CN112902995A - 基于mems工艺的敞口式石英玻璃微型f-p腔传感结构 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构，具体而言，涉及法珀腔领域。本申请提供的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，由于该腔体结构设置有底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，则该底层、第一中间层和第二中间层和顶层形成了法珀腔，则进入到该腔体结构的光信号在法珀腔内部时，在该腔体内进行多次反射，形成干涉光。
Description
技术领域
本申请涉及法珀腔领域，具体而言，涉及一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构。
背景技术
在光信号传输的过程中，外界环境会对光的传播造成影响，导致光的特征参数发生变化，解调出这种变化，就可以得知外界环境具体发生了什么变化，实现了光纤对外界环境的感知。利用这种原理即可制作出光纤传感器。光纤传感器具有体积小，抗腐蚀，抗电磁干扰，灵敏度高，成本低，响应快等优点，在化学、生物、物理、医疗、航空等领域有很大的应用价值，能够对位移、温度、折射率、应变等参数进行高灵敏度与高稳定度的测量与监测，其中F-P传感器因结构简单灵活，传感结构稳定的优点已经成为在光纤传感领域的研究热点之一。
但是现有技术中的F-P传感器在耐高温方面变现不佳，由于现有技术中的F-P传感器只有传感头耐高温，其他部件在使用的时候，均需要使用陶瓷进行隔热或者进行多次镀膜，使得其他部件才能到达耐高温的效果，陶瓷隔热层还间接增大了传感结构的体积，导致微型F-P腔在空间受限的环境下无法使用，丧失了微型的优势。
发明内容
本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，以解决现有技术中的F-P传感器在耐高温方面变现不佳，由于现有技术中的F-P传感器只有传感头耐高温，其他部件在使用的时候，均需要使用陶瓷进行隔热或者进行多次镀膜，使得其他部件才能到达耐高温的效果，陶瓷隔热层还间接增大了传感结构的体积，导致微型F-P腔在空间受限的环境下无法使用，丧失了微型的优势的问题。
为实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：
第一方面，本申请提供一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，第一光纤的一端与第二光纤连接，第二光纤为去掉涂层的纤芯，插芯为空腔柱体结构，插芯的一端与腔体结构连接，第二光纤深入到插芯的空腔内部，且第二光纤远离第一光纤的一端通过插芯深入到腔体结构内部，腔体结构包括：底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，顶层中央位置具有孔洞，插芯和第二光纤通过孔洞深入到顶层靠近底层的一侧。
可选地，该顶层远离第一中间层和第二中间层的一侧设置有凸起，插芯与凸起熔接。
可选地，该凸起的直径大于等于插芯的直径。
可选地，该插芯的材料为高硼硅玻璃。
可选地，该底层、第一中间层、第二中间层和顶层的材料均为石英玻璃。
可选地，该底层、第一中间层、第二中间层和顶层之间通过高温键合连接。
可选地，该第二光纤和插芯通过熔接连接。
本发明的有益效果是：
本申请提供一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，第一光纤的一端与第二光纤连接，第二光纤为去掉涂层的纤芯，插芯为空腔柱体结构，插芯的一端与腔体结构连接，第二光纤深入到空腔的插芯内部，且第二光纤远离第一光纤的一端通过插芯深入到腔体结构内部，腔体结构包括：底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，顶层中央位置具有孔洞，插芯和第二光纤通过孔洞深入到顶层靠近底层的一侧，并且由于石英玻璃本身具有耐高温高压的特性，再加上利用二氧化碳激光熔融代替不耐高温的紫外胶完成封装，并配合耐高温的光纤，可以使本发明制造出的传感结构在500℃的高温环境下正常使用。除此之外，本发明制作的传感结构1厘米见方，体积小，重量轻，特别适合于空间受限条件下使用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明一实施例提供的一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构的结构示意图；
图2为本发明一实施例提供的一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构的腔体结构示意图。
图标：1-第一光纤；2-第二光纤；3-插芯；4-腔体结构；41-顶层；42-第一中间层；43-第二中间层；44-底层。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
为了使本发明的实施过程更加清楚，下面将会结合附图进行详细说明。
