CN112944964B - 一种超快回流均热板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及电子元器件散热技术领域，更具体地，涉及一种超快回流均热板及其制备方法。一种超快回流均热板，包括上盖板与下盖板，上盖板与下盖板之间形成有密封的腔体，腔体内部上下表面均为内凹面，内凹面上设有向外呈辐射状分布的若干微沟槽，下盖板侧面还设置有连通腔体的充液管。本发明的超快回流均热板，腔体内部的上下表面设置有向外呈辐射状分布的若干微沟槽，导致工质在流动时，不仅受到毛细压力，还受到重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质回流速度。本发明的超快回流均热板，提升了工质回流效率，均热板的整体散热性能得到了提升。

Description

一种超快回流均热板及其制备方法

技术领域

本发明涉及电子元器件散热技术领域，更具体地，涉及一种超快回流均热板及其制备方法。

背景技术

随着信息社会的快速发展，电子产品的微型化、高度集成化成为了其主流的发展趋势。但与此同时，伴随着电子产品的微型化、集成化而来的是有效散热面积大幅减少、热流密度急剧升高的问题。根据目前的大数据统计，在所有电子设备的运行故障中，因温度过高而引起的故障高达55％以上。随着人们对设备散热要求的提高，不仅要求其具有一定的承受热形变的能力，还要求其具有能满足小体积、高热流密度环境下有效散热的功能。传统的铝制散热翅片与电子元件贴合的散热技术，已经难以满足现代的散热要求。均热板具有散热效率高、导热均匀、外形简单等特点，因而在高速传输硬盘散热、高性能微处理单元散热(如CPU、显卡等)、5G芯片基站散热、大功率激光发射器散热等应用行业具有重要的应用价值。

目前均热板的吸液芯普遍分为烧结式和沟槽式。但烧结式均热板制备的吸液芯，普遍需要较大的腔体空间，这使得均热板在体积和质量上，不符合现如今电子元器件的轻、薄、短小化的发展趋势；沟槽式均热板相对于烧结式的整体体积和质量均有所优化，但沟槽式均热板吸液芯的毛细压力低于烧结式热板吸液芯的毛细压力。中国专利申请，公开号为：CN102595861B公开了一种带内烧结结构支撑柱的均热板，在上盖板与下盖板之间的空腔内设置有上盖板烧结毛细芯和下盖板烧结毛细芯，下盖板内底面分布有多个支撑柱和多个凹陷结构的应力吸收环，上盖板烧结毛细芯和下盖板烧结毛细芯上开设有供支撑柱穿过的多个支撑柱安装孔；所述下盖板烧结毛细芯的下表面分布有多个烧结时自然形成的与应力吸收环的凹陷处对应配合的凸台。该公开的技术方案同样存在着吸液芯的毛细压力小而导致热传导效率低、散热效果不好的问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中均热板热传导效率低、散热效果不好的问题，提出一种超快回流均热板。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种超快回流均热板，包括上盖板与下盖板，所述上盖板与所述下盖板之间形成有密封的腔体，所述腔体内部上下表面均为内凹面；所述内凹面上设有向外呈辐射状分布的若干微沟槽，所述下盖板侧面还设置有连通所述腔体的充液管。

在本技术方案中，下盖板的蒸发面底部的热源加热，腔体内的工质受热由液态变为气态蒸发至上盖板的冷凝面并在此过程中吸收热量；气态工质汇集在上盖板冷凝面后液化，由于腔体内部上表面设置有向外呈辐射状分布的若干微沟槽，导致冷凝后的液体在向四周流动时，不仅受到毛细压力，还受到液体自身的重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从腔体内部上表面流动至腔体内部下表面的循环效率；由于腔体内部下表面也设置有向外呈辐射状分布的若干微沟槽，导致工质在向热源处流动时，不仅受到毛细压力，还受到重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从腔体内部下表面边缘流至腔体内部下表面中心的循环效率。本技术方案的超快回流均热板，提升了工质的回流效率，均热板的整体散热性能得到了提升。

