧腔室21中与燃烧腔室21连通，以使高温燃烧腔室23与燃烧腔室21通过第一排气管件41连通。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第三冷却组件可以包括第三冷却主体33、第三冷却管件34和第二通断部件35，其中，第三冷却主体33设置在燃烧腔室21中，并设置在导流板上；第三冷却管件34与第三冷却主体33连通，并能够与冷却介质源(图中未示出)连通，将冷却介质源提供的冷却介质引流至第三冷却主体33中，对沿导流板流动的燃烧后的工艺废气进行冷却；第二通断部件35设置在第三冷却管件34上，用于控制第三冷却管件34的通断。
第三冷却管件34与第三冷却主体33连通，并能够与冷却介质源连通，以使冷却介质源提供的冷却介质能够流经第三冷却管件34进入第三冷却主体33中，即，第三冷却管件34将冷却介质源提供的冷却介质引流至第三冷却主体33中，第三冷却主体33设置在燃烧腔室21中，并设置在导流板上，以在有冷却介质流入第三冷却主体33时，可以对对沿导流板流动的燃烧后的工艺废气进行冷却，第二通断部件35设置在第三冷却管件34上，用于控制第二冷却管件25的通断，借助第二通断部件35控制第三冷却管件34的连通，可以使冷却介质源提供的冷却介质能够通过第三冷却管件34流至第三冷却主体33中，借助第二通断部件35控制第三冷却管件34将的断开，可以使冷却介质源提供的冷却介质无法通过第三冷却管件34流至第三冷却主体33中，从而提高第三冷却组件的使用灵活性。
可选的，冷却介质可以包括冷却液。
可选的，第二通断部件35可以包括第二通断阀。第二通断阀设置在第三冷却管件34上，通过控制第二通断阀的开闭，以控制第三冷却管件34的通断，即，若控制第二通断阀开启，则第三冷却管件34连通，若控制第二通断阀闭合，则第三冷却管件34断开。
可选的，第二通断阀可以包括球阀。
可选的，第三冷却管件34、第二冷却管件25与第一冷却管件14所连通的冷却介质源可以均相同也可以均不相同。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第三冷却组件可以还包括第二控温部件36，第二控温部件36设置在导流板上，并与第二通断部件35通信连接，用于对燃烧腔室21中的温度进行检测，并根据检测到的燃烧腔室21中的温度控制第二通断阀的开闭。
例如，当第二控温部件36检测到燃烧腔室21的温度过高时，第二控温部件36可以控制第二通断部件35打开，使第三冷却管件34连通，以使冷却介质源提供的冷却介质能够通过第三冷却管件34流至第三冷却主体33中，对沿导流板流动的燃烧后的工艺废气进行冷却，以避免过高温度的工艺废气进入吸收存储腔室11，并从吸收存储腔室11中排出，从而避免高吸收存储腔室11的温度过高，并避免从吸收存储腔室11中排出的工艺废气温度过高，从而减少冷却介质的使用，降低可燃气体处理装置的使用成本，并提高提高吸收存储腔室11吸收并存储可燃气体的能够，且提高工艺安全性。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，第三冷却组件可以还包括第二流量控制部件37，第二流量控制部件37设置在第三冷却管件34上，用于控制流经第三冷却管件34的冷却介质的流量。
借助第二流量控制部件37控制流经第三冷却管件34的冷却介质的流量增大，可以使流经第三冷却管件34的冷却介质的流量增大，以使流入第三冷却主体33中的冷却介质的流量增大，从而增加第三冷却主体33对吸收存储腔室11的冷却效果，借助第二流量控制部件37控制流经第三冷却管件34的冷却介质的流量减小，可以使流经第三冷却管件34的冷却介质的流量减小，以使流入第三冷却主体33中的冷却介质的流量减小，从而降低第三冷却主体33对吸收存储腔室11的冷却效果，这样就可以提高第三冷却组件的使用灵活性。
可选的，第二流量控制部件37可以包括第二流量控制阀。第二流量控制阀设置在第三冷却管件34上，通过控制第二流量控制阀的开度，以控制能够流经第三冷却管件34的冷却介质的流量，即，若控制第二流量控制阀的开度增大，则能够使流经第三冷却管件34的冷却介质的流量增大，若控制第二流量控制阀的开度减小，则能够使流经第三冷却管件34的冷却介质的流量减小。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，吸收存储腔室11可以还包括排液结构19，排液结构19设置在吸收存储腔室11上，用于将进入吸收存储腔室11中的工艺废气产生的冷凝液排放。
排液结构19的设置是由于进入吸收存储腔室11中的燃烧后的工艺废气可能会因进入吸收存储腔室11后自然的温度降低，并且，还可能会因受到第一冷却组件对吸收存储腔室11的冷却而温度降低，而燃烧后的工艺废气的温度降低会使得工艺废气中的一些气体冷凝形成液体，例如，氧气和氢气在燃烧发生氧化反应后会产生水蒸气，而水蒸气在温度降低后会冷凝形成冷凝水，而通过在吸收存储腔室11上设置排液结构19，可以使这些冷凝液从吸收存储腔室11中排出，避免这些冷凝液存留在吸收存储腔室11中。
可选的，排液结构19可以包括排液管件。
可选的，排液结构19可以设置在吸收存储腔室11的底部，以使冷凝液能够在自身重力作用下从排液结构19排出，便于冷凝液的排放。
如图1所示，在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括连通管件38，连通管件38的两端分别与燃烧腔室21和吸收存储腔室11连通，以使燃烧腔室21与吸收存储腔室11连通，即，燃烧腔室21与吸收存储腔室11通过连通管件38连通。
如图1所示，连通管件38的一端与燃烧腔室21连通，另一端与吸收存储腔室11连通，以使燃烧腔室21与吸收存储腔室11连通，即，燃烧腔室21与吸收存储腔室11通过连通管件38连通。
