CN112886260B - 一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器 - Google Patents
一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器。它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元;每个结构单元包括二维石墨烯纳米层,金属层和柔性介质层,其中二维石墨烯纳米层处于顶层,二维石墨烯纳米层下层为金属层,金属层下层为柔性介质层;金属层中开设有谐振环空气槽、竖矩形空气槽、横矩形空气槽、竖U形空气槽、横U形空气槽。本谐振器件由于使用柔性介质层,通过给器件施加外力,实现器件的形变,从而达到对器件整体谐振特性的调控。本谐振器件的顶层为二维石墨烯纳米层,通过加电改变二维石墨烯纳米层化学势,达到对器件谐振点处反射率的控制。
Description
技术领域
本发明涉及太赫兹波应用技术领域,尤其涉及一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器。
背景技术
太赫兹波是指频率在0.1~10THz,相应波长为3000~30μm范围内的电磁波,位于微波和红外波段之间的电磁辐射,在电磁波频谱中占有很特殊的位置。近年来,随着太赫兹技术在高速通信、成像和雷达等领域引起广泛的关注,从而使得各种太赫兹波开关、太赫兹滤波器、太赫兹波调制器等都有研制的报道。但是通常而言,常规的这些调控器件一旦设计生产以后调控的方法都比较单一和麻烦,且所能够调控的频段也比较局限,严重限制了太赫兹技术应用与发展,因此设计一款可多途径调控、多频段的谐振器具有十分重大意义。
发明内容
本发明的目的在于解决现有技术中存在的问题,并提供一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器。该谐振器既可以通过改变施加的外部电压来控制石墨烯纳米材料的化学势,又可以通过外部加压形变聚酰亚胺柔性基底来改变器件谐振特性,达到对谐振器的“力/电双可调”。
为了实现上述发明目的,本发明具体采用的技术方案如下:
一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元,N为大于0的自然数,每个结构单元呈正方体形状,N×N个结构单元在平面上连续拼接;每个结构单元包括柔性介质层、金属层和二维石墨烯纳米层,其中二维石墨烯纳米层处于顶层,二维石墨烯纳米层下层为金属层,金属层下层为柔性介质层;金属层中开设有谐振环空气槽、竖矩形空气槽、横矩形空气槽、竖U形空气槽和横U形空气槽;在金属层平面中,所述谐振环空气槽为方环形空气槽,其处于金属层正中央且中心对称,竖矩形空气槽和横矩形空气槽相互垂直,分别位于谐振环空气槽的左侧和上侧;竖U形空气槽和横U形空气槽大小相等相互垂直,分别位于谐振环空气槽的右侧和下侧;其中竖U形空气槽是在竖向长方形中贴边扣除竖向矩形部分后得到的开口朝向谐振环空气槽的U形空气槽,横U形空气槽是在横向长方形中贴边扣除横向矩形部分后得到的开口朝向谐振环空气槽的U形空气槽;所述谐振器由于使用柔性介质层,通过给器件施加外力,实现器件的形变,从而达到对器件整体谐振特性的调控;同时所述谐振器的顶层为二维石墨烯纳米层,通过加电改变二维石墨烯纳米层化学势,达到对器件谐振点处反射率的控制。
上述方案中的各部件具体参数可采用如下优选方式:
作为优选,所述的谐振环空气槽、竖矩形空气槽、横矩形空气槽、竖U形空气槽、横U形空气槽中均填充空气。
作为优选,所述谐振环空气槽的外边长为125~135μm,内边长为105~115μm,厚度为1~2μm。
作为优选,所述竖矩形空气槽和横矩形空气槽的大小相等,长度均为145~155μm,宽度均为18~22μm,厚度均为1~2μm。
作为优选,所述竖U形空气槽的厚度为1~2μm,其中竖向长方形的长度为145~155μm,宽度为18~22μm,竖向矩形部分的长度为105~115μm,宽度为8~12μm。
作为优选,所述横U形空气槽的厚度为1~2μm,其中横向长方形的长度为145~155μm,宽度为18~22μm,横向矩形部分的长度为105~115μm,宽度为8~12μm。
作为优选,所述的金属层沿其主对角线镜像对称。
作为优选,所述金属层的材料为金,长度和宽度均为240~260μm,厚度为1~2μm。
作为优选,所述二维石墨烯纳米层的材料为石墨烯,长度和宽度均为240~260μm,厚度为0.8~1.2nm。
作为优选,所述柔性介质层的材料为聚酰亚胺,长度和宽度均为240~260μm,厚度为45~55μm。
本发明提出一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,该谐振器件由于使用柔性介质层,通过给器件施加外力,实现器件的形变,从而达到对器件整体谐振特性的调控。本谐振器件的顶层为二维石墨烯纳米层,通过加电改变二维石墨烯纳米层化学势,达到对器件谐振点处反射率的控制。本发明的力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器尺寸小、操作灵活,在太赫兹通信领域中具有较高的应用价值。
附图说明
图1是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器二维平面图、三维结构单元图和左视图;
图2为金属层中的空气槽开设示意图;
图3为竖矩形空气槽的结构形式示意图;
图4为横矩形空气槽的结构形式示意图;
图5是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在y极化太赫兹波入射时的反射曲线图。
图6是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在(a)0.543THz、(b)0.600THz和(c)0.631THz三个反射谷处的电场能量图;
图7(a)是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在外力分别为0Pa、+70000pa和-70000pa作用下的反射曲线图;图7(b)和(c)是外力分别为+70000pa和-70000pa作用下的器件形变图;
图8是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在(a)外力为0Pa时二维石墨烯纳米层不加电、化学势为0.1eV、化学势为0.2eV和化学势为0.3eV时的反射曲线图;(b)外力为+70000Pa时二维石墨烯纳米层不加电、化学势为0.1eV、化学势为0.2eV和化学势为0.3eV时的反射曲线图;(c)外力为-70000Pa时二维石墨烯纳米层不加电、化学势为0.1eV、化学势为0.2eV和化学势为0.3eV时的反射曲线图;
图9是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在入射太赫兹波极化角从0°到90°变化时对应的反射光谱图。
图10是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在x极化和y极化太赫兹波入射角为(a)0°,(b)5°,(c)15°,(d)25°对应的反射曲线图;
具体实施方式
如图1所示,力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元,N为大于0的自然数,N的具体取值可根据器件的实际需要而定。每个结构单元呈正方体形状,N×N个结构单元在平面上连续拼接。每个结构单元为柔性介质层1、金属层2和二维石墨烯纳米层8从下至上层层叠加得到的多层结构,其中二维石墨烯纳米层8处于顶层,二维石墨烯纳米层8下层为金属层2,金属层下层为柔性介质层1,每一层均为正方形平面。
为了便于叙述,本发明后续以图2所示的金属层2平面的俯视视角为准,界定图中的水平方向为横向,竖直方向为竖向,同时界定本发明中的上下左右也以该视角下的上下左右为准。
参见图2所示,金属层2中开设有谐振环空气槽3、竖矩形空气槽4、横矩形空气槽5、竖U形空气槽6和横U形空气槽7。在图2所示的金属层2平面中,谐振环空气槽3为方环形空气槽,其处于金属层2正中央且中心对称,即方环形空气槽的中心点与金属层2的方形平面中心点重合,其4条边保持水平或者垂直。在金属层2平面中,竖矩形空气槽4和横矩形空气槽5相互垂直,分别位于谐振环空气槽3的左侧和上侧。竖U形空气槽6和横U形空气槽7大小相等相互垂直,分别位于谐振环空气槽3的右侧和下侧。其中竖U形空气槽6和横U形空气槽7均是U形形状的空气槽,其可以视为是一个长方形空气槽中扣除一块长方形部分后得到的U形形状,扣除部分依然由金属层的材质填充。参见图3所示,竖U形空气槽6是在竖向长方形中贴边扣除竖向矩形部分9后得到的U形空气槽,其开口朝向谐振环空气槽3,即朝左侧;参见图4所示,横U形空气槽7是在横向长方形中贴边扣除横向矩形部分10后得到的U形空气槽,其开口朝向谐振环空气槽3,即朝上侧。
该力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器具有施加外力和施加电压均可控制器件谐振点处反射率的效果,一方面由于使用柔性介质层1,通过给器件施加外力,实现器件的形变,从而达到对器件整体谐振特性的调控;另一方面,所述谐振器的顶层为二维石墨烯纳米层8,通过加电改变二维石墨烯纳米层8化学势,达到对器件谐振点处反射率的控制。
本发明中各部件的具体材料和参数可以设置如下:谐振环空气槽3、竖矩形空气槽4、横矩形空气槽5、竖U形空气槽6、横U形空气槽7中均填充空气。谐振环空气槽3的外边长为125~135μm,内边长为105~115μm,厚度为1~2μm。竖矩形空气槽4和横矩形空气槽5的大小相等,长度均为145~155μm,宽度均为18~22μm,厚度均为1~2μm。竖U形空气槽6的厚度为1~2μm,其中竖向长方形的长度为145~155μm,宽度为18~22μm,竖向矩形部分9的长度为105~115μm,宽度为8~12μm。横U形空气槽7的厚度为1~2μm,其中横向长方形的长度为145~155μm,宽度为18~22μm,横向矩形部分10的长度为105~115μm,宽度为8~12μm。金属层2沿其主对角线镜像对称。金属层2的材料为金,长度和宽度均为240~260μm,厚度为1~2μm。二维石墨烯纳米层8的材料为石墨烯,长度和宽度均为240~260μm,厚度为0.8~1.2nm。柔性介质层1的材料为聚酰亚胺,长度和宽度均为240~260μm,厚度为45~55μm。
下面基于该力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,通过实施例说明其具体技术效果。
实施例1
本实施例中,力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器的结构和各部件形状如上所述,因此不再赘述。但各部件的具体参数如下:谐振环空气槽3、竖矩形空气槽4、横矩形空气槽5、竖U形空气槽6、横U形空气槽7中均填充空气。谐振环空气槽3的外边长为120μm,内边长为110μm,厚度为2μm。竖矩形空气槽4和横矩形空气槽5的大小相等,长度均为150μm,宽度均为20μm,厚度均为2μm。竖U形空气槽6、横U形空气槽7的大小相等。其中竖U形空气槽6的厚度为2μm,其中竖向长方形的长度为150μm,宽度为20μm,竖向矩形部分9的长度为110μm,宽度为10μm。横U形空气槽7的厚度为2μm,其中横向长方形的长度为150μm,宽度为20μm,横向矩形部分10的长度为110μm,宽度为10μm。金属层2整体沿其从左上角到右下角的主对角线镜像对称。金属层2的材料为金,长度和宽度均为250μm,厚度为2μm。二维石墨烯纳米层8的材料为石墨烯,长度和宽度均为250μm,厚度为1nm。柔性介质层1的材料为聚酰亚胺,长度和宽度均为250μm,厚度为50μm。
该力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器的各项性能指标均采用COMSOLMultiphysics 5.5软件进行计算获取。图5是力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在y极化太赫兹波入射时的反射曲线图。本结构是对入射太赫兹波极化不敏感,在这里我们选取y极化太赫兹入射波进行仿真计算。从曲线图中可以看出在0.543THz、0.600THz、0.631THz三个点处形成了反射峰。结合图6中三个点的能量图可以看出,在图6(a)0.543THz谐振点处,能量主要集中在谐振环空气槽和横U形空气槽处,从而我们可以得出该谐振点是由于谐振环空气槽和横U形空气槽形成的明明模式的谐振耦合。图6(b)0.600THz谐振点处,竖U形空气槽上能量比较集中,这是由于在y极化波入射时,可以直接被入射波激发的间接与发生相干耦合,使得明模式横U形空气槽上的能量转移到了暗模式竖U形空气槽上,从而使得竖U形空气槽上能量较多,从而形成了在0.600THz处的反射峰。图6(c)0.631THz谐振点处,能量集中于横U形空气槽、竖U形空气槽、横矩形空气槽上,入射太赫兹波可以直接与横U形空气槽和横矩形空气槽产生谐振,而竖U形空气槽被横U形空气槽激发产生谐振,所以在0.631THz处是由于U形空气槽、横矩形空气槽和竖U形空气槽产生的混合谐振激发获得。图7(a)是分别对结构器件施加0Pa、+70000pa和-70000pa外力情况下对应的反射曲线图,从图中可以看出在外力的作用下,0.543THz谐振点处的反射系数从0.903下降到0.832,0.600THz谐振点处的反射系数从0.783降到0.610,0.631THz谐振点处的反射系数从0.778降到0.511。由图7(b)和(c)可以看出,当施加外力时,会使柔性介质层发生形变,从而引起金属微结构与入射电磁波的谐振特性发生变化,达到对三个反射峰处谐振强度的调控。由于本力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在最上层铺盖了一层石墨烯材料,所以如图8是在分别施加0Pa、+70000pa和-70000pa外力情况下同时又讨论了二维石墨烯纳米层不加电、化学势为0.1eV、化学势为0.2eV和化学势为0.3eV时的反射曲线图。如图8(a)是在不加外力时三个反射点的谐振强度随着石墨烯化学式的变化而变化,0.543THz谐振点处的反射系数从0.903下降到0.467,0.600THz谐振点处的反射系数从0.783降到0.366,0.631THz谐振点处的反射系数从0.778降到0.327;如图8(b)是在施加+70000pa外力时三个反射点的谐振强度随着石墨烯化学式的变化而变化,0.543THz谐振点处的反射系数从0.824下降到0.351,0.600THz谐振点处的反射系数从0.607降到0.298,0.631THz谐振点处的反射系数从0.512降到0.280;如图8(c)是在施加-70000pa外力时三个反射点的谐振强度随着石墨烯化学式的变化而变化,0.543THz谐振点处的反射系数从0.897下降到0.517,0.600THz谐振点处的反射系数从0.656降到0.413,0.631THz谐振点处的反射系数从0.618降到0.395。过加电来改变石墨烯的化学势,达到对石墨烯介电常数和电导率的调节,从而达到对各个反射谐振点的谐振强度进行控制。图9和图10是研究角度对器件性能的影响,从图9看出,反射光谱随着极化角从从0°到90°变化各个谐振点不发生频率的偏移以及谐振强度的变化,从而可以得出,该器件是极化不敏感的谐振器件。图10我们选取了0°,5°,15°,25°四个入射角进行仿真计算。从图10(a)、10(b)和10(c),随着入射角从0°~15°变化时,整个结构的性能基本保持不变。但是由图10(d)所示,当入射角度增加到25°时,结构性能发生了一定的变化。所以本力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器在0°~15°入射角变化范围内都可以正常工作,但是当入射角大于15°时,器件的性能将会发生改变。综上所述,本结构器件可以满足力和电两种方式协作调控,并且在对入射太赫兹波极化不敏感的情况下,实现了对多个频段的电磁波进行有效调控。
Claims (10)
1.一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元,N为大于0的自然数,每个结构单元呈正方体形状,N×N个结构单元在平面上连续拼接;每个结构单元包括柔性介质层(1)、金属层(2)和二维石墨烯纳米层(8),其中二维石墨烯纳米层(8)处于顶层,二维石墨烯纳米层(8)下层为金属层(2),金属层下层为柔性介质层(1);金属层(2)中开设有谐振环空气槽(3)、竖矩形空气槽(4)、横矩形空气槽(5)、竖U形空气槽(6)和横U形空气槽(7);在金属层(2)平面中,所述谐振环空气槽(3)为方环形空气槽,其处于金属层(2)正中央且中心对称,竖矩形空气槽(4)和横矩形空气槽(5)相互垂直,分别位于谐振环空气槽(3)的左侧和上侧;竖U形空气槽(6)和横U形空气槽(7)大小相等相互垂直,分别位于谐振环空气槽(3)的右侧和下侧;其中竖U形空气槽(6)是在竖向长方形中贴边扣除竖向矩形部分(9)后得到的开口朝向谐振环空气槽(3)的U形空气槽,横U形空气槽(7)是在横向长方形中贴边扣除横向矩形部分(10)后得到的开口朝向谐振环空气槽(3)的U形空气槽;所述谐振器由于使用柔性介质层(1),通过给器件施加外力,实现器件的形变,从而达到对器件整体谐振特性的调控;同时所述谐振器的顶层为二维石墨烯纳米层(8),通过加电改变二维石墨烯纳米层(8)化学势,达到对器件谐振点处反射率的控制。
2.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述的谐振环空气槽(3)、竖矩形空气槽(4)、横矩形空气槽(5)、竖U形空气槽(6)、横U形空气槽(7)中均填充空气。
3.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述谐振环空气槽(3)的外边长为125~135μm,内边长为105~115μm,厚度为1~2μm。
4.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述竖矩形空气槽(4)和横矩形空气槽(5)的大小相等,长度均为145~155μm,宽度均为18~22μm,厚度均为1~2μm。
5.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述竖U形空气槽(6)的厚度为1~2μm,其中竖向长方形的长度为145~155μm,宽度为18~22μm,竖向矩形部分(9)的长度为105~115μm,宽度为8~12μm。
6.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述横U形空气槽(7)的厚度为1~2μm,其中横向长方形的长度为145~155μm,宽度为18~22μm,横向矩形部分(10)的长度为105~115μm,宽度为8~12μm。
7.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述的金属层(2)沿其主对角线镜像对称。
8.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述金属层(2)的材料为金,长度和宽度均为240~260μm,厚度为1~2μm。
9.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述二维石墨烯纳米层(8)的材料为石墨烯,长度和宽度均为240~260μm,厚度为0.8~1.2nm。
10.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器,其特征在于,所述柔性介质层(1)的材料为聚酰亚胺,长度和宽度均为240~260μm,厚度为45~55μm。
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