优选地，所述腔体中设置有支撑柱，所述支撑柱的一端连接所述上盖板，另一端连接所述下盖板；若干所述微沟槽以支撑柱为中心向外呈辐射状分布。

优选地，所述微沟槽的深度由支撑柱向外逐步由深及浅设置。

优选地，相邻两微沟槽之间的夹角范围为8°至12°，若干所述微沟槽分别均匀设置在所述上盖板、下盖板上。

优选地，所述腔体内部上下表面分别设置有凹槽，所述凹槽与所述微沟槽相连通，所述支撑柱两端分别安装在上下表面的所述凹槽中。

优选地，所述腔体设有微沟槽的面呈内凹面，所述微沟槽设于所述内凹面中。

优选地，所述上盖板与所述下盖板之间设置有中空框架，所述上盖板、中空框架以及下盖板构成所述腔体，所述充液管设置在所述中空框架上并与所述腔体相连通。

优选地，所述中空框架的内侧壁设置有若干内壁沟槽，所述内壁沟槽延伸至所述中空框架的上下两端面。

优选地，若干所述内壁沟槽分别与腔体内部上下表面上的微沟槽对应且连通。

本发明另一方面提出一种超快回流均热板的制备方法，包括以下步骤：

S1：将未加工的紫铜板进行打磨，打磨完毕后对其进行清洗；

下盖板的加工：将一紫铜板，先按照热源轮廓大小，加工出相同轮廓的内凹面，然后再将初步加工好的铜板放置在加工设备的工作台上，调整加工设备的移动路径和移动间隔，调整加工设备加工微沟槽间隔为：绕下盖板热源投影轮廓边缘，间隔为8°至12°辐射状微沟槽；

上盖板的加工：将另一紫铜板，先按照热源轮廓大小，加工出相同轮廓的内凹面，然后再将初步加工好的铜板放置在加工设备的工作台上，调整加工设备的移动路径和移动间隔；调整加工设备加工微沟槽间隔为：绕上盖板热源投影轮廓边缘，间隔为10°左右的辐射状微沟槽，与下盖板微沟槽的角度相对应；

中空框架的加工：加工出外部轮廓形状与上盖板、下盖板外部轮廓形状相同，内部轮廓形状与上盖板、下盖板中微沟槽辐射形状相同的中空框架；在中空框架其中一外壁面的中心加工与腔体相连通的通孔；在中空框架的侧壁上加工内壁沟槽；

S2：将低温焊锡膏均匀、平滑地涂抹在步骤S1中加工好的中空框架的上下表面，以及充液管与充液管对接口相接触的部分；将支撑柱放置在下盖板的内凹轮廓中，加入支撑柱；将上盖板、下盖板、充液管与中空框架相合并，利用紧固夹具固定；

S3：将固定好的均热板放入马弗炉中升温加热，使焊锡膏充分熔化，使得均热板上盖板、下盖板、充液管与中空框架相结合；

S4：从马沸炉中取出样件后依次进行冷却、抽真空、注液、封口工序，最终得具有超快回流结构的均热板。

在所述步骤S1中，在加工上盖板/下盖板时，所述的加工设备为激光设备，在加工过程中，调整激光设备加工路径的方向为：由上盖板/下盖板边缘到上盖板/下盖板中心再到上盖板/下盖板边缘，且穿过上盖板/下盖板中心点；调整激光设备的离焦量参数，将其更改为线性渐变参数，使离焦量大小对应加工路径方向为：由大到小再到大，对应由上盖板/下盖板边缘到热源投影轮廓中心再到上盖板/下盖板边缘。在加工中空框架时，将初步加工完毕且清洗好的中空框架放置在激光设备上，将激光加工专用的镜面放置在激光设备中，调整激光设备的加工参数以及镜面相对应的位置，利用镜面改变激光路径，实现对中空框架内壁沟槽的加工。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：在本发明中，下盖板的蒸发面底部的热源加热，腔体内的工质受热由液态变为气态蒸发至上盖板的冷凝面并在此过程中吸收热量；气态工质汇集在上盖板冷凝面后液化，由于腔体内部上表面设置有以支撑柱为中心向外呈辐射状分布的若干微沟槽，导致冷凝后的液体在向四周流动时，不仅受到毛细压力，还受到液体自身的重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从腔体内部上表面流动至腔体内部下表面的循环效率；由于腔体内部下表面也设置有以支撑柱为中心向外呈辐射状分布的若干微沟槽，导致工质在向热源处流动时，不仅受到毛细压力，还受到重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从腔体内部下表面边缘流至腔体内部下表面中心的循环效率。本发明的超快回流均热板，提升了工质的回流效率，均热板的整体散热性能得到了提升。

