CN112872909A - 一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法 - Google Patents

一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112872909A
CN112872909A CN202110035218.0A CN202110035218A CN112872909A CN 112872909 A CN112872909 A CN 112872909A CN 202110035218 A CN202110035218 A CN 202110035218A CN 112872909 A CN112872909 A CN 112872909A
Authority
CN
China
Prior art keywords
machine tool
servo system
converting
square wave
fast
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110035218.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112872909B (zh
Inventor
张建国
许剑锋
李江
黄凯
陈肖
肖峻峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huazhong University of Science and Technology
Original Assignee
Huazhong University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huazhong University of Science and Technology filed Critical Huazhong University of Science and Technology
Priority to CN202110035218.0A priority Critical patent/CN112872909B/zh
Publication of CN112872909A publication Critical patent/CN112872909A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112872909B publication Critical patent/CN112872909B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/12—Adaptive control, i.e. adjusting itself to have a performance which is optimum according to a preassigned criterion

Abstract

本发明提供了机床动态轮廓误差的补偿装置及方法，属于超精密加工领域，方法为：实时检测机床在z方向上的位置，将位置信息转换为两路差分信号；将两路差分信号转换为两个方波信号；根据两个方波信号的相位差进行辨向，并对脉冲数量进行计数；将计数值转换为模拟电压后，与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；将惯性振动误差放大后作为控制指令；其中，控制指令为控制电压；将控制电压转换为机械能，使快刀伺服系统带动刀具振动，从而补偿惯性振动误差。本发明避免了工件上的动态轮廓误差，大大提高了工件的加工精度。

Description

一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法
技术领域
本发明属于超精密加工领域，更具体地，涉及一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法。
背景技术
表面微结构及复杂光学曲面的超精密加工需要超精密机床进行极其精确的运动控制。在微/纳米加工过程中，为了达到几何精度的要求，需要减轻超精密机床的影响，通常需要安装，然而被动隔振器的一个主要缺点是刚度低，难以支撑运动中每个轴的惯性力，工作台由这种隔振器相当于软弹簧支撑。当机床工作台在运动中加速或减速时，机床工作台的惯性力激发机床结构本身的振动，并触发低频振动模式。因此，由移动机器部件的惯性反应引起的机器低频摇摆振动很容易影响超精密机床的跟踪精度。这些摇摆振动以刀具和工件之间的跟踪误差的方式引起相对运动，最终在工件上产生动态轮廓误差，恶化加工表面。这种低频结构模式可以近似为欠阻尼二阶系统：
Figure BDA0002893031690000011
其中，ωn和ξ是固有频率和阻尼比。应该注意的是，超精密机床的驱动器通常是基于线性电机驱动系统设计的。由于缺乏极低摩擦的传动比，反馈伺服系统无法拒绝机载干扰力。这些类型的由移动机器部件的惯性反应引起的机器低频摇摆振动很容易影响超精密机床的跟踪精度。因此，抑制惯性振动引起的加工误差是超精密微/纳米加工中最重要的问题。开发能够补偿不需要的振动而不牺牲伺服控制系统的稳定性和性能的技术是至关重要的。
