CN113049022A - 一种检测设备和单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种检测设备和单晶炉。检测设备应用于单晶炉，单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴，提拉软轴的材料包括金属材料，提拉软轴与炉体之间密封且绝缘设置，且提拉软轴的一端延伸至炉体内部，另一端位于炉体的外侧；检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，通信模块与提拉软轴电连接，且提拉软轴用于为通信模块传输信号。本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种检测设备和单晶炉。
背景技术
单晶炉是单晶硅棒生成过程中常用的设备，而单晶炉的各种性能指标对于产品的品质和良品率等参数均有一定的影响，因此，需要对单晶炉的性能进行一定的检测和测试。单晶炉需要在保持密闭状态下，通过设置于炉体内的检测设备进行测试，一般来说，单晶炉的炉体为金属结构，密闭的金属结构会屏蔽检测设备的信号传输，现有测试过程中，需要频繁的打开和关闭单晶炉，测试效率较低。
发明内容
本发明实施例提供一种检测设备和单晶炉，以解决现有测试过程中，需要频繁的打开和关闭单晶炉，测试效率较低的问题。
第一方面，本发明实施例提供了一种检测设备，应用于单晶炉，所述单晶炉包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧；
所述检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，所述通信模块与所述提拉软轴电连接，且所述提拉软轴用于为所述通信模块传输信号。
可选的，还包括第一接头，所述第一接头设置于所述炉体内，所述第一接头与所述提拉软轴电连接，所述通信模块包括第二接头，所述第二接头与所述第一接头相匹配，以在所述第一接头和所述第二接头相连时，所述通信模块与所述提拉软轴电连接。
可选的，所述第一接头包括用于与所述第二接头相连的连接部以及用于与所述提拉软轴相连的固定部，所述固定部呈环形，且环绕所述提拉软轴设置。
可选的，还包括用于固定所述提拉软轴的固定组件，所述固定组件的材料包括绝缘材料，且所述固定组件分别与所述提拉软轴和所述炉体的内壁相连。
可选的，所述检测设备包括连接件，所述检测设备通过所述连接件吊设于所述提拉软轴位于所述炉体内部的一端。
可选的，所述检测设备包括壳体，所述通信模块和所述电源模块密封于所述壳体内，所述执行模块的部分或全部密封于所述壳体内。
可选的，还包括控制器，所述控制器与所述提拉软轴通过数据线通信连接。
可选的，所述通信模块为无线通讯模块，所述提拉软轴复用为所述无线通讯模块的通讯天线。
可选的，还包括信号放大器，所述信号放大器用于放大所述无线通讯模块通过所述提拉软轴传输的信号，所述信号放大器设置于所述炉体的外侧，且所述信号放大器与所述提拉软轴电连接。
第二方面，本发明实施例还提供了一种单晶炉，包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧，所述单晶炉还包括第一方面中任一项所述的检测设备。
本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。
图1是本发明一实施例提供的单晶炉的结构示意图；
图2是本发明一实施例中检测设备和控制器的连接示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了一种检测设备，以及一种应用该检测设备的单晶炉。
如图1所示，在一个实施例中，该单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴105，提拉软轴105的材料包括金属材料，提拉软轴105与炉体之间密封且绝缘设置。
请继续参阅图1，一般来说，单晶炉的炉体包括底座101、主炉室102、副炉室103和提拉组件104，其中，提拉组件104与提拉软轴105相连，以调节提拉软轴105的位置。密封件可以包括炉盖106和隔离阀室107，该密封件可以密封炉体，以在单晶炉工作过程中提供密闭的工作环境。提拉软轴105的一端延伸至炉体内部，另一端位于炉体的外侧，提拉软轴105的位置可以通过提拉组件104调整。
单晶炉还包括检测设备108，如图2所示，检测设备108包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，通信模块与提拉软轴105电连接，且提拉软轴105用于为通信模块传输信号，从而实现通信模块与控制器200的通信连接。
本实施例中的检测设备108可以用于执行不同的测试任务，具体包括但不限于对于内壁损伤测试、炉体密闭性测试、炉体疲劳测试、炉体热损伤测试等。
显然，检测设备108可以用于执行的测试项目并不局限于此，针对不同的测试项目，可以设置相应的执行模块，执行模块本身可以一定程度上参考相关技术，此处不做进一步限定。
本实施例中的通信模块用于接收或发射信号，提拉软轴105为通信模块传输信号指的是，提拉软轴105可以用于在通信模块发射信号过程中传输信号，也可以在通信模块接收信号过程中传输信号。
本发明实施例通过利用提拉软轴105传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度。