附图说明

图1为本发明超快回流均热板的分解图；

图2为本发明超快回流均热板的工作原理示意图；

图3为本发明超快回流均热板中上盖板的结构示意图；

图4为本发明超快回流均热板中下盖板的结构示意图；

图5为本发明超快回流均热板中中空框架的结构示意图；

图6为本发明超快回流均热板在多热源工况时，微沟槽在上盖板/下盖板上分布示意图；

图7为本发明超快回流均热板在多热源工况时的工作原理示意图；

图8为本发明中加工中空框架上的内壁沟槽的原理图。

附图中：1、上盖板；2、下盖板；3、腔体；4、内凹面；5、支撑柱；6、微沟槽；7、充液管；8、凹槽；9、中空框架；10、内壁沟槽；11、通孔；12、热源；13、激光设备；14、镜面；15、激光。

其中，图2与图7中的实线箭头表示热量的传递方向，虚线箭头表示工质的流动方向。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本发明作进一步的说明。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

实施例1

如图1至图5所示，一种超快回流均热板，包括上盖板1与下盖板2，上盖板1与下盖板2之间形成有密封的腔体3，腔体3内部上下表面均为内凹面4，内凹面4上设有向外呈辐射状分布的若干微沟槽6，下盖板2侧面还设置有连通腔体3的充液管7。需要说明的是，腔体3内部上表面为内凹面4，便于冷凝后液体向四周流动；腔体3内部下表面为内凹面4，使得从腔体3内部上表面回流至下表面的液体，从腔体3内部下表面四周向着腔体3内部下表面的中心流动。在本实施例中，下盖板2的蒸发面底部的热源12加热，腔体3内的工质受热由液态变为气态蒸发至上盖板1的冷凝面并在此过程中吸收热量；气态工质汇集在上盖板1冷凝面后液化，由于腔体3内部上表面设置有向外呈辐射状分布的若干微沟槽6，导致冷凝后的液体在向四周流动时，不仅受到毛细压力，还受到液体自身的重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从腔体3内部上表面流动至腔体3内部下表面的循环效率；由于腔体3内部下表面也设置有向外呈辐射状分布的若干微沟槽6，导致工质在向热源12处流动时，不仅受到毛细压力，还受到重力影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从腔体3内部下表面边缘流至腔体3内部下表面中心的循环效率。

需要说明的是，本实施例中的超快回流均热板应用在多热源12工况时，会根据热源12的大小、发热量，合理分配各个热源12微沟槽6散热区域大小、微沟槽6密度等参数，如图6所示。多热源12工作时，热量从热源12传递至下盖板2蒸发面，工质受热蒸发吸热；工质到达冷凝面后由气态冷凝为液态，此时，在保证散热充分的前提下：发热量较小的热源12处，对应的微沟槽6尺寸、密度相对较小，工质回流量少、回流速度相对较慢；发热量较大的热源12处，对应的微沟槽6尺寸、密度相对较大，工质回流量多、回流速度相对较快，如图7所示。这使得多热源12情况下的均热板吸液芯的使用得到了合理的分配，传热性能得到有效提升。

其中，腔体3中设置有支撑柱5，支撑柱5的一端连接上盖板1，另一端连接下盖板2；若干微沟槽6以支撑柱5为中心向外呈辐射状分布。支撑柱5可以起到防止均热板在工作时受热变形、提升均热板整体刚度的作用；支撑柱5由铜粉烧结制备得到，因此支撑柱5内含有许多毛细小孔，可以额外提供毛细压力，从而达到提高均热板整体毛细压力极限的目的。

另外，微沟槽6的深度由支撑柱5向外逐步由深及浅设置。这样可以进一步导致在腔体3内部上表面冷凝后的液体向四周流动时，增大液体受到的毛细压力；此外，液体还受到重力的影响，在毛细压力以及重力的影响下，加速了工质从上盖板1流至下盖板2的循环效率。