FTS技术可应用于加工过程中刀具刀片的精确定位，是提高机床的运动精度，补偿加工轮廓误差的有效手段。表面微结构可以通过振幅控制雕刻方法制造，切割深度可以通过FTS技术控制而快速改变，这种振幅控制雕刻方法也是补偿主要由机床惯性振动引起的动态轮廓误差的潜在解决方案之一。
发明内容
针对现有技术的缺陷，本发明的目的在于提供一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法，旨在解决现有的摇摆振动以刀具和工件之间的跟踪误差方式引起的相对运动，导致在工件上产生动态轮廓误差，进而恶化工件加工表面的问题。
为实现上述目的，一方面，本发明提供了一种机床动态轮廓误差的补偿装置，包括：顺次连接的z轴编码器、差分信号转换器、可编程控制器、PI控制器和快刀伺服系统，以及z轴编码器内置的插值器；
z轴编码器用于检测机床在z轴方向上的实时位置；插值器用于将机床在z轴方向上的实时位置转换为两路差分信号；差分信号转换器用于同一路中的差分信号合并为单端，将两路差分信号转换为方波信号；可编程控制器用于根据两方波信号的相位差进行辨向，并对两方波信号的脉冲数量进行计数，将计数值转换为模拟电压，将模拟电压与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；PI控制器用于将放大后的惯性振动误差转换为与快刀伺服系统匹配的控制电压；快刀伺服系统用于将控制电压转换为机械能，带动刀具振动，进而补偿惯性振动误差。
优选地，机床动态轮廓误差的补偿装置还包括电容式位移传感器、NI采集卡和PC机；
电容式位移传感器一端连接在快刀伺服系统，另一端连接在NI采集卡；PC机的第一输入端口连接NI采集卡，第二输入端口连接可编程控制器；
电容式位移传感器用于检测快刀伺服系统的运动轨迹，以模拟电压的形式传递至NI采集卡；PC机用于对可编程控制器提供编码；并用于读取NI采集卡信号；NI采集卡信号加载有快刀伺服系统的运动轨迹信息。
优选地，机床动态轮廓误差的补偿装置还包括B轴工作台；放置在气动隔振器上，快刀伺服系统的下方，用于减小地面振动对快刀伺服系统的影响。
优选地，机床包括机床主体、x轴导轨和旋转主轴；
x轴导轨安装于旋转主轴的下方位置，用于配合旋转主轴完成x方向的运动动作；使用时，工件位于旋转主轴的末端，工作时，刀具正对工件的表面，刀具位于快刀伺服系统上；旋转主轴位于机床主体的上方。
优选地，快刀伺服系统包括驱动源、运动传输和末端执行器；所述驱动源为压电陶瓷换能器，用于将电能转化为机械能；所述运动传输载体为柔性单元，用于将压电陶瓷换能器的运动传递，并为压电陶瓷换能器提供弹性回复力；末端执行器用于放置刀具。
另一方面，本发明提供了一种机床动态轮廓误差的补偿方法，包括以下步骤：
实时检测机床在z方向上的位置，将位置信息转换为两路差分信号；
将两路差分信号转换为两个方波信号；
根据两个方波信号的相位差进行辨向，并对脉冲数量进行计数；
将计数值转换为模拟电压后，与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；
将惯性振动误差放大后作为控制指令；其中，控制指令为控制电压；
将控制电压转换为机械能，使快刀伺服系统带动刀具振动，从而补偿惯性振动误差。
优选地，计数方法为：若先检测到第一个方波信号的上升沿，后检测到第二个方波信号，则计数增加一；若先检测到第二个方波信号的上升沿，后检测到第一个方波信号，则计数减少一。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下有益效果：
本发明实时获取机床在z方向上的位置，将z方向上的位置转换为模拟电压，使模拟电压与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差，惯性振动误差转换为控制电压，进一步控制快刀伺服系统带动刀具振动，进而补偿惯性振动误差，避免了工件上的动态轮廓误差，大大提高了工件的加工精度。更为具体地，为了减小轮廓误差，本发明采用了一种利用实时振幅控制的补偿方法。在所提出的方法中，利用安装在进给驱动系统上的精密线性编码器来实时检测沿着切割方向深度的位置，所检测的位置与标定位置对比从而获得动态运动误差。运动误差实时转化为FTS振动控制器的抵消振幅指令，保证振幅包络自动跟踪运动轴在切削深度方向的动态参考位置。因此，即使惯性振动干扰加工中的进给驱动控制，也可以获得恒定的标称切削深度。
本发明提供的机床动态轮廓误差的补偿装置还包括电容式位移传感器、NI采集卡和PC机，通过电容式位移传感器可检测快刀伺服系统的运动轨迹，以模拟电压形式传递至NI采集卡，PC机读取NI采集卡中的信息，可以实现实时监测快刀伺服系统的运动轨迹。
本发明中的B轴工作台作为z轴的运动平台，为了降低地面振动的影响，被安装在气动隔振器上；气动隔振器由于刚度低和摩擦小，难以支撑运动中每个轴的惯性力，当机床工作台在运动中加速或减速时，机床工作台的惯性力激发机床结构本身的振动，并触发低频振动模式，B轴工作台可以近似为一个欠阻尼二阶系统；设置B轴工作台可有效减小地面振动对快刀伺服系统的影响。