在其中一些实施例中，还包括第一接头，第一接头设置于炉体内，第一接头与提拉软轴105电连接，通信模块包括第二接头，第二接头与第一接头相匹配，以在第一接头和第二接头相连时，通信模块与提拉软轴105电连接。
本实施例中，第一接头设置于提拉软轴105上且与提拉软轴105电连接，第二接头设置于通信模块上，当更换不同的检测设备108时，可以将更换后的检测设备108的第二接头与设置于提拉软轴105上的第一接头相连接，从而实现利用提拉软轴105传输信号，有助于提高信号传输的通用性以及检测设备108更换的便利程度。
在其中一些实施例中，第一接头包括用于与第二接头相连的连接部以及用于与提拉软轴105相连的固定部，固定部呈环形，且环绕提拉软轴105设置。
本实施例中，第一接头的固定部可以是包括环形缺口的夹子状结构，也可以由包括环形缺口且相对合的多个夹片构成，实施时，将固定部环绕提拉软轴105固定于提拉软轴105上，能够提高固定部与提拉软轴105的接触面积，有助于提高信号传输效果。
在其中一些实施例中，检测设备108包括连接件，检测设备108通过连接件吊设于提拉软轴105位于炉体内部的一端。
如图1所示，本实施例中，检测设备108直接吊挂在提拉软轴105上，为了避免第一接头和第二接头相脱离，本实施例中进一步设置了连接件，检测设备108通过连接件吊挂于提拉软轴105上，避免由于第一接头和第二接头直接承受检测设备108的重力导致第一接头和第二接头相脱离。
在其中一些实施例中，还包括用于固定提拉软轴105的固定组件，固定组件的材料包括绝缘材料，且固定组件分别与提拉软轴105和炉体的内壁相连。
本实施例中，在检测设备108不能直接吊挂于提拉软轴105底部的情况，示例性的，检测设备108还可能吊挂于炉体的内壁。本实施例中进一步设置固定组件，该固定组件用于调整提拉软轴105的位置。
在其中一些实施例中，固定组件可以是分别与提拉软轴105和炉体内壁相连的固定杆或固定绳，以固定组件为固定绳做示例性说明。
实施时，可以设置多根固定绳，且固定绳分别向不同方向延伸，这样，受到固定绳的长度限制，提拉软轴105偏离原位置的距离大小是有限的，从而实现对于提拉软轴105的位置的限制。
在其中一些实施例中，检测设备108包括壳体，通信模块和电源模块密封于壳体内，执行模块的部分或全部密封于壳体内。
本实施例中，检测设备108为密闭结构，壳体可以采用不锈钢等材料制作，电源组件可以选用充电电池，通信模块则可以选择功耗相对较低的通信模块，以延长使用时间。通过设置密封的壳体，能够降低检测设备108污染单晶炉的可能性，有助于提高产品的品质。
在其中一些实施例中，还包括控制器200，本实施例中，控制器200可以通过提拉软轴105与通信模块有线连接，具体的，控制器200与提拉软轴105通过数据线通信连接，以实现对于信号的接收或发送，采用有线的方式进行数据传输，能够使得信号传输的更加稳定，信号传输速度相对较快。
在其中一些实施例中，通信模块为无线通讯模块，提拉软轴105复用为无线通讯模块的通讯天线。
本实施例中，提拉软轴105作为无线通信模块的信号发射天线以及信号传输天线，该无线通信模块可以是蓝牙模块等通信模块，以无线通信模块为蓝牙模块做示例性说明。
蓝牙模块具体可以包括发射单元和接收单元，发射单元和接收单元可以公用提拉软轴105，并按照不同的控制时序接收或发射蓝牙信号。进一步的，在其中一些实施例中，提拉软轴105可以包括相独立的两组金属结构，其中一组用于接收蓝牙信号，另一组用于发射蓝牙信号。蓝牙模块通过该提拉软轴105传输信号与控制器200，例如遥控器，通信连接，从而实现对于测试过程的控制和监测。
在其中一些实施例中，还包括信号放大器，信号放大器用于放大无线通讯模块通过提拉软轴105传输的信号，信号放大器设置于炉体的外侧，且信号放大器与提拉软轴105电连接。
由于提拉软轴105的长度通常较长，且提拉软轴105并非专用的信号传输设备，因此，可能导致信号有一定的衰减，为了提高信号强度，本实施例中进一步设置了信号放大器，从而能够通过该信号放大器放大信号，有助于提高信号传输质量，进而有助于提高对于测试过程控制和监测的准确程度。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种检测设备，应用于单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧；
所述检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，所述通信模块与所述提拉软轴电连接，且所述提拉软轴用于为所述通信模块传输信号。
2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括第一接头，所述第一接头设置于所述炉体内，所述第一接头与所述提拉软轴电连接，所述通信模块包括第二接头，所述第二接头与所述第一接头相匹配，以在所述第一接头和所述第二接头相连时，所述通信模块与所述提拉软轴电连接。
3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一接头包括用于与所述第二接头相连的连接部以及用于与所述提拉软轴相连的固定部，所述固定部呈环形，且环绕所述提拉软轴设置。
4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，还包括用于固定所述提拉软轴的固定组件，所述固定组件的材料包括绝缘材料，且所述固定组件分别与所述提拉软轴和所述炉体的内壁相连。