其中，相邻两微沟槽6之间的夹角范围为8°至12°，若干微沟槽6分别均匀设置在上盖板1、下盖板2上。

另外，腔体3内部上下表面分别设置有凹槽8，凹槽8与微沟槽6相连通，支撑柱5两端分别安装在所述上下表面的凹槽8中。在本实施例中，凹槽8为支撑柱5的安装起到了定位作用；由于凹槽8与微沟槽6之间相连通，使得冷凝在腔体3内部上表面上的液体均可以通过微沟槽6向四周流动。

其中，上盖板1与下盖板2之间设置有中空框架9，上盖板1、中空框架9以及下盖板2构成腔体3，充液管7设置在中空框架9上并与腔体3相连通。需要说明的是，中空框架9的上表面与上盖板1的下底面密封连接，中空框架9的下表面与下盖板2的上表面密封连接。中空框架9的一侧上设置有通孔11，充液管7与通孔11密封连接。

另外，中空框架9的内侧壁设置有若干内壁沟槽10，内壁沟槽10延伸至中空框架9的上下两端面。液态工质从腔体3内部上表面流经中空框架9的壁面时，工质同样受到重力与毛细力的作用，加速了液体的流动以及整体的循环效率。

其中，若干内壁沟槽10分别与腔体3内部上下表面上的微沟槽6对应且连通。这样有利于加速工质从腔体3内部的上表面通过中空框架9上的微沟槽6流至腔体3内部的下表面。

工作原理：(1)下盖板2蒸发面底部的热源12加热，腔体3内工质受热由液态变为气态蒸发至上盖板1冷凝面并在此过程中吸收热量；

(2)气态工质汇集在上盖板1冷凝面后液化，由于上盖板1的微沟槽6以支撑柱5为中心向外呈辐射状分布，且深度由支撑柱5向外逐步由深及浅设置，导致冷凝后的液体在向四周流动时，不仅明显的受到毛细压力，还明显的受到了重力的影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从上盖板1流经中空框架9至下盖板2的循环效率；

(3)液态工质流经均热板的铜质中空框架9的壁面，由于铜质中空框架9拥有与上盖板1、下盖板2相同尺寸参数、相互对应的内壁沟槽10，因此工质流经中空框架9壁面时同样受到重力与毛细力的作用，加速了液体的流动以及整体的循环效率；

(4)工质经过上盖板1的冷凝面以及中空框架9壁面后最终流经下盖板2的蒸发面，完成一次循环；由于下盖板2微沟槽6以支撑柱5为中心向外呈辐射状分布，且深度由支撑柱5向外逐步由深及浅设置，导致工质在向热源12处流动时，不仅明显的受到毛细压力，还明显的受到了重力的影响，这两种影响因素相互叠加，加速了工质从下盖板2边缘流至下盖板2中心的循环效率；

(5)均热板在第(2)、(3)、(4)工作流程中，其回流速度均得到有效优化，进而总体提升了工质的回流效率，因此，均热板的整体散热性能也得到了提升。

实施例2

一种超快回流均热板的制备方法，包括以下步骤：

S1：将未加工的紫铜板依次用500、800、1000目的砂纸打磨，打磨完毕后将其放入超声波清洗设备，依次利用蒸馏水、乙醇、丙酮溶液清洗20min，去除附着在铜板上的各种油污、粉尘等杂质；

下盖板2的加工：将清洗过且干燥后的紫铜板，先按照热源12轮廓大小，利用铣削工艺，加工出相同轮廓的内凹面4，然后再将初步加工好的铜板放置在激光加工设备的工作台上，调整激光刻蚀的移动路径和移动间隔。调整激光设备13加工微沟槽6间隔为：绕下盖板2热源12投影轮廓边缘，间隔为8°至12°的辐射状微沟槽6；调整激光设备13加工路径的方向为：由下盖板2边缘到下盖板2中心再到下盖板2边缘，且穿过下盖板2中心点；调整激光设备13的离焦量参数，将其更改为线性渐变参数，使离焦量大小对应加工路径方向为：由大到小再到大，对应由下盖板2边缘到热源12投影轮廓中心再到下盖板2边缘；加工后的下盖板2的外形形貌以及微沟槽6尺寸与上盖板1的完全相同。对于在加工过程中，离焦量无法变更的激光设备13，可以采用如下方法，同样可达所需效果：以热源12投影轮廓处为起点，在同一道微沟槽6上多次加工，每次刻蚀的路径长度线性递减。