附图说明
图1是本发明实施例提供的机床动态轮廓误差的补偿装置示意图；
图2是本发明实施例提供的机床动态轮廓误差的补偿方法示意图；
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：
1.z轴编码器；2.B轴工作台；3.NMT-C电容式位移传感器；4-快刀伺服系统；5.金刚石刀具；6.机床；7.工件；8.X轴精密导轨；9.旋转主轴；10.PI控制器；11.PC机；12.CPU224可编程控制器；13.差分信号转换器；14.NI采集卡。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明的核心如下：
本发明提供了一种机床动态轮廓误差的补偿装置和方法，进而减小超精密加工中的动态轮廓误差。首先，利用单自由度FTS(快刀伺服系统；fast tool serve)系统，实时提取超精密机床的z轴位置误差，再将所提取的误差信号输入至快刀伺服系统的控制模块作为FTS的振幅控制指令，形成闭环补偿系统，从而实现对超精密机床惯性振动误差的实时补偿，减小工件的轮廓误差，改善加工精度。补偿装置包括：PHDI插值器、z轴编码器、B轴工作台、NMT-C电容式位移传感器(电容式非接触位移传感器)、快刀伺服装置、金刚石刀具、超精密机床、PI控制器、上位机、CPU224可编程控制器、差分信号转换器和NI采集卡。
如图1所示，本发明提供了一种机床动态轮廓误差的补偿装置，包括：
z轴编码器1检测机床在z轴方向上的实时位置；
PHDI插值器，放置于机床内部，用于将超精密机床运动平台在z轴方向上的位置转换为两路差分信号；其中，A、
Figure BDA0002893031690000051
为第一路差分信号，B、
Figure BDA0002893031690000052
为第二路差分信号，峰值均为5V的数字方波信号；两路差分信号分别接入DB9插口的1-4号引针中；
B轴工作台2，该工作台作为z轴的运动平台，为了降低地面振动的影响，被安装在气动隔振器上；气动隔振器由于刚度低和摩擦小，难以支撑运动中每个轴的惯性力，当机床工作台在运动中加速或减速时，机床工作台的惯性力激发机床结构本身的振动，并触发低频振动模式，B轴工作台2可以近似为一个欠阻尼二阶系统；
NMT-C电容式位移传感器3，电容传感器的探头通过一个专门设计的夹具被安装在快刀伺服系统上，能够检测快刀伺服系统的运动轨迹，并以0～12V的模拟电压形式传送；
快刀伺服系统4，快刀伺服系统包括驱动源、运动传输和末端执行器；柱形开环封装压电陶瓷换能器作为驱动源，能够将电能转化为机械能，结构简单，安装方便；柔性单元作为运动传输载体，将压电陶瓷换能器的运动传递，并为压电陶瓷换能器提供弹性回复力；
使用时金刚石刀具5安装在快刀伺服系统4的末端执行器上，用于工件切削，被安装在柔性单元输出端设计的刀槽内，柔性单元带动金刚石往复振动；
NI采集卡14，采集NMT-C电容式位移传感器输出的模拟电压信号；
差分信号转换器13，接收z轴编码器输出的两路差分信号，消除共模干扰并将差分信号合并为单端，转换为两个规则的方波信号；
CPU224可编程控制器12，接收差分信号转换器输送的方波信号，根据两方波信号的相位差进行辨向，对脉冲数量进行计数，将计数值转换为模拟电压；将模拟电压与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；
PC机11，连接和控制CPU224可编程控制器12，读取NI采集卡信号；NI采集卡信号加载有快刀伺服系统的运动轨迹信息；
PI控制器10，包括控制模块和放大模块，用于将放大后的惯性振动误差转换为与快刀伺服系统匹配的控制电压。
本实施例中的机床动态轮廓误差的补偿装置的作用对象为实验研究的数控机床；机床主体6惯性振动引起的金刚石刀具和工件的相对运动误差，在工件7表面形成轮廓误差；
工件7通过夹具吸附于旋转主轴9末端的吸盘上；x轴精密导轨8，安装于旋转主轴9下方位置，配合旋转主轴9完成x方向的运动动作。
如图2所示，本实施例提供了一种机床动态轮廓误差的补偿方法，包括如下步骤：
实时检测机床在z方向上的位置，将位置信息转换为两路差分信号被读取；
将两路差分信号转换为两个规则的方波信号；
根据两个方波信号的相位差进行辨向，并对脉冲数量进行计数；
将计数值转换为模拟电压后，与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；
将惯性振动误差放大后作为控制指令；其中，控制指令为控制电压；
将控制电压转换为机械能，驱动快刀伺服系统的振动；
快刀伺服系统带动金刚石刀具振动，从而补偿惯性振动误差。
本实施例提供的机床动态轮廓误差的补偿操作，具体如下：
第一步，超精密机床的z轴，在快刀加速和减速时发生惯性振动，表现为z轴指定位置起始处的上下波动，安装在机床内部的PHDI插值器实时检测z轴位置，并将z轴方向上的位置转换为两路差分信号(A、