图1为本发明一实施例提供的一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构的结构示意图；图2为本发明一实施例提供的一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构的腔体结构示意图；如图1和图2所示，本申请提供一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，结构包括：第一光纤1、第二光纤2、插芯3和腔体结构4，第一光纤1为带有涂层的纤芯，第二光纤2为去掉涂层的纤芯，第一光纤1的一端与第二光纤2连接，插芯3为空腔柱体结构，插芯3的一端与腔体结构4连接，第二光纤2深入到插芯3的空腔内部，且第二光纤2远离第一光纤1的一端通过插芯3深入到腔体结构4内部，腔体结构4包括：底层44、第一中间层42和第二中间层43和顶层41，第一中间层42和第二中间层43相互平行设置在底层44的表面，且第一中间层42和第二中间层43之间具有间隙，顶层41设置在第一中间层42和第二中间层43远离底层44的一侧，顶层41中央位置具有孔洞，插芯3和第二光纤2通过孔洞深入到顶层41靠近底层44的一侧。
该第一光纤1和第二光纤2连接，该第二光纤2为去掉涂层的纤芯，设置在插芯3的空腔内部，该插芯3与该腔体结构4连接，由于该腔体结构4包括顶层41、第一中间层42、第二中间层43和底层44，该第一中间层42和第二中间层43相互平行的设置在该顶层41和底层44之间，一般的，该第一中间层42和第二中间层43均为长方体结构，且第一中间层42和第二中间层43的体积、材料和各个几何参数均相同，且该顶层41和底层44也均为长方体结构，且形状和其他几何参数均相同，只是该顶层41的中央位置设置有孔洞，该孔洞的用于该第二光纤2和插芯3深入，一般的，该第一中间层42和第二中间层43设置在该底层44的上表面的两侧，且该第一中间层42和第二中间层43沿该底层44的中轴线对称，该顶层41设置在该第一中间层42和第二中间层43的顶部，该第一中间层42和第二中间层43之间具有间隙，该间隙的尺寸根据实际需要进行设置，该底层44、第一中间层42和第二中间层43和顶层41之间形成了法珀腔，光信号在该法珀腔内部进行多次反射，形成干涉光，并且由于本申请中的部件均为一体化设置，且该第一光纤1、第二光纤2、插芯3和腔体结构4均为石英玻璃材质组成，因此增加了本申请的耐高温特性，另外，由于本申请结构微小，可以用于对微小区域的检测，另外，本申请的结构由于基于MEMS加工的，可批量化制造，一致性好，并且由于石英玻璃本身具有耐高温高压的特性，再加上利用二氧化碳激光熔融代替不耐高温的紫外胶完成封装，并配合耐高温的光纤，可以使本发明制造出的传感结构在500℃的高温环境下正常使用，解决了现有技术中的传感器无法在高温中正常工作的问题，除此之外，本发明制作的传感结构1厘米见方，体积小，重量轻，特别适合于空间受限条件下使用。一般的，该第一光纤1和第二光纤2通过该插芯3深入到该腔体结构4的顶层41的下部，使得该第二光纤2和插芯3均与该顶层41的下部平齐，并且，该第二光纤2熔融连接在该插芯3的内壁，该插芯3的外壁或者底部通过熔融的方法与该顶层41的孔洞的内壁或者下表面连接，另外，该插芯的空腔的直径一般等于该第二光纤的直径。
可选的，该第一光纤和第二光纤为同一根裸光纤，将第一光纤的一部分光纤除去涂层得到第二光纤。
可选地，该顶层41远离第一中间层42和第二中间层43的一侧设置有凸起，插芯3与凸起熔接。
可选地，该凸起的直径大于等于插芯3的直径。
该凸起的直径一般大于该插芯3的直径，且该凸起的直径一般比该插芯3的直径大5微米-100微米。
可选地，该插芯3的材料为高硼硅玻璃。
可选地，该底层44、第一中间层42、第二中间层43和顶层41的材料均为石英玻璃。该石英玻璃的材质的结构可以在800摄氏度的高温条件下使用。
可选地，该底层44、第一中间层42、第二中间层43和顶层41之间通过高温键合连接。
键合连接的底层44、第一中间层42、第二中间层43和顶层41相当于一个整体，使得本申请的结构可以在高温条件下使用。
可选地，该第二光纤2和插芯3通过熔接连接。
本申请提供的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构包括：第一光纤1、第二光纤2、插芯3和腔体结构4，第一光纤1的一端与第二光纤2连接，第二光纤2为去掉涂层的纤芯，插芯3为空腔柱体结构，插芯3的一端与腔体结构4连接，第二光纤2深入到空腔的插芯3内部，且第二光纤2远离第一光纤1的一端通过插芯3深入到腔体结构4内部，腔体结构4包括：底层44、第一中间层42和第二中间层43和顶层41，第一中间层42和第二中间层43相互平行设置在底层44的表面，且第一中间层42和第二中间层43之间具有间隙，顶层41设置在第一中间层42和第二中间层43远离底层44的一侧，顶层41中央位置具有孔洞，插芯3和第二光纤2通过孔洞深入到顶层41靠近底层44的一侧；该光信号通过该第一光纤1传递到该第二光纤2中，再通过该第二光纤2到达该腔体结构4的顶层41，由于该腔体结构4设置有底层44、第一中间层42和第二中间层43和顶层41，第一中间层42和第二中间层43相互平行设置在底层44的表面，且第一中间层42和第二中间层43之间具有间隙，顶层41设置在第一中间层42和第二中间层43远离底层44的一侧，顶层41的外壁与第二光纤2连接，则该底层44、第一中间层42和第二中间层43和顶层41形成了法珀腔，则进入到该腔体结构4的光信号在法珀腔内部时，在该腔体内进行多次反射，形成了干涉光。由于本申请中的部件均一体化设置，且该腔体结构4均为石英玻璃材质组成，则增加了本申请的耐高温特性，另外，由于本申请结构微小，可以用于对微小区域的检测。