上盖板1的加工：将清洗过且干燥后的紫铜板，先按照热源12轮廓大小，利用铣削工艺，加工出相同轮廓的内凹面4，然后再将初步加工好的铜板放置在激光加工设备的工作台上，调整激光刻蚀的移动路径和移动间隔。调整激光设备13加工微沟槽6间隔为：绕上盖板1热源12投影轮廓边缘，间隔为8°至12°的辐射状微沟槽6，与下盖板2微沟槽6的角度相对应；调整激光设备13加工路径的方向为：由上盖板1边缘到上盖板1中心再到上盖板1边缘，且穿过上盖板1中心点；按照下盖板2的参数来调整激光设备13加工上盖板1的离焦量参数，并使离焦量大小对应加工路径方向为：由大到小再到大，对应由上盖板1边缘到热源12投影轮廓中心再到上盖板1边缘；加工后的上盖板1的外形形貌以及微沟槽6尺寸与下盖板2的完全相同。对于在加工过程中，离焦量无法变更的激光设备13，可以采用如下方法，同样可达所需效果：以热源12投影轮廓处为起点，在同一道微沟槽6上多次加工，每次刻蚀的路径长度线性递减。

中空框架9的加工：利用铣削工艺加工出外部轮廓形状与上盖板1、下盖板2外部轮廓形状相同，内部轮廓形状与上盖板1、下盖板2中微沟槽6辐射形状相同的均热板中空框架9；利用钻削工艺，在中空框架9其中一外壁面的中心加工与腔体3相连通的通孔11，加工完成后进行清洗流程。

如图8所示，将初步加工完毕且清洗好的中空框架9放置在激光设备13上开始加工内壁沟槽10。将激光加工专用的镜面14放置在激光设备13中，调整激光设备13的加工参数以及镜面14相对应的位置，利用镜面14改变激光15路径，实现对中空框架9内壁沟槽10的加工。加工后的内壁沟槽10的深度与上盖板1、下盖板2中微沟槽6的最深处深度相同。

S2：将低温焊锡膏均匀、平滑地涂抹在步骤S1中加工好的铜质中空框架9的上下表面，以及充液管7与充液管7对接口相接触的部分；将支撑柱5放置在下盖板2的内凹轮廓中，加入支撑柱5，可以起到防止均热板在工作时受热变形、提升均热板整体刚度的作用；由于支撑柱5是铜粉烧结制备得到，因此支撑柱5内含有许多毛细小孔，可以额外提供毛细压力，从而达到提高均热板整体毛细压力极限的目的。将均热板上盖板1、下盖板2、充液管7与中空框架9相合并，利用紧固夹具固定；

S3：将暂时固定好的均热板放入马弗炉中升温加热，使焊锡膏充分熔化，使得上盖板1、下盖板2、充液管7与中空框架9相结合；

S4：从马沸炉中取出样件后依次进行冷却、抽真空、注液、封口等工序，最终得具有超快回流结构的均热板。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种超快回流均热板，其特征在于：包括上盖板(1)与下盖板(2)，所述上盖板(1)与所述下盖板(2)之间形成有密封的腔体(3)，所述腔体(3)内部上下表面均为内凹面(4)，所述内凹面(4)上设有向外呈辐射状分布的若干微沟槽(6)，所述下盖板(2)侧面还设置有连通所述腔体(3)的充液管(7)；所述上盖板(1)与所述下盖板(2)之间设置有中空框架(9)，所述上盖板(1)、中空框架(9)以及下盖板(2)构成所述腔体(3)，所述充液管(7)设置在所述中空框架(9)上并与所述腔体(3)相连通；所述中空框架(9)的内侧壁设置有若干内壁沟槽(10)，所述内壁沟槽(10)延伸至所述中空框架(9)的上下两端面；若干所述内壁沟槽(10)分别与腔体(3)内部上下表面上的微沟槽(6)对应且连通。

2.根据权利要求1所述的超快回流均热板，其特征在于：所述腔体(3)中设置有支撑柱(5)，所述支撑柱(5)的一端连接所述上盖板(1)，另一端连接所述下盖板(2)；若干所述微沟槽(6)以支撑柱(5)为中心向外呈辐射状分布。

3.根据权利要求2所述的超快回流均热板，其特征在于：所述微沟槽(6)的深度由支撑柱(5)向外逐步由深及浅设置。

4.根据权利要求2所述的超快回流均热板，其特征在于：相邻两微沟槽(6)之间的夹角范围为8°至12°，若干所述微沟槽(6)分别均匀设置在所述上盖板(1)、下盖板(2)上。

5.根据权利要求2所述的超快回流均热板，其特征在于：所述腔体(3)内部上下表面分别设置有凹槽(8)，所述凹槽(8)与所述微沟槽(6)相连通，所述支撑柱(5)两端分别安装在所述腔体(3)内部上下表面的凹槽(8)中。

6.一种超快回流均热板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将未加工的紫铜板进行打磨，打磨完毕后对其进行清洗；

下盖板的加工：将一紫铜板，先按照热源轮廓大小，加工出相同轮廓的内凹面(4)，然后再将初步加工好的铜板放置在加工设备的工作台上，调整加工设备的移动路径和移动间隔，调整加工设备加工微沟槽间隔为：绕下盖板(2)热源投影轮廓边缘，间隔为8°至12°辐射状微沟槽(6)；

上盖板的加工：将另一紫铜板，先按照热源轮廓大小，加工出相同轮廓的内凹面(4)，然后再将初步加工好的铜板放置在加工设备的工作台上，调整加工设备的移动路径和移动间隔；调整加工设备加工微沟槽间隔为：绕上盖板(1)热源投影轮廓边缘，间隔为8°至12°的辐射状微沟槽(6)，与下盖板(2)上的微沟槽(6)的角度相对应；

中空框架的加工：加工出外部轮廓形状与上盖板(1)、下盖板(2)外部轮廓形状相同，内部轮廓形状与上盖板(1)、下盖板(2)中微沟槽(6)辐射形状相同的中空框架(9)；在中空框架(9)其中一外壁面加工与腔体(3)相连通的通孔(11)；在中空框架(9)的侧壁上加工内壁沟槽(10)；

S2：将低温焊锡膏均匀、平滑地涂抹在步骤S1中加工好的中空框架(9)的上下表面，以及充液管(7)与充液管(7)对接口相接触的部分；将支撑柱(5)放置在下盖板的内凹轮廓中，加入支撑柱(5)；将上盖板(1)、下盖板(2)、充液管(7)与中空框架(9)相合并，利用紧固夹具固定；

S3：将固定好的均热板放入马弗炉中升温加热，使焊锡膏充分熔化，使得均热板的上盖板(1)、下盖板(2)、充液管(7)与中空框架(9)相结合；

S4：从马沸炉中取出样件后依次进行冷却、抽真空、注液、封口工序，最终得具有超快回流结构的均热板。

7.根据权利要求6所述的一种超快回流均热板的制备方法，其特征在于，在所述步骤S1中，在加工上盖板(1)/下盖板(2)时，所述的加工设备为激光设备(13)，在加工过程中，调整激光设备(13)加工路径的方向为：由上盖板(1)/下盖板(2)边缘到上盖板(1)/下盖板(2)中心再到上盖板(1)/下盖板(2)边缘，且穿过上盖板(1)/下盖板(2)中心点；调整激光设备的离焦量参数，将其更改为线性渐变参数，使离焦量大小对应加工路径方向为：由大到小再到大，对应由上盖板(1)/下盖板(2)边缘到热源投影轮廓中心再到上盖板(1)/下盖板(2)边缘；在加工中空框架(9)时，将初步加工完毕且清洗好的中空框架(9)放置在激光设备(13)上，将激光加工专用的镜面(14)放置在激光设备(13)中，调整激光设备(13)的加工参数以及镜面(14)相对应的位置，利用镜面(14)改变激光(15)路径，实现对中空框架(9)内壁沟槽(10)的加工。

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