Figure BDA0002893031690000071
为第一路差分信号，B、
Figure BDA0002893031690000072
为第二路差分信号，峰值均为5V的数字方波信号)输入至DB9插口的1～4号引针，将两路差分信号接入差分信号转换器13；
第二步，将两路差分信号各自进行消除共模干扰，进行差分转单端，随后A、
Figure BDA0002893031690000073
B、
Figure BDA0002893031690000074
被合并为峰峰值为24V的A｀、B｀两个形状规则的数字方波信号，A｀、B｀的矩形波上升沿或下降沿的数量相同，相位相差90°；
第三步，CPU224可编程控制器的高速数字脉冲输入口编号分别为0.0和0.1，与差分信号转换器输出的24VPP的两路信号输出口相对应，CPU224的输入口与对应的差分信号转换器13的输出口采用铜质信号线相连；CPU224可编程控制器根据接收的两个方波信号的相位差和脉冲数量进行辨向和计数；具体的辨向方法为：若先检测到A｀方波信号的上升沿，后检测到B｀方波信号，则规定为正方向，计数加；反之，若先检测到B｀方波信号的上升沿，后检测到A｀，则规定为负方向，计数减；
第四步，将计数值转换为0～10V的模拟电压，随后0～10V的模拟电压与设定的标准电压相减，从而得到惯性振动误差；
第五步，将CPU224可编程控制器计算得到的惯性振动误差输出至PI控制器，调节增益旋钮改变输出端的电压幅值；PI控制器将接收的0～10V的惯性振动误差进行放大，成为0～130V的模拟输出电压作为控制指令，将快刀伺服系统的压电陶瓷驱动源控制线插入PI控制器的输出端；
第六步，快刀伺服系统的压电陶瓷驱动源在收到控制电压后，将电能转化为机械能发生移位动作，从而推动快刀伺服系统的柔性单元发生振动；柔性单元的末端执行器设计有能安装刀具的槽型，金刚石刀具5安装在刀槽中，随着柔性单元发生振动，从而将超精密机床的惯性振动误差抵消，加工工件上产生的轮廓误差得到补偿。
综上所述，本发明与现有技术相比，存在以下优势：
本发明实时获取机床在z方向上的位置，将z方向上的位置转换为模拟电压，使模拟电压与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差，惯性振动误差转换为控制电压，进一步控制快刀伺服系统带动刀具振动，进而补偿惯性振动误差，避免了工件上的动态轮廓误差，大大提高了工件的加工精度。
本发明提供的机床动态轮廓误差的补偿装置还包括电容式位移传感器、NI采集卡和PC机，通过电容式位移传感器可检测快刀伺服系统的运动轨迹，以模拟电压形式传递至NI采集卡，PC机读取NI采集卡中的信息，可以实现实时监测快刀伺服系统的运动轨迹。
本发明中的B轴工作台作为z轴的运动平台，为了降低地面振动的影响，被安装在气动隔振器上；气动隔振器由于刚度低和摩擦小，难以支撑运动中每个轴的惯性力，当机床工作台在运动中加速或减速时，机床工作台的惯性力激发机床结构本身的振动，并触发低频振动模式，B轴工作台可以近似为一个欠阻尼二阶系统；设置B轴工作台可有效减小地面振动对快刀伺服系统的影响。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种机床动态轮廓误差的补偿装置，其特征在于，包括：顺次连接的z轴编码器(1)、差分信号转换器(13)、可编程控制器(12)、PI控制器(10)和快刀伺服系统(4)，以及z轴编码器(1)内置的插值器；
所述z轴编码器(1)用于检测机床在z轴方向上的实时位置；所述插值器用于将机床在z轴方向上的实时位置转换为两路差分信号；所述差分信号转换器(13)用于同一路中的差分信号合并为单端，将两路差分信号转换为方波信号；所述可编程控制器(12)用于根据两方波信号的相位差进行辨向，并对两方波信号的脉冲数量进行计数，将计数值转换为模拟电压，将模拟电压与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；所述PI控制器(10)用于将放大后的惯性振动误差转换为与快刀伺服系统匹配的控制电压；所述快刀伺服系统(4)用于将控制电压转换为机械能，带动刀具振动，进而补偿惯性振动误差。
2.根据权利要求1所述的补偿装置，其特征在于，还包括：电容式位移传感器(3)、NI采集卡(14)和PC机(11)；
所述电容式位移传感器(3)一端连接在所述快刀伺服系统(4)，另一端连接在所述NI采集卡(14)；所述PC机(11)的第一输入端口连接所述NI采集卡(14)，第二输入端口连接所述可编程控制器(12)；
所述电容式位移传感器(3)用于检测快刀伺服系统(4)的运动轨迹，以模拟电压的形式传递至所述NI采集卡(14)；所述PC机(11)用于对所述可编程控制器(12)提供编码；并用于读取NI采集卡信号；所述NI采集卡信号加载有快刀伺服系统的运动轨迹信息。
3.根据权利要求1或2所述的补偿装置，其特征在于，还包括B轴工作台(2)；放置在气动隔振器上，所述快刀伺服系统(4)的下方，用于减小地面振动对快刀伺服系统(4)的影响。
4.根据权利要求1所述的补偿装置，其特征在于，所述机床包括机床主体(6)、x轴导轨(8)和旋转主轴(9)；