5.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备包括连接件，所述检测设备通过所述连接件吊设于所述提拉软轴位于所述炉体内部的一端。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备包括壳体，所述通信模块和所述电源模块密封于所述壳体内，所述执行模块的部分或全部密封于所述壳体内。
7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与所述提拉软轴通过数据线通信连接。
8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述通信模块为无线通讯模块，所述提拉软轴复用为所述无线通讯模块的通讯天线。
9.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于，还包括信号放大器，所述信号放大器用于放大所述无线通讯模块通过所述提拉软轴传输的信号，所述信号放大器设置于所述炉体的外侧，且所述信号放大器与所述提拉软轴电连接。
10.一种单晶炉，其特征在于，包括炉体、密封所述炉体的密封件以及设置于所述炉体上的提拉软轴，所述提拉软轴的材料包括金属材料，所述提拉软轴与所述炉体之间密封且绝缘设置，且所述提拉软轴的一端延伸至所述炉体内部，另一端位于所述炉体的外侧，所述单晶炉还包括权利要求1至9中任一项所述的检测设备，所述检测设备的通信模块与所述提拉软轴电连接，且所述提拉软轴用于为所述通信模块传输信号。
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|---|---|
| CN (1) | CN113049022A (zh) |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1510176A (zh) * | 2002-12-20 | 2004-07-07 | 北京有色金属研究总院 | 单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法 |
| CN101967677A (zh) * | 2010-11-08 | 2011-02-09 | 北京京仪世纪电子股份有限公司 | 一种单晶炉及抑制单晶炉的软轴摆动的方法 |
| CN202440566U (zh) * | 2012-01-31 | 2012-09-19 | 阿特斯(中国)投资有限公司 | 单晶炉内的单晶棒称重系统 |
| CN103581291A (zh) * | 2013-08-30 | 2014-02-12 | 华中师范大学 | 金属密闭环境下基于ZigBee的设备监控系统及其监控方法 |
| CN203929210U (zh) * | 2014-05-12 | 2014-11-05 | 中山大学 | 一种无线测量单晶提拉炉振动信号的系统 |
| US20160032484A1 (en) * | 2013-10-02 | 2016-02-04 | Korea Institute Of Industrial Technology | Device for detecting island position of single crystal ingot growing furnace and method for detecting island position |
| CN205443512U (zh) * | 2015-12-30 | 2016-08-10 | 江西豪安能源科技有限公司 | 一种高效率的单晶炉 |
| CN108365856A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-08-03 | 浙江大学 | 一种屏蔽环境下的物联网无线信号传输方法 |
| CN110528066A (zh) * | 2019-09-03 | 2019-12-03 | 宁夏隆基硅材料有限公司 | 一种掺杂方法、单晶装置及单晶炉 |
| CN111370774A (zh) * | 2020-03-17 | 2020-07-03 | 北京理工大学 | 一种克服电磁屏蔽的电池内部温度监控与传输方法 |
| CN211284618U (zh) * | 2019-12-13 | 2020-08-18 | 山东有研半导体材料有限公司 | 一种用于直拉法中检测大直径单晶硅是否晃动的装置 |
| CN111665876A (zh) * | 2019-03-07 | 2020-09-15 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 炉压异常的处理方法、设备及存储介质 |
-
2021
- 2021-03-09 CN CN202110256410.2A patent/CN113049022A/zh active Pending
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1510176A (zh) * | 2002-12-20 | 2004-07-07 | 北京有色金属研究总院 | 单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法 |
| CN101967677A (zh) * | 2010-11-08 | 2011-02-09 | 北京京仪世纪电子股份有限公司 | 一种单晶炉及抑制单晶炉的软轴摆动的方法 |
| CN202440566U (zh) * | 2012-01-31 | 2012-09-19 | 阿特斯(中国)投资有限公司 | 单晶炉内的单晶棒称重系统 |
| CN103581291A (zh) * | 2013-08-30 | 2014-02-12 | 华中师范大学 | 金属密闭环境下基于ZigBee的设备监控系统及其监控方法 |
| US20160032484A1 (en) * | 2013-10-02 | 2016-02-04 | Korea Institute Of Industrial Technology | Device for detecting island position of single crystal ingot growing furnace and method for detecting island position |
| CN203929210U (zh) * | 2014-05-12 | 2014-11-05 | 中山大学 | 一种无线测量单晶提拉炉振动信号的系统 |
| CN205443512U (zh) * | 2015-12-30 | 2016-08-10 | 江西豪安能源科技有限公司 | 一种高效率的单晶炉 |
| CN108365856A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-08-03 | 浙江大学 | 一种屏蔽环境下的物联网无线信号传输方法 |
| CN111665876A (zh) * | 2019-03-07 | 2020-09-15 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 炉压异常的处理方法、设备及存储介质 |
| CN110528066A (zh) * | 2019-09-03 | 2019-12-03 | 宁夏隆基硅材料有限公司 | 一种掺杂方法、单晶装置及单晶炉 |
| CN211284618U (zh) * | 2019-12-13 | 2020-08-18 | 山东有研半导体材料有限公司 | 一种用于直拉法中检测大直径单晶硅是否晃动的装置 |
| CN111370774A (zh) * | 2020-03-17 | 2020-07-03 | 北京理工大学 | 一种克服电磁屏蔽的电池内部温度监控与传输方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20220616 Address after: Room 1-3-029, No. 1888, Xifeng South Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi 710065 Applicant after: Xi'an yisiwei Material Technology Co.,Ltd. Applicant after: Xi'an yisiwei Equipment Technology Co.,Ltd. Address before: E2-002, science and Technology Park, Xi'an University of technology, No.26, gazelle Road, Zhangba Street office, high tech Zone, Xi'an City, Shaanxi Province, 710000 Applicant before: Xi'an yisiwei Equipment Technology Co.,Ltd. Applicant before: Xi'an yisiwei Material Technology Co.,Ltd. |
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| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: Room 1-3-029, No. 1888, Xifeng South Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi 710065 Applicant after: Xi'an Yisiwei Material Technology Co.,Ltd. Applicant after: Xi'an Xinhui Equipment Technology Co.,Ltd. Address before: Room 1-3-029, No. 1888, Xifeng South Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi 710065 Applicant before: Xi'an yisiwei Material Technology Co.,Ltd. Applicant before: Xi'an yisiwei Equipment Technology Co.,Ltd. |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20210629 |