以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，所述第一光纤的一端与所述第二光纤连接，所述第二光纤为去掉涂层的纤芯，所述插芯为空腔柱体结构，所述插芯的一端与所述腔体结构连接，所述第二光纤深入到所述插芯的空腔内部，且所述第二光纤远离所述第一光纤的一端通过所述插芯深入到所述腔体结构内部，所述腔体结构包括：底层、第一中间层和第二中间层和顶层，所述第一中间层和所述第二中间层相互平行设置在所述底层的表面，且所述第一中间层和所述第二中间层之间具有间隙，所述顶层设置在所述第一中间层和所述第二中间层远离所述底层的一侧，所述顶层中央位置具有孔洞，所述插芯和所述第二光纤通过所述孔洞深入到所述顶层靠近所述底层的一侧。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述顶层远离所述第一中间层和所述第二中间层的一侧设置有凸起，所述插芯与所述凸起熔接。
3.根据权利要求2所述的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述凸起的直径大于等于所述插芯的直径。
4.根据权利要求3所述的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述插芯的材料为高硼硅玻璃。
5.根据权利要求4所述的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述底层、所述第一中间层、所述第二中间层和所述顶层的材料均为石英玻璃。
6.根据权利要求5所述的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述底层、所述第一中间层、所述第二中间层和所述顶层之间通过高温键合连接。
7.根据权利要求6所述的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F-P腔传感结构，其特征在于，所述第二光纤和所述插芯通过熔接连接。
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|---|---|
| CN (1) | CN112902995B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113340492A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-09-03 | 中北大学 | 光纤法珀压力传感器及其敏感单元的批量化制备方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104614104A (zh) * | 2015-01-19 | 2015-05-13 | 中北大学 | 光纤法珀压力传感器及其制作方法 |
| CN105158506A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-16 | 中北大学 | 光纤mems法珀加速度传感器及其制作方法 |
| CN105806543A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-07-27 | 中北大学 | 一种光纤法珀高温压力传感器 |
| CN105842198A (zh) * | 2016-06-08 | 2016-08-10 | 中北大学 | 一种温度自补偿的光纤珐珀气体折射率传感器及其制作方法 |
| CN106017754A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-10-12 | 中北大学 | Ltcc光纤法珀高温压力传感器 |
-
2021
- 2021-03-03 CN CN202110232693.7A patent/CN112902995B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104614104A (zh) * | 2015-01-19 | 2015-05-13 | 中北大学 | 光纤法珀压力传感器及其制作方法 |
| CN105158506A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-16 | 中北大学 | 光纤mems法珀加速度传感器及其制作方法 |
| CN105806543A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-07-27 | 中北大学 | 一种光纤法珀高温压力传感器 |
| CN106017754A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-10-12 | 中北大学 | Ltcc光纤法珀高温压力传感器 |
| CN105842198A (zh) * | 2016-06-08 | 2016-08-10 | 中北大学 | 一种温度自补偿的光纤珐珀气体折射率传感器及其制作方法 |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN113340492A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-09-03 | 中北大学 | 光纤法珀压力传感器及其敏感单元的批量化制备方法 |
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