所述x轴导轨(8)安装于所述旋转主轴(9)的下方位置，用于配合所述旋转主轴(9)完成x方向的运动动作；使用时，工件(7)位于所述旋转主轴(9)的末端，工作时，刀具正对工件(7)的表面，刀具位于所述快刀伺服系统(4)上；所述旋转主轴(9)位于所述机床主体(6)的上方。
5.根据权利要求1或4所述的补偿装置，其特征在于，所述快刀伺服系统(4)包括驱动源、运动传输和末端执行器；所述驱动源为压电陶瓷换能器，用于将电能转化为机械能；所述运动传输载体为柔性单元，用于将压电陶瓷换能器的运动传递，并为压电陶瓷换能器提供弹性回复力；所述末端执行器用于放置刀具。
6.一种机床动态轮廓误差的补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
实时检测机床在z方向上的位置，将位置信息转换为两路差分信号；
将所述两路差分信号转换为两个方波信号；
根据所述两个方波信号的相位差进行辨向，并对脉冲数量进行计数；
将计数值转换为模拟电压后，与设定的标准电压相减，获取惯性振动误差；
将所述惯性振动误差放大后作为控制指令；其中，控制指令为控制电压；
将所述控制电压转换为机械能，使快刀伺服系统带动刀具振动，从而补偿惯性振动误差。
7.根据权利要求6所述的补偿方法，其特征在于，所述计数方法为：若先检测到第一个方波信号的上升沿，后检测到第二个方波信号，则计数增加一；若先检测到第二个方波信号的上升沿，后检测到第一个方波信号，则计数减少一。
CN202110035218.0A 2021-01-12 2021-01-12 一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法 Active CN112872909B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110035218.0A CN112872909B (zh) 2021-01-12 2021-01-12 一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110035218.0A CN112872909B (zh) 2021-01-12 2021-01-12 一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112872909A true CN112872909A (zh) 2021-06-01
CN112872909B CN112872909B (zh) 2022-08-05

Family

ID=76045769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110035218.0A Active CN112872909B (zh) 2021-01-12 2021-01-12 一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112872909B (zh)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3504581A (en) * 1967-04-24 1970-04-07 Gen Electric Apparatus for early detection of tool chatter in machining operations
CN1562563A (zh) * 2004-03-31 2005-01-12 清华大学 数控机床误差补偿方法及其系统
CN101337330A (zh) * 2008-08-01 2009-01-07 东南大学 提高数控车床加工精度的补偿方法及磁致伸缩补偿机构
CN101844317A (zh) * 2010-03-25 2010-09-29 合肥工业大学 精密数控机床闭环伺服系统传动误差校正装置及方法
CN104070406A (zh) * 2014-06-23 2014-10-01 广东工业大学 一种主轴综合误差实时补偿装置及方法
CN104166373A (zh) * 2014-08-06 2014-11-26 上海理工大学 数控机床加工误差在线检测方法及系统
CN104267667A (zh) * 2014-09-04 2015-01-07 武汉理工大学 嵌入式数控机床热误差实时补偿控制器
CN104615083A (zh) * 2015-01-23 2015-05-13 大连理工大学 基于刀位点修改的曲面刀轨轮廓误差补偿方法
CN105676780A (zh) * 2014-11-17 2016-06-15 沈阳工业大学 基于模糊小脑模型关节控制器的xy运动平台轮廓控制方法与装置
CN106064243A (zh) * 2015-04-24 2016-11-02 柯尼卡美能达株式会社 加工方法以及加工装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3504581A (en) * 1967-04-24 1970-04-07 Gen Electric Apparatus for early detection of tool chatter in machining operations