如图1和图2所示，在本发明一优选实施例中，可燃气体处理装置可以还包括进气管件39，进气管件39的一端与燃烧腔室21连通，另一端能够与工艺腔室连通，以使燃烧腔室21能够与工艺腔室连通，即，燃烧腔室21与工艺腔室能够通过进气管件39连通。
如图1和图2所示，可选的，进气管件39的一端与燃烧腔室21中的助燃腔室26连通，另一端能够与工艺腔室连通，以通过助燃腔室26和高温燃烧腔室23使燃烧腔室21与工艺腔室连通，即，燃烧腔室21与工艺腔室能够通过连通管件38连通。
在实际应用中，工艺腔室可以包括立式反应炉，本发明实施例提供的可燃气体处理装置可以作为立式反应炉的尾气处理装置使用，通过将本发明实施例提供的可燃气体处理装置与立式反应炉的尾气排放结构连通，可以使立式反应炉在半导体工艺中产生的工艺废气，排放至本发明实施例提供的可燃气体处理装置，以借助本发明实施例提供的可燃气体处理装置对立式反应炉在半导体工艺中产生的工艺废气中的可燃气体进行处理。
综上所述，本发明实施例提供的可燃气体处理装置，能够降低可燃气体排放到外界的量，降低工艺污染，提高工艺安全性。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，其特征在于，所述可燃气体处理装置包括燃烧腔室和吸收存储腔室，其中，所述燃烧腔室用于连通所述工艺腔室和所述吸收存储腔室；
所述燃烧腔室内设有高温燃烧组件，所述高温燃烧组件用于使排放至所述燃烧腔室中的所述工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的所述工艺废气进入所述吸收存储腔室中；
所述吸收存储腔室的制作材料能够吸收并存储燃烧后的所述工艺废气中的所述可燃气体，且所述吸收存储腔室上设置有第一排气结构，所述第一排气结构用于将未经吸收存储的所述工艺废气排放。
2.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述吸收存储腔室的制作材料包括能够吸收并存储所述可燃气体的金属化合物。
3.根据权利要求2所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述金属化合物包括镁镍合金。
4.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括稀释气体管件，所述稀释气体管件与所述吸收存储腔室连通，并能够与稀释气体源连通，用于通过将所述稀释气体源提供的稀释气体引流至所述吸收存储腔室中，对进入所述吸收存储腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体进行稀释。
5.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述高温燃烧组件包括高温燃烧腔室和高温部件，其中，所述高温燃烧腔室设置在所述燃烧腔室中，并能够与所述工艺腔室连通，使所述工艺废气排放至所述高温燃烧腔室中，且与所述燃烧腔室连通，使燃烧后的所述工艺废气通过所述燃烧腔室进入所述吸收存储腔室中；
所述高温部件设置在所述高温燃烧腔室中，用于产生高温使排放至所述高温燃烧腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体燃烧。
6.根据权利要求5所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括助燃组件，所述助燃组件用于向所述高温燃烧腔室中通入与所述可燃气体相同的气体，以提高所述工艺废气中的所述可燃气体的含量。
7.根据权利要求6所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述助燃组件包括助燃腔室、助燃气体管件和第二排气结构，其中，所述助燃腔室设置在所述高温燃烧腔室中，并能够与所述工艺腔室连通，使所述工艺废气排放至所述助燃腔室中；
所述助燃气体管件与所述助燃腔室连通，并能够与助燃气体源连通，将所述助燃气体源提供的所述助燃气体引流至所述助燃腔室中，与进入所述助燃腔室中的所述工艺废气混合；
所述第二排气结构设置在所述助燃腔室上，并与所述高温部件对应设置，将混合后的所述工艺废气和所述助燃气体排放至所述高温部件。
8.根据权利要求5所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括燃烧检测部件，所述燃烧检测部件用于对排放至所述高温燃烧腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体燃烧产生的火焰进行检测。
9.根据权利要求5所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述燃烧腔室设置有导流结构，所述导流结构用于将燃烧后的所述工艺废气导流向所述燃烧腔室与所述吸收存储腔室的连通处。
10.根据权利要求9所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述导流结构包括导流板，所述导流板的一侧连接于所述燃烧腔室与所述吸收存储腔室连通的侧壁，另一侧与所述侧壁相邻的邻侧壁连接，并相对于所述侧壁和所述邻侧壁倾斜设置，使燃烧后的所述工艺废气沿其流向所述侧壁。
11.根据权利要求10所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括第一冷却组件、第二冷却组件和第三冷却组件中的一个或多个，其中，所述第一冷却组件设置在所述吸收存储腔室中，用于对进入所述吸收存储腔室中的燃烧后的所述工艺废气进行冷却；
所述第二冷却组件设置在所述高温燃烧腔室中，用于对进入所述高温燃烧腔室中，并经过高温燃烧后的所述工艺废气进行冷却；
所述第三冷却组件设置在所述燃烧腔室中，并设置在所述导流板上，用于对沿所述导流板流动的燃烧后的所述工艺废气进行冷却。
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