CN1562563A (zh) * 2004-03-31 2005-01-12 清华大学 数控机床误差补偿方法及其系统
CN101337330A (zh) * 2008-08-01 2009-01-07 东南大学 提高数控车床加工精度的补偿方法及磁致伸缩补偿机构
CN101844317A (zh) * 2010-03-25 2010-09-29 合肥工业大学 精密数控机床闭环伺服系统传动误差校正装置及方法
CN104070406A (zh) * 2014-06-23 2014-10-01 广东工业大学 一种主轴综合误差实时补偿装置及方法
CN104166373A (zh) * 2014-08-06 2014-11-26 上海理工大学 数控机床加工误差在线检测方法及系统
CN104267667A (zh) * 2014-09-04 2015-01-07 武汉理工大学 嵌入式数控机床热误差实时补偿控制器
CN105676780A (zh) * 2014-11-17 2016-06-15 沈阳工业大学 基于模糊小脑模型关节控制器的xy运动平台轮廓控制方法与装置
CN104615083A (zh) * 2015-01-23 2015-05-13 大连理工大学 基于刀位点修改的曲面刀轨轮廓误差补偿方法
CN106064243A (zh) * 2015-04-24 2016-11-02 柯尼卡美能达株式会社 加工方法以及加工装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
万飞 等: ""自由曲面光学零件的慢刀与快刀车削技术分析"", 《制造技术与机床》 *
王启平: "《精密加工工艺学》", 30 November 1990 *
肖春芳，刘德旺: "《电子技术基础》", 31 July 2009 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN112872909B (zh) 2022-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101109858B1 (ko) 가공기
US8157252B2 (en) Machine tool
CN100366947C (zh) 机械装置
JP2002507489A (ja) インパルス減結合形直結駆動装置
CN110385798B (zh) 加工装置
JP2011251383A (ja) 工具回転半径可変の工具ホルダおよび該工具を備えた工作機械ならびに前記工作機械を用いた加工方法
JPH0531590A (ja) レーザ加工機
CN112872909B (zh) 一种机床动态轮廓误差的补偿装置及方法
CN101198438B (zh) 包括可沿横梁移动的机器元件的机器
RU176018U1 (ru) Прецизионный станок для лезвийной и лазерной обработки деталей высокоточной микромеханики
CN108170097A (zh) 一种用于直线电机进给系统的运动精度综合分析评价方法
KR20130110655A (ko) 가공기의 스핀들 오차 보상 시스템
CN1160174C (zh) 旋转主轴刀具轴向偏摆的内部主动补偿方法及装置
CN202394545U (zh) 单轴浮动线性平台
US6021696A (en) Slicing method for adjusting a force applied to an object
CN103231287A (zh) 一种无心磨削装置及其应用原理
JP2002160104A (ja) スライダを背中合わせに備えた複列の加工機
CN113523435B (zh) 一种硬脆复杂结构无主轴多极伺服研抛装置及研抛方法
JPH01234106A (ja) 超音波振動コアドリルボール盤
Kiswanto et al. Preliminary design of two dimensional vibration assisted machining system for multi-axis micro-milling application
CN201455545U (zh) 激光加工设备及除尘装置
US8561508B2 (en) Hard turning micro-machine tool
JPH10166204A (ja) 加工装置
Ro et al. Development of a miniature vertical milling machine for automation used in a microfactory
CN215279929U (zh) 一种微切削车床

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant